一種超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于光學(xué)薄膜掩膜技術(shù)，涉及一種超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具。所述超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具為一掩膜套，該掩膜套底部設(shè)置有用于鍍膜的鍍膜孔，側(cè)壁內(nèi)表面設(shè)置有與零件形狀相匹配的凹陷，該凹陷對(duì)面的側(cè)壁設(shè)置有用于安裝頂絲的螺紋孔。掩膜套底部與側(cè)壁連接處設(shè)置有用于支撐零件倒角的環(huán)形結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型由于在零件裝夾過(guò)程中采用了三點(diǎn)定位結(jié)構(gòu)，零件固定牢靠，采用環(huán)形支撐結(jié)構(gòu)，支撐點(diǎn)在零件的倒角處，避免了零件工作面的損傷，而且整個(gè)夾具采用抗濺射材料金屬鈦加工，在鍍膜時(shí)不易污染膜面。
【專利說(shuō)明】一種超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于光學(xué)薄膜掩膜技術(shù)，涉及一種超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]激光陀螺反射鏡是超級(jí)精密光學(xué)元件，其基底為超光滑表面粗糙度Rq小于
0.lnm，總損耗在PPM量級(jí)。目前，國(guó)際上超低損耗膜層的制備均采用離子束濺射沉積方法。為避免污染，其被濺射靶材和工件盤均為立式安裝。膜層的制備過(guò)程為:離子源產(chǎn)生的高能離子束水平轟擊到靶材上，產(chǎn)生的被濺射粒子流沉積到同為立式安裝的高速旋轉(zhuǎn)的工件盤上，從而在基底上形成所需要的膜層。
[0003]激光陀螺反射鏡膜層的制備均需要掩膜工裝的配合，一般在需要鍍膜的部位開(kāi)孔，用于所需膜層的沉積，其余部位均有掩膜工裝進(jìn)行遮擋，以避免膜層的沉積。立式工件盤使得基片和掩膜板也必須是立式，而且必須固定在工件盤上。工作時(shí)工件盤高速旋轉(zhuǎn)，速度高達(dá)600轉(zhuǎn)/分鐘，其中的基片和掩膜板均具有很大的離心力。
[0004]傳統(tǒng)上反射鏡基片的裝夾方式為:在開(kāi)有很多孔的工件盤上，放入掩模板，然后放入基片，再在其上放一個(gè)氟塑料墊片，最后使用一塊平板進(jìn)行整體壓緊。但該方式會(huì)產(chǎn)生很多問(wèn)題，因?yàn)榧す馔勇莘瓷溏R基片為超光滑表面，其極為脆弱，金屬掩膜板輕微壓、擦、接觸都會(huì)形成其表面的損傷。
[0005]一方面，基片背面受力時(shí)，會(huì)將力量傳遞給掩膜板，并會(huì)導(dǎo)致掩膜板的形變，從而使其接觸到基片表面，產(chǎn)生局部損傷；另一方面，由于基片厚度的細(xì)微差別也可能導(dǎo)致基片不能被壓緊，導(dǎo)致工件盤高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，離心力作用下，基片在工件盤的孔內(nèi)晃動(dòng)，使基片的倒角受到損傷。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的:提供一種能夠有效避免零件表面損傷的超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具。
[0007]本實(shí)用新型的技術(shù)方案:一種超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具，其為一用于超光滑表面鍍膜的掩膜套。如圖1所示:該掩膜套底部設(shè)置有用于鍍膜的鍍膜孔，側(cè)壁內(nèi)表面設(shè)置有于零件形狀相匹配的凹陷，掩膜套凹陷為圓弧形，該凹陷對(duì)面的側(cè)壁設(shè)置有用于安裝頂絲的螺紋孔。掩模套底部與側(cè)壁連接處設(shè)置有用于支撐零件倒角的環(huán)形結(jié)構(gòu)，環(huán)形結(jié)構(gòu)為斜面凸起。
[0008]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果是:本實(shí)用新型超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具由于在零件裝夾過(guò)程中采用了三點(diǎn)定位結(jié)構(gòu)，零件固定牢靠。采用環(huán)形斜面支撐結(jié)構(gòu)，支撐點(diǎn)在零件的倒角處，與零件是線接觸，避免零件工作面的損傷，而且整個(gè)夾具采用抗濺射材料金屬鈦加工，在鍍膜時(shí)不易污染膜面。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】[0009]圖1是本實(shí)用新型一種超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具的結(jié)構(gòu)圖；
[0010]圖2是本實(shí)用新型一種超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具的剖面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明:
[0012]請(qǐng)參閱圖1，其是本實(shí)用新型超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具為一掩膜套，該掩膜套底部設(shè)置有用于鍍膜的鍍膜孔，側(cè)壁內(nèi)表面設(shè)置有一處與零件形狀相匹配的凹陷，該凹陷對(duì)面的側(cè)壁設(shè)置有用于安裝頂絲的螺紋孔。其中，凹陷為圓弧形。將零件放入掩膜套后，用頂絲頂基片，基片會(huì)沿徑向滑入凹陷處。凹陷處邊緣的兩個(gè)點(diǎn)和頂絲的尖端則會(huì)將零件牢牢的夾緊。
[0014]請(qǐng)參閱圖2，掩膜套底部與側(cè)壁連接處設(shè)置有用于支撐零件的環(huán)形結(jié)構(gòu)，該環(huán)形結(jié)構(gòu)為斜面凸起。基片放入掩膜套后，其倒角和斜面凸起的環(huán)帶相接觸，掩膜套的掩膜板部分和基片的超光滑表面留有微小縫隙0.01?0.02，金屬部分不接觸基片的超光滑表面，從而不會(huì)對(duì)鍍膜面造成損傷。
[0015]本實(shí)用新型超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具實(shí)際工作時(shí)，首先將光學(xué)零件安裝在掩膜套中，并用頂絲頂緊，使零件和掩膜套形成一個(gè)剛體，二者之間在工件盤旋轉(zhuǎn)過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)。然后再將一個(gè)個(gè)掩膜套裝夾在工件盤上。
[0016]本實(shí)用新型超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具由于在零件裝夾過(guò)程中采用了三點(diǎn)定位結(jié)構(gòu)，零件固定牢靠。采用環(huán)形支撐結(jié)構(gòu)，支撐點(diǎn)在零件的倒角處，避免零件工作面的損傷，而且整個(gè)夾具采用抗濺射材料金屬鈦加工，在鍍膜時(shí)不易污染膜面。
【權(quán)利要求】
1.一種超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具，其特征在于，為一掩膜套，該掩膜套底部設(shè)置有用于鍍膜的鍍膜孔，側(cè)壁內(nèi)表面設(shè)置有于零件形狀相匹配的凹陷，該凹陷對(duì)面的側(cè)壁設(shè)置有用于安裝頂絲的螺紋孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具，其特征在于，掩膜套底部與側(cè)壁連接處設(shè)置有用于支撐零件倒角的環(huán)形結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具，其特征在于，掩膜套凹陷為圓弧形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超光滑表面無(wú)損垂直裝夾夾具，其特征在于，環(huán)形結(jié)構(gòu)為斜面凸起。
【文檔編號(hào)】C23C14/04GK203639539SQ201320812340
【公開(kāi)日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2013年12月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月10日
【發(fā)明者】劉希強(qiáng), 蘇宇, 張愛(ài)民, 劉新 申請(qǐng)人:中國(guó)航空工業(yè)第六一八研究所