專利名稱：一種用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，監(jiān)測(cè)連續(xù)式鍍膜設(shè)備的內(nèi)部狀態(tài)和故障，屬于太陽能電池鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，連續(xù)式鍍膜設(shè)備可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)，已被鍍膜行業(yè)廣泛應(yīng)用?，F(xiàn)有連續(xù)式鍍膜設(shè)備在鍍膜時(shí)出現(xiàn)問題或故障時(shí)，因不能確定故障位置及原因，通常需要打開所有腔室進(jìn)行檢查，才能看到腔內(nèi)的狀況。但是打開腔室后，真空度下降，且真空恢復(fù)時(shí)間長，影響產(chǎn)品品質(zhì)。中國專利ZL 201120565822.6《一種具有檢測(cè)裝置的磁控濺射靶》公開了一種可以直接監(jiān)測(cè)靶材消耗程度的裝置，但并不能反應(yīng)腔室內(nèi)其它情況，因此需要開發(fā)一種不需要打開腔室就可以觀察到腔內(nèi)情況的監(jiān)測(cè)裝置。
發(fā)明內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有鍍膜設(shè)備無監(jiān)控功能的不足，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，解決連續(xù)鍍膜設(shè)備內(nèi)的故障及工作狀況監(jiān)控等技術(shù)問題，監(jiān)控裝置可以在不打開連續(xù)鍍膜設(shè)備腔室的情況下直接進(jìn)入腔室內(nèi)部，在生產(chǎn)狀態(tài)隨基片進(jìn)入連續(xù)鍍膜設(shè)備各腔室進(jìn)行工作，檢測(cè)腔室內(nèi)的設(shè)備情況，判斷鍍膜設(shè)備的故障或工作情況。為了實(shí)現(xiàn)以上任務(wù)，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于連續(xù)式鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，其主要技術(shù)特點(diǎn)是監(jiān)控裝置呈箱體結(jié)構(gòu)，由內(nèi)外箱體套合為一體，其中內(nèi)箱體為一密封箱，其內(nèi)裝有監(jiān)控器；所述監(jiān)控裝置隨鍍膜基片進(jìn)入連續(xù)式鍍膜設(shè)備內(nèi)，監(jiān)控鍍膜設(shè)備各個(gè)腔室內(nèi)的狀況。監(jiān)控裝置的外箱體是一個(gè)裝有控制器的非密封箱體。監(jiān)控器是集閃光照相和錄像功能為一體的照相機(jī)或攝像機(jī)，該監(jiān)控器與控制器連接?？刂破骶哂袩o線信號(hào)接收數(shù)據(jù)線，該數(shù)據(jù)線與監(jiān)控器的的信號(hào)線連接，控制監(jiān)控器工作。監(jiān)控裝置的內(nèi)箱體由頂蓋、側(cè)壁和底板組成，是一個(gè)能承受一個(gè)大氣壓壓差的密封箱體，該密封箱體置于外箱體內(nèi)部，內(nèi)箱體的頂蓋為高硼硅玻璃，其余五個(gè)面為不銹鋼拋光板。監(jiān)控裝置的外箱體由頂蓋、側(cè)壁和底板組成的非密封箱，其頂蓋和側(cè)壁均為玻璃材質(zhì)。外箱體的頂蓋玻璃鍍有復(fù)合膜層，外箱體的側(cè)面為鍍銀及保護(hù)層的玻璃，底板為中空隔熱板。監(jiān)控裝置還包括遙控器，該遙控器位于鍍膜設(shè)備外，遙控監(jiān)控器工作。監(jiān)控裝置的內(nèi)箱體采用密封結(jié)構(gòu)，因此可采用普通照相機(jī)放置于大氣狀態(tài)的內(nèi)箱體內(nèi)，而不需要采用特殊的照相機(jī)，降低了裝置的成本。監(jiān)控裝置的外箱體為非密封結(jié)構(gòu)，工作時(shí)，由于處在真空狀態(tài)的腔室內(nèi)，因此造成了內(nèi)、外箱體的空間間隔為真空，阻斷了向內(nèi)箱體的熱傳遞，頂蓋及側(cè)壁采用多種濺射鍍層，阻隔了向內(nèi)箱體的熱輻射，底板采用中空隔熱板，隔離了工作時(shí)設(shè)備或基片對(duì)內(nèi)箱體的熱傳遞，因此內(nèi)箱體升溫很小，保護(hù)照相機(jī)免受熱影響。