專利名稱：一種pecvd沉積設(shè)備及其石英管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光伏電池技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于PECVD沉積設(shè)備的石英管。本實(shí)用新型還涉及一種具有上述石英管的PECVD沉積設(shè)備。
背景技術(shù)：
PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition),中文為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積，借助微波或者射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，從而在局部形成等離子體，由于等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，進(jìn)而在基片上沉積出所期望的薄膜?，F(xiàn)有技術(shù)中，為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，經(jīng)常利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，以完成鍍膜，而這種CVD所采用的設(shè)備即為PECVD沉積設(shè)備。現(xiàn)有的PECVD沉積設(shè)備，利用銅管將微波導(dǎo)入工藝腔室內(nèi)，利用微波加熱氣體等離子體，最后在電池的表面完成薄膜沉積。上述銅管的外部套裝有對(duì)其起保護(hù)作用的石英管，在上述工藝沉積完成之后，石英管的表面會(huì)出現(xiàn)一層lmnT2mm厚的氮化娃,而氮化娃的產(chǎn)生會(huì)改變耦合條件，降低沉積率，因此就需要更換石英管。要想更換石英管，首先需要將卡固在石英管外部的鎖緊裝置取下，但由于現(xiàn)有技術(shù)中的石英管為管徑不變的直管，氮化硅的增加使得石英管的外徑超出了鎖緊裝置的內(nèi)徑，這就導(dǎo)致鎖緊裝置無法沿石英管的軸向移動(dòng)，也就無法將鎖緊裝置從微波法蘭內(nèi)取出。為解決上述問題，現(xiàn)有技術(shù)中只能將覆蓋有氮化硅的石英管打碎，然后再將鎖緊裝置取下，進(jìn)而重新安裝新的石英管。采用上述方法，雖然能夠完成石英管的更換，但仍存在以下技術(shù)問題首先，將 原有的石英管打碎的過程中存在較多的安全隱患，打碎的石英管還可能對(duì)工作人員造成傷害；其次，打碎的石英管無法進(jìn)行回收利用，從而造成一定程度的浪費(fèi)和環(huán)境污染。因此，如何設(shè)計(jì)一種石英管，以便于其更換和安裝，提高其回收利用率，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種PECVD沉積設(shè)備的石英管，其安裝和更換均較為方便，且回收利用率較高。本實(shí)用新型的另一目的是提供一種PECVD沉積設(shè)備，該設(shè)備具有上述石英管，其薄膜沉積效果較好，效率較高。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種PECVD沉積設(shè)備的石英管，所述石英管具有分別套裝在工藝腔室兩側(cè)法蘭內(nèi)的兩個(gè)固定端和處于工藝腔室內(nèi)的中段管，兩所述固定端分別設(shè)置在所述石英管的兩個(gè)端部，所述中段管連接在兩所述固定端之間，且其外徑小于各所述固定端的外徑。本實(shí)用新型的石英管采用非等徑的結(jié)構(gòu)設(shè)置，將石英管設(shè)置為管徑不等的固定端和中段管，固定端按照現(xiàn)有的石英管的內(nèi)徑和外徑進(jìn)行設(shè)置，然后通過鎖緊裝置將其安裝在工藝腔室的兩側(cè)法蘭內(nèi)；而作為工作部分的中段管采用小管徑設(shè)置，其外徑要小于固定端的外徑，則即使中段管外部覆蓋了一層氮化硅，其外徑也不會(huì)超過鎖緊裝置的內(nèi)徑，也就是說，鎖緊裝置可以沿石英管的軸向運(yùn)動(dòng)，以便于實(shí)現(xiàn)其與法蘭的分離，而無需將石英管打碎。通過上述石英管的結(jié)構(gòu)改進(jìn)，可以將石英管完整地拆下，從而實(shí)現(xiàn)石英管的回收利用；此外，更換石英管的過程中，省去了打碎石英管的步驟，使得石英管的更換更為便捷，也避免了石英管打碎后產(chǎn)生的安全隱患。