金屬板的制造方法、金屬發(fā)熱體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明得到一種金屬板的制造方法以及金屬發(fā)熱體，其可以在通過濕蝕刻成型具有突起的金屬板的情況下，使突起的產(chǎn)品形狀接近設(shè)計值。切口（72）的前端部（72A）的抗蝕劑偏移量，基于前端部（72A）的曲率半徑，設(shè)為比直線部（72B）的抗蝕劑偏移量小。由此，可以使通過濕蝕刻而形成的切口（72）的產(chǎn)品形狀接近設(shè)計值。
【專利說明】金屬板的制造方法、金屬發(fā)熱體
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及金屬板的制造方法及金屬發(fā)熱體。
【背景技術(shù)】
[0002]在專利文獻(xiàn)I中記載了下述技術(shù)，即，在金屬材料表面形成抗蝕圖案后，使該抗蝕圖案成為掩膜，對金屬材料進(jìn)行蝕刻，制造蝕刻產(chǎn)品，在這種蝕刻處理方法中，在抗蝕圖案附近的規(guī)定位置配置控制抗蝕劑，進(jìn)行蝕刻。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開平09 - 128430號公報
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明的課題，是在通過濕蝕刻成型具有圓弧狀形狀的金屬板的情況下，得到與設(shè)計值相同的產(chǎn)品形狀。
[0005]本發(fā)明的技術(shù)方案I所涉及的金屬板的制造方法的特征在于，具有下述工序:抗蝕劑形成工序，在該工序中，在為了從金屬板的板面對所述金屬板進(jìn)行濕蝕刻而形成前端部為圓弧狀且具有從所述前端部直至基端側(cè)以直線狀延伸的直線部的切口，而在所述金屬板的板面上形成包覆所述切口的抗蝕劑以使所述切口不會因濕蝕刻而被侵蝕時，基于前端部的曲率半徑，在所述金屬板的板面上形成所述抗蝕劑，以使得所述前端部處的所述抗蝕劑的緣部和所述前端部之間的抗蝕劑偏移量，比所述直線部處的所述抗蝕劑的緣部和所述直線部之間的抗蝕劑偏移量??；以及蝕刻工序，在該工序中，使蝕刻液作用在通過所述抗蝕劑形成工序形成有所述抗蝕劑的所述金屬板上，對所述金屬板進(jìn)行蝕刻。
[0006]本發(fā)明的技術(shù)方案2所涉及的金屬板的制造方法的特征在于，具有下述工序:抗蝕劑形成工序，在該工序中，在`為了從金屬板的板面對所述金屬板進(jìn)行濕蝕刻而形成圓弧狀的突起、和相對于所述突起向內(nèi)側(cè)偏離相同的量而構(gòu)成且由圓弧狀的前端部及從所述前端部直至基端側(cè)位置以直線狀延伸的直線部構(gòu)成的切口，而在所述金屬板的板面上形成包覆所述切口及所述突起的抗蝕劑以使得所述突起及所述切口不會因濕蝕刻而被侵蝕時，基于前端部的曲率半徑及圓弧部的曲率半徑中的至少一個，在所述金屬板的板面上形成所述抗蝕劑，以使得所述前端部處的所述抗蝕劑的緣部和所述前端部之間的抗蝕劑偏移量，比所述直線部處的所述抗蝕劑的緣部和所述直線部之間的抗蝕劑偏移量小，且使得所述突起處的圓弧狀的圓弧部的所述抗蝕劑的緣部和所述圓弧部之間的抗蝕劑偏移量，比所述直線部處的所述抗蝕劑的緣部和所述直線部之間的抗蝕劑偏移量大；以及蝕刻工序，在該工序中，使蝕刻液作用在通過所述抗蝕劑形成工序形成有所述抗蝕劑的所述金屬板上，對所述金屬板進(jìn)行蝕刻。
[0007]本發(fā)明的技術(shù)方案3所涉及的金屬板的制造方法的特征在于，具有下述工序:抗蝕劑形成工序，在該工序中，在為了從金屬板的板面對所述金屬板進(jìn)行蝕刻而形成圓弧狀的突起和相對于所述突起向內(nèi)側(cè)偏離相同的量而構(gòu)成的圓弧狀的切口，而在所述金屬板的板面上形成包覆所述切口及所述突起的抗蝕劑以使得所述突起及所述切口不會因濕蝕刻而被侵蝕時，基于所述切口的曲率半徑及所述突起的曲率半徑中的至少一方，在所述金屬板的板面上形成所述抗蝕劑，以使得所述切口處的所述抗蝕劑的緣部和所述切口之間的抗蝕劑偏移量，比所述突起處的所述抗蝕劑的緣部和所述突起之間的抗蝕劑偏移量?。灰约拔g刻工序，在該工序中，使蝕刻液作用在通過所述抗蝕劑形成工序形成有所述抗蝕劑的所述金屬板上，對所述金屬板進(jìn)行蝕刻。
