一種可調(diào)式裝片裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種可調(diào)式裝片裝置，包括：一固定組件和一調(diào)節(jié)組件，調(diào)節(jié)組件安裝在固定組件上，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)組件的位置安裝不同規(guī)格的基片。與現(xiàn)有技術相比，該裝片裝置穩(wěn)固安裝基片，操作方便，依據(jù)基片的大小，靈活變化安裝的寬度與高度，適用于安裝各種不同規(guī)格的基片，裝置的橫截面積小，在真空鍍膜生產(chǎn)線中占用鍍膜腔室空間小，結構簡單，用材少，節(jié)約資源，便于大規(guī)模生產(chǎn)，因此其應用前景十分廣闊。
【專利說明】—種可調(diào)式裝片裝直
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及裝片裝置【技術領域】，具體說，是涉及一種真空鍍膜生產(chǎn)線的可調(diào)式裝片裝置。
【背景技術】
[0002]鍍膜生產(chǎn)線中磁控濺射是為了再低氣壓下進行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。通過在粑陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以提高濺射率的方法，而在鍍膜中就需要特殊的裝片裝置固定基片。
[0003]基片的大小不定，通常需要依據(jù)基片的大小建立基片架。目前市場上使用的裝片裝置為一種基片架，基片預設安裝在基片架上，如專利號為201320051676.4的一種可調(diào)基片架，包括第一外橫桿、第二外橫桿、第一豎桿、第二豎桿、第一調(diào)節(jié)橫桿、第二調(diào)節(jié)橫桿、彈性壓條和彈性壓片；所述第一外橫桿、第一豎桿、第二外橫桿和第二豎桿兩兩聯(lián)組成一個長方形的框架，框架四個角用螺釘連接，第一、二豎桿上設有凹槽和通孔，第一、二調(diào)節(jié)橫桿通過通孔安裝在豎桿上。但是該可調(diào)節(jié)基片架中，孔的位置固定，只能將第一、二調(diào)節(jié)橫桿依據(jù)孔的位置調(diào)節(jié)。然而，基片的大小是不固定的，并且每個基片的大小會有偏差，有可能第一、二調(diào)節(jié)橫桿依據(jù)孔的位置調(diào)節(jié)位置時，不滿足基片的大小。并且該彈性元件的位置固定，不能移動，也不能依據(jù)需要固定基片的數(shù)量，設置彈性元件。
[0004]為了解決上述固定，市場上又出現(xiàn)了一種基片架，該基片架在調(diào)節(jié)橫桿后再增加了一輔助桿，輔助桿輔助基片在基片架上固定，但這種基片架使基片架架體的橫截面積增大，這樣導致真空鍍膜室的基片架進出口都必須加寬，這樣造成真空鍍膜室加工工藝復雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對現(xiàn)有技術存在的上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種可調(diào)式裝片裝置，將基片穩(wěn)固安裝，以方便鍍膜生產(chǎn)，其橫截面積小，結構簡單，適合安裝各種不同規(guī)格的基片。
[0006]為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實用新型采用的技術方案如下:
[0007]—種可調(diào)式裝片裝置，包括:一固定組件和一調(diào)節(jié)組件，調(diào)節(jié)組件安裝在固定組件上，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)組件的位置安裝不同規(guī)格的基片；
[0008]固定組件包括第一支撐桿、第二支撐桿、第一擋板和第二擋板，第一支撐桿、第一擋板、第二支撐桿和第二擋板兩兩連接形成一方形框架，第一支撐桿和第二支撐桿上分別設有至少兩個導槽區(qū)域；調(diào)節(jié)組件安裝在固定組件上，調(diào)節(jié)組件包括至少兩個調(diào)節(jié)梁和至少一組定位件，定位件可拆卸的安裝在調(diào)節(jié)梁上，調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導槽區(qū)域上；
