專利名稱：一種抗腐蝕硅片研磨設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能硅片加工設備，具體涉及一種抗腐蝕硅片研磨設備。
背景技術：
優(yōu)質(zhì)硅片是制造太陽能電池的原始材料，為了使硅片平整，并消除切割過程中所造成的損傷，獲得完美的襯底材料，硅片必須要經(jīng)過研磨，才有可能制出合格的器件，因此， 硅片研磨機是太陽能硅片制造領域中必不可少的一種裝置。在研磨過程中，需要隨時添加研磨粉，現(xiàn)有的研磨粉添加結(jié)構(gòu)都是采用金屬管路，由于硅片的研磨環(huán)境一般都要求在室內(nèi)處于負壓的條件下，并且濕度較大，因此存在的金屬管路的腐蝕問題十分嚴重。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術中存在的缺陷，提供一種具有較高抗腐蝕性的硅片研磨機，該種硅片研磨機改善了研磨粉添加結(jié)構(gòu)，不再使用金屬管路而使用硅膠軟管和硬塑料材料制成的滴管來替代，因此具有較強的抗腐蝕性。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術方案是設計一種抗腐蝕硅片研磨設備，所述研磨設備包括研磨粉定量泵、支架、提升架、汽缸和研磨盤，在所述研磨機底座的底端上連接有定位托盤的汽缸提升桿以及固定有研磨齒圈和行星輪，其特征在于，所述硅片研磨機還包括一個倒U形研磨粉導入管、一個研磨粉注入槽架以及一個研磨粉導入管固定架；所述研磨粉注入槽架固定在研磨盤的上部，由所述研磨粉注入槽架引出的研磨粉注入管接入所述研磨盤上的研磨粉輸入端；所述研磨粉導入管固定架固定在所述汽缸提升桿上，所述倒U形研磨粉導入管固定在研磨粉導入管固定架的側(cè)壁，固定后的倒U形研磨粉導入管的輸出管口垂直位于研磨粉注入槽架中的注入槽上方，所述倒U形研磨粉導入管的另一端經(jīng)軟管連接至所述研磨粉定量泵的輸出端。作為優(yōu)選的技術方案，所述倒U形研磨粉導入管的材質(zhì)為硬塑料，所述軟管的材質(zhì)為硅膠。本實用新型的優(yōu)點和有益效果在于采用本種結(jié)構(gòu)的硅片研磨機，比照現(xiàn)有技術而言，改善了研磨粉添加結(jié)構(gòu)，不再使用金屬管路而使用由硅膠軟管和硬塑料材料制成的滴管來替代，因此具有較強的抗腐蝕性，提高了每臺硅片研磨機用于硅片制造時的使用壽命，降低了硅片的生產(chǎn)成本。

圖1是本實用新型抗腐蝕硅片研磨設備的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、研磨粉定量泵；2、支架；3、汽缸；4、汽缸提升桿；5、提升架；6、定位托盤； 7、研磨盤；8、研磨粉注入槽架；9、U形研磨粉導入管；10、軟管；11、行星輪；12、研磨齒圈； 13、研磨粉導入管固定架。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。如圖1所示，本實用新型是一種抗腐蝕硅片研磨設備，包括研磨粉定量泵1、支架 2、提升架5、汽缸3、研磨盤7和研磨機底座，在所述研磨機底座的底端連接有一個定位托盤 6的汽缸提升桿4以及固定有研磨齒圈12和行星輪11，其中，所述硅片研磨機還包括一個倒U形研磨粉導入管9、一個研磨粉注入槽架8以及一個研磨粉導入管固定架13 ；所述研磨粉注入槽架8固定于研磨盤7的上部，由所述研磨粉注入槽架8引出的研磨粉注入管接入所述研磨盤7上的研磨粉輸入端；所述研磨粉導入管固定架13固定在所述汽缸提升桿4 上，所述倒U形研磨粉導入管9固定于研磨粉導入管固定架13的側(cè)壁，固定后的倒U形研磨粉導入管的輸出管口垂直位于研磨粉注入槽架8中的注入槽上方，所述倒U形研磨粉導入管9的另一端經(jīng)軟管10連接至所述研磨粉定量泵1的輸出端。在這里，所述倒U形研磨粉導入管的材質(zhì)為硬塑料板材，所述軟管的材質(zhì)為硅膠。本方案實施后，由于不再使用金屬管路而改用由硅膠軟管和硬塑料材料制成的滴管來替代，因此具有較強的抗腐蝕性，提高了每臺硅片研磨機用于硅片制造時的使用壽命。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種抗腐蝕硅片研磨設備，所述研磨設備包括研磨粉定量泵、支架、提升架、汽缸、研磨盤和研磨機底座，在所述研磨機底座的底端上連接有定位托盤的汽缸提升桿以及固定有研磨齒圈和行星輪，其特征在于，所述硅片研磨機還包括一個倒U形研磨粉導入管、一個研磨粉注入槽架以及一個研磨粉導入管固定架；所述研磨粉注入槽架固定在研磨盤的上部， 由所述研磨粉注入槽架引出的研磨粉注入管接入所述研磨盤上的研磨粉輸入端；所述研磨粉導入管固定架固定在所述汽缸提升桿上，所述倒U形研磨粉導入管固定在研磨粉導入管固定架的側(cè)壁，固定后的倒U形研磨粉導入管的輸出管口垂直位于研磨粉注入槽架中的注入槽上方，所述倒U形研磨粉導入管的另一端經(jīng)軟管連接至所述研磨粉定量泵的輸出端。
2.如權(quán)利要求1所述的抗腐蝕硅片研磨設備，其特征在于，所述倒U形研磨粉導入管的材質(zhì)為硬塑料，所述軟管的材質(zhì)為硅膠。
專利摘要本實用新型公開了一種抗腐蝕硅片研磨設備，所述研磨設備包括一個倒U形研磨粉導入管、一個研磨粉注入槽架以及一個研磨粉導入管固定架；研磨粉注入槽架固定在研磨盤的上部，由研磨粉注入槽架引出的研磨粉注入管接入研磨盤上的研磨粉輸入端；研磨粉導入管固定架固定在汽缸提升桿上，倒U形研磨粉導入管固定在研磨粉導入管固定架的側(cè)壁，固定后的倒U形研磨粉導入管的輸出管口垂直位于研磨粉注入槽架中的注入槽上方，倒U形研磨粉導入管的另一端經(jīng)軟管連接至研磨粉定量泵的輸出端。采用本種結(jié)構(gòu)的硅片研磨機，改善了研磨粉添加結(jié)構(gòu)，不再使用金屬管路而使用由硅膠軟管和硬塑料材料制成的滴管來替代，因此具有較強的抗腐蝕性。
文檔編號B24B37/04GK202185820SQ20112026139
公開日2012年4月11日 申請日期2011年7月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月22日
發(fā)明者李向清, 沈彪, 胡德良 申請人:江陰市愛多光伏科技有限公司