用于化學(xué)機(jī)械拋光的漿液組合物的制作方法
【專利摘要】本文揭示一種漿液組合物。所述漿液組合物包括0.1wt%到10wt%的磨料、0.01wt%到1wt%的異噻唑分散穩(wěn)定劑、0.01wt%到1wt%的苯羧酸腐蝕抑制劑、0.01wt%到15wt%的氨基酸螯合劑和0.01wt%到1wt%的由丙烯酰胺和氨基甲基丙醇組成的絡(luò)合劑。所述漿液組合物與典型拋光用漿液相比能夠使高速CMP工藝下的凹陷和侵蝕現(xiàn)象最少，同時(shí)維持穩(wěn)定的Cu移除速率且使Cu與Ta之間的選擇性移除速率最大，由此不會(huì)在待拋光的表面上提供缺陷。
【專利說明】用于化學(xué)機(jī)械拋光的漿液組合物

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及用于化學(xué)機(jī)械拋光（CMP)的漿液組合物。更具體來說，本發(fā)明涉及用 于CMP的漿液組合物，其包括磨料、分散劑、穩(wěn)定劑、腐蝕抑制劑、螯合劑和氧化劑，所述漿 液組合物能夠使高速CMP工藝下的凹陷和侵蝕現(xiàn)象最少，同時(shí)確保穩(wěn)定的Cu移除速率和經(jīng) 最大化的Cu與Ta之間的選擇性移除速率，由此不會(huì)在待拋光的表面上造成缺陷。

【背景技術(shù)】
[0002] 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，線寬度不斷地微小化且因此平面化的重要性增加。特別 地，隨著半導(dǎo)體集成的增加，已經(jīng)引進(jìn)多級(jí)互連結(jié)構(gòu)。具有更短波長的光刻技術(shù)的采用已經(jīng) 引起景像深度（depth of field, D0F)的問題。為有效地解決此類問題，CMP的可用性進(jìn)一 步增加。
[0003] CMP是一種用于平面化晶片表面的工藝，其通過將拋光墊附接到在晶片表面上旋 轉(zhuǎn)或偏心移動(dòng)的拋光臺(tái)的表面上并使得在晶片的前表面處摩擦，同時(shí)供應(yīng)包括磨料的漿液 來實(shí)施。
[0004] 更特別地，從漿液到漿液/晶片之間的邊界和其性質(zhì)經(jīng)改良的晶片表面上的機(jī)械 拋光是質(zhì)量傳遞步驟；而且反應(yīng)物到表面的吸附或晶片表面上的機(jī)械拋光是界面反應(yīng)步 驟。實(shí)際上，通過CMP進(jìn)行拋光對(duì)應(yīng)于界面反應(yīng)步驟，且質(zhì)量傳遞步驟是連續(xù)反應(yīng)所必需 的。
[0005] 在界面反應(yīng)期間，化學(xué)反應(yīng)可是由于反應(yīng)物吸附到晶片表面和吸附到經(jīng)改良晶片 表面以及晶片表面的空間的反應(yīng)物之間的反應(yīng)而發(fā)生。在機(jī)械移除步驟處移除在晶片表面 上大量鋪展的材料，此導(dǎo)致在界面處移除。將反應(yīng)物大量供應(yīng)到界面，由此使得連續(xù)反應(yīng)并 將反應(yīng)物從漿液轉(zhuǎn)移到漿液/晶片表面，此確保機(jī)械/化學(xué)拋光。
[0006] 常規(guī)CMP工藝仍需要抑制凹陷和侵蝕現(xiàn)象，同時(shí)維持穩(wěn)定的Cu移除速率并使Cu 與Ta之間的選擇性移除速率最大化，由此防止待拋光表面上的缺陷。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 本發(fā)明的目標(biāo)是提供與此項(xiàng)技術(shù)中已知的CMP漿液組合物相比能夠使得凹陷和 侵蝕現(xiàn)象最小化的漿液組合物，同時(shí)維持穩(wěn)定的Cu移除速率和使Cu與Ta之間的選擇性移 除速率最大化，由此防止待拋光表面上的缺陷。
[0008] 根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，楽液組合物包括：0. lwt%到10wt%的磨料、0. Olwt%到 lwt%的異噻唑分散穩(wěn)定劑、0. Olwt%到lwt%的由苯羧酸或苯并三唑（1，2, 3-苯并三唑）組 成的腐蝕抑制劑、〇. oiwt%到15wt%的氨基酸螯合劑、0. Olwt%到lwt%的由丙烯酰胺和氨基 甲基丙醇組成的絡(luò)合劑、氧化劑和稀釋劑。
[0009] 磨料可包括具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)且平均粒子直徑為20nm到130nm的膠質(zhì)二氧化硅或氧 化錯(cuò)。
