專利名稱:擋板冷卻機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種真空蒸鍍用的擋板,更具體地涉及一種擋板冷卻機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù):
隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,對產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)工藝要求不斷提高,真空技術(shù)成為 一門不可缺少的技術(shù),已被廣泛應(yīng)用到各個技術(shù)領(lǐng)域中。其中,應(yīng)用較為廣泛的真空鍍膜 技術(shù),是指在真空中把蒸發(fā)源加熱蒸發(fā)或用加速離子轟擊濺射,沉積到基片表面形成單層 或多層薄膜。該真空鍍膜技術(shù)已經(jīng)廣泛的應(yīng)用到各個領(lǐng)域,如眾所周知的物理氣相沉積 (Physical Vapor D印osition,PVD),化學(xué)氣相淀積(Chemical Vapor D印osition,CVD)技 術(shù)。在制備薄膜工藝過程中,一般都要求膜厚均勻,組分純凈、性能穩(wěn)定、無應(yīng)力、附著牢固 等。一般的薄膜制備方式都需要經(jīng)歷抽真空、加熱、鍍膜等一系列過程。在鍍膜之前的加熱 過程中,在未達(dá)到蒸發(fā)物的蒸發(fā)溫度時就會有蒸發(fā)源將雜質(zhì)蒸發(fā)掉,另有一些蒸發(fā)物在加 熱蒸發(fā)過程中會釋放氣體,使鍍膜室內(nèi)壓強(qiáng)上升。雜質(zhì)和不穩(wěn)定的氣體擴(kuò)散是造成薄膜厚 度不均,組分不凈、性能不穩(wěn)、應(yīng)力較大、附著不牢固等影響鍍膜質(zhì)量的主要原因。原有的在 蒸發(fā)源和處理板之間沒有采取相應(yīng)的保護(hù)措施的設(shè)計已經(jīng)不能滿足工藝的需要,另有一些 廠商通過在蒸發(fā)源和處理板之間設(shè)置擋板來解決上述缺點(diǎn)。擋板的作用是阻擋不必要的物質(zhì)進(jìn)入到相應(yīng)的空間,在真空環(huán)境下還要要求擋板 不會對真空環(huán)境造成污染,甚至說可以改善真空環(huán)境,而對擋板的冷卻可以增強(qiáng)沉積物質(zhì) 與擋板的附著力,使附著在擋板上的沉積物質(zhì)不易脫落,也使蒸發(fā)源更加順暢的進(jìn)行蒸鍍, 另外還可以降低腔體溫度,保持真空腔體內(nèi)真空環(huán)境的清潔。而設(shè)置在腔體之外的一般是 通過波紋管或者密封墊圈進(jìn)行密封,通常也沒有采取良好的冷卻措施,較高的真空處理腔 內(nèi)溫度會通過熱傳遞到相應(yīng)的墊圈或者波紋管,這樣也很容易造成密封圈老化、波紋管斷 裂。另外,擋板的旋轉(zhuǎn)通過軸來帶動控制,軸的一端需要接觸到真空腔內(nèi)。某些時候,軸需 要高速運(yùn)轉(zhuǎn)或者需要承受較大的扭矩或者會接收到外部的熱量,相應(yīng)的在軸上也會產(chǎn)生熱 量,當(dāng)熱量無法得到有效的冷卻時,就會降低軸的壽命和安裝精度,甚至造成軸報廢,影響 擋板控制機(jī)構(gòu)的的正常運(yùn)行,最主要的一點(diǎn)由此將會帶來噪音、震動,由此可能造成產(chǎn)品出 現(xiàn)問題。已知的現(xiàn)有的冷卻機(jī)構(gòu)都是對安裝軸的軸承、基座或者腔體進(jìn)行的冷卻?,F(xiàn)有技 術(shù)中無法有效地對遮擋蒸發(fā)源的擋板進(jìn)行冷卻,或者說沒有冷卻蒸發(fā)源擋板,會造成膜層 容易脫落,降低了真空腔內(nèi)的工藝環(huán)境等。另外現(xiàn)有的擋板,也無法保證膜層的純度及品 質(zhì)。因此提供一種合理的擋板冷卻機(jī)構(gòu)至關(guān)重要。