專利名稱：一種用于真空鍍膜設備的觀察窗的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種機械制造領(lǐng)域的機械結(jié)構(gòu)，尤其是適用于一種用于真空鍍膜設備的觀察窗。
背景技術(shù)：
在真空鍍膜時，需要通過觀察窗觀察電子槍蒸發(fā)源溫度分布情況。電子槍的掃描強度不同，需要有不同的透光率。鍍膜時，蒸發(fā)源材料也會沉積在觀察窗上，隨著沉積層加厚，透光率減小，因此必須定期更換觀察窗，這樣成本較高且影響了正常生產(chǎn)。
發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)中鍍膜時觀察窗的透光率會減小的問題，本實用新型提供一種用于真空鍍膜設備的觀察窗。本實用新型采用的技術(shù)方案是一種用于真空鍍膜設備的觀察窗，包括觀察窗主體和設在所述觀察窗主體上的觀察孔，所述觀察孔內(nèi)設有透光玻璃，其特征在于還包括調(diào)光玻璃、保護膜和主動軸，所述觀察窗本體上設有安裝所述主動軸的孔，所述主動軸穿過所述孔與所述觀察窗主體密封連接；所述調(diào)光玻璃設置在所述透光玻璃的外側(cè)即所述透光玻璃背離真空鍍膜機腔體的一側(cè)，所述保護膜設置在所述透光玻璃的內(nèi)側(cè)即所述透光玻璃靠近真空鍍膜機腔體的一側(cè)。在透光玻璃的外側(cè)設置調(diào)光玻璃，操作人員根據(jù)真空腔體內(nèi)電子槍掃描的強度不同，調(diào)整調(diào)光玻璃選擇不同的透光率，使操作人員既能看清電子槍掃描狀態(tài)，又不會因光線太亮而損壞操作人員的視力；擋在透光玻璃內(nèi)側(cè)的保護膜可以保護透光玻璃，避免真空腔體內(nèi)的蒸發(fā)材料沉積到透光玻璃上，當保護膜使用一段時間被沉積上一層蒸發(fā)材料后，操作人員通過主動軸將保護膜卷繞一段，進行保護膜更新。進一步，所述透光玻璃的內(nèi)側(cè)設有隔離板和固定片，所述隔離板與所述觀察窗主體固定連接并在所述透光玻璃的內(nèi)側(cè)形成隔離腔，所述固定片與所述隔離板固定連接，在所述隔離板、所述固定片與所述觀察孔相吻合的位置設有通孔。在透光玻璃內(nèi)側(cè)設置隔離板和固定片，可以將真空腔體與透光玻璃隔開，防止透光玻璃受到蒸發(fā)物污染。進一步，所述固定片與所述隔離板相接的一側(cè)設有用于固定所述保護膜的槽；所述保護膜的一端卷繞并活動連接在所述固定片上，所述保護膜的另一端穿過所述槽卷繞在所述主動軸上。在隔離板與固定片之間設置固定保護膜的槽，可以使保護膜緊貼隔離板上的孔，更好地保護透光玻璃。進一步，所述觀察窗主體的內(nèi)側(cè)設有可以保證保護膜順利進入槽而不被損壞的緊貼所述隔離板的彈簧。在保護膜進入槽前就通過彈簧使之與隔離板緊貼，可以保證保護膜順利進入槽而不被損壞。進一步，所述調(diào)光玻璃通過固定架和螺釘固定在所述觀察窗本體的外側(cè)。進一步，所述調(diào)光玻璃和所述固定架之間設有壓緊環(huán)。[0011]進一步，所述觀察窗本體的外側(cè)設置有用于透光調(diào)整的第一旋鈕和用于卷繞所述保護膜的第二旋鈕，所述第二旋鈕與所述主動軸相連，可使所述保護膜橫向移動。本實用新型鍍膜時，蒸發(fā)材料沉積在所述保護膜上，當保護膜的透光度差到不能看清電子槍內(nèi)的蒸發(fā)源溫度時，通過第二旋鈕旋轉(zhuǎn)主動軸拉動保護膜，一段沒有沉積物的保護膜覆蓋在透光玻璃上。本實用新型的有益效果體現(xiàn)在能方便地調(diào)整透光率，對透光玻璃具有保護功能;保護膜的調(diào)整及透光度的調(diào)整隨時可以進行，保證了鍍膜的順利進行；采用保護膜可以大大延長觀察窗的維護周期，并節(jié)約費用。

圖I是本實用新型觀察窗外側(cè)整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實用新型觀察窗內(nèi)側(cè)整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