[0010] 異噻唑分散穩(wěn)定劑可包括選自由以下組成的群組中的至少一者：5-氯-2-甲 基-3 (2H)-異噻唑酮、5-氯-2-甲基-2H-異噻唑-3-酮鹽酸鹽、2-氨基-5-氯-4-甲 基苯并噻唑、2-氨基-7-氯-4-甲基苯并噻唑、2-氨基-4-氯甲基噻唑（7250-84-2)、 10-(氯乙?；?2-(甲硫基）-10H-吩噻嗪、2-氯-5-氨基甲基噻唑、2-氯-4-(氯甲基） 噻唑、2-氯-5-氯甲基噻唑、5-氯-2-(4-氯苯基甲基）-3 (2H)-異噻唑酮、6-氯-N，N-二 甲基-2-苯并噻唑胺、2-氯-4, 5-二甲基-苯并噻唑、2-氯-4, 6-二甲基苯并噻唑、 2-氯-4, 7-二甲基苯并噻唑、2-氯-N-(5, 6-二甲基-2-苯并噻唑基）乙酰胺、3-氯-2, 2-二 甲基-η- (1，3-噻唑-2-基）丙酰胺、2-氯-5-(乙氧基甲基）噻唑、3-氯-2-乙基-1，2-苯 并異噻唑鎗氯化物、5- (2-氯乙基）-4-甲基噻唑、2- (1-氯乙基）噻唑、2-氯-N-乙基-5-噻 唑甲胺、2-氯-5-羥基甲基噻唑、2-氯-5-(甲氧基甲基）噻唑、7-氯-5-甲基-2Η-1，4-苯 并噻嗪-3(4H)_酮、5-氯-6-甲基-2-苯并噻唑胺、2-(氯甲基）-1，3-苯并噻唑、 2-氯-4-甲基苯并噻唑、2-氯-5-甲基苯并噻唑、2-氯-6-甲基苯并噻唑、2-氯甲基-苯 并噻唑、5-氯-2-甲基苯并噻唑、6-氯-2-甲基苯并噻唑、3-(氯甲基）-2 (3H)苯并噻唑酮、 7-氯-4-甲基-2 (3H)-苯并噻唑酮、3-氯甲基-3H-苯并噻唑-2-硫酮、5-氯-6-甲基苯 并噻唑-2-基胺、6-氯-4-甲基苯并噻唑-2-基胺、6-氯-3-甲基-3H-苯并噻唑-2-亞基 胺、2-氯-6-(1-甲基乙基）苯并噻唑、5-(氯甲基）-4-乙基-2-甲基-1，3-噻唑、4-(氯甲 基）-2-乙基-1，3-噻唑、4-(氯甲基）-2-異丙基噻唑、5-氯-2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮、 5-氯-2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮氯化鈣、5-氯-2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮、4-(氯甲 基）-2-(2-甲基苯基）-1，3-噻唑、4-(氯甲基）-2-(3-甲基苯基）-1，3-噻唑、4-(氯甲 基）-2-(4-甲基苯基）-1,3-噻唑、4-(氯甲基）-2-甲基-1,3-噻唑、5-氯-2-甲基-6-硝 基苯并噻唑、（3-氯-2-甲基-苯基）-(4,5-二氫-噻唑-2-基）-胺、3-氯-5-(4-甲基 苯基）異噻唑-4-甲腈、4-(氯甲基）-2-苯基-1，3-噻唑、4-(氯甲基）-2-丙基-1，3-噻 唑、5-氯-2-甲基-3-(4-磺酸基丁基）苯并噻唑鎗鹽、4-(氯甲基）-2-噻唑胺、2-(氯 甲基）-噻唑、2-氯-4-甲基-噻唑、2-氯-5-甲基噻唑、4-(氯甲基）-1，3-噻唑、 4_(氯甲基）噻唑、4-氯甲基噻唑、5-氯-4-甲基噻唑、5-氯甲基噻唑、2-氯-4-甲基 噻唑-5-磺酰胺、2-氯-4-甲基-噻唑-5-磺酰胺、2-氯-4-甲基-噻唑-5-磺酰氯、 2-氯-N-(4-甲基-1，3-噻唑-2-基）乙酰胺、2-[(氯甲基）硫基]苯并噻唑、4-(4-氯苯 基）-5-乙基-1，3-噻唑-2-胺、3-(2-氯-2-苯基乙基）-2-噻唑烷亞胺、2-(4-氯苯基甲 基）-3 (2H)-異噻唑酮、4- (3-氯苯基）-5-甲基-1，3-噻唑-2-胺、4- (4-氯苯基）-5-甲 基-1，3-噻唑-2-胺、4-(4-氯-苯基）-2-甲基-噻唑、反-5-(4-氯苯基）-4-甲基-2-噻 唑烷酮、2-氯-4-(三氟甲基）苯并噻唑、2-氯-6-(三氟甲基）苯并噻唑、2, 7-二氯-4-甲 基-1，3-苯并噻唑、4, 6-二氯-2-甲基-苯并噻唑、4-(2, 4-二氯苯基）-5-甲基-1，3-噻 唑-2-胺、3-乙氧基-5-氯甲基異噻唑和甲基氯異噻唑啉酮。
[0011] 腐蝕抑制劑可由苯羧酸或苯并三唑（1，2,3_苯并三唑）組成。此處，苯羧酸可 包括選自由以下組成的群組中的至少一者：5_氨基-1，3-苯二甲酸、2-氨基-1，4-苯 二甲酸、3-氨基-1，2-苯二甲酸、5-氨基苯-1，3-二甲酸、3-氨基-苯噻吩-2-甲酸、 1-氨基苯-2, 4, 5-三甲酸、1-氨基苯-2, 4, 6-三甲酸、1-氨基苯-3, 4, 5-三甲酸、5-氨 基-1，2, 3-苯三甲酸、2-氨基二苯甲酮-2' -甲酸、5-氨基-1-苯并噻吩-2-甲酸、4-氨 基-2-氟苯甲酸、4-氨基-3-氟苯甲酸、4-氨基-2-甲氧基苯甲酸、5-氨基-2-嗎啉基苯甲 酸、2-(4-氨基苯氧基）苯甲酸、偶氮苯-3, 3'-二甲酸、偶氮苯-4, 4'-二甲酸、N-苯甲酰苯 胺-4, 