專利名稱：固定件、設(shè)置有所述固定件的石墨舟舟片及石墨舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
固定件、設(shè)置有所述固定件的石墨舟舟片及石墨舟
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于管式CVD (Chemical Vapour D印osition，化學(xué)氣相沉積)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種固定件、設(shè)置有所述固定件的石墨舟舟片及石墨舟。
背景技術(shù)：
目前，在晶體硅電池片表面制作的減反膜基本上采用的是氮化硅膜，其不僅具有良好的光減反和表面鈍化效果，而且同時也是具有優(yōu)良的物理、化學(xué)性能的介質(zhì)膜。在現(xiàn)在的太陽能電池生產(chǎn)工藝中，普遍采用的是化學(xué)氣相沉積方式，而其中最常見的一種方式則是管式PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour D印osition，等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)。在管式CVD設(shè)備(例如Centrotherm公司制造的管式PECVD設(shè)備)的制程工藝中， 為了實現(xiàn)一次性鍍膜批量硅片而需要將硅片固定在具有特殊結(jié)構(gòu)的石墨舟中，石墨舟作為硅片的承載工具，其常見方法是使用石墨材料的三個固定件(在業(yè)界亦被稱為可拆卸卡點或工藝點)來對硅片進(jìn)行固定。然而，在硅片于石墨舟上的插片和卸片過程中，硅片將與固定件接觸并發(fā)生摩擦，當(dāng)超過一定次數(shù)后，這些固定件會由于摩擦次數(shù)太多導(dǎo)致磨損，并且磨損嚴(yán)重的固定件會對鍍膜效果、產(chǎn)品外觀和質(zhì)量產(chǎn)生不利影響。因此，在經(jīng)過一定使用周期后就必須定期更換這些固定件，如此由于它們耗費多、維護(hù)成本高，所以增加了生產(chǎn)成本，并且影響到生產(chǎn)效率的提高。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種固定件，以能夠有效解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題。此外，本實用新型的目的還在于提供設(shè)置有上述固定件的石墨舟舟片及石墨舟， 從而更好地解決上述問題，以滿足例如晶體硅太陽能電池片等制程工藝的需要。為實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型采用的技術(shù)方案如下—種固定件，其具有工作區(qū)域，所述工作區(qū)域用于與硅片相接觸以將所述硅片固定到石墨舟舟片上，所述固定件上設(shè)置有標(biāo)識部，所述標(biāo)識部將所述工作區(qū)域標(biāo)識區(qū)分為至少兩個區(qū)段。在上述的固定件中，優(yōu)選地，所述固定件呈 鈴形并且其中間部分的外圓周面為所述工作區(qū)域，所述標(biāo)識部被設(shè)置于所述固定件的至少一個端部上。在上述的固定件中，優(yōu)選地，所述標(biāo)識部包括至少兩個被相互分開設(shè)置的標(biāo)識符號，所述標(biāo)識符號具有彼此相異的序號、字符、形狀和/或顏色特征。在上述的固定件中，優(yōu)選地，所述標(biāo)識部為由彼此相異的長度和/或形狀構(gòu)成的平面幾何圖形。在上述的固定件中，優(yōu)選地，所述固定件由石墨材料制成。在上述的固定件中，優(yōu)選地，所述硅片是單晶硅硅片或多晶硅硅片。[0013]一種石墨舟舟片，在所述石墨舟舟片上設(shè)置有如以上任一項所述的固定件，所述固定件將硅片固定在所述石墨舟舟片上。在 上述的石墨舟舟片中，優(yōu)選地，每一硅片均通過至少三個固定件固定在所述石墨舟舟片上，所述至少三個固定件分別對應(yīng)硅片的三條邊設(shè)置。一種石墨舟，所述石墨舟包括至少一個如以上任一項所述的石墨舟舟片。本實用新型的有益效果在于采用本實用新型可以解決在例如管式PECVD設(shè)備中使用石墨舟時由于頻繁更換固定件而造成成本過高、生產(chǎn)效率較低等問題，通過對固定件進(jìn)行多次利用能夠成倍地延長固定件的使用壽命，從而在不影響產(chǎn)品品質(zhì)的情況下可以顯著降低生產(chǎn)過程中固定件的耗用量，實現(xiàn)節(jié)省耗材、降低生產(chǎn)成本、保證產(chǎn)品質(zhì)量并且有效提高生產(chǎn)效率的良好效果。

