專(zhuān)利名稱：可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，且特別是涉及一種用于成膜裝置的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)今半導(dǎo)體或光電產(chǎn)業(yè)中，許多元件均需要應(yīng)用薄膜來(lái)達(dá)到其功效。在制備薄膜時(shí)，常分為物理沉積以及化學(xué)沉積兩種方式。其中，物理沉積方式有熱蒸鍍、電子束蒸鍍(Ε-beam evaporation)、直流濺鍍(sputtering)、射頻濺鍍等。而化學(xué)沉積方式有 噴霧熱分解法(Spray pyrolysis technique，SPT)、浸染法(Dip coating)、溶膠凝膠法 (Sol-gel)、涂布法(Spin coating)、化學(xué)氣相沉積法(Chemical vapor deposition, CVD)寸。舉例來(lái)說(shuō)，液晶顯示元件、電激發(fā)光元件等各種顯示元件或薄膜太陽(yáng)能電池的電極，其電極主要為具有可見(jiàn)光線透過(guò)率高，且電阻低的透明導(dǎo)電性薄膜。因此，透明導(dǎo)電膜成為完成現(xiàn)今各種顯示器元件中不可或缺的電極材料。例如氧化銦錫(Indium Tin Oxide, ΙΤ0)、氧化錫(Tin Oxide，TO)、或摻雜有氟的錫氧化物(Fluorine-doped Tin Oxide, FT0) 等導(dǎo)電性金屬氧化物為主要成分的膜，兼具對(duì)可見(jiàn)光優(yōu)異的透明性及優(yōu)異的電性傳導(dǎo)性。然而，通常一個(gè)元件可能需要用到幾層不同成分的薄膜，因此必須在連續(xù)式的成膜設(shè)備中完成?，F(xiàn)有技術(shù)中，用于形成數(shù)層不同成分的薄膜，是將每層薄膜在形成后，移到下一個(gè)機(jī)臺(tái)中形成下一層薄膜。然而，當(dāng)元件移出至工藝腔體后到下一個(gè)機(jī)臺(tái)之前，可能會(huì)遭遇到污染或氧化的問(wèn)題，造成產(chǎn)品質(zhì)量的劣化。此外，許多成膜工藝多在真空(或接近真空)下進(jìn)行，所以這樣的工藝假如是以連續(xù)式操作的話，所使用的設(shè)備不僅復(fù)雜且昂貴，使得所制造的成品價(jià)格甚高。為解決上述問(wèn)題，需要提供一種能在不需要在真空的環(huán)境下，且能夠連續(xù)式成膜的設(shè)備來(lái)符合前述需求的裝置結(jié)構(gòu)。

實(shí)用新型內(nèi)容因此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于成膜裝置的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)。通過(guò)可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的獨(dú)立設(shè)計(jì)，使成膜裝置的成膜原料供應(yīng)管路以及排氣管路具有拆卸方便以及清洗容易的優(yōu)點(diǎn)?；谏鲜瞿康模緦?shí)用新型提出一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，用于成膜裝置，包含 板體、排氣單元、成膜原料供應(yīng)單元以及兩鎖固元件。其中排氣單元設(shè)置于板體的一端。成膜原料供應(yīng)單元設(shè)置于板體中相對(duì)于排氣單元的另一端。兩鎖固元件則分別將排氣單元以及成膜原料供應(yīng)單元鎖固于板體上。此外，排氣單元包含至少一抽氣管與至少一隔板，其中，每一抽氣管包含一氣體流量控制閥，且每一抽氣管共同連通于一抽氣開(kāi)口，而隔板則用以使每?jī)上噜彽某闅夤荛g形成抽氣室。成膜原料供應(yīng)單元設(shè)置于板體中相對(duì)于排氣單元的另一端，其包含一容室，容室側(cè)面設(shè)有原料供應(yīng)孔。[0008]本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，還包含一加熱器，設(shè)置于該板體中，且位于該排氣單元與該成膜原料供應(yīng)單元之間。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該抽氣開(kāi)口為孔狀或條狀。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該氣體流量控制閥為球閥或蝴蝶閥。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該成膜原料供應(yīng)單元還包含至少一第一隔板，垂直設(shè)置于該容室中且位于該原料供應(yīng)孔上。本實(shí)用新型也提出一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，用于成膜裝置，成膜裝置包含爐體以及橫向貫穿爐體的成膜室，成膜室具有基板輸入端以及基板輸出端，所述可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)設(shè)置于成膜室上方，包含板體、第一鎖固元件、排氣單元以及成膜原料供應(yīng)單元。其中，第一鎖固元件環(huán)繞設(shè)置于板體的外圍，用以將板體鎖固于爐體上。排氣單元設(shè)置于板體的一端，且鄰近于成膜室的基板輸出端。