優(yōu)選地，兩所述固定端的外徑相等，所述中段管的外徑比所述固定端的外徑小lmnT2mm0當(dāng)中段管與固定端的外徑差值在lmnT2mm時(shí)，不僅能夠保證鎖緊裝置的正常拆卸，還能有效地保護(hù)石英管內(nèi)的銅管，不會(huì)影響石英管的正常使用。優(yōu)選地，各所述固定端與所述中段管之間還具有過渡管，所述過渡管的外徑由所述固定端向所述中段管的方向漸縮設(shè)置?？梢韵氲剑^渡管的設(shè)置使得固定端與中段管之間的連接更為平穩(wěn)，還為鎖緊裝置的安裝提供了一個(gè)參照；同時(shí)，過渡管為鎖緊裝置的拆卸提供了一定的空余空間，以便于鎖緊裝置的安裝和拆卸。本實(shí)用新型還提供一種PECVD沉積設(shè)備，包括具有工藝腔室的殼體和設(shè)于所述工藝腔室內(nèi)的石英管，所述石英管為上述任一項(xiàng)所述的石英管。由于本實(shí)用新型的PECVD沉積設(shè)備具有上述任一項(xiàng)所述的石英管，則上述任一項(xiàng)所述的技術(shù)效果均適用于本實(shí)用新型的PECVD沉積設(shè)備，此處不再贅述。優(yōu)選地，所述工藝腔室內(nèi)還具有護(hù)套，所述固定端的外部套裝有鎖套，所述鎖套與所述工藝腔室的法蘭卡裝后均套裝在所述護(hù)套內(nèi)。作為鎖緊裝置的鎖套`將石英管鎖緊固定在法蘭內(nèi)，然后通過護(hù)套將鎖套和法蘭完整地套裝在其內(nèi)部，從而避免鎖套的外表面沉積太多的氮化硅，進(jìn)而保證鎖套能夠順利地從法蘭上拆卸下來。

圖1為本實(shí)用新型所提供PECVD沉積設(shè)備的工藝腔室一種設(shè)置方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型所提供石英管在一種具體實(shí)施方式
中裝配到圖1所示工藝腔室時(shí)的分解狀態(tài)示意圖；圖3為按照?qǐng)D2所示的裝配過程安裝后的組裝完成狀態(tài)示意圖；圖4為本實(shí)用新型所提供石英管在一種具體實(shí)施方式
中的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖4中圓圈部分的局部放大示意圖；圖6為圖4所示石英管裝配過程的分解示意圖；圖7為圖6中圓圈部分的局部放大示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的核心是提供一種PECVD沉積設(shè)備的石英管，其安裝和更換均較為方便，且回收利用率較高。本實(shí)用新型的另一核心是提供一種PECVD沉積設(shè)備，該設(shè)備具有上述石英管，其薄膜沉積效果較好，效率較高。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型方案，
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。 本實(shí)用新型的石英管用于PECVD沉積設(shè)備，所述PECVD沉積設(shè)備具有工藝腔室，該工藝腔室也稱為反映腔室，其內(nèi)能夠完成薄膜的沉積和冷卻等過程。本實(shí)用新型的石英管就設(shè)置在該工藝腔室內(nèi)。請(qǐng)參考圖1-圖3，圖1為本實(shí)用新型所提供PECVD沉積設(shè)備的工藝腔室一種設(shè)置方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型所提供石英管在一種具體實(shí)施方式
中裝配到圖1所示工藝腔室時(shí)的分解狀態(tài)示意圖；圖3為按照?qǐng)D2所示的裝配過程安裝后的組裝完成狀態(tài)示意圖。在一種具體實(shí)施方式
中，本實(shí)用新型的PECVD沉積設(shè)備包括殼體9，殼體9圍合形成一個(gè)工藝腔室91 (圖1-3中為顯示需要，僅顯示殼體9的兩側(cè)端壁，而將其他內(nèi)壁隱去)，工藝腔室91的兩側(cè)端壁911上均設(shè)有法蘭7，如圖1所示，本實(shí)用新型的石英管6就以其兩個(gè)固定端套裝在兩側(cè)的法蘭7內(nèi)(請(qǐng)參見圖6和圖7)。如圖2和圖3所示，為實(shí)現(xiàn)石英管6與法蘭7的連接，本實(shí)用新型的PECVD沉積設(shè)備一般還包括鎖套5，鎖套5呈與石英管6和法蘭7相匹配的階梯管狀設(shè)置，請(qǐng)參見圖6和圖7 :鎖套5可以設(shè)置為內(nèi)端、中段和外端三個(gè)部分，其外端呈光滑的平直管狀設(shè)置，且其外端面上突出設(shè)有卡柱51 ;其中段外徑大于外端外徑，且沿其外端面的軸向較為均勻地分布有卡孔52 ;其內(nèi)端的開口處可以采用由外而內(nèi)的漸縮設(shè)置；法蘭7的頭端沿其周向傾斜地設(shè)置有槽軌71，槽軌71能夠與鎖套5的卡柱51相卡固。
