專利名稱：一種串聯(lián)提高固態(tài)源使用效率的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于固態(tài)源使用技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種串聯(lián)提高固態(tài)源使用效率的方法。
背景技術(shù)：
MOCVD是金屬有機化合物化學(xué)氣相淀積(Metal-organic Chemi cal Vapor Deposition)的英文縮寫。在MOCVD生產(chǎn)中，固體TMh源使用效率低成為主要的問題，對于固態(tài)TMh源，其飽和蒸汽壓的穩(wěn)定性和使用效率一直是用戶關(guān)注的焦點，對于傳統(tǒng)源瓶， 當(dāng)源的量多時，源瓶內(nèi)的空間較小，上下的飽和蒸汽壓基本相等而且穩(wěn)定。當(dāng)源瓶內(nèi)源的量用到較少時，源瓶內(nèi)空間較大，很難保證頂部和底部的飽和蒸汽壓相同，此時頂部氣體中源的飽和蒸汽壓不穩(wěn)定，導(dǎo)致源瓶中源的使用效率低。目前，提高效率的方法主要有兩種，第一種是采用不同設(shè)計的源瓶，第二種通過敲擊源瓶來提高其使用效率，但這兩種方法各有優(yōu)缺點，第一種使用效率可達95%，但價格昂貴；第二種價格低，但使用效率最高到65%。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種串聯(lián)提高固態(tài)源使用效率的方法，具有操作簡單，固態(tài)源使用效率高，不影響外延層的性能，適用范圍廣的特點。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種串聯(lián)提高固態(tài)源使用效率的方法，包括以下步驟步驟1 將同型號的兩個源瓶串聯(lián)，具體做法是將同型號的第一源瓶1和第二源瓶2放入溫度為20 35°C的同一水浴槽中，并將第一源瓶1的出口 3與第二源瓶的進口 4 相連通；步驟2 當(dāng)?shù)谝辉雌?和第二源瓶2內(nèi)的壓力為750 850torr時，將載氣N2或者 H2通入第一源瓶進口 5，通過載氣的運輸將源從第一源瓶1內(nèi)輸送到第二源瓶2內(nèi)，源的輸送流量為300 400sccm。本發(fā)明基于傳統(tǒng)源瓶，在同一溫度的水浴槽中，對于同型號源只需將兩個源瓶串聯(lián)同時使用，通過載氣的運輸將源從前一個源瓶運送到后一個源瓶，直到第一個源瓶中的源全部被傳送到后一個源瓶，將固態(tài)源的使用效率提高到98%，具有操作簡單，固態(tài)源使用效率高，不影響外延層的性能，適用范圍廣的特點。


附圖是本發(fā)明方法示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。實施例一
如附圖所示，本實施例提高固態(tài)源使用效率的方法，包括以下步驟步驟1 將同型號的第一源瓶1和第二源瓶2放入溫度為的同一水浴槽中，并將第一源瓶1的出口 3與第二源瓶的進口 4相連通；步驟2 當(dāng)?shù)谝辉雌?和第二源瓶2內(nèi)的壓力為SOOtorr時，將載氣隊或者H2通入第一源瓶進口 5，通過載氣的運輸將源從第一源瓶1內(nèi)輸送到第二源瓶2內(nèi)，源的輸送流量為 360sccmo實施例二如附圖所示，本實施例提高固態(tài)源使用效率的方法，包括以下步驟步驟1 將同型號的第一源瓶1和第二源瓶2放入溫度為20°C的同一水浴槽中，并將第一源瓶1的出口 3與第二源瓶的進口 4相連通；步驟2 當(dāng)?shù)谝辉雌?和第二源瓶2內(nèi)的壓力為750torr時，將載氣隊或者H2通入第一源瓶進口 5，通過載氣的運輸將源從第一源瓶1內(nèi)輸送到第二源瓶2內(nèi)，源的輸送流量為 300sccmo實施例三如附圖所示，本實施例提高固態(tài)源使用效率的方法，包括以下步驟步驟1 將同型號的第一源瓶1和第二源瓶2放入溫度為35°C同一水浴槽中，并將第一源瓶1的出口 3與第二源瓶的進口 4相連通；步驟2 當(dāng)?shù)谝辉雌?和第二源瓶2內(nèi)的壓力為850torr時，將載氣隊或者H2通入第一源瓶進口 5，通過載氣的運輸將源從第一源瓶1內(nèi)輸送到第二源瓶2內(nèi)，源的輸送流量為 400sccmo如附圖所示，源瓶2還設(shè)有出口 6，通過載氣的運輸將源從源瓶1中全部運送到源瓶2中，使得源瓶1的高固態(tài)源的使用率達到98%。