[0008]本發(fā)明的技術(shù)方案4所涉及的金屬發(fā)熱體的特征在于，其具有圓弧形狀，使用技術(shù)方案I至3中任一項(xiàng)記載的金屬板的制造方法制造。
[0009]發(fā)明的效果
[0010]根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案I的金屬板的制造方法，與圓弧狀的前端部的抗蝕劑偏移量和直線部的抗蝕劑偏移量相同的情況相比，在通過濕蝕刻成型具有圓弧狀的形狀的金屬板的情況下，可以得到與設(shè)計值相同的產(chǎn)品形狀。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案2的金屬板的制造方法，與圓弧狀的前端部的抗蝕劑偏移量、直線部的抗蝕劑偏移量、和圓弧狀的突起部的抗蝕劑偏移量相同的情況相比，在通過濕蝕刻成型具有圓弧狀的形狀的金屬板的情況下，可以得到與設(shè)計值相同的產(chǎn)品形狀。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案3的金屬板的制造方法，與圓弧狀的前端部的抗蝕劑偏移量、和圓弧狀的突起部的抗蝕劑偏移量相同的情況相比，在通過濕蝕刻成型具有圓弧狀的形狀的金屬板的情況下，可以得到與設(shè)計值相同的產(chǎn)品形狀。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案4的金屬發(fā)熱體，與利用除了技術(shù)方案I至3中任一項(xiàng)記載的金屬板的制造方法以外的制造方法制造的金屬發(fā)熱體相比，可以改善發(fā)熱均勻性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1 (A)、(B)是表`示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的制造方法中使用的蛇行圖案、產(chǎn)品形狀的說明圖。
[0015]圖2 (A)、(B)是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的對比方式所涉及的金屬發(fā)熱體的制造方法中使用的蛇行圖案、產(chǎn)品形狀的說明圖。
[0016]圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的斜視圖。
[0017]圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的俯視圖。
[0018]圖5是用曲線表示在本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的制造方法中，確定抗蝕劑偏移量時使用的模擬的結(jié)果的圖。
[0019]圖6是用曲線表示在本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的制造方法中，確定抗蝕劑偏移量時使用的模擬的結(jié)果的圖。
[0020]圖7 (A)、(B)、(C)、(D)、(E)、(F)是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的制造方法的各工序的說明圖。
[0021]圖8 (A)、(B)、(C)是在本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的制造方法中，用于確定抗蝕劑偏移量的說明所使用的示意圖。
[0022]圖9是表示使用本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的定影裝置的側(cè)視圖。
[0023]圖10 (A)、(B)是表示使用本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的定影裝置的定影帶的斜視圖及主視圖。