[0009]導槽區(qū)域進一步包括一導槽和一安置區(qū)，導槽設置在安置區(qū)內(nèi)，導槽呈豎直方向；
[0010]固定組件的第一支撐桿和第二支撐桿上進一步分別設有中心安置區(qū)域，中心導位區(qū)域設置在第一支撐桿和第二支撐桿中心；[0011]調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導槽區(qū)域和/或中心安置區(qū)域，調(diào)節(jié)梁包括一第一端部、一第二端部和一橫梁，橫梁的兩端連接第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的厚度小于橫梁的厚度，第一端部和第二端部的厚度一致；
[0012]定位件包括一第一定位元件和一第二定位元件，第一定位元件拆卸安裝在一調(diào)節(jié)梁上，第二定位元件可拆卸安裝在另一調(diào)節(jié)梁上，第一定位元件的安裝位置高于第二定位元件的位置。
[0013]優(yōu)選地，第一支撐桿、第一擋板、第二支撐桿和第二擋板兩兩連接形成一長方形框架，以增大安裝面積。
[0014]更優(yōu)選地，安置區(qū)的長度不小于導槽的長度，安置區(qū)的寬度不小于導槽的寬度。
[0015]優(yōu)選地，導槽區(qū)域包括第一導槽區(qū)域和第二導槽區(qū)域，第一導槽區(qū)域的面積大于第二導槽區(qū)域。
[0016]更優(yōu)選地，第一導槽區(qū)域設置在第一支撐桿和第二支撐桿的兩端部，第二導槽區(qū)域設置在第一支撐桿和第二支撐桿中間部位，第一導槽區(qū)域進一步包括一第一導槽和第一安置區(qū)，第一導槽呈豎直方向設置在所述第一安置區(qū)內(nèi)，第一安置區(qū)的長度不小于所述第一導槽的長度，第一安置區(qū)的寬度不小于第一導槽的寬度；第二導槽區(qū)域進一步包括一第二導槽和一第二安置區(qū)，第二導槽呈豎直方向設置在第二安置區(qū)內(nèi)，第二安置區(qū)的長度不小于第二導槽的長度，第二安置區(qū)的寬度不小于第二導槽的寬度，第一安置區(qū)的面積大于第二安置區(qū)，第一導槽的長度長于第二導槽。
[0017]優(yōu)選地，中心導位區(qū)域進一步包括一中心安置孔和一中心安置區(qū)，中心安置孔設置在中心安置區(qū)的中心，中心安置區(qū)自第一支撐桿和第二支撐桿上去除材料形成，中心安置區(qū)的深度與安置區(qū)一致。
[0018]優(yōu)選地，調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導槽區(qū)域和/或中心安置區(qū)域，調(diào)節(jié)梁包括一第一端部、一第二端部和一橫梁，橫梁的兩端連接第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的厚度小于橫梁的厚度，第一端部和第二端部的厚度一致。
[0019]更優(yōu)選地，第一端部和第二端部的厚度與安置區(qū)的深度一致，這樣減小整個裝置的橫截面積，方便裝置進入真空鍍膜腔。
[0020]更優(yōu)選地，第一端部上設置有調(diào)節(jié)孔，調(diào)節(jié)孔的直徑與導槽的寬度一致。
[0021]更優(yōu)選地，第二端部上設置有調(diào)節(jié)槽，調(diào)節(jié)槽的長度大于調(diào)節(jié)孔的直徑，調(diào)節(jié)槽的寬度與導槽的寬度一致，這樣防止調(diào)節(jié)梁在真空鍍膜腔室中出現(xiàn)熱變形現(xiàn)象，導致裝片裝置上基片不能穩(wěn)固安裝。
[0022]優(yōu)選地，調(diào)節(jié)梁進一步包括一第一凹槽、一第二凹槽和一間隔柱，第一凹槽和第二凹槽分列在間隔柱的兩側，第一凹槽和第二凹槽去除材料形成，第一凹槽和第二凹槽的深度與安置區(qū)的深度一致。
[0023]更優(yōu)選地，第一定位元件和第二定位元件通過螺釘安裝在調(diào)節(jié)梁上。
[0024]更優(yōu)選地，第一定位元件為一彈性元件；第二定位元件為一卡槽。
