專利名稱：一種恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源，尤其涉及一種可根據(jù)用戶選定使用功率值使得輸出始終為設(shè)定功率值工作的電源。
背景技術(shù)：
目前國內(nèi)常見的磁控濺射鍍膜電源有直流與中頻輸出兩種，控制方式有恒壓、恒流兩種。恒壓電源的工作原理為工作負(fù)載變化時電源輸出電壓保持不便，電流隨之變化當(dāng)電流超過最大允許值時電源保護(hù)切斷輸出電源，為了防止電源超出最大輸出功率而保護(hù)需根據(jù)工作對象設(shè)定合適的工作電壓，并要考慮到工作時的最大電流以必免保護(hù)要使得工作電流與最大電流之間留有一定的變化空間，使用比較麻煩。為了克服恒壓電源的缺點產(chǎn)生了恒流鍍膜電源，恒流電源克服了恒壓電源的缺點，但是恒流電源在工作時負(fù)載增加時電壓下降因為電流不變使得電源輸出功率顯著下降造成鍍膜工作時間延長質(zhì)量下降(輸出功率P = I XV、I為輸出電流、V為輸出電壓)。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提出一種恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源，其解決了現(xiàn)有磁控濺射鍍膜電源恒壓與恒流控制方式存在輸出功率不穩(wěn)定的技術(shù)問題。本實用新型的技術(shù)解決方案一種恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源，其特殊之處在于包括將三相交流電壓轉(zhuǎn)變?yōu)閱蜗嘀绷麟妷旱妮斎胝鳛V波電路、將直流電壓轉(zhuǎn)變?yōu)橹蓄l脈動電壓的逆變電路、將逆變器輸出的中頻脈動電壓變換到輸出電壓值的高頻變壓器、輸出整流濾波電路，所述逆變電路包括串聯(lián)在輸入回路中的第一電感Ll和第一電容 Cl，其特征在于還包括用于敏感輸出電壓值和電流值的電壓傳感器A和電流傳感器B、可編程單片機S、工作狀態(tài)設(shè)定與顯示檢測系統(tǒng)；所述逆變電路還包括電子開關(guān)K ；電子開關(guān)K 串接在輸入整流濾波電路和逆變電路的第一電感Ll之間；電壓傳感器A和電流傳感器B的輸出端接可編程單片機S ；可編程單片機S可根據(jù)電壓傳感器A和電流傳感器B的電壓和電流信號及電子開關(guān)的反饋信號控制電子開關(guān)K的通斷。上述電子開關(guān)K為VMOS開關(guān)管，所述電子開關(guān)K的源極接輸入電壓，漏極接第一電感Li，柵極接可編程單片機S的控制端。本實用新型具有的優(yōu)點是1、本實用新型恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源采用可編程單片機控制電子開關(guān)，根據(jù)輸出電壓與電流的變化不斷調(diào)整逆變器的脈寬使得電壓(有效值)與電流的乘積為定值，從而保證輸出功率恒定，避免了現(xiàn)有恒流輸出磁控濺射鍍膜電源或者恒壓輸出磁控濺射鍍膜電源的缺點，使電源系統(tǒng)更加合理高效的工作。2、本實用新型可廣泛應(yīng)用磁控濺射鍍膜電源、恒功率加熱等系 統(tǒng)。
圖1是本實用新型恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源的原理框圖；圖2是本實用新型恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源的逆變電路的電路原理圖。
具體實施方式
本實用新型恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源，包括將三相交流電壓轉(zhuǎn)變?yōu)閱蜗嘀绷麟妷旱妮斎胝鳛V波電路、將直流電壓轉(zhuǎn)變?yōu)?0K或40K的脈寬可調(diào)的中頻脈動電壓的逆變電路、將逆變器輸出的中頻脈動電壓變換到輸出電壓值的高頻變壓器、輸出整流濾波電路、電壓傳感器A、電流傳感器B、可編程單片機S、工作狀態(tài)設(shè)定與顯示檢測系統(tǒng)，逆變電路包括電子開關(guān)K、串聯(lián)在輸入回路中的第一電感Ll和第一電容Cl，電子開關(guān)K采用VMOS開關(guān)管，VMOS開關(guān)管的源極接輸入電壓，漏極接第一電感Li，柵極接可編程單片機S的控制端；電壓傳感器A和電流傳感器B用于敏感輸出電壓值和電流值，電壓傳感器A和電流傳感器B的輸出端接可編程單片機S ；可編程單片機S可根據(jù)電壓傳感器A和電流傳感器B的電壓和電流信號及電子開關(guān)的反饋信號控制電子開關(guān)K的通斷；本實用新型工作原理本實用新型電源通過單片機控制電子開關(guān)，根據(jù)輸出電壓和電流值，不斷調(diào)整逆變器的脈寬使得電壓(有效值)與電流的乘積為一定值。相當(dāng)于根據(jù)工作對象的不同選擇不同的工作功率，當(dāng)工作負(fù)載變化時電源的輸出的電壓與電流同時變化保持輸出功率不便(即電壓與電流的乘積為設(shè)定值)，使得系統(tǒng)在一個恒定的輸出功率下工作。
權(quán)利要求1.一種恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源，包括將三相交流電壓轉(zhuǎn)變?yōu)閱蜗嘀绷麟妷旱妮斎胝鳛V波電路、將直流電壓轉(zhuǎn)變?yōu)橹蓄l脈動電壓的逆變電路、將逆變器輸出的中頻脈動電壓變換到輸出電壓值的高頻變壓器、輸出整流濾波電路，所述逆變電路包括串聯(lián)在輸入回路中的第一電感Ll和第一電容Cl，其特征在于還包括用于敏感輸出電壓值和電流值的電壓傳感器A和電流傳感器B、可編程單片機S、工作狀態(tài)設(shè)定與顯示檢測系統(tǒng)；所述逆變電路還包括電子開關(guān)K ；電子開關(guān)K串接在輸入整流濾波電路和逆變電路的第一電感Ll之間；電壓傳感器A和電流傳感器B的輸出端接可編程單片機S ；可編程單片機S可根據(jù)電壓傳感器A和電流傳感器B的電壓和電流信號及電子開關(guān)的反饋信號控制電子開關(guān)K的通斷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源，其特征在于所述電子開關(guān) K為VMOS開關(guān)管，所述電子開關(guān)K的源極接輸入電壓，漏極接第一電感Ll，柵極接可編程單片機S的控制端。
專利摘要本實用新型的一種恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源，包括輸入整流濾波電路、逆變電路、高頻變壓器、輸出整流濾波電路，所述逆變電路包括串聯(lián)在輸入回路中的第一電感L1和第一電容C1，還包括用于敏感輸出電壓值和電流值的電壓傳感器A和電流傳感器B、可編程單片機S、工作狀態(tài)設(shè)定與顯示檢測系統(tǒng)；所述逆變電路還包括電子開關(guān)K；本實用新型恒功率輸出磁控濺射鍍膜電源采用可編程單片機控制電子開關(guān)，根據(jù)輸出電壓與電流的變化不斷調(diào)整逆變器的脈寬使得電壓(有效值)與電流的乘積為定值，從而保證輸出功率恒定，避免了現(xiàn)有恒流輸出磁控濺射鍍膜電源或者恒壓輸出磁控濺射鍍膜電源的缺點，使電源系統(tǒng)更加合理高效的工作。
文檔編號C23C14/35GK202059334SQ20102067107
公開日2011年11月30日 申請日期2010年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月20日
發(fā)明者孫力, 張立新 申請人:西安高度電子科技有限公司