[0024]圖11是使用本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的圖像形成裝置。[0025]圖12 (A)、(B)是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的變形例的俯視圖及放大俯視圖。
[0026]圖13 (A)、(B)是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的變形例的俯視圖及放大俯視圖。
[0027]標(biāo)號的說明
[0028]64金屬發(fā)熱體
[0029]70 突起
[0030]70A圓弧部
[0031]70B直線部
[0032]72 切口
[0033]72A前端部
[0034]72B直線部
[0035]88金屬發(fā)熱體
[0036]90 突起
[0037]92 切口
[0038]92A前端部
[0039]92B直線部
[0040]98金屬發(fā)熱體
[0041]100 突起
[0042]100A 圓弧部
[0043]102 切口
[0044]102A 前端部
[0045]150板材(金屬板的一個例子)
[0046]152光致抗蝕劑(抗蝕劑)
【具體實(shí)施方式】
[0047]按照圖1至圖3，對本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的金屬板的制造方法及金屬發(fā)熱體的一個例子進(jìn)行說明。首先，對具有通過本實(shí)施方式所涉及的金屬板的制造方法制造的金屬發(fā)熱體的圖像形成裝置進(jìn)行說明。另外，圖中所示的箭頭UP表示鉛垂方向的上方。
[0048](圖像形成裝置)
[0049]〔圖像形成部〕
[0050]如圖11所示，圖像形成裝置10具有:像保持體12 ;帶電部件14，其使像保持體12的表面帶電；曝光裝置16，其基于圖像數(shù)據(jù)，向帶電的像保持體12的表面照射激光，形成靜電潛像；顯像裝置18，其將該靜電潛像作為調(diào)色劑圖像而可視化；轉(zhuǎn)印輥22 ;其向沿輸送路徑20供給的作為記錄介質(zhì)的紙張部件P轉(zhuǎn)印像保持體12表面的調(diào)色劑圖像；定影裝置24，其對轉(zhuǎn)印的調(diào)色劑圖像進(jìn)行加熱、加壓而定影在紙張部件P上；以及清潔裝置26，其對殘留在進(jìn)行調(diào)色劑圖像轉(zhuǎn)印后的像保持體12上的調(diào)色劑進(jìn)行清潔。
[0051]另外，圖像形成裝置10由主體側(cè)面蓋IOB及頂板IOA包覆。并且，在主體側(cè)面蓋IOB的上端角部分具有軸10C，其使頂板IOA可旋轉(zhuǎn)地與主體側(cè)面蓋IOB連結(jié)。由此，通過使頂板IOA以軸IOC為中心沿箭頭A方向旋轉(zhuǎn)，從而將圖像形成裝置10的內(nèi)部打開。另外，關(guān)于定影裝置如后詳述。
[0052]〔手動供紙部〕
[0053]另外，在該圖像形成裝置10的側(cè)方具有手動供紙臺32，其可以手動地向由像保持體12和轉(zhuǎn)印輥22形成的圖像轉(zhuǎn)印部31供給紙張部件P。在該手動供紙臺32上設(shè)有半月形狀的送出輥34。并且，在隔著紙張部件P而與送出輥34相對側(cè)設(shè)有分離輥36，其將從手動供紙臺32送出的紙張部件P —張一張地分離。
[0054]該分離輥36軸支撐在設(shè)置于兩端部的未圖示的支撐部件上，通過設(shè)置在支撐部件內(nèi)部的螺旋彈簧的預(yù)緊力向送出輥34預(yù)緊。通過該結(jié)構(gòu)，如果送出輥34旋轉(zhuǎn)，則載置于手動供紙臺32上的紙張部件P由送出輥34和分離輥36 —張一張地向圖像轉(zhuǎn)印部31輸送。
[0055]〔供紙部〕
[0056]在圖像形成裝置10內(nèi)的下側(cè)設(shè)有供紙裝置40，其將紙張部件P —張一張地向圖像轉(zhuǎn)印部31供給。供紙裝置40具有載置多張紙張部件P的供紙部件41，堆置在供紙部件41上的紙張部件P，通過取出輥42依次取出。并且，通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的供紙輥44和設(shè)置在供紙部件41上的分離輥46，一張一張地輸送紙張部件P。