[0025]更優(yōu)選地，一組定位件可拆卸安裝在調(diào)節(jié)梁上時，第一定位元件安裝在一調(diào)節(jié)梁的第二凹槽上，第二定位元件安裝在另一調(diào)節(jié)梁的第一凹槽上；換句話說，一個調(diào)節(jié)梁上可同時安裝第一定位元件和第二定位元件，第一定位元件安裝在第二凹槽上，第二定位元件安裝在第一凹槽上；在同一調(diào)節(jié)梁上，第二定位元件安裝位置高于第一定位元件，然而在一組定位件時，第一定位元件的安裝位置高于第二定位元件。
[0026]優(yōu)選地，第一擋板和第二擋板與第一支撐桿和第二支撐桿之間通過螺栓連接。
[0027]優(yōu)選地，第一擋板上活動設置有裝片導向件，裝片導向件進一步包括第一導向元件、第二導向元件和第三導向元件，第二導向元件與第一擋板連接，第一導向元件與第二導向元件活動連接，第三導向元件設置在第一導向元件和第二導向元件之間。
[0028]更優(yōu)選地，裝片導向件與鍍膜生產(chǎn)線中的定位導向件配合。
[0029]更優(yōu)選地，第三導向元件為磁條。
[0030]更優(yōu)選地，鍍膜生產(chǎn)線中的定位導向件為磁條。
[0031]更優(yōu)選地，定位導向件與第三導向元件相排斥，定位導向件與第三導向元件同為磁性元件且同磁極。
[0032]更優(yōu)選地，定位導向件與第三導向元件相吸弓丨，定位導向件與第三導向元件同為磁性元件且磁極相異。
[0033]更優(yōu)選地，定位導向件與第三導向元件相吸引，第三導向元件為磁性元件，定位導向件為鐵制材料制成。
[0034]更優(yōu)選地，定位導向件與第三導向元件相吸引，定位導向件為磁性元件，第三導向兀件為鐵制材料制成。
[0035]優(yōu)選地，第二擋板上設置有移動軸，移動軸與第二擋板活動連接。
[0036]更優(yōu)選地，移動軸的長度不小于第二擋板的長度。
[0037]更優(yōu)選地，移動軸的長度與第二擋板的長度一致。
[0038]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型提供一種可調(diào)式裝片裝置，該裝片裝置穩(wěn)固安裝基片，操作方便，依據(jù)基片的大小，靈活變化安裝的寬度與高度，適用于安裝各種不同規(guī)格的基片，裝置的橫截面積小，在真空鍍膜生產(chǎn)線中占用鍍膜腔室空間小，結構簡單，用材少，節(jié)約資源，便于大規(guī)模生產(chǎn)，因此其應用前景十分廣闊。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0039]圖1為本實用新型提供的可調(diào)式裝片裝置一種優(yōu)選實施方式示意圖；
[0040]圖2為本實用新型提供的可調(diào)式裝片裝置中第一端部與第一導槽區(qū)域安裝剖視放大圖A-A ；
[0041]圖3為本實用新型提供的一種可調(diào)式裝片裝置中第二端部與第一導槽區(qū)域安裝剖視放大圖B-B ；
[0042]圖4為本實用新型提供的一種可調(diào)式裝片裝置中第一端部與第二導槽區(qū)域安裝剖視放大圖C-C ；
[0043]圖5A為本實用新型提供的一種可調(diào)式裝片裝置第一種安裝基片示意圖；
[0044]圖5B為本實用新型提供的一種可調(diào)式裝片裝置第二種安裝基片示意圖；
[0045]圖5C為本實用新型提供的一種可調(diào)式裝片裝置第三種安裝基片示意圖。
【具體實施方式】
[0046]下面結合實施方式及附圖對本實用新型作進一步詳細、完整地說明。
[0047]圖1至圖4，為本實用新型提供的一種可調(diào)式裝片裝置一種優(yōu)選實施方式的示意圖。如圖1至圖4所示，該裝片裝置包括一固定組件10和一調(diào)節(jié)組件20，調(diào)節(jié)組件20安裝在固定組件10上，基片安裝在調(diào)節(jié)組件20上。
[0048]固定組件10包括一第一支撐桿11、一第二支撐桿12、一第一擋板13和一第二擋板14，第一支撐桿11、第一擋板13、第二支撐桿12和第二擋板14兩兩連接形成一長方形框架，第一支撐桿11和第二支撐桿12上分別設有至少兩個導槽區(qū)域15。導槽區(qū)域15進一步包括一導槽151和安置區(qū)152，導槽151呈豎直方向設置在安置區(qū)152內(nèi)。安置區(qū)152的長度不小于導槽151的長度，安置區(qū)152的寬度不小于導槽151的寬度。