本實(shí)用新型的積極效果:設(shè)計(jì)的用于連續(xù)式鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，當(dāng)需要了解連續(xù)鍍膜機(jī)腔室內(nèi)狀態(tài)或者鎖定故障位置時(shí)，將該監(jiān)控裝置隨鍍膜基片一起傳送入真空腔室內(nèi)，監(jiān)控裝置通過數(shù)據(jù)線和控制器將鍍膜設(shè)備的狀況反饋到外部顯示器，可以準(zhǔn)確的掌握鍍膜機(jī)狀態(tài)，如靶材消耗，氣管，遮罩鍍層等等情況，也可以在故障發(fā)生時(shí)，準(zhǔn)確鎖定故障位置，非常有目的性的進(jìn)行打開腔室，減少不必要的工作。

圖1:本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)爆炸圖。圖2:本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:1、照相機(jī)，201、內(nèi)箱體側(cè)壁，202、內(nèi)箱體頂蓋，203、內(nèi)箱體底板，301、外箱體側(cè)壁，302、外箱體頂蓋，303、外箱體底板，4、控制器。
具體實(shí)施方式
一種用于連續(xù)式鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，主要包括照相機(jī)，控制器，內(nèi)箱體，外箱體，遙控器，照相機(jī)置于密封的內(nèi)箱體，內(nèi)箱體置于非密封的外箱體，控制器置于外箱體內(nèi)。照相機(jī)放置于內(nèi)箱體，具有閃光照相及錄像功能，與控制器相連；控制器處于外箱體，含無線信號(hào)接收天線，天線穿出箱體，并通過穿透內(nèi)箱體的信號(hào)線控制照相機(jī)工作。內(nèi)箱體由頂蓋、側(cè)壁和底板組成，能承受一個(gè)大氣壓壓差，內(nèi)箱體置于外箱體內(nèi)部，頂蓋為高硼硅玻璃，其余五個(gè)面為不銹鋼拋光板。外箱體由頂蓋、側(cè)壁和底板組成，為非密封箱，除底板外，均為玻璃材質(zhì)，頂蓋玻璃鍍有復(fù)合膜層，為銀及金屬氧化物數(shù)層，該面對(duì)可見光透過率好，對(duì)紅外輻射反射率高，四側(cè)面為鍍銀及保護(hù)層的玻璃，能有效反射200-500°C的腔室內(nèi)溫度所產(chǎn)生熱輻射中主要波段，底板為中空隔熱板；遙控器在鍍膜設(shè)備的腔室外使用，當(dāng)裝置運(yùn)動(dòng)到腔室內(nèi)既定位置時(shí)，透過鍍膜設(shè)備的玻璃觀察窗向裝置發(fā)射信號(hào)，使照相機(jī)在所需的位置進(jìn)行照相或錄像。本實(shí)施例主要由照相機(jī)1、內(nèi)箱體、外箱體、控制器4和遙控器組成，內(nèi)箱體由內(nèi)箱體側(cè)壁201、內(nèi)箱體頂蓋202和內(nèi)箱體底板203組成密封箱體，照相機(jī)I放置其內(nèi)，外箱體由外箱體頂蓋302和外箱體底板303通過螺栓連接在外箱體側(cè)壁301上組成非封閉箱體，內(nèi)箱體和控制器4放置其內(nèi)，照相機(jī)I和控制器4相連，控制器4由遙控器控制接收信號(hào)。當(dāng)用于在線查看靶面消耗狀況或反應(yīng)濺射中靶面中毒狀況，將該裝置放在基片上，進(jìn)入真空腔室內(nèi)，當(dāng)運(yùn)行至靶面時(shí)，關(guān)閉濺射設(shè)備輝光，通過遙控器的信號(hào)透過設(shè)備觀察窗，經(jīng)穿出外箱體的控制器4的天線接收，控制器4發(fā)出電信號(hào)給照相機(jī)1，照相機(jī)I閃光照相，裝置隨基片從出料口傳出，讀取照片，可觀察靶面狀況，為換靶或工藝調(diào)整提供決策依據(jù)。當(dāng)查看數(shù)個(gè)腔體臟污情況時(shí)，將照相機(jī)I調(diào)為錄像模式，放入內(nèi)箱體中，并將一照明燈同時(shí)放入內(nèi)箱體，提供光照，接好控制器4的控制線，將內(nèi)箱體放入外箱體中，將該裝置放在基片上，進(jìn)入真空室后對(duì)所有腔體錄像，裝置隨基片從出料口傳出，或者監(jiān)控裝置通過數(shù)據(jù)線和控制器將鍍膜設(shè)備的狀況反饋到外部顯示器，讀取錄像，為維護(hù)保養(yǎng)提供依據(jù)。
