專利名稱：用于磁控濺射設(shè)備倒置的固定多個基片的夾具及裝夾方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于固定磁控濺射基片的裝置及方法，特別涉及一種固定多個倒置磁控濺射基片的夾具。
背景技術(shù)：
從上世紀(jì)80年代開始，磁控濺射技術(shù)得到了迅猛的發(fā)展，現(xiàn)在測控濺射技術(shù)在鍍膜領(lǐng)域有著舉足輕重的地位，廣泛應(yīng)用于光學(xué)、微電子、耐磨、耐蝕、裝飾等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。在科研領(lǐng)域和工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著巨大的作用。在磁控濺射過程中，需要將基片固定在基片夾具上，再安放到磁控濺射設(shè)備中的基片架上。一般磁控濺射設(shè)備靶材在下，基片架在上，因此磁控濺射的基片需要倒置。目前處理方式一般有兩種，一種采用壓片將基片固定，但是這種方法導(dǎo)致壓片壓住處存在遮擋；另一種方法使用膠帶固定，但是此方法會嚴(yán)重污染基片背面，尤其在需要雙面磁控濺射的時候更不合適。因此，亟待需要一種能解決這些問題的固定基片的裝置。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供一種固定多個倒置磁控濺射基片的夾具，不但可以防止產(chǎn)生遮擋、電場不均等現(xiàn)象，而且還以保證在多個基片倒置的情況下，不會發(fā)生基片跌落，且能夠順利地完成磁控濺射鍍膜過程。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明用于磁控濺射設(shè)備倒置的固定多個基片的夾具予以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)方案是:該夾具包括底座和固定件，所述底座上設(shè)有若干條燕尾槽，所述燕尾槽的頂面上間隔地設(shè)有多個用來放置基片的矩形槽，所述矩形槽的四角處均分別固定有墊片，所述墊片的高度為矩形槽與基片的高度之差；所述固定件包括與所述燕尾槽配合的燕尾形塊，所述燕尾形塊上 設(shè)有螺釘；在所述燕尾槽中，位于每個矩形槽的兩側(cè)均分別設(shè)有一固定件，固定件中的螺釘穿過燕尾形塊后緊頂在燕尾槽的底面上。本發(fā)明一種固定多個倒置磁控濺射基片的裝夾方法，包括以下步驟:步驟一、將雙倍于矩形槽數(shù)量的燕尾形塊放置在燕尾槽中，并分別預(yù)置在每個矩形槽的兩側(cè)；步驟二、將數(shù)量與矩形槽個數(shù)相等的需要進(jìn)行磁控濺射處理的基片分別放置在每個矩形槽內(nèi)的墊片上；步驟三、調(diào)整每個基片一側(cè)的燕尾形塊，使之緊靠在基片的一側(cè)，并用螺釘固定好，同樣，將每個基片另一側(cè)的燕尾形塊也固定好，從而夾緊基片，裝夾基片后，所述燕尾形塊的頂面與所述基片的頂面平齊；步驟四、將固定好基片的夾具用強(qiáng)力膠固定在磁控濺射設(shè)備中的基片架上，進(jìn)行磁控濺射過程。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:由于本發(fā)明夾具中固定件是夾緊在基片的兩側(cè)，因此，在多個基片倒置的情況下，也不會發(fā)生基片跌落，能夠順利地完成磁控濺射鍍膜過程。還有，由于固定件的頂面與基片的頂面是平齊的，可以防止產(chǎn)生遮擋、電場不均等現(xiàn)象。


圖1是本發(fā)明夾具中底座的立體示意圖；圖2是本發(fā)明夾具中固定件的立體示意圖；圖3是利用本發(fā)明夾具進(jìn)行裝夾的示意圖。圖中:1-底座，2-燕尾槽，3-矩形槽，4-墊片，5-基片，6_固定件，7_螺孔，8_螺釘。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體實(shí)施方式
對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)地描述。本發(fā)明用于磁控濺射設(shè)備倒置的固定多個基片的夾具，包括底座I和固定件。如圖1所示，所述底座I上設(shè)有若干條燕尾槽2，所述燕尾槽2的頂面上間隔地設(shè)有多個用來放置基片5的矩形槽3，所述矩形槽3的大小均與基片5的面積基本相同，所述矩形槽3的四角處均分別固定有墊片4，所述墊片4的作用是當(dāng)基片5放入該矩形槽3時，可以減少基片5與矩形槽3底面的接觸面積，從而降低基片5磨損率，如圖3所示。所述墊片4的高度為矩形槽3與基片5的高度之差。如圖2所示，所述固定件包括與所述燕尾槽2配合的燕尾形塊6，所述燕尾形塊6上設(shè)有螺孔7，螺孔7中設(shè)有螺釘8。在所述燕尾槽2中，位于每個矩形槽3的兩側(cè)均分別設(shè)有一固定件，固定件中的螺釘8穿過燕尾形塊6后緊頂在燕尾槽2的底面上。