[0057]〔其他〕
[0058]并且，配置有多個輸送輥48，其沿紙張部件P的輸送路徑20輸送紙張部件P，沿輸送路徑20向紙張部件P的輸送方向的下游側(cè)(以下簡記為“輸送方向下游側(cè)”)輸送紙張部件P。
[0059]另外，在圖像轉(zhuǎn)印部31的輸送方向下游側(cè)具有排出輥38，該排出輥38將通過定影裝置24進(jìn)行調(diào)色劑圖像定影后的紙張部件P排出至頂蓋IOA的上表面。
[0060](圖像形成裝置的作用)
[0061]在上述結(jié)構(gòu)的圖像形成裝置10中，按照下述方式形成圖像。
[0062]首先，施加有電壓的帶電部件14使像保持體12的表面同樣地帶電。然后，基于由未圖示的掃描設(shè)備讀取的圖像數(shù)據(jù)或從外部輸入的圖像數(shù)據(jù)，曝光裝置16使帶電的像保持體12的表面曝光，在像保持體12的表面形成靜電潛像。該靜電潛像利用從顯像裝置18供給的調(diào)色劑作為調(diào)色劑圖像而可視化。
[0063]由此，由取出輥42從供紙部件41取出的紙張部件P或手動從手動供紙臺32供給的紙張部件P，向輸送路徑20輸出。向輸送路徑20輸出的紙張部件P，通過在像保持體12和轉(zhuǎn)印棍22之間形成的圖像轉(zhuǎn)印部31，將調(diào)色劑圖像轉(zhuǎn)印到紙張部件P上。該轉(zhuǎn)印的調(diào)色劑圖像通過定影裝置24而定影在紙張部件P上，紙張部件P通過排出輥38排出至頂蓋IOA的上表面。
[0064](定影裝置)
[0065]下面，對于定影裝置24進(jìn)行說明。
[0066]如圖9所示，定影裝置24具有:筒狀的定影帶50，其具有通過在施加磁場時產(chǎn)生的渦電流而發(fā)熱的發(fā)熱層(省略圖示);按壓輥52，在其與定影帶50之間輸送紙張部件P，并且將紙張部件P向定影帶50按壓；加壓墊54,其將定影帶50從定影帶50的內(nèi)周面朝向按壓輥52按壓；以及電磁感應(yīng)方式的發(fā)熱裝置56，其通過流動交流電流而向定影帶50的發(fā)熱層施加磁場。[0067]在定影帶50的一端部，如圖10 (A) (B)所示，安裝有使定影帶50在定影帶50的周方向旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動齒輪58。
[0068]并且，在驅(qū)動齒輪58的定影帶50側(cè)，以與定影帶50的內(nèi)周面面接觸的方式一體地形成有凸緣部件59。該凸緣部件59的外周面和定影帶50的內(nèi)周面通過粘接劑等固定。并且，從未圖示的電動機(jī)受到旋轉(zhuǎn)力而旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動齒輪58，經(jīng)由該凸緣部件59向定影帶50傳遞旋轉(zhuǎn)力。
[0069]另外，如圖9所示，在隔著定影帶50而與按壓輥52相對一側(cè)，配置有與定影帶50的一部分相對的所述的發(fā)熱裝置56。發(fā)熱裝置56具有電磁感應(yīng)線圈(勵磁線圈)56A，使通過向電磁感應(yīng)線圈56A施加交流電流而產(chǎn)生的磁場在勵磁電路中變化,使定影帶50的發(fā)熱層產(chǎn)生渦電流。該渦電流由于發(fā)熱層的電阻而變換為熱(焦耳熱)，從而使定影帶50中的與發(fā)熱裝置56相對的部分發(fā)熱。即，在該方式中，在周方向上與電磁感應(yīng)線圈56A相對的定影帶50的一部分發(fā)熱。并且，在由定影裝置24輸送紙張部件P之前，預(yù)先使定影帶50旋轉(zhuǎn)，以使定影帶50的整體達(dá)到用于使調(diào)色劑圖像定影在紙張部件P上的定影溫度。
[0070]并且，以與通過發(fā)熱裝置56發(fā)熱部分的定影帶50的內(nèi)周面相對的方式，配置對定影帶50進(jìn)行加熱的圓弧狀的發(fā)熱部件60 (輔助加熱器)。
[0071]通過使該發(fā)熱部件60發(fā)熱而對定影帶50進(jìn)行加熱，從而與不具有發(fā)熱部件60的情況相比，可使定影帶50在短時間內(nèi)到達(dá)定影溫度。
[0072](要部方法)
