專利名稱：?jiǎn)卧綖R射抽氣模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種單元式濺射抽氣模塊，特別是一種工藝井位靈活互換的玻璃連續(xù)鍍膜設(shè)備的單元式濺射抽氣模塊。
背景技術(shù)：
隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展以及人們生活水平的提高，社會(huì)對(duì)工業(yè)的各個(gè)行業(yè)提出了更高的要求，其中對(duì)于硅酸鹽行業(yè)而言，玻璃的鍍膜標(biāo)準(zhǔn)也隨之越來(lái)越高。鍍膜玻璃按產(chǎn)品的不同特性，可分為以下幾類:熱反射玻璃、低輻射玻璃、導(dǎo)電膜玻璃等。熱反射玻璃一般是在玻璃表面鍍一層或多層諸如鉻、鈦或不銹鋼等金屬或其化合物組成的薄膜，使產(chǎn)品呈豐富的色彩，對(duì)于可見(jiàn)光有適當(dāng)?shù)耐干渎剩瑢?duì)紅外線有較高的反射率，對(duì)紫外線有較高吸收率，因此，也稱為陽(yáng)光控制玻璃，主要用于建筑和玻璃幕墻；低輻射玻璃是在玻璃表面鍍由銀、銅或錫等金屬或其化合物組成的薄膜，產(chǎn)品對(duì)可見(jiàn)光有較高的透射率，對(duì)紅外線有很高的反射率，具有良好的保溫隔熱性能，主要用于建筑和汽車、船舶等交通工具，由于膜層強(qiáng)度較差，一般都制成中空玻璃使用；導(dǎo)電膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化銦錫等導(dǎo)電薄膜，可用于玻璃的加熱、除霜、除霧以及用作液晶顯示屏等。
鍍膜玻璃的生產(chǎn)方法很多，主要有離子濺射法、真空蒸發(fā)法、化學(xué)氣相沉積法以及溶膠-凝膠法等。濺射鍍膜玻璃利用濺射技術(shù)可以設(shè)計(jì)制造多層復(fù)雜膜系，可在白色的玻璃基片上鍍出多種顏色，膜層的耐腐蝕和耐磨性能較好，是目前生產(chǎn)和使用最多的產(chǎn)品之一。真空蒸發(fā)鍍膜玻璃的品種和質(zhì)量與濺射鍍膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被濺射法取代?；瘜W(xué)氣相沉積法是在浮法玻璃生產(chǎn)線上通入反應(yīng)氣體在灼熱的玻璃表面分解，均勻地沉積在玻璃表面形成鍍膜玻璃。該方法的特點(diǎn)是設(shè)備投入少、易調(diào)控，產(chǎn)品成本低、化學(xué)穩(wěn)定性好，可進(jìn)行熱加工，是目前最有發(fā)展前途的生產(chǎn)方法之一。溶膠-凝膠法生產(chǎn)鍍膜玻璃工藝簡(jiǎn)單，穩(wěn)定性也好，不足之處是產(chǎn)品光透射比太高，裝飾性較差。
對(duì)于離子濺射法而言，通常是在高壓1500V的作用下，殘留的氣體分子被電離，形成等離子體，陽(yáng)離子在電場(chǎng)加速下轟擊金屬靶，使金屬原子濺射到樣品的表面，形成導(dǎo)電膜。目前，真空容器內(nèi)，一種鍍膜玻璃通常是由一系列不同膜層材料構(gòu)成，而且整個(gè)鍍膜過(guò)程是在鍍膜設(shè)備中一次連續(xù)完成的。在傳統(tǒng)的真空鍍膜腔體中，泵井位固定在鍍膜腔體上，其結(jié)構(gòu)與陰極井位的結(jié)構(gòu)完全不同，泵井位與陰極井位呈單一的交替排布模式。隨著鍍膜玻璃技術(shù)的不斷發(fā)展，鍍膜產(chǎn)品的種類和膜系結(jié)構(gòu)也變得更加多樣化。技術(shù)人員有時(shí)需要調(diào)整泵井位與陰極井位的順序，傳統(tǒng)的濺射抽氣模塊無(wú)法根據(jù)鍍膜產(chǎn)品和膜系的需要實(shí)現(xiàn)工藝井位的靈活互換，這就為玻璃鍍膜工藝的發(fā)展帶來(lái)滯礙。本領(lǐng)域技術(shù)人員致力于提供一種可以實(shí)現(xiàn)泵井位與陰極井位靈活互換的單元式濺射抽氣模塊。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是為了克服現(xiàn)有玻璃鍍膜設(shè)備中的濺射抽氣模塊無(wú)法根據(jù)鍍膜產(chǎn)品和膜系的需要實(shí)現(xiàn)工藝井位的靈活互換的技術(shù)問(wèn)題，提供一種單元式濺射抽氣模塊。
本發(fā)明是通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)解決上述技術(shù)問(wèn)題的:
