能夠形成圖案的沉積裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種能夠形成圖案的沉積裝置，本發(fā)明的能夠形成圖案的沉積裝置，其為用于在基板上沉積原料的裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括：噴嘴部，形成有噴射口，用于向所述基板側(cè)噴射原料；快門部，用于選擇性地開(kāi)閉噴嘴部的噴射口，從而選擇性地噴射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述噴嘴部中的至少一個(gè)。
【專利說(shuō)明】能夠形成圖案的沉積裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種能夠形成圖案的沉積裝置，更為詳細(xì)地涉及一種能夠以所希望的 圖案沉積大面積基板的能夠形成圖案的沉積裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 顯示裝置通過(guò)多種形式的具體工序而制造。在顯示裝置的制造工藝中的一個(gè)主要 工序?yàn)樵诨宓壬闲纬啥鄠€(gè)薄膜的工序，在這種形成薄膜的工序中廣泛使用沉積工序。
[0003] 這種沉積工序可分為在整個(gè)基板表面上涂敷均勻厚度薄膜的工序和只對(duì)基板的 一部分進(jìn)行選擇性的沉積而形成圖案的工序。
[0004] 圖1表示以往的沉積裝置的一例。
[0005] 參照?qǐng)D1，在所述的沉積工序中，只對(duì)基板的一部分進(jìn)行選擇性的沉積而在基板上 使沉積物形成規(guī)定圖案的以往的工序10如下：在腔室11內(nèi)，在基板20與噴嘴12之間設(shè)置 與基板20的面積相同大小的蔭罩13,并且使從供給部14提供的原料通過(guò)形成在蔭罩130 上的圖案后沉積在基板上，從而在基板20上形成規(guī)定的圖案30。
[0006] 但是，如上所述的過(guò)程，需要額外地設(shè)置與基板的面積相同面積的蔭罩13,因此以 往的沉積裝置10具有難以緊湊地構(gòu)成的問(wèn)題。
[0007] 此外，為了處理大面積基板，需要利用大型蔭罩、或者利用小型蔭罩并進(jìn)行反復(fù)沉 積的方法，因此難以迅速進(jìn)行沉積工序。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 因此，本發(fā)明是為了解決所述以往的問(wèn)題而提出的，其目的是提供一種能夠形成 圖案的沉積裝置，該能夠形成圖案的沉積裝置能夠由規(guī)定的原料迅速地沉積大面積基板， 以使基板具有規(guī)定的圖案形狀。
[0009] 所述目的通過(guò)本發(fā)明的能夠形成圖案的沉積裝置而實(shí)現(xiàn)，該能夠形成圖案的沉積 裝置為用于在基板上沉積原料的裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括：噴嘴部，形成有噴射口，用 于向所述基板側(cè)噴射原料；快門部，用于選擇性地開(kāi)閉噴嘴部的噴射口，從而選擇性地噴射 所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述噴嘴部中的至少一個(gè)。
[0010] 此外，可進(jìn)一步包括：控制部，用于控制所述快門部或移送部中的至少一個(gè)，以從 而使所述原料在所述基板上形成規(guī)定形狀的圖案而沉積。
[0011] 此外，所述控制部可調(diào)節(jié)所述噴射口的開(kāi)閉時(shí)間。
[0012] 此外，所述控制部可控制所述基板或噴嘴部中的至少一個(gè)的移送速度。
[0013] 此外，所述快門部可以以板狀安裝在所述噴嘴部的端部，并且通過(guò)端部從所述噴 射口的一側(cè)至另一側(cè)的滑動(dòng)，開(kāi)放或阻斷所述噴射口。
[0014] 此外，所述快門部可形成為在端部上形成有開(kāi)口部的氣缸形狀，并且包覆所述噴 嘴部，通過(guò)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)而使所述開(kāi)口部移動(dòng)位置，從而開(kāi)放或阻斷所述噴射口。
[0015] 此外，所述移送部可通過(guò)輥輪的旋轉(zhuǎn)力而移送所述基板。
[0016] 根據(jù)本發(fā)明，提供一種能夠形成圖案的沉積裝置，該能夠形成圖案的沉積裝置能 夠選擇性地噴射原料，從而在基板上沉積使用者所希望的形狀的圖案。
[0017] 此外，由于通過(guò)移送部移送基板或噴嘴部的同時(shí)實(shí)現(xiàn)沉積工序，因此能夠迅速處 理大面積基板。
