專利名稱：可搖動(dòng)式l型包網(wǎng)擋板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種可搖動(dòng)式L型包網(wǎng)擋板。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，在磁控濺射鍍膜的真空腔室中，對(duì)于旋轉(zhuǎn)靶一般采用包網(wǎng)的L型擋板來擋住濺射物，該類L型擋板通常是由兩塊相垂直設(shè)置的板體再包裹不銹鋼網(wǎng)而形成。該類L型擋板在使用一段時(shí)間后，由于表面積渣，當(dāng)真空腔室中的溫度和真空度發(fā)生變化時(shí)，很容易造成崩渣和掉渣的現(xiàn)象，極易導(dǎo)致待磁控濺射鍍膜的產(chǎn)品受到損害而成為廢品，嚴(yán)重地影響著產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，同時(shí)也造成生產(chǎn)成本的上升和產(chǎn)品不良率的升高。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種可搖動(dòng)式L型包網(wǎng)擋板，在真空狀態(tài)下可方便地清潔該包網(wǎng)擋板上的積渣，有效地避免了生產(chǎn)過程中出現(xiàn)崩渣、掉渣的現(xiàn)象。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種可搖動(dòng)式L型包網(wǎng)擋板，所述擋板包括不銹鋼材料制成的第一板體和第二板體，所述第一板體、所述第二板體的外側(cè)周部上分別包裹有不銹鋼網(wǎng)，所述第一板體、所述第二板體通過多個(gè)鉸鏈相轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述多個(gè)鉸鏈沿著所述第一板體、所述第二板體的長度延伸方向相間隔排布。由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型的可搖動(dòng)式包網(wǎng)擋板，其中通過設(shè)置鉸鏈將外側(cè)周部包有不銹鋼網(wǎng)的第一板體和第二板體轉(zhuǎn)動(dòng)地連接起來，當(dāng)該L型包網(wǎng)擋板在真空腔室中使用一段時(shí)間后，磁控濺射物附著在不銹鋼網(wǎng)上形成的積渣達(dá)到一定值，這時(shí)通過傳動(dòng)部件傳遞驅(qū)動(dòng)力使得第一板體與第二板體發(fā)生相對(duì)旋轉(zhuǎn)，第一板體和第二板體便發(fā)生相對(duì)撞擊，使得不銹鋼網(wǎng)上的積渣即被拍打下來，實(shí)現(xiàn)了在真空狀態(tài)下對(duì)該包網(wǎng)擋板上積渣的清潔，有效地避免了生產(chǎn)過程中出現(xiàn)崩渣、掉渣的現(xiàn)象，保證了磁控濺射鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量，提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和生產(chǎn)良率。

附圖1為本實(shí)用新型的L型包網(wǎng)擋板的主視結(jié)構(gòu)示意圖；附圖2為本實(shí)用新型的L型包網(wǎng)擋板的左視放大示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖來對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步的闡述。參見圖1、圖2所示的一種可搖動(dòng)式L型包網(wǎng)擋板，該擋板包括第一板體I和第二板體2，第一板體I和第二板體2均為不銹鋼材料制成,第一板體I和第二板體2的外側(cè)周部上分別包裹有不銹鋼網(wǎng)(圖中未示出)，其目的是為了提高第一板體I和第二板體2對(duì)磁控濺射物的附著力。第一板體I和第二板體2通過多個(gè)鉸鏈3相轉(zhuǎn)動(dòng)連接，這多個(gè)鉸鏈沿著第一板體I和第二板體2的長度延 伸方向相間隔排布,第一板體I和第二板體2可通過鉸鏈3而發(fā)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。將該L型包網(wǎng)擋板設(shè)置在真空腔室中時(shí)，應(yīng)設(shè)置傳動(dòng)部件與該L型包網(wǎng)擋板上的第一板體1、第二板體2中的一個(gè)部件傳動(dòng)連接，在磁控濺射鍍膜時(shí)，第一板體I和第二板體2應(yīng)保持相對(duì)垂直的狀態(tài)；當(dāng)該L型包網(wǎng)擋板在真空腔室中使用一段時(shí)間后，磁控濺射物附著在不銹鋼網(wǎng)上形成的積渣達(dá)到一定值，這時(shí)通過傳動(dòng)部件傳遞驅(qū)動(dòng)力使得與其連接的第一板體I或第二板體2，使其繞鉸鏈3旋轉(zhuǎn)，這樣便使得第一板體I和第二板體2之間發(fā)生相對(duì)撞擊，第一板體I和第二板體2外側(cè)周部不銹鋼網(wǎng)上的積渣即被拍打下來，實(shí)現(xiàn)了在真空狀態(tài)下對(duì)該包網(wǎng)擋板上積渣的清潔，有效地避免了生產(chǎn)過程中出現(xiàn)崩渣、掉渣的現(xiàn)象，保證了磁控濺射鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量，提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和生產(chǎn)良率。上述實(shí)施例只為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi) 。
權(quán)利要求1.一種可搖動(dòng)式L型包網(wǎng)擋板，其特征在于:所述擋板包括不銹鋼材料制成的第一板體和第二板體，所述第一板體、所述第二板體的外側(cè)周部上分別包裹有不銹鋼網(wǎng)，所述第一板體、所述第二板體通過多個(gè)鉸鏈相轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述多個(gè)鉸鏈沿著所述第一板體、所述第二板體的長度延伸方向相間隔排布`。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種可搖動(dòng)式L型包網(wǎng)擋板，其中通過設(shè)置鉸鏈將外側(cè)周部包有不銹鋼網(wǎng)的第一板體和第二板體轉(zhuǎn)動(dòng)地連接起來，當(dāng)該L型包網(wǎng)擋板在真空腔室中使用一段時(shí)間后，磁控濺射物附著在不銹鋼網(wǎng)上形成的積渣達(dá)到一定值，這時(shí)通過傳動(dòng)部件傳遞驅(qū)動(dòng)力使得第一板體與第二板體發(fā)生相對(duì)旋轉(zhuǎn)，第一板體和第二板體便發(fā)生相對(duì)撞擊，使得不銹鋼網(wǎng)上的積渣即被拍打下來，實(shí)現(xiàn)了在真空狀態(tài)下對(duì)該包網(wǎng)擋板上積渣的清潔，有效地避免了生產(chǎn)過程中出現(xiàn)崩渣、掉渣的現(xiàn)象，保證了磁控濺射鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量，提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和生產(chǎn)良率。
文檔編號(hào)C23C14/35GK203128649SQ201320067078
公開日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月5日
發(fā)明者田富 申請(qǐng)人:吳江南玻華東工程玻璃有限公司