需要說明的是，上文中所述的內(nèi)外均以工藝腔室91為參照，靠近工藝腔室91中軸線的一端或一側(cè)為所述的內(nèi)端或內(nèi)側(cè)，遠(yuǎn)離其中軸線的一端或一側(cè)為所述的外端或外側(cè)，如無特殊說明，本文中均采用上述定義來界定內(nèi)外。如圖2所示，安裝時(shí)，將鎖套5套裝在石英管6的一端，然后采用專用的工具旋轉(zhuǎn)卡孔52，使得卡柱51卡入法蘭7的槽軌71內(nèi)，則石英管6被牢固地鎖定在法蘭7內(nèi)。可以想到，本實(shí)用新型的PECVD沉積設(shè)備還可以設(shè)置護(hù)套8，護(hù)套8設(shè)置在工藝腔室91內(nèi)，當(dāng)鎖套5與法蘭7相互卡裝之后，再將護(hù)套8套裝在兩者的外部，形成圖3所示的組裝后的石英管。如圖3中所示，鎖套5被套裝在護(hù)套8內(nèi)，則鎖套5外部不會(huì)受到工藝腔室91的影響，即鎖套5的外表面不會(huì)產(chǎn)生氮化硅層，則其外徑不會(huì)發(fā)生變化，也就不會(huì)影響其正常拆卸。請(qǐng)參考圖4和圖5，圖4為本實(shí)用新型所提供石英管在一種具體實(shí)施方式
中的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖4中圓圈部分的局部放大示意圖。本實(shí)用新型的石英管6包括固定端I和中段管3，固定端I設(shè)置在石英管6的兩個(gè)端部，中段管3處于兩個(gè)固定端I之間；固定端I的內(nèi)徑和外徑可以參照現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行設(shè)置，以便兩個(gè)固定端I能夠分別插入PECVD沉積設(shè)備工藝腔室91的兩側(cè)法蘭7內(nèi)(請(qǐng)參照?qǐng)D1-圖3);安裝后，中段管3處于工藝腔室91內(nèi)，且中段管3的外徑要小于固定端I的外徑。本實(shí)用新型的石英管6采用非等徑的結(jié)構(gòu)設(shè)置，將石英管6設(shè)置為管徑不等的固定端I和中段管3，固定端I按照現(xiàn)有的石英管的內(nèi)徑和外徑進(jìn)行設(shè)置，然后通過鎖緊裝置(例如上述的鎖套5)將其安裝在工藝腔室91的兩側(cè)法蘭7內(nèi)；而作為工作部分的中段管3采用小管徑設(shè)置，其外徑要小于固定端I的外徑，則即使中段管3外部覆蓋了一層氮化硅，其外徑也不會(huì)超過鎖緊裝置的內(nèi)徑，也就是說，鎖緊裝置可以沿石英管6的軸向運(yùn)動(dòng)，以便于實(shí)現(xiàn)其與法蘭7的分離，而無需將石英管6打碎。通過上述石英管6的結(jié)構(gòu)改進(jìn)，可以將石英管6完整地拆下，從而實(shí)現(xiàn)石英管6的回收利用；此外，更換石英管6的過程中，省去了打碎石英管6的步驟，使得石英管6的更換更為便捷，也避免了石英管6打碎后產(chǎn)生的安全隱患。具體地，石英管6的固定端I和中段管3之間還可以設(shè)置過渡管2，過渡管2為漸縮管，其外徑由外向內(nèi)漸縮設(shè)置，其漸縮量為固定端I和中段管3的外徑之差值。過渡管2的設(shè)置使得固定端I和中段管3之間的連接更為平穩(wěn)，并且該過渡管2可以與鎖套5的內(nèi)端相互匹配，以有效防止固定端I的外徑沉積氮化硅。進(jìn)一步，固定端I和中段管3的外徑的差值可以設(shè)置在lmnT2mm之間。由于一般情況下，石英管6外部沉積的氮化硅的厚度為lmnT2mm，則當(dāng)中段管3采用上述尺寸的設(shè)置時(shí)，能夠有效地避免對(duì)鎖緊裝置的影響，且不會(huì)影響石英管6內(nèi)銅管的正常安裝，其結(jié)構(gòu)更為合理。下面結(jié)合圖6和圖7，對(duì)本實(shí)用新型的石英管的具體安裝過程進(jìn)行詳細(xì)介紹。請(qǐng)參考圖6和圖7，圖6為圖4所示石英管裝配過程的分解示意圖；圖7為圖6中圓圈部分的局部放大示意圖。