成膜原料供應(yīng)單元設(shè)置于板體中相對(duì)于排氣單元的另一端，且鄰近成膜室的基板輸入端。此外，本實(shí)用新型還提出一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，用于成膜裝置，成膜裝置包含爐體以及橫向貫穿爐體的成膜室，成膜室具有基板輸入端以及基板輸出端，所述可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)設(shè)置于成膜室上方?？刹鹦妒竭M(jìn)出氣結(jié)構(gòu)包含板體；第一鎖固元件，由多個(gè)扣件所組成，分別將排氣單元以及成膜原料單元可拆卸式地鎖固于板體上；排氣單元，設(shè)置于板體的一端，且鄰近成膜室的基板輸出端；以及成膜原料供應(yīng)單元，設(shè)置于板體中相對(duì)于排氣單元的另一端，且鄰近于成膜室的基板輸入端。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該成膜裝置還包含一滾輪輸送裝置；一第一加熱器，設(shè)置于該輸送軌道下方；一第一連接元件，設(shè)置于該基板輸入端，以連接至一第一工藝裝置；以及一第二連接元件，設(shè)置于該基板輸出端，以連接至一第二工藝裝置。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該滾輪輸送裝置包含多個(gè)可自由旋轉(zhuǎn)的滾輪，所述滾輪的輪軸以一結(jié)合件相互連接，所述滾輪的滾輪直徑介于45mm到65mm 之間，輥距介于90mm至120mm之間，且所述滾輪的材料為含硅氧化物的陶瓷；一輸送軌道， 貫穿該成膜室且繞設(shè)于所述滾輪；以及一滾輪驅(qū)動(dòng)裝置，與所述滾輪其中之一滾輪的輪軸結(jié)合，以驅(qū)動(dòng)所述滾輪各輪軸轉(zhuǎn)動(dòng)，該滾輪驅(qū)動(dòng)裝置受一傳動(dòng)馬達(dá)所驅(qū)動(dòng)。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)還包含一第二加熱器，設(shè)置于該板體中，且位于該排氣單元與該成膜原料供應(yīng)單元之間。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該排氣單元包含至少一抽氣管，每一該抽氣管具有一氣體流量控制閥，且每一該抽氣管共同連通于一抽氣開(kāi)口。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該成膜原料供應(yīng)單元包含一容室， 具有一原料供應(yīng)孔，該原料供應(yīng)孔設(shè)置于該容室靠近該成膜原料供應(yīng)單元的一側(cè)面；以及至少一第一隔板，垂直設(shè)置于該容室中且位于該原料供應(yīng)孔上，該第一隔板具有多道通孔。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該成膜原料供應(yīng)單元還包含至少一第二隔板，垂直設(shè)置于該容室內(nèi)且鄰近該原料供應(yīng)孔。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，還包含一第二鎖固元件以及一第三鎖固元件，分別用以將該排氣單元以及該成膜原料供應(yīng)單元鎖固于該板體上。[0021]本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該第一工藝裝置為一基板加熱裝置。本實(shí)用新型所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其中該第二工藝裝置為一基板退火裝置。通過(guò)運(yùn)用本實(shí)用新型的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，可節(jié)省購(gòu)買(mǎi)成膜機(jī)臺(tái)進(jìn)行改裝的成本，并且通過(guò)連接元件的設(shè)置，上述成膜裝置的前段工藝與后段工藝具有更彈性的選擇性， 且具有可替換性，達(dá)到降低生產(chǎn)成本的目的。綜上所述，本實(shí)用新型具有以下功效1.應(yīng)用本實(shí)用新型的成膜裝置可以提供大面積形成連續(xù)且均勻薄膜。2.通過(guò)可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的獨(dú)立設(shè)計(jì)，成膜裝置的成膜原料供應(yīng)管路以及排氣管路具有拆卸方便以及清洗容易的優(yōu)點(diǎn)。3.以一成膜裝置搭配兩可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，在清除附著于管路內(nèi)的成膜時(shí)，可以另一進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)進(jìn)行替換，由此生產(chǎn)線不會(huì)因清洗而導(dǎo)致停止。