4'-二甲酸、1，2-苯二甲酸、1，3-苯二甲酸、1，4-苯二甲酸、苯-1，3-二甲酸二烯丙基 酯、1，2-苯二甲酸二癸基酯、1，2-苯二甲酸二壬基酯、1，2-苯二甲酸二戊基酯、苯六甲酸、 苯六甲酸六甲基酯、苯五甲酸、1，2, 4, 5-苯四甲酸、1，2, 4, 5-苯四甲酸-d、苯-1，2, 3, 4-四 甲酸、1，2, 3-苯三甲酸、1，2, 4-苯三甲酸、1，3, 5-苯-d3-三甲酸、1，3, 5-苯三甲酸、 苯-1，2, 4-三甲酸、苯-1，3, 5-三甲酸、1，2, 3-苯三甲酸2-水合物、1-二苯甲基氮雜環(huán)丁 烷-3-甲酸、1-二苯甲基氮雜環(huán)丁烷-2-甲酸、1-二苯甲基氮雜環(huán)丁烷-3-甲酸、（IH)-苯 并咪唑-7-甲酸、IH-苯并咪唑-2-甲酸、IH-苯并咪唑-4-甲酸、IH-苯并咪唑-5-甲酸、 IH-苯并咪唑-7-甲酸、2-苯并咪唑甲酸、5-苯并咪唑甲酸、苯并咪唑-5-甲酸、苯并咪 唑-5, 6-二甲酸、2, 1-苯并異噻唑-3-甲酸、2, 1-苯并異噁唑-3-甲酸、1-苯并環(huán)丁烯甲 酸、（R) -1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-5-甲酸、 (R)-I, 4-苯并二噁烷-2-甲酸、（S)-I, 4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-2-甲 酸、1，4-苯并二噁烷-6-甲酸、1，3-苯并二氧雜環(huán)戊烯-2-甲酸、1，3-苯并二氧雜環(huán)戊 烯-4-甲酸、苯并[1，3]二氧雜環(huán)戊烯-2-甲酸、1-苯并呋喃-3-甲酸、1-苯并呋喃-5-甲 酸、2, 3-苯并呋喃-2-甲酸、2-苯并呋喃甲酸、苯并（b)呋喃-2-甲酸、苯并呋喃-2-甲酸、 苯并呋喃-3-甲酸、苯并呋喃-4-甲酸、苯并呋喃-6-甲酸、苯并呋喃-7-甲酸、2, 3-苯并 呋喃二甲酸、苯并呋咱-5-甲酸、苯并氧化呋咱-5-甲酸、3H-苯并[e]吲哚-2-甲酸、苯并 [d]異噁唑-3-甲酸、苯并[d]噁唑-6-甲酸、苯并噁唑-2-甲酸、二苯甲酮-2-甲酸、二苯甲 酮-4, 4' -二甲酸、3, 3'，4, 4' -二苯甲酮四甲酸、二苯甲酮四甲酸、二苯甲酮-3, 3'，4, 4' -四 甲酸、苯并[b]碲吩-2-甲酸、1，2, 3-苯并噻唑-5-甲酸、1,3-苯并噻唑-6-甲酸、苯并 [d]噻唑-7-甲酸、苯并噻唑-2-甲酸、苯并噻唑-5-甲酸、苯并噻唑-6-甲酸、1-苯并噻 吩-3-甲酸、1-苯并噻吩-5-甲酸、苯并[b]噻吩-2-甲酸、苯并[b]噻吩-3-甲酸、苯并 [b]噻吩-7-甲酸、苯并[b]噻吩-7-甲酸、苯并噻吩-2-甲酸、IH-苯并三唑-5-甲酸、苯并 三唑-4-甲酸、5-苯并噁唑甲酸、3-(苯甲酰基氨基）-2-噻吩甲酸、1-苯甲酰基-3-氮雜環(huán) 丁烷甲酸、2-苯甲酰基環(huán)己烷甲酸、順-2-苯甲酰基環(huán)己烷-1-甲酸、2-苯甲?；?IH-吲 哚-3-甲酸、1-苯甲?；哙?2-甲酸、1-苯甲?；哙?4-甲酸、2-苯甲?；?3-吡啶 甲酸、3-苯甲酰基吡啶-2-甲酸、1-苯甲?；量┩?2-甲酸、3-苯甲酰基-4-喹啉甲酸、 3-苯甲酰基喹啉-4-甲酸、3-苯甲?；?2-噻吩甲酸、1 -(芐基）氮雜環(huán)丁烷-2-甲酸、1 -芐 基-2-氮雜環(huán)丁烷甲酸、1-芐基-氮雜環(huán)丁烷-3-甲酸、1-芐基-氮雜環(huán)丁烷-3-甲酸、 1_節(jié)基氮雜環(huán)丁燒-2-甲酸酰胺、1-節(jié)基-4-boc-哌嗪-2-甲酸、1-節(jié)基環(huán)丁燒-1-甲酸、 1-芐基環(huán)丁烷甲酸、1-芐基環(huán)丁烷甲酸、1-芐基環(huán)己烷甲酸、1-芐基環(huán)戊烷甲酸、1-芐基環(huán) 丙烷甲酸、1-芐基-IH-吲唑-3-甲酸、1-芐基吲唑基-3-甲酸、1-芐基吲哚-3-甲酸、2-芐 基異吲哚啉-4-甲酸、4-芐基-嗎啉-2-甲酸、4-芐基-嗎啉-3-甲酸、4-芐基嗎啉-3-甲 酸、3-芐基-2-噁唑烷甲酸、3-芐基氧基-環(huán)丁烷甲酸、4-芐基氧基吲哚-2-甲酸、5-芐 基氧基-2-吲哚甲酸、5-芐基氧基吲哚-2-甲酸、6-芐基氧基-IH-吲哚-2-甲酸、6-芐基 氧基-IH-吲哚-3-甲酸、7-芐基氧基-IH-吲哚-3-甲酸、6-(芐基氧基）吡啶-2-甲酸、 8-(芐基氧基）喹啉-7-甲酸、（R)-4-芐基哌嗪-2-甲酸、1-芐基-1，3-哌嗪二甲酸、1-芐 基-2-哌啶甲酸、1-芐基哌啶-3-甲酸、1-芐基哌啶-4-甲酸、1-芐基-吡咯烷-3-甲酸、 N-芐基-3-吡咯烷甲酸、2-(芐基硫基）苯甲酸、2-芐基-噻唑烷-4-甲酸、2-聯(lián)芐基甲 酸、5-溴苯甲酸、4-溴-1，3-苯二甲酸、4-溴苯-1，2-二甲酸、5-溴-1，3-苯二甲酸、7-溴 