[0073]下面，對發(fā)熱部件60進(jìn)行說明。
[0074]如圖3、圖4所示，發(fā)熱部件60具有:一對絕緣薄膜62，其向一個方向(圖中箭頭B方向)延伸，由聚酰亞胺樹脂成型；以及金屬發(fā)熱體64，其由該一對絕緣薄膜62夾持。并且，各個絕緣薄膜62的膜厚 為50 [ μ m]。
[0075]另外，在各圖中，為了易于理解發(fā)熱部件60的結(jié)構(gòu)，記載為成型為圓弧狀之前的平板狀的發(fā)熱部件60。在后面的說明中，也以發(fā)熱部件60為平板狀進(jìn)行說明。
[0076]另外，在將發(fā)熱部件60向定影裝置24上配置時，以使所述的一個方向成為裝置里側(cè)方向(圖9的紙面里側(cè)方向)的方式，將發(fā)熱裝置60配置在定影裝置24上。
[0077]〔金屬發(fā)熱體〕
[0078]下面，對金屬發(fā)熱體64進(jìn)行說明。
[0079]金屬發(fā)熱體64，使用厚度50μπι的SUS304(不銹鋼鋼板)形成。并且，如圖3所示，該金屬發(fā)熱體64具有:蛇行部位66,其向一個方向形成S形；以及電壓施加部位68,其形成在蛇形部位66的兩端側(cè)，向一個方向延伸，并且向絕緣薄膜62 (例如，聚酰亞胺制薄膜)的外部露出。通過利用未圖示的電壓施加部件向該電壓施加部件68施加電壓，從而使金屬發(fā)熱體64發(fā)熱。
[0080]如圖1 (B)所示，蛇行部位66具有:凸?fàn)畹耐黄?0 ;以及切口 72，其相對于突起70向內(nèi)側(cè)偏離相同的量(偏移量為相同量:在本實(shí)施例中為70[μπι])而構(gòu)成。并且，以由該切口 72包圍的方式形成切口區(qū)域73。
[0081]并且，切口 72具有:圓弧狀的前端部72Α ;以及一對直線部72Β，其從該前端部72Α直至基端側(cè)(圖中下側(cè))以直線狀延伸。
[0082]并且，該前端部72Α的內(nèi)徑(圖中所示的Rl)為80[μ m]，一對直線部72B向與所述的一個方向(圖中箭頭B方向)正交的正交方向(圖中箭頭C方向)延伸。
[0083]〔金屬發(fā)熱體的制造方法〕
[0084]下面，作為金屬板的制造方法的一個例子，對金屬發(fā)熱體的制造方法進(jìn)行說明。
[0085]如圖7 (A) (B)所示，首先，在抗蝕劑涂敷工序中，在厚度50[μ m]的SUS304的板材150 (金屬板的一個例子)的兩個表面，以厚度1[μπι]涂敷正性光致抗蝕劑152。
[0086]然后，如圖7 (C)所示，在曝光工序中，使形成有蝕刻圖案的膠片底板154緊貼在涂敷有光致抗蝕劑152的板材150上并固定。并且，向膠片底板154進(jìn)行曝光，將蛇行圖案160 (參照圖1 (A))光致抗蝕劑152燒入。另外，關(guān)于蛇行圖案160如后詳述。
[0087]然后，如圖7 (D)所示，在顯像工序中，使用顯像液對在光致抗蝕劑152上曝光轉(zhuǎn)印蛇行圖案160的板材150進(jìn)行顯像處理。由此，已曝光的區(qū)域的光致抗蝕劑152溶解在顯像液中，光致抗蝕劑152以S形的方式形成。
[0088]然后，如圖7(E)所示，在蝕刻工序中，將板材150浸潰在蝕刻液(在本實(shí)施方式中，作為一個例子為氯化亞鐵溶液)中，或向板材150噴灑(噴淋)蝕刻液,從而對通過顯像而露出的板材150的露出部分進(jìn)行蝕刻。
[0089]然后，如圖7 (F)所示，在抗蝕劑剝離工序中，利用氫氧化鈉溶液，將涂敷在板材150上的光致抗蝕劑152去除。由此，制造金屬發(fā)熱體64。
[0090]〔蛇行圖案〕
[0091]下面，對于向光致抗蝕劑152燒入的蛇行圖案160進(jìn)行說明。
`[0092]在圖1中，示出蛇行圖案160的彎曲部位。用于通過濕蝕刻形成由圖1 (A)的雙點(diǎn)劃線示出的突起70及切口 72的蛇行圖案160 (蝕刻圖案)，必須向切口 72的緣部的內(nèi)側(cè)偏移，并向突起70的緣部的外側(cè)偏移。由此，蛇行圖案160具有:內(nèi)側(cè)蛇行圖案160Α，其與切口 72的緣部相比向內(nèi)側(cè)偏移；以及外側(cè)蛇行圖案160Β，其與突起70的緣部相比向外側(cè)偏移(圖中實(shí)線)。