為讓本實(shí)用新型的上述和其他目的、特征、優(yōu)點(diǎn)與實(shí)施例能更明顯易懂，結(jié)合附圖說(shuō)明如下圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的示意圖；圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的輸送裝置示意圖；圖3A為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的使用該可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的改良的成膜裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖:3B為沿圖3A的剖線AA’的剖面圖；圖3C為沿圖3A的剖線BB’的剖面圖；圖3D為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的排氣單元的剖面圖；圖4為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的具有可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的成膜裝置示意圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明100成膜裝置101基板[0039]110爐體111成膜室[0040]112基板輸入端113基板輸出端[0041]114保溫棉120 輸送裝置[0042]121輸送軌道122 滾輪[0043]123滾輪驅(qū)動(dòng)裝置124 傳動(dòng)馬達(dá)[0044]125結(jié)合件130 加熱器[0045]140可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)141 板體[0046]142第一鎖固元件142a,螺絲[0047]142k！螺絲孔143 排氣單元144 成膜原料供應(yīng)單元145 加熱器310:抽氣管150、160:連接元件[0050] 330:抽氣開(kāi)口
320 氣體流量控制閥341 隔板350 容室
340 抽氣室 351 隔板 353 容室 354a 容室 360 管路 352 原料供應(yīng)孔354 容室；356:隔板440 可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)500a 基板加熱裝置
441,442 扣件 500b 基板退火裝置
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參照?qǐng)D1，為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的示意圖，揭示一種應(yīng)用于成膜裝置的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)140。成膜裝置100包含爐體110、輸送裝置120、加熱器130、可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)140、連接元件150以及連接元件160。成膜作業(yè)于爐體110內(nèi)的成膜室111內(nèi)進(jìn)行。成膜室111具有基板輸入端112以及基板輸出端113，以便于將欲進(jìn)行成膜作業(yè)的基板101由基板輸入端112輸入，并經(jīng)由基板輸出端113輸出。而爐體110具備隔熱材料， 如圖2的保溫棉114，以防止?fàn)t體110的熱散失?；?01可以使用玻璃或不銹鋼或柔性基板等。在本實(shí)施例中，較佳使用玻璃基板，其厚度介于3至5mm，基板101的最小面積可以是600mmX600mm，最大面積可以是1300mmX 1600mm?；?01也可以是直徑600mm的圓形基板。即成膜室111所能承載基板的底部面積需略大于基板101的面積，即是介于 600mmX 600mm 至 1600mmX 1900mm 之間。請(qǐng)參照?qǐng)D2，為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的輸送裝置示意圖，輸送裝置120用以將準(zhǔn)備進(jìn)行成膜作業(yè)的基板101自基板輸入端112輸送至基板輸出端113。在本實(shí)施例中，輸送裝置120為一種滾輪輸送裝置，包含可自由滾動(dòng)的多個(gè)滾輪122、輸送軌道121以及滾輪驅(qū)動(dòng)裝置123。其中，滾輪122的輪軸通過(guò)結(jié)合件125結(jié)合在一起，結(jié)合件125可以為鏈條或皮帶；輸送軌道121繞設(shè)于滾輪122外；至于滾輪驅(qū)動(dòng)裝置123則是受傳動(dòng)馬達(dá)IM所驅(qū)動(dòng)。此外，輸送軌道121可以是履帶結(jié)構(gòu)。滾輪驅(qū)動(dòng)裝置123連接于其中一個(gè)滾輪122的輪軸，通過(guò)驅(qū)動(dòng)其中一個(gè)滾輪122的輪軸來(lái)進(jìn)一步驅(qū)動(dòng)所有的滾輪122轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)啟動(dòng)傳動(dòng)馬達(dá)1 后，滾輪驅(qū)動(dòng)裝置123驅(qū)動(dòng)所有滾輪122轉(zhuǎn)動(dòng)，由此滾輪122帶動(dòng)輸送軌道121， 以將基板101自基板輸入端112輸送到成膜室111內(nèi)。此外，所述輸送軌道為履帶，在本實(shí)施例中，輸送裝置120還包含控制結(jié)構(gòu)(圖中未示)以控制滾輪驅(qū)動(dòng)裝置123的驅(qū)動(dòng)速度， 由此可控制滾輪122的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，以達(dá)到調(diào)整基板101在成膜室111內(nèi)的移動(dòng)速度。