[0049]導槽區(qū)域15包括第一導槽區(qū)域15A和第二導槽區(qū)域15B，第一導槽區(qū)域15A的面積大于第二導槽區(qū)域15B。第一導槽區(qū)域15A設置在第一支撐桿11和第二支撐桿12的兩端部，第二導槽區(qū)域15B設置在第一支撐桿11和第二支撐桿12中間部位。第一導槽區(qū)域15A進一步包括一第一導槽151A和第一安置區(qū)152A，第一導槽151A呈豎直方向設置在第一安置區(qū)152A內(nèi)。第一安置區(qū)152A的長度不小于第一導槽151A的長度,第一安置區(qū)152A的寬度不小于第一導槽151A的寬度。第二導槽區(qū)域15B進一步包括第二導槽151B和第二安置區(qū)152B，第二導槽151B呈豎直方向設置在第二安置區(qū)152B內(nèi)。第二安置區(qū)152B的長度不小于第二導槽151B的長度，第二安置區(qū)152B的寬度不小于第二導槽151B的寬度。第一安置區(qū)152A的面積大于第二安置區(qū)152B，第一導槽151A的長度長于第二導槽151B，這樣可更加靈活地變化調(diào)節(jié)梁21之間的高度。優(yōu)選地，第一支撐桿11和第二支撐桿12設有2個第一導槽區(qū)域15A和2個第二導槽區(qū)域15B。
[0050]固定組件10的第一支撐桿11和第二支撐桿12上進一步分別設有中心安置區(qū)域16，中心導位區(qū)域16設置在第一支撐桿11和第二支撐桿12中間，中心導位區(qū)域16進一步包括一中心安置孔161和一中心安置區(qū)162,中心安置孔161設置在中心安置區(qū)162的中心，中心安置區(qū)162自第一支撐桿11和第二支撐桿12上去除材料形成，中心安置區(qū)162的深度與安置區(qū)152 —致。
[0051]調(diào)節(jié)組件20安裝在固定組件10上，調(diào)節(jié)組件20包括至少兩個調(diào)節(jié)梁21和至少一組定位件22，定位件22可拆卸安裝在調(diào)節(jié)梁21上，調(diào)節(jié)梁21安裝在第一支撐桿11和第二支撐桿12的導槽區(qū)域15和/中心導位區(qū)域16上。
[0052]每一個調(diào)節(jié)梁21包括一第一端部211、一第二端部212和一橫梁213,橫梁213的兩端連接第一端部211和第二端部212，第一端部211和第二端部212的厚度小于橫梁213的厚度，第一端部211和第二端部212的厚度一致。圖2為第一端部211的剖視放大圖，圖3為第二端部212的剖視放大圖，第一端部211和第二端部212的厚度與安置區(qū)152的深度一致，這樣當調(diào)節(jié)梁21安裝在第一支撐桿11和第二支撐桿12的安置區(qū)152上時，減小整個裝置的橫截面積，方便裝置進入真空鍍膜腔。
[0053]圖2為第一端部211與第一導槽區(qū)域154A安裝剖視放大圖A_A，圖4為第一端部211與第二導槽區(qū)15B域安裝剖視放大圖C-C。如圖2和圖4所示，第一端部211上設置有調(diào)節(jié)孔2111，調(diào)節(jié)孔2111的直徑與導槽151的寬度一致，第二端部212上設置有調(diào)節(jié)槽2121，調(diào)節(jié)槽2121的長度大于調(diào)節(jié)孔2111的直徑，調(diào)節(jié)槽2121的寬度與導槽151的寬度一致，這樣防止調(diào)節(jié)梁21在真空鍍膜腔室中出現(xiàn)熱變形現(xiàn)象，導致裝片裝置上基片不能穩(wěn)固安裝，圖3為第二端部212與第一導槽區(qū)域15A安裝剖視放大圖B-B。
[0054]每一個調(diào)節(jié)梁21的橫梁213進一步包括第一凹槽2131、第二凹槽2132和一間隔柱2133，第一凹槽2131和第二凹槽2132分列在間隔柱2133的兩側，第一凹槽2131和第二凹槽2132去除材料形成，第一凹槽2131和第二凹槽2132的深度與安置區(qū)152的深度一致。
[0055]定位件22包括一第一定位元件221和一第二定位元件222，第一定位元件221拆卸安裝在一調(diào)節(jié)梁21上，第二定位元222件可拆卸安裝在另一調(diào)節(jié)梁21上，第一定位元件221的安裝位置高于第二定位元件222。第一定位元件221和第二定位元件222通過螺釘安裝在調(diào)節(jié)梁21上。
