專利名稱：一種mocvd設(shè)備的金屬粉塵過濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種MOCVD設(shè)備配件，具體涉及一種MOCVD設(shè)備的金屬粉塵過濾
>J-U ρ α裝直。
背景技術(shù)：
金屬有機化合物氣相外延沉積(Metal-OrganicChemical Vapor Deposition,簡稱M0CVD)，是20世紀60年代末期發(fā)展起來的利用金屬有機化合物進行金屬輸運的一種化合物半導(dǎo)體單晶薄膜制造設(shè)備，廣泛應(yīng)于半導(dǎo)體材料、高速電子器件等領(lǐng)域，目前其主要用于GaN系半導(dǎo)體材料的外延生長及藍光、綠光、白光或紫外發(fā)光二極管芯片的制造。在對MOCVD設(shè)備維護時，漂浮在設(shè)備運行環(huán)境中的金屬粉塵會隨著排風(fēng)進入設(shè)備加熱電源中，容易導(dǎo)致PCB板的燒毀，造成損失，若不進行排風(fēng)，則會影響散熱，會嚴重影響到設(shè)備的使用壽命。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、能夠有效避免金屬粉塵進入設(shè)備加熱電源的過濾裝置。一種MOCVD設(shè)備的金屬粉塵過濾裝置，包括過濾板，所述過濾板固定安裝在加熱電源上，所述過濾板的板面上可分布開設(shè)若干個直徑為20um的過濾孔。
本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，加工方便，在對MOCVD設(shè)備維護時，可有效避免漂浮在環(huán)境中的金屬粉塵進入加熱電源中，從而引起電路板燒毀現(xiàn)象的發(fā)生，同時也不影響加熱電源本身散熱。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合具體實施例，對本發(fā)明做進一步說明。應(yīng)理解，以下實施例僅用于說明本發(fā)明而非用于限制本發(fā)明的范圍。實施例1參見圖1，本實用新型提供的一種MOCVD設(shè)備的金屬粉塵過濾裝置，包括過濾板1，所述過濾板I的四個頂角處設(shè)有固定腳2，將螺栓旋入固定腳2，使過濾板I固定在加熱電源上，由于金屬粉塵一般直徑都會超過20um，所述過濾板I的板面上可分布開設(shè)若干個直徑為20um的過濾孔3，將金屬粉塵有效的過濾。
權(quán)利要求1.一種MOCVD設(shè)備的金屬粉塵過濾裝置，其特征在于:包括過濾板，所述過濾板固定安裝在加熱電源上，所述過濾板的板面上可分布開設(shè)若干個直徑為20um的過濾孔。
專利摘要本實用新型公開了一種MOCVD設(shè)備的金屬粉塵過濾裝置，包括過濾板，所述過濾板固定安裝在加熱電源上，所述過濾板的板面上可分布開設(shè)若干個直徑為20um的過濾孔。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，加工方便，在對MOCVD設(shè)備維護時，可有效避免漂浮在環(huán)境中的金屬粉塵進入加熱電源中，從而引起電路板燒毀現(xiàn)象的發(fā)生，同時也不影響加熱電源本身散熱。
文檔編號C23C16/44GK203034089SQ20132001190
公開日2013年7月3日 申請日期2013年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月10日
發(fā)明者林長軍 申請人:合肥彩虹藍光科技有限公司