在本實(shí)施例中，滾輪122的滾輪直徑介于45mm到65mm之間，輥距介于90mm至120mm之間。滾輪122的材料為陶瓷，較佳能承受高溫且不因工藝高溫產(chǎn)生大量熱脹冷縮而造成成膜質(zhì)量劣化的材料，如氧化硅、氧化鋁、氮化鋁、碳化硅等，但不限于以上的材料。滾輪122的直徑為55mm，輥距為100mm，且其為電鑄石英輥，需注意的是，在工藝進(jìn)行中，由于成膜原料也可能附著在滾輪122上，因此在本實(shí)用新型中，滾輪122上還設(shè)有披覆三氧化二鋁的布料，可方便清除工藝進(jìn)行時(shí)附著于滾輪122上的污染物。如圖1所示，加熱器130設(shè)置于輸送裝置120的下方，且設(shè)置于爐體110內(nèi)，以對(duì)成膜室111內(nèi)的基板101進(jìn)行加熱處理。在本實(shí)施例中，加熱器130獨(dú)立設(shè)置于輸送裝置120下方。即，滾輪122的轉(zhuǎn)動(dòng)并不會(huì)帶動(dòng)加熱器130轉(zhuǎn)動(dòng)，使得基板101在受到加熱器130 均勻受熱的情況下，進(jìn)行成膜工藝。用于成膜裝置100的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)140獨(dú)立設(shè)置于成膜室111的上方，且面對(duì)輸送裝置120。請(qǐng)參照?qǐng)D3A，此可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)140包含板體141、第一鎖固元件 142、排氣單元143以及成膜原料供應(yīng)單元144。板體141較佳以高耐熱的金屬所形成，并鋪設(shè)有隔熱材料，以隔絕爐體110內(nèi)的熱散失。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D1與圖3A，第一鎖固元件142包含螺絲14 與螺絲孔142b的組合。 螺絲孔142b環(huán)繞設(shè)置于板體141的外圍，通過(guò)螺絲14 將上述板體141鎖固于爐體110上。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D1與圖3B，圖;3B為圖3A的剖線AA，的剖面圖。排氣單元143設(shè)置于板體141的一端，且鄰近于成膜室111的基板輸出端113。其中，排氣單元143包含至少一個(gè)抽氣管310。在本實(shí)施例中，每一抽氣管310均具有一氣體流量控制閥320，由此可形成均勻的抽氣效果，且這些抽氣管310共同連通于抽氣開(kāi)口 330。通過(guò)抽氣開(kāi)口 330的抽氣可使成膜室111內(nèi)產(chǎn)生風(fēng)道效應(yīng)，使得成膜室內(nèi)的氣體會(huì)因排氣單元143的抽取，而自基板輸入端112向基板輸出端113的方向流動(dòng)。因此，當(dāng)基板101由基板輸入端112移動(dòng)至基板輸出端113時(shí)，至此成膜作業(yè)已大致完成。在本實(shí)施例中，抽氣開(kāi)口 330可為一條狀結(jié)構(gòu)或孔狀。此外，排氣單元143包含至少一個(gè)隔板341，使得相鄰兩抽氣管310間形成抽氣室 340，如圖3D所示，由此可進(jìn)一步提高抽氣的均勻性。本實(shí)施例的氣體流量控制閥320可以是球閥或者蝴蝶閥。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D1與圖3C，圖3C為沿圖3A的剖線BB’的剖面圖。成膜原料供應(yīng)單元144包含容室350以及管路360，管路360用以將成膜原料輸送至容室350內(nèi)。容室350 還包含至少一個(gè)垂直設(shè)立的隔板356，以將容室3M分隔成至少兩個(gè)容室35 以進(jìn)一步提高成膜原料的混合均勻性。此外，本實(shí)施例的原料供應(yīng)孔352并非設(shè)于容室350的上部或底部，而是設(shè)置于容室350的側(cè)面。成膜原料首先在容室350底部進(jìn)行儲(chǔ)存，當(dāng)成膜原料的液面高于原料供應(yīng)孔352時(shí)，便會(huì)流入成膜室111內(nèi)的基板101，以提高成膜的均勻度。需注意的是，原料供應(yīng)孔352也可以設(shè)置于容室350靠近排氣單元143的一側(cè)。在本實(shí)施例中，成膜原料以霧氣態(tài)噴涂至基板101上，成膜原料是組成薄膜成分的各種起始原料，舉例來(lái)說(shuō)，若要形成氧化鋅薄膜，則成膜原料可以是可溶性鋅鹽的化學(xué)溶液；若要形成氧化錫薄膜，則成膜原料可以是可溶性錫鹽的化學(xué)溶液。成膜原料供應(yīng)單元144的設(shè)計(jì)為本實(shí)用新型的重要特征。成膜室111的原料供應(yīng)孔352及抽氣開(kāi)口 330的配置，是為了增加成膜原料在基板101上停留時(shí)間，因此能形成連續(xù)且均勻的大面積薄膜。因此配置在進(jìn)片位置及出片位置兩端，其進(jìn)料口(原料供應(yīng)孔352)及出氣口(抽氣開(kāi)口 330)間的距離為1.5公尺，特別有利于進(jìn)行面積為 IOOOmmX IOOOmm以上基板的工藝。