專利名稱：連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構。
背景技術：
連續(xù)式水平濺鍍機是一種在高真空條件下，利用氣體放電產(chǎn)生的荷能離子在電場的作用下高速轟擊陰極靶材，使靶材原子和分子逸出而沉積到基片上形成薄膜的機器，傳輸馬達帶動鏈條轉動從而帶動傳輸導輪使載盤前進的傳輸方式被廣泛應用，如圖I和圖2所示，目前連續(xù)式水平濺鍍機所使用的這種傳輸方式，在長時間的傳輸過程中經(jīng)常會出現(xiàn)傳輸載盤傳動受阻和卡在兩側側面導向軸承之間的設備故障，造成生產(chǎn)停止，使維護成本提高，如果不能及時處理，會浪費大量的人力和物力，最終造成生產(chǎn)成本的提高
發(fā)明內容
目的為了克服現(xiàn)有技術中存在的不足，解決現(xiàn)有技術中正常生產(chǎn)時載盤在傳輸過程中發(fā)生跑偏而卡住載盤而使生產(chǎn)停止的問題，本發(fā)明提供一種連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構，使用方便，結構簡單，成本低，能有效的降低濺鍍腔的傳動故障率，提高了機臺的稼動率并節(jié)約了大量的勞動力與生產(chǎn)成本。技術方案為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案為一種連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構，包括傳輸馬達、側面導向軸承、傳輸膠輪、傳輸鏈條、傳輸主軸、傳輸支架和傳輸載盤，其特征在于所述連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構的傳輸側面設置有用于保護側面導向軸承和維持傳輸載盤在固定的軌道上傳輸?shù)膫让鎸蛑?，所述側面導向支撐為內空結構，側面導向軸承安裝在所述側面導向支撐內部外露部分外徑。所述側面導向支撐為長條形結構，材質為不銹鋼。所述傳輸載盤的四個角為圓角。有益效果本發(fā)明提供的連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構，在傳輸側面增加側面導向支撐結構，側面導向軸承安裝在里面只露出小部分外徑大大減少了濺鍍粉塵進入側面導向軸承，很好的保護了側面導向軸承，另此側面支撐把各側面導向軸承連接起來使兩側一直保證在水平線上，另傳輸載盤的四個直角改為圓角，所以即使傳輸載盤跑偏也只會接觸到側面導向支撐，由于角度很小不會造成傳輸載盤卡在其傳動處，能有效的降低濺鍍腔的傳動故障率，提高了機臺的稼動率，并節(jié)約了大量的勞動力與生產(chǎn)成本。
圖I和圖2為現(xiàn)有技術的連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構的示意 圖3和圖4為本發(fā)明連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構的示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖對本發(fā)明作更進一步的說明。
如圖3和圖4所不為一種連續(xù)式水平派鍍機傳輸機構,包括傳輸馬達I、側面導向軸承3、傳輸膠輪4、傳輸鏈條5、傳輸主軸6、傳輸支架7和傳輸載盤8,其特征在于所述連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構的傳輸側面設置有用于保護側面導向軸承3和維持傳輸載盤8在固定的軌道上傳輸?shù)膫让鎸蛑?，所述側面導向支撐2為內空結構，側面導向軸承3安裝在所述側面導向支撐2內部外露部分外徑；所述側面導向支撐2為長條形結構，材質為不銹鋼；所述傳輸載盤8的四個角為圓角。所述傳輸膠輪4固定在傳輸主軸6和傳輸支架7上,并由傳輸鏈條5相互按順序連接，由傳輸馬達I轉動帶動傳輸主軸6，從而帶動傳輸鏈條5轉動傳輸膠輪4達到傳輸載盤8的方式，并由兩側面導向軸承3和側面導向支撐2來維持傳輸載盤8在固定的軌道上傳輸，此側面導向支撐2結構為內空結構，側面導向軸承3安裝在里面只露出5_外徑大大減少了濺鍍粉塵進入側面導向軸承3，很好的保護了側面導向軸承3，另此側面支撐2把各側面導向軸承3連接起來使兩側一直保證在水平線上此種設計很好的控制住傳輸載盤8跑偏的角度使其角度很小，確保不會造成傳輸載盤8卡在其傳動處。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
權利要求
1.連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構，包括傳輸馬達、側面導向軸承、傳輸膠輪、傳輸鏈條、傳輸主軸、傳輸支架和傳輸載盤，其特征在于所述連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構的傳輸側面設置有用于保護側面導向軸承和維持傳輸載盤在固定的軌道上傳輸?shù)膫让鎸蛑危鰝让鎸蛑螢閮瓤战Y構，側面導向軸承安裝在所述側面導向支撐內部外露部分外徑。
2.根據(jù)權利要求I所述的連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構，其特征在于所述側面導向支撐為長條形結構，材質為不銹鋼。
3.根據(jù)權利要求I或2所述的連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構，其特征在于所述傳輸載盤的四個角為圓角。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構，包括傳輸馬達、側面導向軸承、傳輸膠輪、傳輸鏈條、傳輸主軸、傳輸支架和傳輸載盤，其特征在于所述連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構的傳輸側面設置有用于保護側面導向軸承和維持傳輸載盤在固定的軌道上傳輸?shù)膫让鎸蛑?，所述側面導向支撐為內空結構，側面導向軸承安裝在所述側面導向支撐內部外露部分外徑；所述傳輸載盤的四個角為圓角。本發(fā)明提供的連續(xù)式水平濺鍍機傳輸機構，在傳輸側面增加側面導向支撐結構，很好的保護了側面導向軸承，把各側面導向軸承連接起來使兩側一直保證在水平線上，能有效的降低濺鍍腔的傳動故障率，提高了機臺的稼動率，并節(jié)約了大量的勞動力與生產(chǎn)成本。
文檔編號C23C14/56GK102839357SQ20121037723
公開日2012年12月26日 申請日期2012年10月8日 優(yōu)先權日2012年10月8日
發(fā)明者黃國興, 費文池, 王光華, 姜建峰 申請人:赫得納米科技(昆山)有限公司