參照圖I和圖2，一種用于真空鍍膜設備的觀察窗，包括觀察窗主體I和設在所述觀察窗主體I上的觀察孔2，所述觀察孔2內(nèi)設有透光玻璃3，還包括調(diào)光玻璃5、保護膜11和主動軸4，所述觀察窗本體I上設有安裝所述主動軸4的孔，所述主動軸4穿過所述孔與所述觀察窗主體I密封連接；所述調(diào)光玻璃5設置在所述透光玻璃3的外側(cè)即所述透光玻璃背離真空鍍膜機腔體的一側(cè)，所述保護膜11設置在所述透光玻璃3的內(nèi)側(cè)即所述透光玻璃靠近真空鍍膜機腔體的一側(cè)。進一步，所述透光玻璃3的內(nèi)側(cè)設有隔離板12和固定片13，所述隔離板12與所述觀察窗主體I固定連接并在所述透光玻璃3的內(nèi)側(cè)形成隔離腔，所述固定片13與所述隔離板12固定連接，在所述隔離板12、所述固定片13與所述觀察孔2相吻合的位置設有通孔。進一步，所述固定片13與所述隔離板12相接的一側(cè)設有用于固定所述保護膜11的槽15 ;所述保護膜11的一端卷繞并活動連接在所述固定片13上，所述保護膜11的另一端穿過所述槽15卷繞在所述主動軸4上。進一步，所述調(diào)光玻璃5通過固定架6和螺釘8固定在所述觀察窗本體I的外側(cè)。進一步，所述觀察窗主體I的內(nèi)側(cè)設有可以保證保護膜11順利進入槽15而不被損壞的緊貼所述隔離板12的彈簧14。進一步，所述調(diào)光玻璃5和所述固定架6之間設有壓緊環(huán)7。進一步，所述觀察窗本體I的外側(cè)設置有用于透光調(diào)整的第一旋鈕9和用于卷繞所述保護膜11的第二旋鈕10，所述第二旋鈕10與所述主動軸4相連，可使所述保護膜11橫向移動。本實用新型鍍膜時，蒸發(fā)材料沉積在所述保護膜11上，當保護膜11的透光度差到不能看清電子槍內(nèi)的蒸發(fā)源溫度時，通過第二旋鈕10旋轉(zhuǎn)主動軸4拉動保護膜，一段沒有沉積物的保護膜覆蓋在透光玻璃5上。本說明書實施例所述的內(nèi)容僅僅是對發(fā)明構(gòu)思的實現(xiàn)形式的列舉，本實用新型的保護范圍的不應當被視為僅限于實施例所陳述的具體形式，本實用新型的保護范圍也及于本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思所能夠想到的等同技術(shù)手段。
權(quán)利要求1.一種用于真空鍍膜設備的觀察窗，包括觀察窗主體和設在所述觀察窗主體上的觀察孔，所述觀察孔內(nèi)設有透光玻璃，其特征在于還包括調(diào)光玻璃、保護膜和主動軸，所述觀察窗本體上設有安裝所述主動軸的孔，所述主動軸穿過所述孔與所述觀察窗主體密封連接；所述調(diào)光玻璃設置在所述透光玻璃的外側(cè)即所述透光玻璃背離真空鍍膜機腔體的一側(cè)，所述保護膜設置在所述透光玻璃的內(nèi)側(cè)即所述透光玻璃靠近真空鍍膜機腔體的一側(cè)。
2.如權(quán)利要求I所述的一種用于真空鍍膜設備的觀察窗，其特征在于所述透光玻璃的內(nèi)側(cè)設有隔離板和固定片，所述隔離板與所述觀察窗主體固定連接并在所述透光玻璃的內(nèi)側(cè)形成隔離腔，所述固定片與所述隔離板固定連接，在所述隔離板、所述固定片與所述觀察孔相吻合的位置設有通孔。
3.如權(quán)利要求2所述的一種用于真空鍍膜設備的觀察窗，其特征在于所述固定片與所述隔離板相接的一側(cè)設有用于固定所述保護膜的槽；所述保護膜的一端卷繞并活動連接在所述固定片上，所述保護膜的另一端穿過所述槽卷繞在所述主動軸上。
4.如權(quán)利要求3所述的一種用于真空鍍膜設備的觀察窗，其特征在于所述觀察窗主體的內(nèi)側(cè)設有可以保證保護膜順利進入槽而不被損壞的緊貼所述隔離板的彈簧。
5.如權(quán)利要求I或2或3或4所述的一種用于真空鍍膜設備的觀察窗，其特征在于所述調(diào)光玻璃通過固定架和螺釘固定在所述觀察窗本體的外側(cè)。
6.如權(quán)利要求5所述的一種用于真空鍍膜設備的觀察窗，其特征在于所述調(diào)光玻璃和所述固定架之間設有壓緊環(huán)。
7.如權(quán)利要求6所述的一種用于真空鍍膜設備的觀察窗，其特征在于所述觀察窗本體的外側(cè)設置有用于透光調(diào)整的第一旋鈕和用于卷繞所述保護膜的第二旋鈕，所述第二旋鈕與所述主動軸相連，可使所述保護膜橫向移動。
專利摘要本實用新型公開了一種用于真空鍍膜設備的觀察窗，包括觀察窗主體和設在所述觀察窗主體上的觀察孔，所述觀察孔內(nèi)設有透光玻璃，還包括調(diào)光玻璃、保護膜和主動軸，所述觀察窗本體上設有安裝所述主動軸的孔，所述主動軸穿過所述孔與所述觀察窗主體密封連接；所述調(diào)光玻璃設置在所述透光玻璃的外側(cè)即所述透光玻璃背離真空鍍膜機腔體的一側(cè)，所述保護膜設置在所述透光玻璃的內(nèi)側(cè)即所述透光玻璃靠近真空鍍膜機腔體的一側(cè)。本實用新型中保護膜的調(diào)整及透光度的調(diào)整隨時可以進行，保證了鍍膜的順利進行；采用保護膜可以大大延長觀察窗的維護周期，并節(jié)約費用。
文檔編號C23C14/52GK202744624SQ20122027553
公開日2013年2月20日 申請日期2012年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月8日
發(fā)明者陳虹飛, 陳軍, 劉黎明, 關(guān)永卿, 洪婧, 田俊杰, 汪文忠, 鄧鳳林, 鄭棟, 將衛(wèi)金, 趙山泉 申請人:杭州大和熱磁電子有限公司