以下將結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。其中圖1是本實用新型中石墨舟和石墨舟舟片的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是通過本實用新型的固定件將硅片固定到石墨舟舟片上的一個示例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型中固定件的一個示例的側(cè)視圖；圖4是圖3中示例的俯視圖，在該圖中示出了固定件上工作區(qū)域中的已磨損區(qū)段和未磨損區(qū)段的位置；以及圖5是圖3中示例的俯視圖，在該圖中示出了通過旋轉(zhuǎn)固定件后的工作區(qū)域中的已磨損區(qū)段和未磨損區(qū)段的位置。附圖標(biāo)記說明1 石墨舟 2 墨舟舟片3 硅片 4 固定件5 工作區(qū)域6 標(biāo)識部7 螺栓8 螺母9 定位件 51 已磨損區(qū)段52 未磨損區(qū)段
具體實施方式請首先參閱圖3-5，在這些圖中示意性地圖示出了本實用新型的固定件4的一個示例的基本構(gòu)成情況。如圖3所示，結(jié)合參見圖2，通常采用石墨材料制成的固定件4在整體上呈兩頭大、 中間小的啞鈴形狀，并且通過使其中間部分的外圓周面(即圖3中的工作區(qū)域5)與硅片 3 (例如，單晶硅硅片或多晶硅硅片)進(jìn)行接觸，從而將硅片3卡裝固定到石墨舟舟片2上。 在圖2中，它具體圖示出了通過使用三個固定件4將硅片3固定到石墨舟舟片上的情形，然而需要指出的是在實際使用時并不局限于僅使用三個固定件4來完成該固定操作，事實上還存在著使用多于三個固定件4的情形，三個或多于三個的固定件分別對應(yīng)硅片的三條邊設(shè)置。在某些情況下(例如，配合使用其他輔助部件或在石墨舟舟片上設(shè)置特殊結(jié)構(gòu)等)， 僅需使用一個或兩個固定件4。本實施例中以硅片3僅通過固定件4固定在石墨舟舟片2 上為例進(jìn)行說明，但是并非以此為限。在使用過程中，在固定件4中間部分的外圓周面與硅片3之間，由于二者較長時間的接觸摩擦致使前者的工作區(qū)域5無法避免被磨損，因此需要比較頻繁地更換固定件4以保證工藝鍍膜效果、產(chǎn)品的外觀質(zhì)量等。對此問題，本實用新型是通過在固定件4上專門設(shè)計可以采用各種形式的標(biāo)識部來加以解決的，以下將同時結(jié)合圖4和圖5來進(jìn)行詳細(xì)說明， 在說明過程中會具體介紹本實用新型的固定件的使用方法。如圖4所示，它是圖3中的固定件4示例的俯視圖，其中顯示出在固定件4的一個端部上設(shè)置了三個標(biāo)識部6，這些標(biāo)識部6是被等分均布在該端部上并且分別采用了完全不相同的形狀，從而由此可以非常顯著地將整個工作區(qū)域5標(biāo)識出位于它們之間的區(qū)段， 以便于使用者能夠十分方便、快速地區(qū)分出這些區(qū)段。例如，在圖4中也顯示出了在使用一段時間之后在工作區(qū)域5中的已磨損區(qū)段51和未磨損區(qū)段52，顯然此時的已磨損區(qū)段51 已經(jīng)喪失或基本喪失了提供符合要求的工作接觸面的能力，其已經(jīng)無法或難以保證將硅片 3穩(wěn)定、可靠地固定到石墨舟舟片2上。對比之下，由于此時的未磨損區(qū)段52尚未進(jìn)行使用，因而在該區(qū)段范圍內(nèi)仍保持其原始形狀并具備提供正常工作接觸面的能力。再如圖5所示，通過將固定件4從石墨舟舟片2上卸下，然后借助于上述的標(biāo)識部 6來識別并選定未磨損區(qū)段52，即將固定件4旋轉(zhuǎn)一定角度而改由未磨損區(qū)段52來與硅片 3進(jìn)行接觸，從而將硅片3固定到石墨舟舟片2上。由于可以通過設(shè)置多個標(biāo)識部6來將整個工作區(qū)域5標(biāo)識出多個區(qū)段，從而就能夠重復(fù)以上過程而繼續(xù)使用固定件4多次，直到工作區(qū)域5中的所有區(qū)段均已被磨損而都不能使用為止。不言而喻，通過采用本實用新型的固定件以及針對這種固定件使用方法，就能夠非常明顯減少現(xiàn)有技術(shù)中的固定件的消耗量，降低其長期使用成本。請再參閱圖1，在該圖中示意性地顯示出石墨舟舟片2和石墨舟1的基本結(jié)構(gòu)。在本實用新型中，可以采用如上所述的固定件4來將硅片3固定在圖1中的石墨舟舟片2上， 并且還可以通過至少一個這樣的石墨舟舟片2來組合成圖1中的石墨舟1，從而使其具備如前所述的各種優(yōu)勢。關(guān)于通過設(shè)置多個螺栓7、螺母8以及定位件9從而將所需數(shù)目的石墨舟舟片2連接在一起形成石墨舟1的具體情形，由于這部分內(nèi)容并不屬于本實用新型的重點并且其已經(jīng)為本領(lǐng)域技術(shù)人員所能理解，所以在此不做過多的描述。最后，應(yīng)當(dāng)特別指出的是，根據(jù)具體應(yīng)用需求，還可以針對本實用新型進(jìn)行更多的靈活變形處理，以下僅就其中一些情形進(jìn)行示例性的說明，這些示例都不能被用作對本實用新型的任何限制。