[0018] 此外，控制部控制通過(guò)移送部所進(jìn)行的基板或噴嘴部的移送速度，從而能夠調(diào)節(jié) 在基板上形成的圖案的形狀。
[0019] 此外，控制部控制噴射口的開(kāi)放或關(guān)閉的時(shí)間，從而能夠調(diào)節(jié)在基板上形成的圖 案的形狀。
[0020] 此外，可通過(guò)形成在噴嘴部的噴射口的形狀，調(diào)節(jié)在基板上形成的圖案的形狀。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021] 圖1為表示以往的沉積裝置的一例的圖，
[0022] 圖2為本發(fā)明的第一實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置的立體圖，
[0023] 圖3為用于說(shuō)明圖2的能夠形成圖案的沉積裝置的示意的剖視圖，
[0024] 圖4為從下方表示圖2的能夠形成圖案的沉積裝置的噴嘴部的圖，
[0025] 圖5為圖2的能夠形成圖案的沉積裝置的噴嘴部的變形例的示意的剖視圖，
[0026] 圖6為用于說(shuō)明圖2的能夠形成圖案的沉積裝置的噴嘴部的運(yùn)行的圖，
[0027] 圖7為本發(fā)明的第二實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置的立體圖，
[0028] 圖8為本發(fā)明的第三實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置的噴嘴部及快門部的立 體圖，
[0029] 圖9為表示圖8的能夠形成圖案的沉積裝置的噴嘴部及快門部的沿IX-IX'線剖 開(kāi)的面的動(dòng)作的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0030] 在對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明之前需要說(shuō)明的是，在多個(gè)實(shí)施例中，對(duì)于具有相同結(jié)構(gòu)的 構(gòu)件使用相同的附圖標(biāo)記，并在第一實(shí)施例中進(jìn)行代表性的說(shuō)明，在其他實(shí)施例中針對(duì)與 第一實(shí)施例不同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
[0031] 以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置100進(jìn)行詳細(xì) 的說(shuō)明。
[0032] 圖2為本發(fā)明的第一實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置的立體圖，圖3為用于說(shuō) 明圖2的能夠形成圖案的沉積裝置的示意的剖視圖。
[0033] 參照?qǐng)D2及圖3,本發(fā)明的第一實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置100包括腔室部 110、噴嘴部120、快門部130、供給部140、移送部150、輸入部160及控制部170。
[0034] 所述腔室部110在內(nèi)部配置有后述的噴嘴部120及移送部150,因此相當(dāng)于進(jìn)行沉 積工序的場(chǎng)所，并且利用規(guī)定的泵來(lái)去除在內(nèi)部包含的空氣并保持真空狀態(tài)，從而能夠進(jìn) 行沉積工序。
[0035] 在腔室部110的內(nèi)部用于收容基板20、后述的噴嘴部120及移送部150。
[0036] 圖4為從下方表示圖2的能夠形成圖案的沉積裝置的噴嘴部的圖。
[0037] 參照?qǐng)D4,所述噴嘴部120收容在所述腔室部110內(nèi)，用于對(duì)基板20上噴射原料， 沿與通過(guò)后述的移送部150移送基板20的方向垂直的方向較長(zhǎng)地形成，橫剖面形成為四邊 形形狀。
[0038] 在噴嘴部120的內(nèi)部形成有用于使從外部供給的原料移動(dòng)的流道即供給通道 121，在與基板20相對(duì)的面上形成有噴射口 122,從而使從供給通道121流動(dòng)的原料能夠向 基板20側(cè)噴射。
[0039] 在本實(shí)施例中，多個(gè)所述噴射口 122在噴嘴部120的端部上沿長(zhǎng)度方向較長(zhǎng)地形 成，并且相鄰的噴射口 122形成為彼此隔開(kāi)規(guī)定間隔。只是，噴射口 122為根據(jù)噴射的原料 而決定在基板上形成的圖案的形狀的要素，因此這種噴射口 122的寬度、長(zhǎng)度、數(shù)量及隔開(kāi) 間隔等可考慮在基板20上所要形成的圖案的形狀及基板或噴嘴部120的移送速度等而決 定。