苯并呋喃-2-甲酸、5-溴-1-苯并呋喃-2-甲酸、3-溴苯并噻吩-2-甲酸、4-溴-1-苯并 噻吩-2-甲酸、5-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴苯并[b]噻吩-3-甲酸、6-溴-1-苯并 噻吩-2-甲酸、7-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴-2-苯并噁唑甲酸、3-(叔丁氧基）苯甲 酸、5-叔丁基-1，3-苯二甲酸、2-氯苯并呋喃-5-甲酸、3-氯苯并呋喃-5-甲酸、5-氯苯 并呋喃-2-甲酸、4'-氯二苯甲酮-2-甲酸、3-氯苯并[b]-2-噻吩甲酸、3-氯苯并[b]噻 吩-2-甲酸、4-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氯苯并[b]噻 吩-3-甲酸、6-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氯苯并[b]噻 吩-2-甲酸、5-氯-2-苯并噁唑甲酸、2-氯-5-羥基苯甲酸、2-氯-4-嗎啉基苯甲酸、二苯 并呋喃-3-甲酸、二苯并呋喃-4-甲酸、1，4-二芐基哌嗪-2-甲酸、3, 5-二溴-2-甲氧基苯 甲酸、2, 5-二氟-4-硝基苯甲酸、4, 5-二氟-2-硝基苯甲酸、2, 3-二氫苯并呋喃-7-甲酸、 3, 4-二硝基-1，2-苯二甲酸、4, 6-二硝基-1，3-苯二甲酸、2, 5-二苯基苯-1，4-二甲酸、 7-乙氧基苯并呋喃-2-甲酸、4-氟苯-1，3-二甲酸、6-氟-1，3-苯并二氧雜環(huán)己烯-8-甲 酸、4-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氟-1-苯并噻吩-2-甲 酸、2-氟-4-硝基苯甲酸、3-氟-4-硝基苯甲酸、2-羥基苯硫代甲酸、4-羥基-1，2-苯二 甲酸、5-羥基苯-1，2, 4-三甲酸、4-羥基苯并呋喃-3-甲酸、4' -羥基二苯甲酮-2-甲酸、 4- (2-羥基乙氧基）苯甲酸、3-碘苯-1，2-二甲酸、4-碘-1，2-苯二甲酸、4-碘-苯并[b]噻 吩-2-甲酸、4-(異戊氧基）苯甲酸、5-甲氧基苯并呋喃-2-甲酸、7-甲氧基苯并呋喃-2-甲 酸、2-(4-甲氧基苯甲酰基）苯甲酸、2-甲基-1，4-苯二甲酸、5-甲基苯-1，3-二甲酸、2-甲 基苯并呋喃-7-甲酸、3-甲基苯并呋喃-2-甲酸、3-甲基苯并呋喃-5-甲酸、6-甲基-苯并 呋喃-2-甲酸、2-甲基苯并[b]噻吩-7-甲酸、3-甲基苯并噻吩-2-甲酸、5-甲基-1-苯并 噻吩-2-甲酸、6-甲基苯并[b]噻吩-2-甲酸、2-甲基-5-苯并噁唑甲酸、5-嗎啉基-2-硝 基苯甲酸、（R)-N-芐基-哌啶-2-甲酸、（S)-N-芐基-哌啶-2-甲酸、3-硝基-1,2-苯二 甲酸、4-硝基-1，3-苯二甲酸、1-硝基苯-3, 4, 5-三甲酸、5-硝基-1，2, 3-苯三甲酸、5-硝 基苯并呋喃-2-甲酸、5-硝基-1-苯并噻吩-2-甲酸、2-(4-硝基苯氧基）苯甲酸、3-氧 代-3H-苯并[f]色烯-2-甲酸、2-(2-丙炔基氧基）苯甲酸、4-(2-嘧啶基氧基）苯甲酸、 5- 磺基-1，2, 4-苯三甲酸和四氟苯-1，4-二甲酸。
[0012] 苯并三唑可包括選自由以下組成的群組中的至少一者：1-烯丙基苯并三唑、1-氨 基苯并三唑、2-氨基苯并三唑、5-氨基苯并三唑、2-氨基三唑、氨基三唑、雙乙基己氧基苯 酚甲氧基苯三嗪（bemotrizinol)、苯噻硫氰、苯并咪唑、2, 1-苯并異噻唑、節(jié)硝唑、苯佐巴 比妥、苯雌酚、苯并呋喃醇、苯甲腈、苯頻哪醇、2-苯并噻唑胺、苯并噻唑、苯并噻唑-d、苯 并噻唑啉、4-苯并噻唑醇、5-苯并噻唑醇、2-苯并噻唑酮、1H-1，2, 3-苯并三唑、IH-苯并 三唑、苯并三唑、苯并三唑-d4、三氯甲苯、三氟甲苯、苯并噁唑、苯并噁唑酮、苯酰甲硝唑、 2_苯甲醜基噻唑、苯噻?。╞enzthiazuron)、4_節(jié)基異噻唑、倍他唑（betazole)、葉枯唑 (bismerthiazol)、比索曲唑（bisoctrizole)、5_ 溴苯并三唑、布美三唑（bumetrizole)、丁 基苯并三唑、5-羧基苯并三唑、1-氯苯并三唑、5-氯苯并三唑、克霉唑（clotrimazole)、迪 美唑（demetridazole)、二甲硝唑、依替沙唑（etisazole)、土菌靈（etridiazole)、氟美唑 (fluotrimazole)、麥穗寧（fuberidazole)、1-輕基苯并三唑、4_輕基苯并三唑、輕基苯并 三唑、2_碘苯并噻唑、拉貝洛爾（Iabetalol)、甲硝唑、奈康唑（neticonazole)、5_硝基苯并 三唑、奧克三唑（octrizole)、1_氧基苯并三唑、5-甲基-IH-噻唑并[4, 5-d]-l, 2, 3-三唑、 四唑、甲基苯并三唑和三唑侖（triazolam)。