—種單元式濺射抽氣模塊，包括鍍膜腔體和蓋板，其特點(diǎn)在于，所述鍍膜腔體呈長(zhǎng)方體，中間設(shè)置多個(gè)將腔體分割成多個(gè)獨(dú)立井位單元的隔板，所述鍍膜腔體還包括腔體頂板，所述腔體頂板開(kāi)有多個(gè)用于放置蓋板的相同形狀的矩形缺口，每個(gè)蓋板以密封的方式設(shè)置在所述缺口上。
較佳地,所述蓋板為泵蓋板或空蓋板或陰極蓋板。
較佳地，所述泵蓋板為下端開(kāi)口的長(zhǎng)方體，內(nèi)部設(shè)置真空泵。
較佳地，所述陰極蓋板為長(zhǎng)方體，所述蓋板下方固定設(shè)置靶材。
較佳地，所述隔板設(shè)置玻璃傳輸通道。
較佳地，每個(gè)所述獨(dú)立井位單元側(cè)面設(shè)置觀察窗和/或連接法蘭。
本發(fā)明中，上述優(yōu)選條件在符合本領(lǐng)域常識(shí)的基礎(chǔ)上可任意組合，即得本發(fā)明各較佳實(shí)施例。
本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于:本單元式濺射抽氣模塊結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，各個(gè)不同井位互換時(shí)操作方便。


圖1為本發(fā)明的單元式濺射抽氣模塊的示意圖，其中泵蓋板和陰極蓋板設(shè)置在鍍膜腔體上方。
圖2為圖1所示單元式濺射抽氣模塊的俯視圖，其中泵蓋板和陰極蓋板已隱去。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明的實(shí)施例將參照附圖進(jìn)行說(shuō)明。在說(shuō)明書附圖中，具有類似結(jié)構(gòu)或功能的元件或裝置將用相同的元件符號(hào)表示。附圖只是為了便于說(shuō)明本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例，并不是要對(duì)本發(fā)明進(jìn)行窮盡性的說(shuō)明，也不是對(duì)本發(fā)明的范圍進(jìn)行限制。
圖1為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例下的示意圖。在該實(shí)施例中，鍍膜腔體主體由連接板11、邊部立板16和底板14焊接而成。腔體中間還焊接有多個(gè)隔板13，這些隔板13將腔體分割成若干個(gè)獨(dú)立的井位單元，每個(gè)隔板13上設(shè)置有一個(gè)狹長(zhǎng)的玻璃傳輸通道、一個(gè)皮帶傳輸通道和若干個(gè)抽氣通道，皮帶驅(qū)動(dòng)滾輪18承載待鍍膜的玻璃17依次通過(guò)各個(gè)腔室。底板14下部還設(shè)置有槽型筋15，加強(qiáng)底板14的承重能力。
每個(gè)井位單元對(duì)應(yīng)的一側(cè)邊部立板16上均設(shè)有觀察窗12和連接法蘭(圖未示出)，連接法蘭用于安裝觀察窗擋片轉(zhuǎn)軸、真空測(cè)量裝置、電氣引入線或放氣閥等真空鍍膜所必須的輔助裝置；每個(gè)井位單元對(duì)應(yīng)的另一側(cè)的邊部立板16上均設(shè)有連接法蘭，連接法蘭用于真空測(cè)量裝置、電氣引入線或放氣閥等真空鍍膜所必須的輔助裝置。
泵蓋板20主體為一個(gè)下側(cè)不封閉的泵倉(cāng)中空體，泵倉(cāng)中空體由泵倉(cāng)底板22，泵倉(cāng)側(cè)板26和泵倉(cāng)頂板24組成,僅泵倉(cāng)底板22與外界相通,其余部分密封。泵倉(cāng)底板22上設(shè)置圓形槽用于安裝真空泵28，泵倉(cāng)底板22下部設(shè)置密封圈，與腔室密封連接，真空泵28將腔室內(nèi)的氣體抽向外界。泵倉(cāng)頂板24設(shè)置起吊鉤(圖未示出)。
陰極蓋板30主體為一個(gè)陰極中空體，陰極中空體由陰極底板32，陰極側(cè)板36和陰極頂板34組成，陰極側(cè)板36和陰極頂板34密封連接，陰極蓋板30的底板通過(guò)密封圈與腔體密封連接，陰極頂板34以機(jī)械方式固定在陰極側(cè)板36上的，陰極底板32和腔體形成密閉空間，該密閉空間處于真空狀態(tài)。陰極底板32下方設(shè)置靶材33。陰極頂板34設(shè)置起吊鉤39，便于起吊設(shè)備起吊蓋板。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，陰極電壓和靶材的位置關(guān)系是業(yè)內(nèi)較為成熟的技術(shù)，只要能達(dá)到鍍膜的目的都能適用。