在本實(shí)施例中，此可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)140還包含加熱器145，設(shè)置于板體141中， 且位于排氣單元143與成膜原料供應(yīng)單元144之間。請(qǐng)參照?qǐng)D4，為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的示意圖，揭示一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu) 440。此可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)440還包含第二鎖固元件以及第三鎖固元件，即如圖4所示的多個(gè)扣件441、442。通過(guò)扣件441、442，分別將排氣單元143以及成膜原料單元144可拆卸式地鎖固于板體141上。如此有利于拆卸成膜原料供應(yīng)單元144以及排氣單元143，以清除附著于管路360內(nèi)的成膜原料。或者，在其他實(shí)施例中，也可視工藝需求替換成膜原料供應(yīng)單元144。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D1與圖5，其中圖5為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的具有可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的示意圖。其中，連接元件150、160分別設(shè)置于成膜裝置100的基板輸入端112以及基板輸出端113。連接元件150用以連接此成膜裝置100至第一工藝裝置，例如基板加熱裝置500a，以使得基板101在進(jìn)到成膜裝置100前即被預(yù)熱至一預(yù)設(shè)溫度。連接元件160用以連接此成膜裝置100至第二工藝裝置，例如基板退火裝置500b，以使得基板101在進(jìn)行成膜作業(yè)后可進(jìn)行退火工藝。需特別說(shuō)明的是，第一工藝裝置以及第二工藝裝置可根據(jù)實(shí)際工藝需求而替換成具有其他功能的工藝裝置。由上述實(shí)施方式可知，本實(shí)用新型具有可節(jié)省改裝機(jī)臺(tái)成本的優(yōu)點(diǎn)。并且通過(guò)連接元件的設(shè)置，上述成膜裝置的前段工藝與后段工藝具有更彈性的選擇性，且具有可替換性，達(dá)到降低生產(chǎn)成本的目的。此外，通過(guò)可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)的獨(dú)立設(shè)計(jì)，成膜裝置的成膜原料供應(yīng)管路以及排氣管路具有拆卸方便以及清洗容易的優(yōu)點(diǎn)。可以一成膜裝置搭配兩可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，在清除附著于管路內(nèi)的成膜時(shí)，可以另一進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)進(jìn)行替換，由此生產(chǎn)線不會(huì)因清洗而導(dǎo)致停止。雖然本實(shí)用新型已以實(shí)施方式揭露如上，然而其并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉此技術(shù)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，可作各種的改動(dòng)與潤(rùn)飾，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，用于一成膜裝置，其特征在于該可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)包含一板體；一排氣單元，設(shè)置于該板體的一端，該排氣單元包含至少一抽氣管，每一該抽氣管包含一氣體流量控制閥，且每一該抽氣管共同連通于一抽氣開(kāi)口 ；及至少一隔板，用以使每?jī)上噜彽脑摮闅夤荛g形成一抽氣室；一成膜原料供應(yīng)單元，設(shè)置于該板體中相對(duì)于該排氣單元的另一端，該成膜原料供應(yīng)單元包含一容室，該容室的側(cè)面設(shè)有一原料供應(yīng)孔；及兩鎖固元件，分別用以將該排氣單元及該成膜原料供應(yīng)單元鎖固于該板體上。
2.如權(quán)利要求1所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于還包含一加熱器，設(shè)置于該板體中，且位于該排氣單元與該成膜原料供應(yīng)單元之間。
3.如權(quán)利要求1所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該抽氣開(kāi)口為孔狀或條狀。
4.如權(quán)利要求1所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該氣體流量控制閥為球閥或蝴蝶閥。
5.如權(quán)利要求1所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該成膜原料供應(yīng)單元還包含至少一第一隔板，垂直設(shè)置于該容室中且位于該原料供應(yīng)孔上。