[0093]在蝕刻工序中蝕刻液侵入蛇行圖案160的里面，對板材150進(jìn)行蝕刻(所謂側(cè)面蝕刻法)。由此，切口 72相對于內(nèi)側(cè)蛇行圖案160Α形成得較大，另外，突起70相對于外側(cè)蛇行圖案160Β形成得較小。另外，將光致抗蝕劑相對于設(shè)計上的產(chǎn)品的緣部(圖1 (A)所示的雙點(diǎn)劃線)偏移的量稱為抗蝕劑偏移量。
[0094]并且，在本實(shí)施方式中，切口 72中的前端部72Α的抗蝕劑偏移量(圖中E尺寸)，與直線部72Β的抗蝕劑偏移量(圖中F尺寸)不同，基于前端部72Α的曲率半徑，設(shè)為比直線部72Β的抗蝕劑偏移量小。其原因在于，側(cè)面蝕刻一邊向周圍擴(kuò)散一邊侵入(進(jìn)行)，因此，在前端部72Α中，側(cè)面蝕刻的侵入量與直線部72Β相比較少。
[0095]即，如圖2 (A)所示，如果使抗蝕劑偏移量在前端部72Α和直線部72Β處為相同的量(距離)，則如圖2 (B)所示，在蝕刻工序后得到的前端部的切口量(實(shí)線)，將比設(shè)計上的前端部的切口量(虛線)小。
[0096]另一方面，如圖1 (A)所示，突起70中的圓弧狀的圓弧部70Α的抗蝕劑偏移量(圖中G尺寸)與突起70中的直線狀的直線部70Β的抗蝕劑偏移量(圖中H尺寸)不同，基于圓弧部70Α的曲率半徑，其比直線部70Β的抗蝕劑偏移量大。
[0097]其原因在于，由于側(cè)面蝕刻從周圍侵入，因此在圓弧部70Α處，側(cè)面蝕刻的侵入量與直線部70Β相比較多。[0098]即，如圖2 (A)所示，如果使抗蝕劑偏移量在圓弧部70A和直線部70B處成為相同的量(距離)，則如圖2 (B)所示，在蝕刻工序后得到的圓弧部的突出量(實(shí)線)比設(shè)計上的前端部的突出量(虛線)小。
[0099]另外，如圖1 (A)所示，突起70的直線部70B的抗蝕劑偏移量(圖中H尺寸)、和所述切口 72的直線部72B的抗蝕劑偏移量(圖中F尺寸)，對于側(cè)面蝕刻的侵入來說為相同的條件，因此成為相同的量。
[0100]在這里，對于側(cè)面蝕刻的侵入量不同的理由具體地進(jìn)行說明。
[0101]圖8中用實(shí)線表示產(chǎn)品形狀，用雙點(diǎn)劃線表示光致抗蝕劑。將光致抗蝕劑的緣部的線長設(shè)為總長L，在對直線部(參照圖8 (A))進(jìn)行成型的情況、對凹圓角部(參照圖8 (B))進(jìn)行成型的情況、對凸圓角部(參照圖8 (C))進(jìn)行成型的情況下，側(cè)面蝕刻的侵入量會產(chǎn)生差異。其原因在于，通過蝕刻而侵蝕母材的量(各圖中示出的斜線面積S)相同。
[0102]如上所述，由于母材的侵蝕量(各圖所示的斜線面積S)相同，因此，凹圓角部中的側(cè)面蝕刻的侵入量(圖8 (B)的尺寸Q)，與直線部中的側(cè)面蝕刻的侵入量(圖8 (A)的尺寸P)相比較小。
[0103]另一方面，凸圓角部中的側(cè)面蝕刻的侵入量(圖8 (C)的尺寸R)，與直線部中的側(cè)面蝕刻的侵入量(圖8 (A)的尺寸P)相比較大。
[0104]然后，對確定切口 72的前端部72A的抗蝕劑偏移量、及突起70的圓弧部70A的抗蝕劑偏移量的順序進(jìn)行說明。
[0105]首先，對圖6所示的曲線進(jìn)行說明。在圖6中，模擬切口 72的前端部72A的曲率半徑和在前端位置(切入最多的位`置)處的未達(dá)到量之間的關(guān)系，將該結(jié)果以曲線示出。
[0106]圖6所示的曲線的橫軸表示切口 72的前端部72A的曲率半徑[μ m],縱軸表示在板厚50 [μ m]的SUS304的板材的情況下、側(cè)面蝕刻沒有到達(dá)產(chǎn)品端部的未到達(dá)量[μ m]。
[0107]具體地說，在抗蝕劑偏移量為35 [ μ m]的情況下,表不相對于該35 [ μ m],前端部72A處的未到達(dá)量[μπι]。即，未到達(dá)量10[μπι]情況下的側(cè)面蝕刻的侵入量為，從抗蝕劑偏移量35 [μ m]中減去未達(dá)到量10 [μ m]，為25 [μ m]。根據(jù)該曲線可知，前端部72A的曲率半徑[ym]越小，未達(dá)到量越大。