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種冷卻效果好、附著力強(qiáng)、清潔度高并能降低真空腔 體溫度、提高膜層形成質(zhì)量的擋板冷卻機(jī)構(gòu)。為實現(xiàn)上述目的,本實用新型的技術(shù)方案為提供一種適用于與冷卻介質(zhì)配合使用的擋板冷卻機(jī)構(gòu),所述擋板通過旋轉(zhuǎn)軸懸設(shè)于提供真空環(huán)境的真空腔體內(nèi)并位于蒸發(fā)源 與待鍍基板之間,所述旋轉(zhuǎn)軸的上端與所述擋板固定連接,所述旋轉(zhuǎn)軸的下端穿過所述真 空腔體并與真空腔體外的傳動組件固定連接,所述旋轉(zhuǎn)軸與所述真空腔體之間設(shè)有動密封 組件,所述動密封組件套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸上并與所述旋轉(zhuǎn)軸樞接,其中,所述擋板冷卻機(jī)構(gòu) 包括連接座、連接件、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸入接口及輸出接口,所述擋板通過所述連 接座與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接,所述連接件套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸位于真空腔體外的端部上,所 述連接件的上端與所述旋轉(zhuǎn)軸樞接,所述連接件的下端與所述輸入接口固定連接,所述輸 入接口與所述輸出接口固定連接并位于所述連接件與輸出接口之間,所述旋轉(zhuǎn)軸、連接件、 輸入接口及輸出接口均沿所述旋轉(zhuǎn)軸的軸向方向開設(shè)有中空結(jié)構(gòu)并相互連通形成所述冷 卻腔,所述輸出管懸于所述冷卻腔內(nèi)并貫穿所述旋轉(zhuǎn)軸、連接件、輸入接口,所述輸出管位 于腔體外的末端與所述輸出接口固定連接,所述冷卻管鋪設(shè)于所述擋板上,所述冷卻管具 有輸入端與輸出端,所述冷卻管的輸入端與所述冷卻腔連通,所述冷卻管的輸出端與所述 輸出管連通,所述輸入接口與所述冷卻腔連通,所述輸出接口與所述輸出管連通。較佳地,所述連接座包括上連接座與下連接座,所述上連接座與所述擋板固定連 接,所述下連接座與所述旋轉(zhuǎn)軸的上端固定連接,所述上連接座與所述下連接座通過螺釘 固定連接,所述上連接座與所述下連接座之間設(shè)有第一密封圈,所述上連接座上開設(shè)有上 空腔,所述下連接座上開設(shè)有下空腔,所述輸出管位于真空腔體內(nèi)的端部容置于所述上空 腔內(nèi),所述輸出管與所述上空腔之間設(shè)有第二密封圈,所述上空腔與所述下空腔連通,所述 上空腔分別連通所述冷卻管的輸出端及所述輸出管,所述下空腔分別連通所述冷卻管的輸 入端及所述冷卻腔。通過所述上連接座與所述下連接座,使擋板、冷卻管、輸出管、旋轉(zhuǎn)軸之 間的組裝方便同時又保持了較高密封性,保持了冷卻介質(zhì)的循環(huán)通路,使冷卻順利進(jìn)行。較佳地,所述下連接座與所述旋轉(zhuǎn)軸之間還設(shè)有中空的旋轉(zhuǎn)管,所述旋轉(zhuǎn)管的上 端與所述上連接座固定連接,所述旋轉(zhuǎn)管的下端與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接,所述輸出管貫穿 所述旋轉(zhuǎn)管。通過所述旋轉(zhuǎn)管,便于所述擋板與連接座、旋轉(zhuǎn)軸之間的安裝與拆卸,方便維 修與更換。較佳地,所述擋板的表面對應(yīng)所述冷卻管開設(shè)有凹槽,所述冷卻管容置于所述凹 槽中。通過凹槽的設(shè)計,增大冷卻管與擋板的接觸面積,增強(qiáng)擋板的冷卻效果。作為本實用 新型的一實施例,所述冷卻管為圓形管,所述凹槽為弧形凹槽。所述圓形管加工便利且成本 較為低廉。