專利名稱：單晶硅棒端面研磨盤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及研磨設(shè)備，尤其是涉及單晶硅棒端面研磨盤。
背景技術(shù)：
目前用于單硅晶棒端面研磨的研磨盤主要有兩種，一種為磨輪研磨盤，另一種為軟毛刷研磨盤。但在實際使用中，仍存在以下不足(1)磨輪研磨盤由于使用硬質(zhì)磨頭，在磨削過程中產(chǎn)生的正面壓力較大，從而又會產(chǎn)生新的微小裂紋和其他損傷，嚴(yán)重影響硅塊的成品率，質(zhì)量難以保證，由于磨輪磨削量加大，需要保留很多的加工余量；(2)軟毛刷研磨盤雖然可以消除損傷層，但由于耗材采購成本高，效率差。
實用新型內(nèi)容針對上述現(xiàn)有技術(shù)中單晶硅棒研磨盤存在的問題，本實用新型提供了一種既能完全消除硅晶棒端面損傷層，又可降低研磨盤制造成本的單晶棒端面研磨盤。本實用新型要解決的技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是所述單晶硅棒端面研磨盤包括可隨旋轉(zhuǎn)主軸轉(zhuǎn)動的中間盤、與中間盤固定相連的上模板和下模板、以及固定設(shè)置在下模板上的研磨層，所述中間盤內(nèi)設(shè)置有可通入研磨液的貯液腔，貯液腔與進液管上端相通， 進液管下端穿過上模板和下模板與研磨層上的分液腔相通，所述研磨層用拋光布制成。所述研磨盤在隨旋轉(zhuǎn)主軸高速轉(zhuǎn)動的同時，研磨液從輸液管上端進入到中間盤內(nèi)的貯液腔中，再從貯液腔通過四根進液管流入到分液腔內(nèi)，分液腔內(nèi)的研磨液通過研磨槽始終在硅晶棒與研磨層的接觸面進行冷卻和潤滑。本實用新型由于采用由拋光布材料制成的研磨層具有合適的硬度和韌性，再加上在研磨層面上始終通入含有金剛砂的研磨液冷卻和潤滑，單晶硅棒端面受速高轉(zhuǎn)動研磨， 其端面上溫度分布均、散熱快，熱應(yīng)力小，不會產(chǎn)生微小裂紋和其他損傷，因而提高了單晶硅棒端面研磨質(zhì)量，提高了研磨效率，又降低了研磨成本。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便， 除主要用于單晶硅棒端面研磨外，還可用于多晶硅棒端面、陶瓷、冶金粉末表面的研磨。

圖1是本實用新型的主剖視結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是圖1的仰視結(jié)構(gòu)示意圖。在圖中，1、變速箱 2、輸液管 3、防濺罩 4、引液槽 5、連接螺桿 6、上模板 7、下模板8、分液腔9、研磨層10、粘接層11、進液管12、中間盤13、貯液腔14、 連接座15、旋轉(zhuǎn)主軸16、研磨槽。
具體實施方式
在圖1和圖2中，所述研磨盤配裝在單晶硅棒研磨機上，它包括中間盤12、上模板6、下模板7、研磨層9、粘接層10、連接座14、進液管11和連接螺桿5，中間盤與旋轉(zhuǎn)主軸15 固定相連，所述中間盤12內(nèi)設(shè)置有圓柱形的貯液腔13，貯液腔上端設(shè)置有斷面為圓形并呈圓環(huán)狀布置的引液槽4，引液槽位置與進液管下端相對，貯液腔下端與四根(也可是其它多根)均布的進液管11上端相通，中間盤用連接螺桿5和連接座14與上模板和下模板固定相連，進液管下端穿過上模板6和下模板7后與研磨層9上的四只分液腔8分別相通(分液腔數(shù)量和位置與進液管相對應(yīng))，輸液管2固定在變速箱1上，輸液管上端與研磨液源相連， 輸液管下端伸入中間盤內(nèi)并與引流槽位置間隔2-3毫米相對，在中間盤上設(shè)置有防濺罩3， 以防止研磨液隨中間盤高速轉(zhuǎn)動時濺出，所述分液腔呈長方形，也可呈圓形或其它形，研磨層用粘接層10固定在下模板上，研磨層上間隔設(shè)置有研磨槽16，研磨槽為斷面深度不大于 0. 5毫米的凹槽，研磨槽相互相通并與分液腔相通，研磨槽不僅可用來快速傳遞研磨液，還可用來排屑，所述研磨層用拋光布制成。
權(quán)利要求1.單晶硅棒端面研磨盤，其特征是它包括可隨旋轉(zhuǎn)主軸(15)轉(zhuǎn)動的中間盤(12)、與中間盤固定相連的上模板(6)和下模板(7)、以及固定設(shè)置在下模板上的研磨層(9)，所述中間盤內(nèi)設(shè)置有可通入研磨液的貯液腔(13)，貯液腔與進液管(11)上端相通，進液管下端穿過上模板和下模板與研磨層上的分液腔(8)相通，所述研磨層用拋光布制成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅棒端面研磨盤，其特征是所述研磨層上設(shè)置有研磨槽(16)。
專利摘要本實用新型公開了單晶硅棒端面研磨盤，它包括可隨旋轉(zhuǎn)主軸(15)轉(zhuǎn)動的中間盤(12)、與中間盤固定相連的上模板(6)和下模板(7)、以及固定設(shè)置在下模板上的研磨層(9)，所述中間盤內(nèi)設(shè)置有可通入研磨液的貯液腔(13)，貯液腔與進液管(11)上端相通，進液管下端穿過上模板和下模板與研磨層上的分液腔(8)相通，所述研磨層用拋光布制成。研磨的單晶硅棒端面受速高轉(zhuǎn)動研磨，其端面上溫度分布均、散熱快，熱應(yīng)力小，不會產(chǎn)生微小裂紋和其他損傷，因而提高了單晶硅棒端面研磨質(zhì)量，提高了研磨效率，又降低了研磨成本。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便，主要用于單晶硅棒端面研磨外，還可用于多晶硅棒端面、陶瓷、冶金粉末的研磨。
文檔編號B24D13/00GK202180426SQ20112029475
公開日2012年4月4日 申請日期2011年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月15日
發(fā)明者于景 申請人:江西金葵能源科技有限公司