[0108]在本實(shí)施例中，將直線部72B的抗蝕劑偏移量設(shè)為35[ μ m]。對于前端部72A，由于曲率半徑為80[μπι]，因此，根據(jù)圖6，未達(dá)到量為12.1[μπι]。由此，在前端位置(圖1 (A)所示的位置Y)處，前端部72Α的抗蝕劑偏移量成為22.9[ μ m] (35 — 12.1)。
[0109]下面，對圖5所示的曲線進(jìn)行說明。對突起70的圓弧部70A的曲率半徑和前端位置(最突出的位置)處的后退量之間的關(guān)系進(jìn)行模擬，圖5將該結(jié)果以曲線示出。
[0110]圖5所示的曲線的橫軸設(shè)為突起70的圓弧部70A的曲率半徑[μ m]，縱軸設(shè)為在板厚50 [ μ m]的SUS304的板材的情況下，產(chǎn)品端部由于側(cè)面蝕刻而后退的后退量[μ m]。
[0111]具體地說，在將抗蝕劑偏移量設(shè)為35 [μ m]的情況下，表示相對于該35 [μ m]，圓弧部70A處的后退量[μπι]。即，后退量10[μπι]的情況下的側(cè)面蝕刻的侵入量為，將抗蝕劑偏移量35[μ--]加上后退量10[μπι]，*45[μπι]。根據(jù)該曲線可知，圓弧部70Α的曲率半徑[μπι]越小,后退量越大。
[0112]在本實(shí)施例中，與直線部72Β同樣地，將直線部70Β的抗蝕劑偏移量設(shè)為35 [ μ m]。對于圓弧部70A，由于曲率半徑為150 [ μ m]，因此，根據(jù)圖5，后退量為6.4 [ μ m]。由此，對于圓弧部70A的抗蝕劑偏移量，在前端位置(圖1 (A)所示的位置Z)處，為41.4[μπι] (35 +6.4)。
[0113](要部方法的作用)
[0114]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的金屬發(fā)熱體的制造方法，突起70中的圓弧部70Α的抗蝕劑偏移量，基于圓弧部70Α的曲率半徑，設(shè)為比直線部70Β的抗蝕劑偏移量大。由此，通過濕蝕刻而形成的突起70的產(chǎn)品形狀接近設(shè)計值。另外，切口 72的前端部72Α的抗蝕劑偏移量，基于前端部72Α的曲率半徑，設(shè)為比直線部72Β的抗蝕劑偏移量小。由此，通過濕蝕刻而形成的切口 72的產(chǎn)品形狀接近設(shè)計值。
[0115]總之，由于金屬發(fā)熱體64的產(chǎn)品形狀接近設(shè)計值，因此可以降低由于形狀不同而導(dǎo)致的次品率。
[0116]另外，由于金屬發(fā)熱體64的產(chǎn)品形狀接近設(shè)計值，因此可以得到均勻性良好且接近規(guī)定值(設(shè)計目標(biāo)值)的金屬發(fā)熱體64的發(fā)熱量。
[0117]另外，針對特定的實(shí)施方式，詳細(xì)地對本發(fā)明進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限定于實(shí)施方式，在本發(fā)明的范圍內(nèi)，可以實(shí)現(xiàn)其它多種實(shí)施方式，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是清楚的。例如，在上述實(shí)施方式中，對于具有突起70及切口 72的金屬發(fā)熱體的制造方法進(jìn)行了說明，但如圖12 (A) (B)所示，有時不在金屬發(fā)熱體88的突起90形成本實(shí)施方式所示的圓弧部，而在切口 92如本實(shí)施方式所示形成圓弧狀的前端部92Α和直線部92Β。在該情況下，可以僅對切口 92使用本實(shí)施方式的思想。
[0118]具體地說，切口 92的前端部92Α的抗蝕劑偏移量(圖中J尺寸)，與直線部92Β的抗蝕劑偏移量(圖中K尺寸)不同，基于前端部92Α的曲率半徑，設(shè)為比直線部92Β的抗蝕劑 偏移量小。
[0119]另外，在上述實(shí)施方式中，對于具有突起70以及形成有直線部72Β的切口 72的金屬發(fā)熱體的制造方法進(jìn)行了說明，但如圖13(Α)(Β)所示，存在在金屬發(fā)熱體98的切口 102沒有形成本實(shí)施方式所示的直線部，而是在切口 102僅形成本實(shí)施方式所示的圓弧狀的前端部102Α，并在突起100僅形成圓弧部100Α的情況。在該情況下，可以對切口 102的前端部102Α和突起100的圓弧部100Α使用本實(shí)施方式的思想。