作為本實用新型的另一實施例,所述冷卻管為矩形管,所述凹槽為矩形凹槽。較佳地,所述冷卻介質(zhì)為冷水。所述冷水不僅冷卻效果好且成本較低,能有效吸收 擋板、旋轉(zhuǎn)軸及其他組件產(chǎn)生的熱量。較佳地,所述傳動組件為齒輪,所述齒輪固定在所述旋轉(zhuǎn)軸上并位于所述動密封 組件與連接件之間。所述齒輪由外部動力驅(qū)動從而帶動旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動,實現(xiàn)控制擋板的活動 范圍。同樣較佳地,所述冷卻管為金屬管。所述金屬管結(jié)構(gòu)堅固,經(jīng)久耐用,熱傳遞效果 好。同樣較佳地,所述擋板包括上表面與下表面,所述下表面為磨砂面,所述下表面與 所述蒸發(fā)源相對,通過磨砂處理,有利于鍍膜物質(zhì)的吸附,減少微粒脫落的概率,所述冷卻 管鋪設(shè)于所述擋板的上表面上。冷卻管布置在擋板的非鍍膜表面,避免與蒸發(fā)源直接相對,保證擋板的遮擋效果同時保護(hù)冷卻管。同樣較佳地,所述連接件與所述旋轉(zhuǎn)軸之間設(shè)有第三密封圈。通過第三密封圈的 密封作用,在所述旋轉(zhuǎn)軸做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動時,使冷卻腔與連接件之間充分密封,增強(qiáng)冷卻效果。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的擋板冷卻機(jī)構(gòu)利用鋪設(shè)在擋板上的冷卻管實現(xiàn)對 擋板的冷卻,通過連接件與旋轉(zhuǎn)軸的樞接及與輸入接口的固定連接,使旋轉(zhuǎn)軸帶動擋板轉(zhuǎn) 動時輸出管、輸入接口及輸出接口保持固定的狀態(tài),實現(xiàn)在擋板轉(zhuǎn)動的同時進(jìn)行冷卻的目 的。所述輸入接口、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸出接口依次連通形成循環(huán)回路,冷卻介質(zhì)從 輸入接口流入,經(jīng)過冷卻腔流入到冷卻管之后經(jīng)輸出管、輸出接口流出,在冷卻介質(zhì)的循環(huán) 流動過程中,將熱量源源不斷的帶走,從而達(dá)到冷卻效果,不僅實現(xiàn)了對擋板的冷卻,降低 了真空腔體內(nèi)的溫度,且?guī)ё吡诵D(zhuǎn)軸及其他組件的熱量,通過該冷卻的循環(huán)回路在蒸鍍 設(shè)備中對蒸發(fā)源進(jìn)行遮擋的擋板進(jìn)行冷卻,增強(qiáng)膜物質(zhì)與板的附著力,使附著在擋板上的 膜不易脫落,減少了擋板微粒的剝落,使蒸發(fā)源蒸發(fā)順暢,從而提高膜層形成的質(zhì)量,同時 還可以降低腔體溫度。其結(jié)構(gòu)簡單可靠,冷卻效果好、具有較高清潔度。
圖1是本實用新型擋板冷卻機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實用新型擋板冷卻機(jī)構(gòu)的另一結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖1中A部分的放大示意圖。圖4是冷卻介質(zhì)在圖1所示的擋板冷卻機(jī)構(gòu)中的流向示意圖。圖5是冷卻介質(zhì)在圖2所示的擋板冷卻機(jī)構(gòu)中的流向示意圖。
具體實施方式