[0013] 氨基酸螯合劑可包括選自由以下組成的群組中的至少一者：Ac-甘氨酸、甘氨酸、 甘氨酸-13C、甘氨酸-2, 2-d、甘氨酸-N，N，Ο-d、甘氨酸-d、L-甘氨酸、N-甘氨酸、Z-甘氨 酸、Z-甘氨酸酰胺、甘氨酸酐、甘氨酸芐基酯、甘氨酸-1-13C、甘氨酸-2-13C、甘氨酸檸檬酸 鹽、甘氨酸鈷鹽、甘氨酸甲酚紅、甘氨酸乙基酯、甘氨酸-d2-N-fmoc、甘氨酸富馬酸鹽、大豆、 甘氨酸-1-13C-15N、甘氨酸-13C2-15N、甘氨酸-15N、醫(yī)藥級(jí)甘氨酸、甘氨酸磷酸鹽、試劑級(jí) 甘氨酸、甘氨酸鈉鹽、甘氨酸硫酸鹽、甘氨酸百里酚藍(lán)、甘氨酸二甲基苯酰胺-d、甘氨酸二甲 苯胺、甘氨酸鋅鹽、Boc-甘氨酸、DNP-甘氨酸、甘油、甘氨酰胺、甘氨酸鹽、黃豆黃苷、糖基、 葡萄糖胺、山柑子堿、MTH-甘氨酸、聚甘氨酸、PTH-甘氨酸、TNP-甘氨酸和三甘氨酸。
[0014] 由丙烯酰胺和氨基甲基丙醇組成的絡(luò)合劑可包括選自由以下組成的群組中的至 少一者：2_丙烯酸、丙-2-烯酸、2-丙烯酸酐、2-丙烯酸乙基酯均聚物、2-丙烯酸均聚物、 2_丙烯酸均聚物鈉、2-丙烯酸2-異氰酸基乙基酯、2-丙烯酸異癸基酯、2-丙烯酸2-甲基 壬基酯、丙烯酸1，Γ -(1，9-壬燒二基）酯、2-丙烯酸1，Γ -(1，3-亞苯基）酯、2-丙烯 酸-3-苯基-(3Z) -3-己烯基酯、2-丙烯酸與2-丙烯醛的聚合物、2-丙烯酸與丙烯醛的聚 合物、L_2_氨基丙酸、2-溴丙酸、2-環(huán)丙基苯甲酸、2, 2-二丙基戊酸、3-乙氧基_2_丙烯 酸、2-氟丙烯酸、3-(2-呋喃基）-丙烯酸、3-吲哚丙烯酸、2-異丙氧基苯甲酸、2-異丙基苯 甲酸、3-異丙基苯甲酸、4-異丙基苯甲酸、2-甲氧基丙酸、2-氧代丙酸、3-氧代丙酸、3-苯 基-2-丙烯酸、丙酸、丙炔酸、丙酸、2-丙?；郊姿?、4-丙?；郊姿?、2-正丙氧基苯甲 酸、4-正丙氧基苯甲酸、對(duì)丙氧基苯甲酸、丙酸、4-丙基苯甲酸、4-正丙基苯甲酸、2-丙基 庚酸、3_丙基庚酸、2-丙基己酸、2-丙基丙二酸、2-丙基辛酸、2-丙基戊酸、2-丙基戊_dl5 酸、2-丙基-2-戊烯酸、2-(丙硫基）苯甲酸、2-丙基戊酸、2-丙炔磺酸、聚丙烯酰胺、聚 (丙烯酰胺丙烯酸）、聚（丙烯酰胺-共-丙烯酸）、聚丙烯酰胺絮凝劑、聚丙烯酰胺（線 性）、聚丙烯酰胺（PAM)、丙烯酰胺、N-烯丙基丙烯酰胺、二丙烯酰胺、咪唑雙酰胺、格列環(huán) 脲（glycyclamide)、N-辛基丙烯酰胺、聚酰胺、1-氨基-2-甲基丙-2-醇、2-氨基-2-甲 基-1-丙醇、2-氨基-2-甲基丙-1-醇、2-氨基-2-甲基丙醇-d、2-氨基-2-甲基丙醇8-溴 茶堿、2-氨基-2-甲基-1-丙醇鹽酸鹽、3-氨基-2, 2-二甲基-1-丙醇、3-氨基-2, 2-二甲 基丙醇、氨基甲基環(huán)丙烷、1_(氨基甲基）環(huán)丙醇、1-氨基-2-甲基丙烷、2-氨基-2-甲基丙 燒和1-氛基_2_甲基丙燒_2_硫醇。
[0015] 氧化劑可為過氧化氫，且稀釋劑可為去離子水。
[0016] 如上文所陳述，根據(jù)本發(fā)明的用于CMP的漿液組合物與此項(xiàng)技術(shù)中已知的用于 CMP的漿液相比能夠使凹陷和侵蝕現(xiàn)象最小化，同時(shí)維持穩(wěn)定的Cu移除速率并使Cu與Ta 之間的選擇性移除速率最大化，由此防止待拋光表面上的缺陷。

【具體實(shí)施方式】
[0017] 在下文中，將更詳細(xì)的描述本發(fā)明的實(shí)施例。
[0018] 盡管將參照實(shí)施例更詳細(xì)的描述本發(fā)明，但應(yīng)了解這些實(shí)施例僅出于說明目的而 提供且不能以任何方式解釋為限制本發(fā)明。
[0019] 通過各個(gè)實(shí)施例和實(shí)例將看出，由以下組份形成的本發(fā)明的漿液組合物與此項(xiàng)技 術(shù)中已知用于CMP的漿液相比可使凹陷和侵蝕現(xiàn)象最小化，同時(shí)維持穩(wěn)定的Cu移除速率并 使Cu與Ta之間的選擇性移除速率最大化，由此防止待拋光表面上的缺陷。
[0020] 本發(fā)明的楽液組合物可包括0. lwt%到10wt%的磨料、0. Olwt%到lwt%的異噻唑 分散穩(wěn)定劑、〇. Olwt%到lwt%的苯羧酸腐蝕抑制劑、0. Olwt%到15wt%的氨基酸螯合劑和 0. Olwt%到lwt%的由丙烯酰胺和氨基甲基丙醇組成的絡(luò)合劑。本發(fā)明的漿液組合物進(jìn)一步 包括氧化劑和稀釋劑。
[0021] 另外，腐蝕抑制劑可通過將苯并三唑添加到苯羧酸來制備。