權(quán)利要求1.一種用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，其特征在于所述監(jiān)控裝置呈箱體結(jié)構(gòu)，由內(nèi)外箱體套合為一體，其中內(nèi)箱體為一密封箱，其內(nèi)裝有監(jiān)控器；所述監(jiān)控裝置隨鍍膜基片進(jìn)入連續(xù)式鍍膜設(shè)備內(nèi)，監(jiān)控鍍膜設(shè)備各個(gè)腔室內(nèi)的狀況。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，其特征在于所述監(jiān)控裝置的外箱體是一個(gè)裝有控制器的非密封箱體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，其特征在于所述監(jiān)控器是集閃光照相和錄像功能為一體的照相機(jī)或攝像機(jī)，該監(jiān)控器與控制器連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，其特征在于所述控制器具有無線信號(hào)數(shù)據(jù)線，該數(shù)據(jù)線與監(jiān)控器的的信號(hào)線連接，控制監(jiān)控器工作。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，其特征在于所述監(jiān)控裝置的內(nèi)箱體由頂蓋、側(cè)壁和底板組成，是一個(gè)能承受一個(gè)大氣壓壓差的密封箱體，該密封箱體置于外箱體內(nèi)部，內(nèi)箱體的頂蓋為高硼硅玻璃，其余五個(gè)面為不銹鋼拋光板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，其特征在于所述監(jiān)控裝置的外箱體由頂蓋、側(cè)壁和底板組成的非密封箱,其頂蓋和側(cè)壁均為玻璃材質(zhì)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，其特征在于所述外箱體的頂蓋玻璃鍍有復(fù)合膜層，外箱體的側(cè)面為鍍銀及保護(hù)層的玻璃，底板為中空隔熱板。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，其特征在于所述監(jiān)控裝置還包括遙控器，該遙控器位于鍍膜設(shè)備外，遙控監(jiān)控器工作。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，用來監(jiān)測(cè)鍍膜設(shè)備的內(nèi)部狀態(tài)和故障，屬于太陽能電池鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。解決連續(xù)鍍膜設(shè)備內(nèi)的故障及工作狀況監(jiān)控等技術(shù)問題，用于鍍膜設(shè)備的監(jiān)控裝置，該監(jiān)控裝置呈箱體結(jié)構(gòu)，由內(nèi)外箱體套合為一體，其中內(nèi)箱體為一密封箱，其內(nèi)裝有監(jiān)控器；所述監(jiān)控裝置隨鍍膜基片進(jìn)入連續(xù)式鍍膜設(shè)備內(nèi)，監(jiān)控鍍膜設(shè)備各個(gè)腔室內(nèi)的狀況。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，當(dāng)需要了解連續(xù)鍍膜機(jī)腔室內(nèi)狀態(tài)或者鎖定故障位置時(shí)，將該監(jiān)控裝置隨鍍膜基片一起傳送入真空腔室內(nèi)，監(jiān)控裝置通過數(shù)據(jù)線和控制器將鍍膜設(shè)備的狀況反饋到外部顯示器，可以準(zhǔn)確的掌握鍍膜機(jī)狀態(tài)。
文檔編號(hào)C23C14/52GK203049030SQ20122067008
公開日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月7日
發(fā)明者龍鵬, 李毅, 胡強(qiáng), 宋光耀, 劉憲秋, 盛國浩 申請(qǐng)人:深圳市創(chuàng)益科技發(fā)展有限公司