[0056]一組定位件22可拆卸安裝在調(diào)節(jié)梁21上時，第一定位元件221安裝在一調(diào)節(jié)梁21的第二凹槽2132上，第二定位元件222安裝在另一調(diào)節(jié)梁21的第一凹槽2131上；換句話說，一個調(diào)節(jié)梁21上可同時安裝第一定位元件221和第二定位元件222，第一定位元件221安裝在第二凹槽2132上，第二定位元件222安裝在第一凹槽2131上；在同一調(diào)節(jié)梁21上，第二定位元件222安裝位置在第一定位元件221上，然而在一組定位件22時，第一定位元件221的安裝位置高于第二定位元件222。
[0057]第一定位元件221優(yōu)選為一彈性元件；第二定位元件222優(yōu)選為一卡槽。
[0058]第一擋板13和第二擋板14與第一支撐桿11和第二支撐桿12之間通過螺栓連接。第一擋板13上活動設置有裝片導向件131，裝片導向件131進一步包括一第一導向元件1311、第二導向元件1312和第三導向元件1313，第二導向元件1312與第一擋板13連接，第一導向元件1311與第二導向元件1312活動連接，第三導向元件1313設置在第一導向元件1311和第二導向元件1312之間。裝片導向件131與鍍膜生產(chǎn)線中的定位導向件配合。
[0059]定位導向件與第三導向兀件1313相排斥,定位導向件與第三導向兀件1313同為磁性元件且同磁極。
[0060]定位導向件與第三導向兀件1313相吸引，定位導向件與第三導向兀件1313同為磁性元件且磁極相異。
[0061]定位導向件與第三導向兀件1313相吸弓丨，第三導向兀件1313為磁性兀件,定位導向件為鐵制材料制成。
[0062]定位導向件與第三導向兀件1313相吸引，定位導向件為磁性兀件,第三導向兀件1313為鐵制材料制成。
[0063]第二擋板14上設置有移動軸141，移動軸141與第二擋板14活動連接。移動軸141與第二擋板14通過螺栓連接。移動軸141的長度不小于第二擋板14的長度，移動軸141的長度與第二擋板14的長度一致。
[0064]該裝片裝置應用于整個真空鍍膜生產(chǎn)線中，真空鍍膜生產(chǎn)線包括基片傳送流水線和鍍膜流水線，基片安裝在裝片裝置上，通過基片傳送流水線上傳送車運送至鍍膜流水線中，經(jīng)鍍膜流水線鍍膜后運回至基片傳送流水線中，從裝片裝置上卸下基片。在將基片安裝至裝片裝置上時，先測量基片的大小，依據(jù)基片的大小，確定調(diào)節(jié)梁21之間的距離。安裝調(diào)節(jié)梁21至第一支撐架11和第二支撐架12之間時，優(yōu)選調(diào)節(jié)梁21從下至上安裝。在安裝過程中將調(diào)節(jié)梁21中第一端部211的調(diào)節(jié)孔2111通過螺栓固定在第一支撐架11的第一導槽區(qū)域15A的第一導槽151A內(nèi)，然后將調(diào)節(jié)梁21中第二端部212的調(diào)節(jié)槽2121與第二支撐架12的第一導槽區(qū)域15A的第一導槽151A連通，在保持調(diào)節(jié)梁21的橫梁213保持水平時，通過螺栓將調(diào)節(jié)梁21的第二端部212固定在第二支撐架12上，同理安裝其他的調(diào)節(jié)梁21。
[0065]該裝片裝置安裝第一種基片，在安裝過程中，先測量基片的大小，依據(jù)基片的大小，確定一組定位件22之間的距離和兩調(diào)節(jié)梁21之間的距離。該可調(diào)節(jié)裝片裝置包括4個調(diào)節(jié)梁21，兩個調(diào)節(jié)梁21設置在第一導槽區(qū)域15A，兩個調(diào)節(jié)梁21設置在第二導槽區(qū)域15B，在安裝時先保持靠近第二擋板14的調(diào)節(jié)梁21的位置在第一支撐架11和第二支撐架