6.一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，用于一成膜裝置，其特征在于該成膜裝置包含一爐體以及橫向貫穿該爐體的一成膜室，該成膜室具有一基板輸入端以及一基板輸出端，該可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)設(shè)置于該成膜室上方，包含一板體；一第一鎖固元件，環(huán)繞設(shè)置于該板體的外圍，用以將該極體鎖固于該爐體；一排氣單元，設(shè)置于該板體的一端，且鄰近該成膜室的該基板輸出端；以及一成膜原料供應(yīng)單元，設(shè)置于該板體中相對(duì)于該排氣單元的另一端，且鄰近該成膜室的該基板輸入端。
7.一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，用于一成膜裝置，其特征在于該成膜裝置包含一爐體以及橫向貫穿該爐體的一成膜室，該成膜室具有一基板輸入端以及一基板輸出端，該可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)設(shè)置于該成膜室上方，包含一板體；一第一鎖固元件，為多個(gè)扣件，分別將該排氣單元以及該成膜原料單元可拆卸式地鎖固于該板體上；一排氣單元，設(shè)置于該板體的一端，且鄰近該成膜室的該基板輸出端；以及一成膜原料供應(yīng)單元，設(shè)置于該板體中相對(duì)于該排氣單元的另一端，且鄰近該成膜室的該基板輸入端。
8.如權(quán)利要求6或7所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該成膜裝置還包含一滾輪輸送裝置；一第一加熱器，設(shè)置于該輸送軌道下方；一第一連接元件，設(shè)置于該基板輸入端，以連接至一第一工藝裝置；以及一第二連接元件，設(shè)置于該基板輸出端，以連接至一第二工藝裝置。
9.如權(quán)利要求8所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該滾輪輸送裝置包含多個(gè)可自由旋轉(zhuǎn)的滾輪，所述滾輪的輪軸以一結(jié)合件相互連接，所述滾輪的滾輪直徑介于45mm到65mm之間，輥距介于90mm至120mm之間，且所述滾輪的材料為含硅氧化物的陶瓷；一輸送軌道，貫穿該成膜室且繞設(shè)于所述滾輪；以及一滾輪驅(qū)動(dòng)裝置，與所述滾輪其中之一滾輪的輪軸結(jié)合，以驅(qū)動(dòng)所述滾輪各輪軸轉(zhuǎn)動(dòng)， 該滾輪驅(qū)動(dòng)裝置受一傳動(dòng)馬達(dá)所驅(qū)動(dòng)。
10.如權(quán)利要求6或7所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)還包含一第二加熱器，設(shè)置于該板體中，且位于該排氣單元與該成膜原料供應(yīng)單元之間。
11.如權(quán)利要求6或7所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該排氣單元包含至少一抽氣管，每一該抽氣管具有一氣體流量控制閥，且每一該抽氣管共同連通于一抽氣開(kāi)口。
12.如權(quán)利要求6或7所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該成膜原料供應(yīng)單元包含一容室，具有一原料供應(yīng)孔，該原料供應(yīng)孔設(shè)置于該容室靠近該成膜原料供應(yīng)單元的一側(cè)面；以及至少一第一隔板，垂直設(shè)置于該容室中且位于該原料供應(yīng)孔上，該第一隔板具有多道通孑L。
13.如權(quán)利要求12所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該成膜原料供應(yīng)單元還包含至少一第二隔板，垂直設(shè)置于該容室內(nèi)且鄰近該原料供應(yīng)孔。
14.如權(quán)利要求6所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于還包含一第二鎖固元件以及一第三鎖固元件，分別用以將該排氣單元以及該成膜原料供應(yīng)單元鎖固于該板體上。
15.如權(quán)利要求6所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該第一工藝裝置為一基板加熱裝置。
16.如權(quán)利要求6所述的可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，其特征在于該第二工藝裝置為一基板退火裝置。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型揭示一種可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于成膜裝置。所述可拆卸式進(jìn)出氣結(jié)構(gòu)包含板體、排氣單元、成膜原料供應(yīng)單元以及兩鎖固元件。其中，排氣單元設(shè)置于板體的一端，且成膜原料供應(yīng)單元設(shè)置于板體的另一端，兩鎖固元件分別將排氣單元以及成膜原料供應(yīng)單元鎖固于板體上，因此本實(shí)用新型具有方便拆卸與方便清洗的功效。
文檔編號(hào)C23C16/54GK201999988SQ201020556420
公開(kāi)日2011年10月5日 申請(qǐng)日期2010年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者李炳寰, 江鴻儒, 洪麗玲, 胡英杰, 蔡明雄 申請(qǐng)人:亞樹(shù)科技股份有限公司