本發(fā)明中的底座1、墊片4和燕尾形塊6均由光滑度高、摩擦系數(shù)小的材料制成，諸如，可以采用聚四氟乙烯。螺釘可以選用內(nèi)六角螺釘，但并不限于此。如圖3所示，利用上述用于磁控濺射設(shè)備倒置的固定多個基片的夾具進(jìn)行裝夾的方法，包括以下步驟:步驟一、將雙倍于矩形槽3數(shù)量的燕尾形塊6放置在燕尾槽2中，并分別預(yù)置在每個矩形槽3的兩側(cè)；步驟二、將數(shù)量與矩形槽3個數(shù)相等的需要進(jìn)行磁控濺射處理的基片5分別放置在每個矩形槽3內(nèi)的墊片4上；步驟三、調(diào)整每個基片5 —側(cè)的燕尾形塊6，使之緊靠在基片5的一側(cè)，并擰緊螺釘8將其固定好，同樣，將每個基片5另一側(cè)的燕尾形塊6也固定好，從而夾緊基片5 ;裝夾基片5后，所述燕尾形塊6的頂面與所述基片5的頂面是平齊的，以防止產(chǎn)生遮擋、電場不均等現(xiàn)象；接下來，進(jìn)行磁控濺射過程。步驟四、將固定好基片5的夾具用強(qiáng)力膠固定在磁控濺射設(shè)備中的基片架上，進(jìn)行磁控濺射過程。
盡管上面結(jié)合圖對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但是本發(fā)明并不局限于上述的具體實(shí)施方式
，上述的具體實(shí)施方式
僅僅是示意性的，而不是限制性的，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的啟示下，在不脫離本發(fā)明宗旨的情況下，還可以作出很多變形，這些均屬于本發(fā)明的保護(hù)之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于磁控濺射設(shè)備倒置的固定多個基片的夾具，包括底座(I)和固定件，其特征在于， 所述底座(I)上設(shè)有若干條燕尾槽(2 )，所述燕尾槽(2 )的頂面上間隔地設(shè)有多個用來放置基片(5)的矩形槽(3)，所述矩形槽(3)的四角處均分別固定有墊片(4)，所述墊片(4)的高度為矩形槽(3)與基片(5)的高度之差； 所述固定件包括與所述燕尾槽(2 )配合的燕尾形塊(6 )，所述燕尾形塊(6 )上設(shè)有螺釘(8)； 在所述燕尾槽(2)中，位于每個矩形槽(3)的兩側(cè)均分別設(shè)有一固定件，固定件中的螺釘(8)穿過燕尾形塊(6)后緊頂在燕尾槽(2)的底面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于磁控濺射設(shè)備倒置的固定多個基片的夾具，其特征在于，裝夾基片(5)后，所述燕尾形塊(6)的頂面與所述基片(5)的頂面是平齊的。
3.一種用于磁控濺 射設(shè)備倒置的固定多個基片的裝夾方法，其特征在于，利用權(quán)利要求I所述用于磁控濺射設(shè)備倒置的固定多個基片的夾具，包括以下步驟: 步驟一、將雙倍于矩形槽(3 )數(shù)量的燕尾形塊(6 )放置在燕尾槽(2 )中，并分別預(yù)置在每個矩形槽(3)的兩側(cè)； 步驟二、將數(shù)量與矩形槽(3)個數(shù)相等的需要進(jìn)行磁控濺射處理的基片(5)分別放置在每個矩形槽(3)內(nèi)的墊片(4)上； 步驟三、調(diào)整每個基片(5) —側(cè)的燕尾形塊(6)，使之緊靠在基片(5)的一側(cè)，并用螺釘(8 )固定好，同樣，將每個基片(5 )另一側(cè)的燕尾形塊(6 )也固定好，從而夾緊基片(5 )，裝夾基片(5)后，所述燕尾形塊(6)的頂面與所述基片(5)的頂面平齊； 步驟四、將固定好基片(5)的夾具用強(qiáng)力膠固定在磁控濺射設(shè)備中的基片架上，進(jìn)行磁控濺射過程。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于磁控濺射設(shè)備倒置的固定多個基片的夾具，包括底座和固定件，所述底座上設(shè)有若干條燕尾槽，所述燕尾槽的頂面上間隔地設(shè)有多個用來放置基片的矩形槽，所述矩形槽的四角處均分別固定有墊片，所述墊片的高度為矩形槽與基片的高度之差；所述固定件包括與所述燕尾槽配合的燕尾形塊，所述燕尾形塊上設(shè)有螺釘；在所述燕尾槽中，位于每個矩形槽的兩側(cè)均分別設(shè)有一固定件，固定件中的螺釘穿過燕尾形塊后緊頂在燕尾槽的底面上，裝夾基片后，所述燕尾形塊的頂面與所述基片的頂面平齊，可以防止產(chǎn)生遮擋、電場不均等現(xiàn)象，本發(fā)明夾具可以保證在多個基片倒置的情況下，也不會發(fā)生跌落，從而順利地完成磁控濺射鍍膜過程。
文檔編號C23C14/35GK103215557SQ201310173849
公開日2013年7月24日 申請日期2013年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2013年5月10日
發(fā)明者荊洪陽, 任恩賢, 徐連勇, 韓永典, 陸國權(quán) 申請人:天津大學(xué)