12的第一導槽區(qū)域15A不改變，依據(jù)基片的高度調(diào)節(jié)第二個調(diào)節(jié)梁21，使第二個調(diào)節(jié)梁21在第一支撐架11和第二支撐架12的第二導槽區(qū)域15B的第二導槽151B內(nèi)移動，保持第二個調(diào)節(jié)梁21的橫梁213水平狀態(tài)。再依次依據(jù)基片的高度調(diào)節(jié)第三個調(diào)節(jié)梁21和第四個調(diào)節(jié)梁21的位置；當調(diào)節(jié)梁21之間的距離確定后，依據(jù)基片的長度，設置定位件22在調(diào)節(jié)梁21的位置，定位件22的第一定位元件221和第二定位元件222通過螺釘安裝在調(diào)節(jié)梁21上，優(yōu)選每個基片設置2組定位元件22定位，第一種類型基片在調(diào)節(jié)梁21上的安裝，調(diào)節(jié)梁21和定位元件22設置位置，如圖5A所示。
[0066]該裝片裝置安裝第二種基片，該裝片裝置包括3個調(diào)節(jié)梁21，兩個調(diào)節(jié)梁21第一導槽區(qū)域15A上，另一調(diào)節(jié)梁21安裝在中心安置區(qū)域16上，第二種類型基片在調(diào)節(jié)梁21上的安裝，調(diào)節(jié)梁21的設置位置，如圖5B所示。
[0067]該裝片裝置安裝第三種基片，該裝片裝置包括3個調(diào)節(jié)梁21，兩個調(diào)節(jié)梁21第一導槽區(qū)域15A上，另一調(diào)節(jié)梁21安裝在中心安置區(qū)域16上，第三種類型基片在調(diào)節(jié)梁21上的安裝，調(diào)節(jié)梁21的設置位置，如圖5C所示。
[0068]最后有必要在此說明的是:以上實施例只用于對本實用新型的技術方案作進一步詳細地說明，不能理解為對本實用新型保護范圍的限制，本領域的技術人員根據(jù)本實用新型的上述內(nèi)容作出的一些非本質的改進和調(diào)整均屬于本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種可調(diào)式裝片裝置，其特征在于，包括:一固定組件和一調(diào)節(jié)組件，調(diào)節(jié)組件安裝在固定組件上，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)組件的位置安裝不同規(guī)格的基片； 所述固定組件包括第一支撐桿、第二支撐桿、第一擋板和第二擋板，所述第一支撐桿、第一擋板、第二支撐桿和第二擋板兩兩連接形成一方形框架，所述第一支撐桿和所述第二支撐桿上分別設有至少兩個導槽區(qū)域；所述調(diào)節(jié)組件包括至少兩個調(diào)節(jié)梁和至少一組定位件，所述定位件可拆卸安裝在所述調(diào)節(jié)梁上，所述調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導槽區(qū)域上； 所述導槽區(qū)域進一步包括一導槽和一安置區(qū)，所述導槽設置在安置區(qū)內(nèi)，所述導槽呈豎直方向； 所述固定組件的第一支撐桿和第二支撐桿上進一步分別設有中心安置區(qū)域，所述中心導位區(qū)域設置在第一支撐桿和第二支撐桿中心； 所述調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導槽區(qū)域和/或中心安置區(qū)域，所述調(diào)節(jié)梁包括一第一端部、一第二端部和一橫梁，所述橫梁的兩端連接第一端部和第二端部，所述第一端部和所述第二端部的厚度小于所述橫梁的厚度，所述第一端部和所述第二端部的厚度與所述安置區(qū)的深度一致，所述第一端部和所述第二端部的厚度一致； 所述定位件包括一 第一定位元件和一第二定位元件，所述第一定位元件拆卸安裝在一調(diào)節(jié)梁上，所述第二定位元件可拆卸安裝在另一調(diào)節(jié)梁上，所述第一定位元件的安裝位置高于所述第二定位元件的位置。
2.根據(jù)權利要求1所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:所述第一擋板上活動設置有裝片導向件，所述裝片導向件與鍍膜生產(chǎn)線中的定位導向件配合，所述裝片導向件進一步包括一第一導向元件、一第二導向元件和一第三導向元件，所述第二導向元件與所述第一擋板連接，所述第一導向元件與所述第二導向元件活動連接，所述第三導向元件設置在第一導向兀件和第二導向兀件之間。
