專(zhuān)利名稱(chēng)：一種用于pecvd設(shè)備的自動(dòng)爐門(mén)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光伏設(shè)備領(lǐng)域，進(jìn)一步地，涉及PECVD(等離子增強(qiáng)的化學(xué)氣相沉積)設(shè)備的爐門(mén)系統(tǒng)中一種安全而且有效的爐門(mén)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)代光伏生產(chǎn)工藝中，PECVD (等離子增強(qiáng)的化學(xué)氣相沉積)設(shè)備作為單晶硅和多晶硅電池片生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵設(shè)備之一，其使用效率和穩(wěn)定性關(guān)系到整條生產(chǎn)線的效率。在競(jìng)爭(zhēng)日趨激烈的今天，顯得尤為重要。如何使得設(shè)備穩(wěn)定好用，作為PECVD設(shè)備中的一個(gè) 部件，爐門(mén)機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性對(duì)整個(gè)設(shè)備的穩(wěn)定起到很大影響。管式PECVD設(shè)備使用石英管作為沉積腔室，將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。由于在真空環(huán)境下進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，故需要良好的密封性能。由于爐門(mén)法蘭受到大氣壓力的影響，當(dāng)爐門(mén)關(guān)閉以后，爐門(mén)法蘭受到壓力，造成懸臂，容易損壞運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌。多次反復(fù)運(yùn)動(dòng)之后，造成爐門(mén)機(jī)構(gòu)變形，并使得石英管管口端面和爐門(mén)法蘭面不平行，從而造成密封失效。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有的石英管管口端面和爐門(mén)法蘭面不平行，造成密封失效的不足，本發(fā)明旨在提供一種用于PECVD (等離子增強(qiáng)的化學(xué)氣相沉積)設(shè)備的自動(dòng)爐門(mén)機(jī)構(gòu)，該爐門(mén)機(jī)構(gòu)可以保證爐門(mén)和石英管端門(mén)完全密封連接。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是一種用于PECVD設(shè)備的自動(dòng)爐門(mén)機(jī)構(gòu)，包括設(shè)在石英管管口的爐門(mén)法蘭，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是，還包括一端撓性連接在爐門(mén)法蘭外側(cè)的連桿，該連桿的另一端鉸接在底座上，該底座上裝有驅(qū)動(dòng)爐門(mén)法蘭繞連桿與底座連接點(diǎn)旋轉(zhuǎn)的X向汽缸，和驅(qū)動(dòng)爐門(mén)法蘭沿y方向往復(fù)移動(dòng)的 向汽缸；所述X向汽缸的活塞桿鉸接在連桿上。為了進(jìn)一步提高石英管與爐門(mén)法蘭的密封效果，所述石英管管口設(shè)有密封圈，當(dāng)爐門(mén)關(guān)閉時(shí)，石英管內(nèi)密封效果好。所述爐門(mén)法蘭與連桿之間通過(guò)彈簧相連，確保爐門(mén)法蘭可以小范圍內(nèi)靈活轉(zhuǎn)動(dòng)。兩個(gè)氣缸都固定在底座上，所述底座裝在導(dǎo)軌上，該導(dǎo)軌固定在機(jī)架上，可以實(shí)現(xiàn)單方向的自由運(yùn)動(dòng)。所述X向汽缸和Y向汽缸均優(yōu)選為普通雙作用氣缸。藉由上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明公開(kāi)一種用于PECVD設(shè)備的爐門(mén)機(jī)構(gòu)，其包括兩個(gè)雙作用氣缸，一個(gè)底座，一連桿，一個(gè)爐門(mén)法蘭，兩個(gè)導(dǎo)軌。兩個(gè)雙作用氣缸實(shí)現(xiàn)兩個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)，一個(gè)X向汽缸通過(guò)推拉連桿來(lái)實(shí)現(xiàn)爐門(mén)的旋轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)爐門(mén)的開(kāi)關(guān)。另外一個(gè)y向汽缸通過(guò)推拉來(lái)實(shí)現(xiàn)爐門(mén)機(jī)構(gòu)和石英管的貼近與遠(yuǎn)離。兩個(gè)導(dǎo)軌用來(lái)導(dǎo)向以使整個(gè)爐門(mén)機(jī)構(gòu)在貼近或遠(yuǎn)離石英管時(shí)實(shí)現(xiàn)直線移動(dòng)。底座用于固定兩個(gè)氣缸。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明通過(guò)爐門(mén)法蘭和連桿之間的撓性連接，當(dāng)爐門(mén)靠近爐口的時(shí)候，即使沒(méi)有實(shí)現(xiàn)爐門(mén)和爐口兩平面的完全平行，通過(guò)抽真空是產(chǎn)生大氣壓力，自動(dòng)調(diào)節(jié)爐門(mén)和石英管端門(mén)保持平行，達(dá)到完全密封，從而確保設(shè)備真空良好和設(shè)備的可靠性，提高了生產(chǎn)效率。以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步闡述。