[0040] 所述快門部130用于選擇性地開(kāi)放或阻斷噴射口 122,設(shè)置為板狀?？扉T部130被 安裝為能夠在噴嘴部122的內(nèi)部滑動(dòng)，并且通過(guò)滑動(dòng)選擇性地開(kāi)放或阻斷噴射口 122的表 面。
[0041] 圖5為圖2的能夠形成圖案的沉積裝置的噴嘴部的變形例的示意的剖視圖。
[0042] 根據(jù)上述內(nèi)容，本實(shí)施例的快門部130安裝在噴嘴部120的內(nèi)部，但參照?qǐng)D5,在本 實(shí)施例的變形例中，快門部130可構(gòu)成為未被安裝在噴嘴部120內(nèi)而被設(shè)置在快門部130 與噴嘴部120之間，并且能夠通過(guò)往返移動(dòng)來(lái)開(kāi)放或阻斷通過(guò)噴射口所進(jìn)行的原料的排 出。
[0043] 所述供給部140與所述噴嘴部120連接，用于供給將在基板20上沉積的原料。
[0044] 所述移送部150是為了實(shí)現(xiàn)流水線（in-line)工序而用于沿規(guī)定的路徑輸送被沉 積物即基板20的部件，在本實(shí)施例中構(gòu)成為包括多個(gè)移送輥輪151。
[0045] 所述移送輥輪151沿著基板的流水線工序的移送路徑而配置，并且各移送輥輪 151構(gòu)成為可通過(guò)規(guī)定的電源接收驅(qū)動(dòng)力而旋轉(zhuǎn)。
[0046] 所述輸入部160用于接收并存儲(chǔ)在基板20上所要實(shí)現(xiàn)的形狀的圖案30,并且將其 提供到控制部170。即，輸入部160與控制部170連接，并且接收使用者或工作人員輸入的 在基板20上所要沉積的圖案30的形狀，并將其傳遞到控制部170。
[0047] 所述控制部170用于從輸入部160接收關(guān)于圖案30的形狀的信息，并且控制快門 部130或移送部150,從而使將在基板20上沉積的原料形成通過(guò)輸入部160傳遞的信息的 圖案30。控制部170通過(guò)控制快門部130而控制噴射口 122的開(kāi)閉時(shí)間或噴射口 122的開(kāi) 放面積等，從而控制原料的噴射時(shí)間或噴射量。
[0048] 此外，控制部170也可通過(guò)控制移送部150而調(diào)節(jié)基板20的移送速度，從而控制 在基板20上形成的圖案30。
[0049] 下面，對(duì)上述能夠形成圖案的沉積裝置100的第一實(shí)施例的運(yùn)行進(jìn)行說(shuō)明。
[0050] 圖6為用于說(shuō)明圖2的能夠形成圖案的沉積裝置的噴嘴部的運(yùn)行的圖。
[0051] 首先，輸入部160接收使用者輸入的需要由將在基板20上沉積的原料形成的圖案 30的形狀。輸入部160將輸入的圖案信息傳遞到控制部170,控制部170利用所接收的圖 案信息算出用于控制快門部130和移送部150的控制信息。
[0052] 此時(shí)，參照?qǐng)D6的（a)，通過(guò)供給部140被氣化的原料提供到噴嘴部120內(nèi)的供給 通道121，并且由于噴射口 122的最初狀態(tài)為被快門部130阻斷的狀態(tài)，因此原料在噴嘴部 120的端部上形成的噴射口 122中處于待機(jī)狀態(tài)。
[0053] 控制部170通過(guò)算出的控制信息控制移送部150,通過(guò)使移送輥輪151進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而 以規(guī)定的速度移送基板20。
[0054] 與此同時(shí)，參照?qǐng)D6的（b)，控制部170使快門部130進(jìn)行滑動(dòng)，從而開(kāi)放噴射口 122,待機(jī)中的原料通過(guò)開(kāi)放的噴射口 122向基板20側(cè)噴射，并被沉積在基板20上。
[0055] 參照?qǐng)D6的（c)，控制部170根據(jù)為了在基板20上形成與被輸入到輸入部160的 圖案信息相應(yīng)的圖案30而算出的控制信息，經(jīng)過(guò)規(guī)定的時(shí)間后，使快門部130滑動(dòng)至原位 置，從而阻斷噴射口 122以防止原料的噴射。
[0056] 此外，控制部170可以部分開(kāi)放噴射口 122,而非完全阻斷噴射口 122,從而調(diào)節(jié)原 料的噴射量，開(kāi)調(diào)節(jié)在基板20上形成的圖案30的厚度。
[0057] 通過(guò)反復(fù)進(jìn)行所述的過(guò)程，由被噴射的原料在基板20上沉積最初在輸入部160中 輸入的形狀的圖案30。