3.根據(jù)權利要求1所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:所述導槽區(qū)域包括第一導槽區(qū)域和第二導槽區(qū)域，所述第一導槽區(qū)域的面積大于所述第二導槽區(qū)域。
4.根據(jù)權利要求1所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:所述中心導位區(qū)域進一步包括一中心安置孔和一中心安置區(qū)，所述中心安置孔設置在所述中心安置區(qū)的中心，所述中心安置區(qū)自第一支撐桿和第二支撐桿上去除材料形成，所述中心安置區(qū)的深度與所述安置區(qū)一致。
5.根據(jù)權利要求1所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:所述調(diào)節(jié)梁進一步包括一第一凹槽、一第二凹槽和一間隔柱，所述第一凹槽和所述第二凹槽分列在所述間隔柱的兩側，所述第一凹槽和所述第二凹槽去除材料形成，所述第一凹槽和所述第二凹槽的深度與所述安置區(qū)的深度一致。
6.根據(jù)權利要求3所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:所述第一導槽區(qū)域設置在第一支撐桿和第二支撐桿的兩端部，所述第二導槽區(qū)域設置在第一支撐桿和第二支撐桿中間部位，所述第一導槽區(qū)域進一步包括一第一導槽和第一安置區(qū)，所述第一導槽呈豎直方向設置在所述第一安置區(qū)內(nèi)，所述第一安置區(qū)的長度不小于所述第一導槽的長度，所述第一安置區(qū)的寬度不小于所述第一導槽的寬度；所述第二導槽區(qū)域進一步包括一第二導槽和一第二安置區(qū)，所述第二導槽呈豎直方向設置在所述第二安置區(qū)內(nèi)，所述第二安置區(qū)的長度不小于所述第二導槽的長度，所述第二安置區(qū)的寬度不小于所述第二導槽的寬度，所述第一安置區(qū)的面積大于所述第二安置區(qū)，所述第一導槽的長度長于所述第二導槽。
7.根據(jù)權利要求5所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:一組定位件可拆卸安裝在調(diào)節(jié)梁上時，所述第一定位元件安裝在一調(diào)節(jié)梁的第二凹槽上，所述第二定位元件安裝在另一調(diào)節(jié)梁的第一凹槽上；在同一調(diào)節(jié)梁上時，所述第二定位元件安裝位置高于所述第一定位元件，在一組定位件時，所述第一定位元件的安裝位置高于所述第二定位元件。
8.根據(jù)權利要求2所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:所述定位導向件與所述第三導向元件相排斥，所述定位導向件與所述第三導向元件同為磁性元件且同磁極。
9.根據(jù)權利要求2所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:所述定位導向件與所述第三導向元件相吸引，所述定位導向件與所述第三導向元件同為磁性元件且磁極相異。
10.根據(jù)權利要求2所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:所述定位導向件與第三導向元件相吸引，所述定位導向件為磁性元件，所述第三導向元件為鐵制材料制成。
11.根據(jù)權利要求2所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:所述定位導向件與所述第三導向元件相吸引，所述第三導向元件為磁性元件，所述定位導向件為鐵制材料制成。
12.根據(jù)權利要求1所述的可調(diào)式裝片裝置，其特征在于:所述第二擋板上設置有移動軸，所述移動軸與第二擋板活動連接；所述移動軸的長度不小于所述第二擋板的長度。
【文檔編號】C23C14/35GK203700499SQ201320828989
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2013年12月16日 優(yōu)先權日:2013年12月16日
【發(fā)明者】黃國興, 孫桂紅, 祝海生, 黃樂, 梁紅, 吳永光 申請人:湘潭宏大真空技術股份有限公司