[0022] 而且，磨料可包含具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)且平均粒子直徑為20nm到130nm的膠質(zhì)二氧化硅 或氧化鋁。
[0023] 而且，在本發(fā)明的漿液組合物中，異噻唑分散穩(wěn)定劑、由苯羧酸或苯并三唑 (1，2, 3-苯并三唑）組成的腐蝕抑制劑、氨基酸螯合劑和由丙烯酰胺和氨基甲基丙醇組成 的絡(luò)合劑可選自由兩種或兩種以上衍生物組成的群組中的至少一者。
[0024] 實(shí)例 1
[0025] 將包含lwt%的膠質(zhì)二氧化娃磨料、0. lwt%的異噻唑分散穩(wěn)定劑、0. 5wt%的苯羧酸 (1，2, 3, 4- 丁烷四甲酸）腐蝕抑制劑、12wt%的氨基酸螯合劑、lwt%的由丙烯酰胺和氨基甲 基丙醇組成的絡(luò)合劑和lwt%的氧化劑的漿液用稀釋劑（DI水）稀釋，并在以下條件下進(jìn)行 評(píng)價(jià)。
[0026] 表 1
[0027] 〈拋光條件：瑞弗萊克申（Ref lexion) LK, BKM配方（現(xiàn)場，氧化劑lwt%) >
[0028]

【權(quán)利要求】
1. 一種漿液組合物，其包含： 0? lwt%到10wt%的磨料， 0. Olwt%到lwt%的異噻唑分散穩(wěn)定劑， 0. 0 lwt%到lwt%的苯羧酸腐蝕抑制劑， 0. Olwt%到15wt%的氨基酸螯合劑，以及 0. Olwt%到lwt%的由丙烯酰胺和氨基甲基丙醇組成的絡(luò)合劑。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿液組合物，其中所述磨料包含具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)和20nm到 130nm的平均粒子直徑的膠質(zhì)二氧化硅或氧化鋁。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿液組合物，其中所述異噻唑分散穩(wěn)定劑包含選自由以下組 成的群組中的至少一者：5_氯-2-甲基-3(2H)_異噻唑酮、5-氯-2-甲基-2H-異噻唑-3-酮 鹽酸鹽、2-氨基-5-氯-4-甲基苯并噻唑、2-氨基-7-氯-4-甲基苯并噻唑、2-氨基-4-氯 甲基噻唑（7250-84-2)、10-(氯乙?；?2-(甲硫基）-10H-吩噻嗪、2-氯-5-氨基甲基噻 唑、2-氯-4-(氯甲基）噻唑、2-氯-5-氯甲基噻唑、5-氯-2- (4-氯苯基甲基）-3 (2H)-異 噻唑酮、6-氯，N，N-二甲基-2-苯并噻唑胺、2-氯-4, 5-二甲基-苯并噻唑、2-氯-4, 6-二 甲基苯并噻唑、2-氯-4, 7-二甲基苯并噻唑、2-氯-N-(5, 6-二甲基-2-苯并噻唑基）乙 酰胺、3-氯-2, 2-二甲基-n-(l，3-噻唑-2-基）丙酰胺、2-氯-5-(乙氧基甲基）噻唑、 3-氣乙基-1，2-苯并異卩基卩坐鐵氣化物、5-(2 -氣乙基）甲基卩基卩坐、2-(1-氣乙基） 噻唑、2-氯-N-乙基-5-噻唑甲胺、2-氯-5-羥基甲基噻唑、2-氯-5-(甲氧基甲基）噻 唑、7-氯-5-甲基-2H-1，4-苯并噻嗪-3(4H)_酮、5-氯-6-甲基-2-苯并噻唑胺、2-(氯 甲基）-1，3-苯并噻唑、2-氯-4-甲基苯并噻唑、2-氯-5-甲基苯并噻唑、2-氯-6-甲基 苯并噻唑、2-氯甲基-苯并噻唑、5-氯-2-甲基苯并噻唑、6-氯-2-甲基苯并噻唑、3-(氯 甲基）-2 (3H)苯并噻唑酮、7-氯-4-甲基-2 (3H)-苯并噻唑酮、3-氯甲基-3H-苯并噻 唑-2-硫酮、5-氯-6-甲基苯并噻唑-2-基胺、6-氯-4-甲基苯并噻唑-2-基胺、6-氯-3-甲 基-3H-苯并噻唑-2-亞基胺、2-氯-6-(1-甲基乙基）苯并噻唑、5-(氯甲基）-4-乙 基-2-甲基-1，3-噻唑、4-(氯甲基）-2-乙基-1，3-噻唑、4-(氯甲基）-2-異丙基噻唑、 5-氯-2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮、5-氯-2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮氯化鈣、5-氯-2-甲 基-4-異噻唑啉-3-酮、4-(氯甲基）-2- (2-甲基苯基）-1，3-噻唑、4-(氯甲基）-2- (3-甲 基苯基）-1，3_噻唑、4-(氯甲基）-2-(4-甲基苯基）-1，3_噻唑、4-(氯甲基）-2-甲 基-1，3-噻唑、5-氯-2-甲基-6-硝基苯并噻唑、（3-氯-2-甲基-苯基）-(4, 5-二氫-噻 唑-2-基）-胺、3-氯-5-(4-甲基苯基）異噻唑-4-甲腈、4-(氯甲基）-2-苯基-1,3-噻 