專利名稱：一種消除陰極背面輝光放電裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及磁控濺射鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種消除陰極背面輝光放電裝置。
背景技術(shù)：
磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下，與氬原子發(fā)生碰撞，使其產(chǎn)生Ar離化，Ar正離子在電場作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面，發(fā)生所需要的濺射。磁控濺射設(shè)備其關(guān)鍵部分為陰極，而陰極可分為整體腔體內(nèi)置陰極和部分腔體內(nèi)置陰極。真空腔體內(nèi)磁控濺射鍍膜設(shè)備，陰極正面裝備濺射靶材，背面有背板包裝和保護(hù)磁鐵材料。在濺射過程中，等離子體中的Ar正離子以高能量轟擊靶表面，發(fā)生靶材中原子的濺射。但在設(shè)計不合理的情況下，陰極背面也會產(chǎn)生了等離子體，發(fā)生不需要的濺射。這樣就會導(dǎo)致陰極與陽極間的絕緣塊被濺射沉積了一層背板材料的導(dǎo)電薄膜，使得陰極與陽極發(fā)生直接連通，即陰極發(fā)生了短路現(xiàn)象，產(chǎn)生了絕緣塊被燒壞的事情，陰極無法正常工作。經(jīng)過廣泛檢索，尚未發(fā)現(xiàn)有相關(guān)的技術(shù)方案。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)階段磁控濺射設(shè)備出現(xiàn)陰極蓋板內(nèi)輝光放電問題等缺點，而提出的一種消除陰極背面輝光放電裝置。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案:一種消除陰極背面輝光放電裝置，包括機(jī)箱，在機(jī)箱中分別設(shè)有陽極和陰極，在陽極和陰極之間連接有絕緣塊，在陰極的正面設(shè)有濺射耙，在其背面設(shè)有陰極背板，在陰極的內(nèi)部設(shè)有磁鐵，其特征在于:在陰極背板上設(shè)有PTFE材質(zhì)的絕緣板，絕緣板將陰極背板的表面完全覆蓋，使得陰極背板區(qū)不會產(chǎn)生等離子體既輝光放電，只在陰極正面靶材區(qū)產(chǎn)生等離子體，從而在陰極背面的任何部位不會被濺射，從根本上消除了陰極與腔體發(fā)生短路現(xiàn)象，保證了陰極在任何ro值的條件下正常使用。在陰極背板的兩個突起處通過螺釘連接在陽極板上。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，可以有以下進(jìn)一步的技術(shù)方案:所述的絕緣板通過一組螺栓連接在陰極背板上，螺栓上設(shè)有一層絕緣層。絕緣板將陰極背板的表面完全覆蓋，其主要功能是消除磁控濺射陰極背面致命性的輝光放電。其技術(shù)特點是打破了陰極背面輝光放電的產(chǎn)生條件，即在固定的磁場強(qiáng)度下，氣壓(P)與陰陽極間距(D)的乘積(PD)必須小于特定的臨界值的條件。其具體裝置是在陰極背板上安裝有絕緣板，可以使用在任何ro值的整體腔體內(nèi)置陰極，而不會發(fā)生背板輝光放電的問題，且消除了整體腔體內(nèi)置陰極背面設(shè)計和加工中需要考慮的許多產(chǎn)生輝光放電的因素。本實用新型的優(yōu)點在于:本實 用新型提供的裝置不僅可以解決平面陰極全部放置在腔體內(nèi)，不會發(fā)生背板輝光放電的問題，而且可以應(yīng)用到旋轉(zhuǎn)陰極中，解決相同的問題。
圖1是本實用新型的基本結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是陰極背板的連接示意圖。
具體實施方式
如圖1和圖2所示，本實用新型提供的一種消除陰極背面輝光放電裝置包括機(jī)箱10，在機(jī)箱10中分別設(shè)有陽極和陰極8，在陽極和陰極8之間連接有絕緣塊9，在陰極8的正面設(shè)有濺射耙6，在其背面設(shè)有陰極背板1，在陰極8的內(nèi)部設(shè)有磁鐵7，其特征在于:在陰極背板I上設(shè)有絕緣板2。絕緣板2將陰極背板I的表面完全覆蓋。絕緣板2通過一組螺栓3連接在陰極背板I上，螺栓3上設(shè)有一層絕緣層。在陰極背板I的兩個突起4處使用螺釘通過安裝孔5連接在陽 極板上，在螺釘上覆蓋一層絕緣層。
權(quán)利要求1.一種消除陰極背面輝光放電裝置，包括陰極背板(1)，其特征在于:在陰極背板(I)上設(shè)有絕緣板(2)，絕緣板(2)將陰極背板(I)的一個面完全覆蓋。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種消除陰極背面輝光放電裝置，其特征在于:所述的絕緣板(2 )通過一組螺栓(3 )·連接在陰極背板(I)上，螺栓(3 )上設(shè)有一層絕緣層。
專利摘要本實用新型涉及一種消除陰極背面輝光放電裝置，包括陰極背板(1)，其特征在于在陰極背板(1)上設(shè)有絕緣板(2)。本實用新型的優(yōu)點本實用新型提供的裝置不僅可以解決平面陰極全部放置在腔體內(nèi)，不會發(fā)生背板輝光放電的問題，而且可以應(yīng)用到旋轉(zhuǎn)陰極中，解決相同的問題。
文檔編號C23C14/35GK203159700SQ20132008785
公開日2013年8月28日 申請日期2013年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月27日
發(fā)明者徐根保, 錢寶鐸, 徐學(xué)東, 金克武 申請人:蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計研究院, 中國建材國際工程集團(tuán)有限公司