無(wú)論是泵蓋板還是陰極蓋板，都由起吊器械直接吊起后按照預(yù)定的位置放置在鍍膜腔體上，蓋板和鍍膜腔體接觸邊設(shè)置多個(gè)密封圈，這樣，當(dāng)蓋板放置在鍍膜腔體上，蓋板借助自身的重力與鍍膜腔體形成密封連接。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，蓋板設(shè)置內(nèi)外兩層密封圈，此時(shí)需要在兩層密封圈之間設(shè)置真空泵19，在工作時(shí)將兩層密封圈之間的空氣抽出，以保證密封效果。
進(jìn)行鍍膜時(shí)，泵蓋板的真空泵28開(kāi)始工作，將整個(gè)腔室抽成真空，陰極蓋板觸發(fā)靶材，使靶材原子濺射到玻璃表面或與氣體反應(yīng)沉積到玻璃表面，玻璃17通過(guò)隔板13上設(shè)置有的狹長(zhǎng)的玻璃傳輸通道，依次通過(guò)各個(gè)腔室，完成鍍膜。
在本實(shí)施例中，泵蓋板和陰極蓋板依次放置。當(dāng)技術(shù)人員根據(jù)工藝需要調(diào)整泵井位與陰極井位的順序時(shí)，只需將相應(yīng)不同的蓋板吊起來(lái)進(jìn)行置換則可。
雖然以上描述了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，這些僅是舉例說(shuō)明，本發(fā)明的 保護(hù)范圍是由所附權(quán)利要求書限定的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背離本發(fā)明的原理和實(shí)質(zhì)的前提下，可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或修改，但這些變更和修改均落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種單元式濺射抽氣模塊，包括鍍膜腔體和蓋板，其特征在于，所述鍍膜腔體呈長(zhǎng)方體，中間設(shè)置多個(gè)將腔體分割成多個(gè)獨(dú)立井位單元的隔板，所述鍍膜腔體還包括腔體頂板，所述腔體頂板開(kāi)有多個(gè)用于放置蓋板的相同形狀的矩形缺口，每個(gè)蓋板以密封的方式設(shè)置在所述缺口上。
2.如權(quán)利要求1所述的單元式濺射抽氣模塊，其特征在于，所述蓋板為泵蓋板或空蓋板或陰極蓋板。
3.如權(quán)利要求2所述的單元式濺射抽氣模塊，其特征在于，所述泵蓋板為下端開(kāi)口的長(zhǎng)方體，內(nèi)部設(shè)置真空泵。
4.如權(quán)利要求2所述的單元式濺射抽氣模塊，其特征在于，所述陰極蓋板為長(zhǎng)方體，所述蓋板下方固定設(shè)置靶材。
5.如權(quán)利要求1、2或3所述的單元式濺射抽氣模塊，其特征在于，所述隔板設(shè)置玻璃傳輸通道。
6.如權(quán)利要求1、2或3所述的單元式濺射抽氣模塊，其特征在于，每個(gè)所述獨(dú)立井位單元側(cè)面設(shè)置觀察窗和/或 連接法蘭。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種單元式濺射抽氣模塊，包括鍍膜腔體和蓋板，所述鍍膜腔體呈長(zhǎng)方體，中間設(shè)置多個(gè)將腔體分割成多個(gè)獨(dú)立井位單元的隔板，所述鍍膜腔體還包括腔體頂板，所述腔體頂板開(kāi)有多個(gè)用于放置蓋板的相同形狀的矩形缺口，每個(gè)蓋板以密封的方式設(shè)置在所述缺口上。本單元式濺射抽氣模塊結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，各個(gè)不同井位互換功能時(shí)操作方便。
文檔編號(hào)C23C14/34GK103205725SQ20121001323
公開(kāi)日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2012年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月17日
發(fā)明者施玉安 申請(qǐng)人:上海北玻鍍膜技術(shù)工業(yè)有限公司, 上海北玻玻璃技術(shù)工業(yè)有限公司, 洛陽(yáng)北方玻璃技術(shù)股份有限公司