[0058] 接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置200進(jìn)行說(shuō)明。
[0059] 圖7為本發(fā)明的第二實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置的立體圖。
[0060] 參照?qǐng)D7,本發(fā)明的第二實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置200包括腔室部110、 噴嘴部120、快門部130、供給部140、移送部250、輸入部160及控制部170。
[0061] 所述腔室部110、噴嘴部120、快門部130、供給部140、輸入部160及控制部170與 所述的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)相同，因此省略重復(fù)的說(shuō)明。
[0062] 只是，在本實(shí)施例中的所述移送部250為用于移送噴嘴部120的部件，這與在第一 實(shí)施例中的移送部150為了移送基板而被構(gòu)成為卷對(duì)卷（roll-to-roll)形式的結(jié)構(gòu)不同。
[0063] 所述移送部250包括：面板，沿規(guī)定的路徑凹陷地形成有移送導(dǎo)向件251 ;及連接 部252,被收容在移送導(dǎo)向件251內(nèi)，并且從移送導(dǎo)向件251向下方延伸并與噴嘴部120的 端部結(jié)合，被配置為能夠沿移送導(dǎo)向件251移動(dòng)。
[0064] S卩，本實(shí)施例中的移送部250通過(guò)移送與連接部252連接的噴嘴部120,向基板20 噴射原料而形成圖案。其中，所述連接部252沿移送導(dǎo)向件251的形成方向移動(dòng)。
[0065] 因此，在本實(shí)施例中，控制部170控制通過(guò)快門部130的動(dòng)作受控的噴射口的開(kāi)閉 時(shí)間及通過(guò)移送部250的動(dòng)作受控的噴嘴部120的移送速度，從而調(diào)節(jié)在基板20上形成的 圖案的形狀。
[0066] 接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置進(jìn)行說(shuō)明。
[0067] 圖8為本發(fā)明的第三實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置的噴嘴部及快門部的立 體圖，圖9為表示圖8的能夠形成圖案的沉積裝置的噴嘴部及快門部的沿IX-IX'線剖開(kāi)的 面的動(dòng)作。
[0068] 本發(fā)明的第三實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例相同，因此 省略重復(fù)的說(shuō)明。只是，本實(shí)施例中的噴嘴部320及快門部330的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例不同， 因此在下面對(duì)其進(jìn)行詳述。
[0069] 參照?qǐng)D8及圖9,所述噴嘴部320被構(gòu)成為剖面為圓形的氣缸形狀，在內(nèi)部形成有 供給通道321，在外面形成有作為原料噴射區(qū)域的噴射口 322。
[0070] 所述快門部330被構(gòu)成為剖面為圓形的氣缸形狀，并被安裝為包覆噴嘴部320的 外表而的同時(shí)在內(nèi)部收容噴嘴部320的形式。另外，在快門部330的外表而貫通形成有與 噴射口 322對(duì)應(yīng)數(shù)量的開(kāi)口部。
[0071] 因此，參照?qǐng)D9,在本實(shí)施例中通過(guò)以下的方式控制原料的噴射：被設(shè)置為能夠旋 轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)的快門部330運(yùn)行為在噴嘴部320的外表面上旋轉(zhuǎn)規(guī)定的區(qū)間，以使開(kāi)口部的位置 對(duì)準(zhǔn)于噴射口 322,從而噴射原料；并且使快門部330沿開(kāi)放噴射口 322時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向的相 反方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而使開(kāi)口部331回到原位置，以阻斷噴射口 322。