圖I是本發(fā)明爐門(mén)機(jī)構(gòu)的密封方式示意圖；圖2是本發(fā)明一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)原理圖；圖3是圖2的俯視圖。在圖中
I-底座；2-x向汽缸；3-連桿；4-爐門(mén)法蘭；5_y向汽缸；6-導(dǎo)軌；7_彈簧；8-石英管；9_密封圈；10-抽氣管。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。圖I為爐門(mén)機(jī)構(gòu)的密封方式示意圖。管式PECVD設(shè)備使用石英管8作為沉積腔室，爐門(mén)法蘭4和石英管之間用O形密封圈9密封，當(dāng)進(jìn)行工藝時(shí)，由抽氣管10進(jìn)行抽氣，在石英管8內(nèi)實(shí)現(xiàn)真空，產(chǎn)生大氣壓力F壓緊爐門(mén)法蘭4實(shí)現(xiàn)密封。圖2和圖3為爐門(mén)機(jī)構(gòu)的工作原理圖。圖2中包括X向氣缸2和y向氣缸5，一個(gè)底座1，一連桿3，一個(gè)爐門(mén)法蘭4。兩個(gè)雙作用氣缸2，5實(shí)現(xiàn)兩個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)，一個(gè)X向氣缸2通過(guò)推拉連桿3來(lái)實(shí)現(xiàn)爐門(mén)法蘭4的旋轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)爐門(mén)法蘭4的開(kāi)關(guān)。另外一個(gè)y向氣缸5通過(guò)推拉來(lái)實(shí)現(xiàn)爐門(mén)機(jī)構(gòu)相對(duì)于石英管8的貼近與遠(yuǎn)離。另外還可用節(jié)流閥來(lái)調(diào)節(jié)氣缸運(yùn)動(dòng)的速度。導(dǎo)軌6用來(lái)帶動(dòng)爐門(mén)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)在y向的往復(fù)直線移動(dòng)。底座I用于固定X向氣缸2和y向氣缸5，X向氣缸2的缸體固定在底座7上，其活塞缸與連桿3相連，y向氣缸5的活塞桿優(yōu)選固定底座7上，y向氣缸5的缸體固定在機(jī)架上。本發(fā)明通過(guò)彈簧7實(shí)現(xiàn)爐門(mén)法蘭4和連桿3之間的撓性連接，當(dāng)爐門(mén)靠近石英管8管口的時(shí)候，即使沒(méi)有實(shí)現(xiàn)爐門(mén)法蘭4和石英管8管口端面兩平面的完全平行，通過(guò)抽真空時(shí)產(chǎn)生大氣壓力F，自動(dòng)調(diào)節(jié)爐門(mén)法蘭4和石英管8管口端面保持平行，達(dá)到完全密封。以上所述已對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1.一種用于PECVD設(shè)備的自動(dòng)爐門(mén)機(jī)構(gòu)，包括設(shè)在石英管(8)管口的爐門(mén)法蘭(4)，其特征是，還包括一端撓性連接在爐門(mén)法蘭(4)外側(cè)的連桿(3)，該連桿(3)的另一端鉸接在底座(I)上，該底座(I)上裝有驅(qū)動(dòng)爐門(mén)法蘭(4)繞連桿(3)與底座(I)連接點(diǎn)旋轉(zhuǎn)的X向汽缸(2)，和驅(qū)動(dòng)爐門(mén)法蘭(4)沿y方向往復(fù)移動(dòng)的y向汽缸(5);所述x向汽缸⑵的活塞桿鉸接在連桿(3)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于PECVD設(shè)備的自動(dòng)爐門(mén)機(jī)構(gòu)，其特征是，所述石英管(8)管口設(shè)有密封圈(9)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于PECVD設(shè)備的自動(dòng)爐門(mén)機(jī)構(gòu)，其特征是，所述爐門(mén)法蘭(4)與連桿(3)之間通過(guò)彈簧(7)相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于PECVD設(shè)備的自動(dòng)爐門(mén)機(jī)構(gòu)，其特征是，所述底座(I)裝在導(dǎo)軌(6),該導(dǎo)軌(6)固定在機(jī)架上。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于PECVD設(shè)備的爐門(mén)機(jī)構(gòu)，為了解決石英管的密封問(wèn)題，本發(fā)明包括兩個(gè)雙作用氣缸，一個(gè)底座，一連桿，一個(gè)爐門(mén)法蘭，兩個(gè)導(dǎo)軌。其中兩個(gè)雙作用氣缸實(shí)現(xiàn)爐門(mén)法蘭的開(kāi)關(guān)運(yùn)動(dòng)，并且通過(guò)爐門(mén)法蘭和連桿之間的撓性連接來(lái)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單可靠的真空密封，從而確保設(shè)備真空良好和設(shè)備的可靠性。
文檔編號(hào)C23C16/44GK102719805SQ20121011810
公開(kāi)日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2012年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月21日
發(fā)明者易文杰, 胡振東, 袁衛(wèi)華, 許波濤 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所