唑、4-(氯甲基）-2-丙基-1，3-噻唑、5-氯-2-甲基-3-(4-磺酸根基丁基）苯并噻唑鎗 鹽、4-(氯甲基）-2-噻唑胺、2-(氯甲基）-噻唑、2-氯-4-甲基-噻唑、2-氯-5-甲基噻 唑、4-(氯甲基）-1，3-噻唑、4-(氯甲基）噻唑、4-氯甲基噻唑、5-氯-4-甲基噻唑、5-氯 甲基噻唑、2-氯-4-甲基噻唑-5-磺酰胺、2-氯-4-甲基-噻唑-5-磺酰胺、2-氯-4-甲 基-噻唑-5-磺酰氯、2-氯-N-(4-甲基-1，3-噻唑-2-基）乙酰胺、2-[(氯甲基）硫基] 苯并噻唑、4-(4-氯苯基）-5-乙基-1，3-噻唑-2-胺、3-(2-氯-2-苯基乙基）-2-噻唑烷 亞胺、2-(4-氯苯基甲基）-3 (2H)-異噻唑酮、4-(3-氯苯基）-5-甲基-1，3-噻唑-2-胺、 4_ (4-氯苯基）-5-甲基-1，3-噻唑-2-胺、4-(4-氯-苯基）-2-甲基-噻唑、反-5-(4-氯 苯基）-4-甲基-2-噻唑烷酮、2-氯-4-(三氟甲基）苯并噻唑、2-氯-6-(三氟甲基）苯并 噻唑、2, 7-二氯-4-甲基-1，3-苯并噻唑、4, 6-二氯-2-甲基-苯并噻唑、4-(2, 4-二氯苯 基）-5-甲基-1，3-噻唑-2-胺、3-乙氧基-5-氯甲基異噻唑以及甲基氯異噻唑啉酮。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿液組合物，其中所述苯羧酸腐蝕抑制劑包含1，2, 3, 4-丁烷 四甲酸或1，3, 5-苯三甲酸。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿液組合物，其中所述苯羧酸腐蝕抑制劑包含選自由以下 組成的群組中的至少一者：1，2, 3, 4- 丁烷四甲酸、1，2, 3, 4- 丁烷四甲酸二酐、1-氨基環(huán)丁 烷-1-甲酸、1-氨基環(huán)丁烷甲酸、3-氨基環(huán)丁烷甲酸、1-芐基環(huán)丁烷甲酸、1-溴環(huán)丁烷甲 酸、1，4- 丁烷二甲酸、2-膦酸丁烷-1，2, 4-三甲酸（PBTC)、1，2, 4- 丁烷三甲酸、3-氯環(huán)丁烷 甲酸、1-氰基環(huán)丁烷甲酸、環(huán)丁烷甲酸、（1R，2S)-環(huán)丁烷-1，2-二甲酸、1，1-環(huán)丁烷二甲酸、 1，3-環(huán)丁烷二甲酸、反-1，3-環(huán)丁烷二甲酸、1，2, 3, 4-環(huán)丁烷四甲酸、環(huán)丁烷-1，1，3, 3-四 甲酸、3, 3-二氯環(huán)丁烷甲酸、3, 3-二氟環(huán)丁烷甲酸、（-)-2, 3-二甲基丁烷-1，2, 3-三甲酸、 3, 3-二甲基環(huán)丁烷甲酸、3-氟環(huán)丁烷甲酸、3-羥基環(huán)丁烷甲酸、內(nèi)消旋-丁烷-1，2, 3, 4-四 甲酸、3-甲氧基環(huán)丁燒甲酸、1-甲基環(huán)丁燒甲酸、3-甲基環(huán)丁燒甲酸、3-亞甲基環(huán)丁燒 甲酸、3-氧代-環(huán)丁烷甲酸、1-苯基環(huán)丁烷甲酸、1，3-丙酮二甲酸、1，2, 4, 5-苯四甲酸、 1，2, 4, 5-苯四甲酸-d6、苯-1，2, 3, 4-四甲酸、苯-1，2, 4, 5-四甲酸、1，2, 3-苯三甲酸、 1，2, 4-苯三甲酸、1，3, 5-苯三甲酸、1，2, 3, 4-環(huán)丁烷四甲酸二酐、1，2, 3, 4, 5, 6-環(huán)己烷 六甲酸、1，3, 5-環(huán)己烷三甲酸、1，2, 4-環(huán)戊烷-3-甲基-四甲酸、1，2, 3, 4-環(huán)戊烷四甲 酸、順，順，順-1,2,3,4-環(huán)戊烷四甲酸、乙烷三甲酸、2, 4-呋喃二甲酸、3, 4-呋喃二甲 酸、1，4, 5, 8-萘四甲酸、1，8-辛烷二甲酸、3-氧雜環(huán)丁烷甲酸、1，2, 3, 4, 5-戊烷五甲酸、 1，3, 5-戊烷三甲酸、1，2, 3-丙烷三甲酸、吡嗪四甲酸、1，2, 3, 4-四氫哈爾滿-3-甲酸、1-四 氫化萘_甲酸、2-四氫化萘-甲酸、1，2, 4-三嗪-3-甲酸、1，2, 3-三唑-4-甲酸和1，2, 4-三 唑-3-甲酸。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿液組合物，其中所述氨基酸螯合劑包含選自由以下組成 的群組中的至少一者：Ac-甘氨酸、甘氨酸、甘氨酸-13C、甘氨酸-2, 2-d、甘氨酸-N，N，0-d、 甘氨酸_d、L-甘氨酸、N-甘氨酸、Z-甘氨酸、Z-甘氨酸酰胺、甘氨酸酐、甘氨酸芐基酯、甘 氨酸-1-13C、甘氨酸-2-13C、甘氨酸檸檬酸鹽、甘氨酸鈷鹽、甘氨酸甲酚紅、甘氨酸乙基酯、 甘氨酸-d2-N-fmoc、甘氨酸富馬酸鹽、大豆、甘氨酸-1-13C-15N、甘氨酸-13C2-15N、甘氨 酸-15N、醫(yī)藥級(jí)甘氨酸、甘氨酸磷酸鹽、試劑級(jí)甘氨酸、甘氨酸鈉鹽、甘氨酸硫酸鹽、甘氨酸 百里酚藍(lán)、甘氨酸二甲基苯酰胺-d、甘氨酸二甲苯胺、甘氨酸鋅鹽、Boc-甘氨酸、DNP-甘氨 酸、甘油、甘氨酰胺、甘氨酸鹽、黃豆黃苷、糖基、葡萄糖胺、山柑子堿、MTH-甘氨酸、聚甘氨 酸、PTH-甘氨酸、TNP-甘氨酸和三甘氨酸。