例如，在一個實施例中，可以將固定件4上的標(biāo)識部6設(shè)置成包括兩個或多于三 個的標(biāo)識符號并將它們相互分開設(shè)置，同時使這些標(biāo)識符號具有彼此完全不同的序號、字符、 形狀、顏色等特征或者以上這些特征的任意組合，以便在按照本實用新型的使用方法使用固定件4時，使用者可以對工作區(qū)域5中的各區(qū)段進(jìn)行快速識別區(qū)分。另外，在又一個實施例中，還可以標(biāo)識部6設(shè)置為各種可能的平面幾何圖形，這樣的平面幾何圖形可以是由彼此相異的長度、形狀或者二者的組合來構(gòu)成的，以便同樣具有上述的快速識別功能。當(dāng)然，在另外的一些實施例中，還可以選取各種其他的適用構(gòu)造或形式來實現(xiàn)本實用新型中的標(biāo)識部6的標(biāo)識區(qū)分不同區(qū)段的功能。此外，在另一個實施例中，可以將前述示例的固定件4的兩端部都設(shè)置標(biāo)識部，并且還可以在這兩個端部上進(jìn)一步采用并不相同的設(shè)計形式來實現(xiàn)其上的標(biāo)識部。以上列舉了若干具體實施例來詳細(xì)闡明本實用新型的固定件、設(shè)置有所述固定件的石墨舟舟片及石墨舟，這些個例僅供說明本實用新型的原理及其實施方式之用，而非對本實用新型的限制，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員還可以做出各種變形和改進(jìn)。因此，所有等同的技術(shù)方案均應(yīng)屬于本實用新型的范疇并為本實用新型的各項權(quán)利要求所限定。
權(quán)利要求1.一種固定件，其具有工作區(qū)域，所述工作區(qū)域用于與硅片相接觸以將所述硅片固定到石墨舟舟片上，其特征在于，所述固定件上設(shè)置有標(biāo)識部，所述標(biāo)識部將所述工作區(qū)域標(biāo)識區(qū)分為至少兩個區(qū)段。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定件，其特征在于，所述固定件呈 鈴形并且其中間部分的外圓周面為所述工作區(qū)域，所述標(biāo)識部被設(shè)置于所述固定件的至少一個端部上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固定件，其特征在于，所述標(biāo)識部包括至少兩個被相互分開設(shè)置的標(biāo)識符號，所述標(biāo)識符號具有彼此相異的序號、字符、形狀和/或顏色特征。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固定件，其特征在于，所述標(biāo)識部為由彼此相異的長度和 /或形狀構(gòu)成的平面幾何圖形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固定件，其特征在于，所述固定件由石墨材料制成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固定件，其特征在于，所述硅片是單晶硅硅片或多晶硅硅片。
7.—種石墨舟舟片，其特征在于，在所述石墨舟舟片上設(shè)置有如權(quán)利要求1-6中任一項所述的固定件，所述固定件將硅片固定在所述石墨舟舟片上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的石墨舟舟片，其特征在于，每一硅片均通過至少三個固定件固定在所述石墨舟舟片上，所述至少三個固定件分別對應(yīng)硅片的三條邊設(shè)置。
9.一種石墨舟，其特征在于，所述石墨舟包括至少一個如權(quán)利要求7或8所述的石墨舟舟片。
專利摘要本實用新型涉及一種固定件，其具有工作區(qū)域，所述工作區(qū)域用于與硅片相接觸以將所述硅片固定到石墨舟舟片上，所述固定件上設(shè)置有標(biāo)識部以將所述工作區(qū)域標(biāo)識區(qū)分為至少兩個區(qū)段。本實用新型還涉及設(shè)置有上述固定件的石墨舟舟片與石墨舟。采用本實用新型可以解決在例如管式PECVD設(shè)備中使用石墨舟時由于頻繁更換固定件而造成成本過高、生產(chǎn)效率較低等問題，通過對固定件進(jìn)行多次利用能夠成倍地延長固定件的使用壽命，從而在不影響產(chǎn)品品質(zhì)的情況下可以顯著降低生產(chǎn)過程中固定件的耗用量，實現(xiàn)節(jié)省耗材、降低生產(chǎn)成本、保證產(chǎn)品質(zhì)量并且有效提高生產(chǎn)效率的良好效果。
文檔編號C23C16/458GK202039126SQ201120024788
公開日2011年11月16日 申請日期2011年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月18日
發(fā)明者何悅, 侯保國, 王在發(fā), 黃治國 申請人:尚德太陽能電力有限公司, 無錫尚德太陽能電力有限公司