[0120]具體地說，切口 102的前端部102Α的抗蝕劑偏移量(圖中L尺寸)與圓弧部100Α的抗蝕劑偏移量(圖中M尺寸)不同，基于前端部102Α的曲率半徑或圓弧部100Α的曲率半徑，設(shè)為比圓弧部100Α的抗蝕劑偏移量小。
[0121]另外，在上述實(shí)施方式中，以具有圓弧形狀的金屬發(fā)熱體的制造方法為例進(jìn)行了說明，但也可以將本實(shí)施方式所涉及的金屬板的制造方法用于具有圓弧形狀的其他金屬板的制造方法。
[0122]另外，在上述實(shí)施方式中，使用厚度30 μ m的SUS304的板材進(jìn)行了說明，但也可以使用其它厚度及材質(zhì)的金屬板。
【權(quán)利要求】
1.一種金屬板的制造方法，具有: 抗蝕劑形成工序，在該工序中，在為了從金屬板的板面對所述金屬板進(jìn)行濕蝕刻而形成前端部為圓弧狀且具有從所述前端部直至基端側(cè)以直線狀延伸的直線部的切口，而在所述金屬板的板面上形成包覆所述切口的抗蝕劑以使所述切口不會因濕蝕刻而被侵蝕時，基于前端部的曲率半徑，在所述金屬板的板面上形成所述抗蝕劑，以使得所述前端部處的所述抗蝕劑的緣部和所述前端部之間的抗蝕劑偏移量，比所述直線部處的所述抗蝕劑的緣部和所述直線部之間的抗蝕劑偏移量小；以及 蝕刻工序，在該工序中，使蝕刻液作用在通過所述抗蝕劑形成工序形成有所述抗蝕劑的所述金屬板上，對所述金屬板進(jìn)行蝕刻。
2.一種金屬板的制造方法，具有: 抗蝕劑形成工序，在該工序中，在為了從金屬板的板面對所述金屬板進(jìn)行濕蝕刻而形成圓弧狀的突起、和相對于所述突起向內(nèi)側(cè)偏離相同的量而構(gòu)成且由圓弧狀的前端部及從所述前端部直至基端側(cè)位置以直線狀延伸的直線部構(gòu)成的切口，而在所述金屬板的板面上形成包覆所述切口及所述突起的抗蝕劑以使得所述突起及所述切口不會因濕蝕刻而被侵蝕時，基于前端部的曲率半徑及圓弧部的曲率半徑中的至少一個，在所述金屬板的板面上形成所述抗蝕劑，以使得所述前端部處的所述抗蝕劑的緣部和所述前端部之間的抗蝕劑偏移量，比所述直線部處的所述抗蝕劑的緣部和所述直線部之間的抗蝕劑偏移量小，且使得所述突起處的圓弧狀的圓弧部的所述抗蝕劑的緣部和所述圓弧部之間的抗蝕劑偏移量，t匕所述直線部處的所述抗蝕劑的緣部和所述直線部之間的抗蝕劑偏移量大；以及 蝕刻工序，在該工序中，使蝕刻液作用在通過所述抗蝕劑形成工序形成有所述抗蝕劑的所述金屬板上，對所述金屬板進(jìn)行蝕刻。
3.一種金屬板的制造方法，其特征在于，具有: 抗蝕劑形成工序，在該工序中，在為了從金屬板的板面對所述金屬板進(jìn)行蝕刻而形成圓弧狀的突起和相對于所述突起向內(nèi)側(cè)偏離相同的量而構(gòu)成的圓弧狀的切口，而在所述金屬板的板面上形成包覆所述切口及所述突起的抗蝕劑以使得所述突起及所述切口不會因濕蝕刻而被侵蝕時，基于所述切口的曲率半徑及所述突起的曲率半徑中的至少一方，在所述金屬板的板面上形成所述抗蝕劑，以使得所述切口處的所述抗蝕劑的緣部和所述切口之間的抗蝕劑偏移量，比所述突起處的所述抗蝕劑的緣部和所述突起之間的抗蝕劑偏移量?。灰约? 蝕刻工序，在該工序中，使蝕刻液作用在通過所述抗蝕劑形成工序形成有所述抗蝕劑的所述金屬板上，對所述金屬板進(jìn)行蝕刻。
4.一種金屬發(fā)熱體， 其具有圓弧形狀，使用權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)記載的金屬板的制造方法制造。
【文檔編號】C23F1/02GK103484859SQ201210526140
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2012年12月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月13日
【發(fā)明者】岡田純二, 川上公之, 村上裕紀(jì) 申請人:富士施樂株式會社