為實(shí)現(xiàn)石英管6與法蘭7的密封，本實(shí)用新型的PECVD沉積設(shè)備通常還設(shè)有密封組件4，密封組件4 一般由兩個(gè)密封卡扣的中空鋁杯組成，且兩個(gè)鋁杯之間具有密封墊片，密封組件4的內(nèi)徑與石英管6的外徑適配設(shè)置；安裝時(shí)，首先將密封組件4套裝在石英管6的固定端1，然后將鎖套5套裝在石英管6的外部，逐漸將鎖套5向固定端I推進(jìn)；當(dāng)鎖套5的卡柱51進(jìn)入法蘭7的槽軌71時(shí)，旋轉(zhuǎn)鎖套5的卡孔52，使得卡柱51卡入槽軌71內(nèi)，則處于石英管6端部的密封組件4受到軸向的擠壓力，進(jìn)而將石英管6鎖緊固定在法蘭7內(nèi)；最后再將護(hù)套8套在鎖套5和法蘭7的外部。接著按照上述的方法完成石英管6另一個(gè)固定端I的安裝，最終形成圖3所示的安裝完石英管6之后的工藝腔室91。此外，本實(shí)用新型的石英管6中，其兩個(gè)固定端I的管徑可以采用相同設(shè)置，也可以根據(jù)工藝腔室91兩側(cè)法蘭7的管徑不同進(jìn)行不同的管徑調(diào)整。顯然，當(dāng)兩個(gè)固定端I的管徑不同時(shí)，中段管3兩端的管徑也可以進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整，設(shè)置為漸縮管。當(dāng)然，中段管3也可以仍然采用直管的結(jié)構(gòu)，其具體的管徑設(shè)置請(qǐng)參照上文中中段管3管徑的相關(guān)描述。以上對(duì)本實(shí)用新型所提供的PECVD沉積設(shè)備及其石英管進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種PECVD沉積設(shè)備的石英管，其特征在于，所述石英管具有分別套裝在工藝腔室兩側(cè)法蘭內(nèi)的兩個(gè)固定端和處于工藝腔室內(nèi)的中段管，兩所述固定端分別設(shè)置在所述石英管的兩個(gè)端部，所述中段管連接在兩所述固定端之間，且其外徑小于各所述固定端的外徑。
2.如權(quán)利要求1所述的石英管，其特征在于，兩所述固定端的外徑相等，所述中段管的外徑比所述固定端的外徑小lmnT2mm。
3.如權(quán)利要求1或2所述的石英管，其特征在于，各所述固定端與所述中段管之間還具有過渡管，所述過渡管的外徑由所述固定端向所述中段管的方向漸縮設(shè)置。
4.一種PECVD沉積設(shè)備，包括具有工藝腔室的殼體和設(shè)于所述工藝腔室內(nèi)的石英管， 其特征在于，所述石英管為上述I至3任一項(xiàng)所述的石英管。
5.如權(quán)利要求4所述的PECVD沉積設(shè)備，其特征在于，所述工藝腔室內(nèi)還具有護(hù)套， 所述固定端的外部套裝有鎖套，所述鎖套與所述工藝腔室的法蘭卡裝后均套裝在所述護(hù)套內(nèi)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種PECVD沉積設(shè)備及其石英管，該石英管的安裝和更換均較為方便，且回收利用率較高。本實(shí)用新型的石英管具有分別套裝在工藝腔室兩側(cè)法蘭內(nèi)的兩個(gè)固定端和處于工藝腔室內(nèi)的中段管，兩所述固定端分別設(shè)置在所述石英管的兩個(gè)端部，所述中段管連接在兩所述固定端之間，且其外徑小于各所述固定端的外徑。作為工作部分的中段管采用小管徑設(shè)置，即使中段管外部覆蓋了一層氮化硅，其外徑也不會(huì)超過鎖緊裝置的內(nèi)徑，鎖緊裝置可以沿石英管的軸向運(yùn)動(dòng)而與法蘭分離，無需將石英管打碎，則拆卸的完整的石英管可以重新回收利用。此外，省去了打碎石英管的步驟之后，石英管的更換更為便捷，也避免了石英管打碎后產(chǎn)生的安全隱患。
文檔編號(hào)C23C16/44GK202881382SQ201220565589
公開日2013年4月17日 申請(qǐng)日期2012年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月30日
發(fā)明者孫雙慶, 焦子寧, 李瞳, 張文輝 申請(qǐng)人:英利能源(中國)有限公司