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿液組合物，其中所述絡(luò)合劑包含選自由以下組成的群組 中的至少一者：2_丙烯酸、丙-2-烯酸、2-丙烯酸酐、2-丙烯酸乙基酯均聚物、2-丙烯酸 均聚物、2-丙烯酸均聚物鈉、2-丙烯酸2-異氰酸酯基乙基酯、2-丙烯酸異癸基酯、2-丙烯 酸2-甲基壬基酯、2-丙烯酸1，1' -(1，9-壬燒二基）酯、2-丙烯酸1，1' -(1，3-亞苯基） 酯、2-丙烯酸-3-苯基-(3Z)-3-己烯基酯、2-丙烯酸與2-丙烯醛的聚合物、2-丙烯酸與 丙烯醛的聚合物、L-2-氨基丙酸、2-溴丙酸、2-環(huán)丙基苯甲酸、2, 2-二丙基戊酸、3-乙氧 基-2-丙烯酸、2-氟丙烯酸、3-(2-呋喃基）-丙烯酸、3-吲哚丙烯酸、2-異丙氧基苯甲酸、 2-異丙基苯甲酸、3-異丙基苯甲酸、4-異丙基苯甲酸、2-甲氧基丙酸、2-氧代丙酸、3-氧 代丙酸、3-苯基-2-丙烯酸、丙酸、丙炔酸、丙酸、2-丙?；郊姿帷?-丙?；郊姿帷?-正 丙氧基苯甲酸、4-正丙氧基苯甲酸、對(duì)丙氧基苯甲酸、丙酸、4-丙基苯甲酸、4-正丙基苯甲 酸、2-丙基庚酸、3-丙基庚酸、2-丙基己酸、2-丙基丙二酸、2-丙基辛酸、2-丙基戊酸、2-丙 基戊_dl5酸、2-丙基-2-戊烯酸、2-(丙硫基）苯甲酸、2-丙基戊酸、2-丙炔磺酸、聚丙烯 酰胺、聚（丙烯酰胺丙烯酸）、聚（丙烯酰胺-共-丙烯酸）、聚丙烯酰胺絮凝劑、聚丙烯酰 胺（線性）、聚丙烯酰胺（PAM)、丙烯酰胺、N-烯丙基丙烯酰胺、二丙烯酰胺、咪唑雙酰胺、格 列環(huán)脲、N-辛基丙烯酰胺、聚酰胺、1-氨基-2-甲基丙-2-醇、2-氨基-2-甲基-1-丙醇、 2_氨基-2-甲基丙-1-醇、2-氨基-2-甲基丙醇-d、2-氨基-2-甲基丙醇8-溴茶堿、2-氨 基-2-甲基-1-丙醇鹽酸鹽、3-氨基-2, 2-二甲基-1-丙醇、3-氨基-2, 2-二甲基丙醇、氨 基甲基環(huán)丙烷、1-(氨基甲基）環(huán)丙醇、1-氨基-2-甲基丙烷、2-氨基-2-甲基丙烷和1-氨 基_2_甲基丙燒_2_硫醇。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿液組合物，其進(jìn)一步包含：氧化劑和稀釋劑，其中所述氧化 劑是過氧化氫且所述稀釋劑是去離子水。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿液組合物，其中所述腐蝕抑制劑是通過將苯并三唑腐蝕抑 制劑添加到所述苯羧酸腐蝕抑制劑中來制備。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的漿液組合物，其中所述苯并三唑包含選自由以下組成的 群組中的至少一者：6-氯-1-甲氧基-苯并三唑、1-烯丙基苯并三唑、1-氨基苯并三唑、 2-氨基苯并三唑、5-氨基苯并三唑、2-氨基三唑、氨基三唑、雙乙基己氧基苯酚甲氧基苯 三嗪、苯噻硫氰、苯并咪唑、2, 1-苯并異噻唑、芐硝唑、苯佐巴比妥、苯雌酚、苯并呋喃醇、苯 甲腈、苯頻哪醇、2-苯并噻唑胺、苯并噻唑、苯并噻唑-d、苯并噻唑啉、4-苯并噻唑醇、5-苯 并噻唑醇、2-苯并噻唑酮、1H-1，2, 3-苯并三唑、1H-苯并三唑、苯并三唑、苯并三唑-d4、 三氯甲苯、三氟甲苯、苯并噁唑、苯并噁唑酮、苯酰甲硝唑、2-苯甲?；邕颉⒈洁缏　?-芐 基異噻唑、倍他唑、葉枯唑、比索曲唑、5-溴苯并三唑、布美三唑、丁基苯并三唑、5-羧基苯 并三唑、1-氯苯并三唑、5-氯苯并三唑、克霉唑、迪美唑、二甲硝唑、依替沙唑、土菌靈、氟 美唑、麥穗寧、1-羥基苯并三唑、4-羥基苯并三唑、羥基苯并三唑、2-碘苯并噻唑、拉貝洛 爾、甲硝唑、奈康唑、5-硝基苯并三唑、奧克三唑、1-氧基苯并三唑、5-甲基-1H-噻唑并 [4, 5-d]-l，2, 3-三唑、四唑、甲基苯并三唑和三唑侖。
【文檔編號(hào)】C23F3/04GK104419326SQ201410071795
【公開日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2014年2月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月30日
【發(fā)明者】李錫浩, 宋定桓, 全成植 申請(qǐng)人:株式會(huì)社巨元新科技