權(quán)利要求
1.一種提高固態(tài)源使用效率的方法，其特征在于包括以下步驟步驟1 將同型號的兩個源瓶串聯(lián)，具體做法是將同型號的第一源瓶(1)和第二源瓶 (2)放入溫度為20 35°C的同一水浴槽中，并將第一源瓶(1)的出口(3)與第二源瓶的進口⑷相連通；步驟2 當(dāng)?shù)谝辉雌?1)和第二源瓶O)內(nèi)的壓力為750 850torr時，將載氣隊或者 H2通入第一源瓶進口(5)，通過載氣的運輸將源從第一源瓶(1)內(nèi)輸送到第二源瓶O)內(nèi)， 源的輸送流量為300 400sccm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于包括以下步驟步驟1 將同型號的第一源瓶(1)和第二源瓶( 放入溫度為的同一水浴槽中，并將第一源瓶(1)的出口(3)與第二源瓶的進口(4)相連通；步驟2:當(dāng)?shù)谝辉雌?1)和第二源瓶O)內(nèi)的壓力為SOOtorr時，將載氣隊或者H2通入第一源瓶進口(5)，通過載氣的運輸將源從第一源瓶(1)內(nèi)輸送到第二源瓶O)內(nèi)，源的輸送流量為360sccm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于包括以下步驟步驟1 將同型號的第一源瓶(1)和第二源瓶( 放入溫度為20°c的同一水浴槽中，并將第一源瓶(1)的出口(3)與第二源瓶的進口 4相連通；步驟2:當(dāng)?shù)谝辉雌?1)和第二源瓶O)內(nèi)的壓力為750torr時，將載氣隊或者吐通入第一源瓶進口(5)，通過載氣的運輸將源從第一源瓶(1)內(nèi)輸送到第二源瓶O)內(nèi)，源的輸送流量為300sccm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于包括如下步驟步驟1 將同型號的第一源瓶(1)和第二源瓶( 放入溫度為35°C的同一水浴槽中，并將第一源瓶(1)的出口(3)與第二源瓶的進口(4)相連通；步驟2:當(dāng)?shù)谝辉雌?1)和第二源瓶2內(nèi)的壓力為850torr時，將載氣隊或者H2通入第一源瓶進口(5)，通過載氣的運輸將源從第一源瓶(1)內(nèi)輸送到第二源瓶O)內(nèi)，源的輸送流量為400sccm。
全文摘要
一種串聯(lián)提高固態(tài)源使用效率的方法，包括以下步驟步驟1將同型號的兩個源瓶串聯(lián)，具體做法是將同型號的第一源瓶和第二源瓶放入溫度為20～35℃的同一水浴槽中，并將第一源瓶的出口與第二源瓶的進口相連通；步驟2當(dāng)?shù)谝辉雌亢偷诙雌績?nèi)的壓力為750～850torr時，將載氣N2或者H2通入第一源瓶進口，通過載氣的運輸將源從第一源瓶內(nèi)輸送到第二源瓶內(nèi)，源的輸送流量為300～400sccm；本發(fā)明方法具有操作簡單，固態(tài)源使用效率高，不影響外延層的性能，適用范圍廣的特點。
文檔編號C23C16/448GK102330071SQ20111026063
公開日2012年1月25日 申請日期2011年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月5日
發(fā)明者劉波波, 孟錫俊, 李培咸, 王旭明, 王曉波, 白俊春, 郭遲 申請人:西安中為光電科技有限公司