[0072] S卩，在第一實(shí)施例的快門部130通過(guò)直線平行運(yùn)動(dòng)選擇性地開(kāi)放或阻斷噴嘴部 120的噴射口 122,但根據(jù)第三實(shí)施例，通過(guò)快門部330的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)選擇性地開(kāi)放或阻斷 噴射口 322。
[0073] 根據(jù)以往的沉積裝置，由于使用額外的蔭罩，因此在大面積基板上難以沉積連續(xù) 的圖案形狀，但根據(jù)本實(shí)施例的能夠形成圖案的沉積裝置，無(wú)需設(shè)置與基板面積相同的面 積的蔭罩，而利用快門部開(kāi)放或阻斷原料，從而能夠?qū)Υ竺娣e基板進(jìn)行連續(xù)的沉積。
[0074] 通過(guò)控制開(kāi)放或阻斷噴嘴部的快門部、基板或噴嘴部的移送速度以及形成在噴嘴 部上并噴射原料的噴射口的形狀，從而能夠以所要實(shí)現(xiàn)圖案的形狀噴射原料并將其沉積在 基板上。
[0075] 本發(fā)明的權(quán)利范圍并不限于上述實(shí)施例，在所附的權(quán)利要求書中記載的范圍內(nèi)可 實(shí)現(xiàn)為多種形式的實(shí)施例。在不脫離權(quán)利要求書所要求保護(hù)的本發(fā)明精神的范圍內(nèi)，本發(fā) 明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有一般知識(shí)的人均能變形的各種范圍也應(yīng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0076] 產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用可行性
[0077] 提供一種能夠形成圖案的沉積裝置，該能夠形成圖案的沉積裝置能夠由規(guī)定的原 料迅速地沉積大面積基板，使所述基板具有規(guī)定的圖案形狀。
【權(quán)利要求】
1. 一種能夠形成圖案的沉積裝置，其為用于在基板上沉積原料的裝置，其特征在于，進(jìn) 一步包括： 噴嘴部，形成有噴射口，用于向所述基板側(cè)噴射原料； 快門部，用于選擇性地開(kāi)閉噴嘴部的噴射口，從而選擇性地噴射所述原料；及 移送部，用于移送所述基板或所述噴嘴部中的至少一個(gè)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠形成圖案的沉積裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括： 控制部，用于控制所述快門部或移送部中的至少一個(gè)，從而使所述原料在所述基板上 形成規(guī)定形狀的圖案而沉積。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的能夠形成圖案的沉積裝置，其特征在于， 所述控制部用于調(diào)節(jié)所述噴射口的開(kāi)閉時(shí)間。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的能夠形成圖案的沉積裝置，其特征在于， 所述控制部用于控制所述基板或噴嘴部中的至少一個(gè)的移送速度。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的能夠形成圖案的沉積裝置，其特征在于， 所述快門部以板狀安裝在所述噴嘴部的端部，并且通過(guò)端部從所述噴射口的一側(cè)至另 一側(cè)的滑動(dòng)，開(kāi)放或阻斷所述噴射口。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的能夠形成圖案的沉積裝置，其特征在于， 所述快門部形成為在端部上形成有開(kāi)口部的氣缸形狀，并且包覆所述噴嘴部，通過(guò)旋 轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)而使所述開(kāi)口部移動(dòng)位置，從而開(kāi)放或阻斷所述噴射口。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠形成圖案的沉積裝置，其特征在于， 所述移送部通過(guò)輥輪的旋轉(zhuǎn)力而移送所述基板。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK104220633SQ201280071246
【公開(kāi)日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2012年3月6日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月6日
【發(fā)明者】金泰煥, 柳云善, 南宮晟泰 申請(qǐng)人:Snu精度株式會(huì)社