為了詳細(xì)說明本實用新型的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征,以下結(jié)合實施方式并配合附圖 作進(jìn)一步說明,其中不同圖中相同的標(biāo)號代表相同的部件。本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng) 域,尤其涉及一種在處理腔內(nèi)隔離氣體、液體或者粉狀固體的擋板,主要涉及對此擋板進(jìn)行 冷卻的擋板冷卻機(jī)構(gòu)。可廣泛的運(yùn)用在真空設(shè)備的各種制程中,尤其適用于沉積薄膜工藝 中。如物理氣相沉積(PVD)技術(shù),化學(xué)氣相沉積(CVD),最特別的適用于蒸鍍工藝中,即主 要用于蒸鍍設(shè)備中遮擋蒸發(fā)源的擋板進(jìn)行冷卻。所述擋板冷卻機(jī)構(gòu)適用于與冷卻介質(zhì)配合 使用,利用冷卻介質(zhì)的循環(huán)流動帶走擋板上的熱量,達(dá)到對擋板進(jìn)行冷卻的效果,提高附著 力,提高膜層形成質(zhì)量,且同時降低了真空腔體內(nèi)的溫度,帶走驅(qū)動擋板的旋轉(zhuǎn)軸及其他相 關(guān)組件所產(chǎn)生的熱量,使真空腔體內(nèi)具有較高清潔度。參考圖1及圖2,本實用新型實施例的擋板10通過旋轉(zhuǎn)軸30懸設(shè)于提供真空環(huán)境 的真空腔體20內(nèi)并位于蒸發(fā)源與待鍍基板(圖未示)之間,所述旋轉(zhuǎn)軸30的上端與所述 擋板10固定連接,所述旋轉(zhuǎn)軸30的下端穿過所述真空腔體20并與真空腔體20外的傳動 組件固定連接,所述旋轉(zhuǎn)軸30與所述真空腔體20之間設(shè)有動密封組件50,所述動密封組件 50套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸30上并與所述旋轉(zhuǎn)軸30樞接,通過動密封技術(shù)使旋轉(zhuǎn)軸30與真空 腔體20接觸的部分實現(xiàn)密封,進(jìn)一步的可以通過磁流體密封技術(shù)。本實用新型的擋板冷卻 機(jī)構(gòu)包括連接座610、旋轉(zhuǎn)管620、連接件630、冷卻腔640、冷卻管650、輸出管660、輸入接 口 670及輸出接口 680,所述旋轉(zhuǎn)管620設(shè)置位于所述連接座610與所述旋轉(zhuǎn)軸30之間且
5具有中空結(jié)構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)管620的上端與所述連接座610固定連接,所述旋轉(zhuǎn)管620的下端 與所述旋轉(zhuǎn)軸30固定連接,通過所述旋轉(zhuǎn)管620便于所述擋板10與連接座610、旋轉(zhuǎn)軸30 之間的安裝與拆卸,方便維修與更換。所述擋板10通過所述連接座610與所述旋轉(zhuǎn)管620 固定連接,所述連接件630套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸30位于真空腔體20外的端部上,所述連接件 630的上端632與所述旋轉(zhuǎn)軸30樞接,所述連接件630的下端634與所述輸入接口 670固 定連接,所述連接件630中部與所述旋轉(zhuǎn)軸30之間設(shè)有第三密封圈636,所述連接件630的 上端632與旋轉(zhuǎn)軸30之間設(shè)有第四密封圈638,通過第三密封圈636及第四密封圈638的 密封作用,在所述旋轉(zhuǎn)軸30做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動時,使冷卻腔640與連接件630之間充分密封,保證 冷卻回路的密封性,增強(qiáng)冷卻效果。所述輸入接口 670與所述輸出接口 680固定連接并位 于所述連接件630與輸出接口 680之間,通過連接件630與旋轉(zhuǎn)軸30的樞接及與輸入接口 670的固定連接,使旋轉(zhuǎn)軸30帶動擋板10轉(zhuǎn)動時輸出管660、輸入接口 670及輸出接口 680 保持固定的狀態(tài),實現(xiàn)在擋板10轉(zhuǎn)動的同時進(jìn)行冷卻的目的。所述旋轉(zhuǎn)管620、旋轉(zhuǎn)軸30、 連接件630、輸入接口 670及輸出接口 680均沿所述旋轉(zhuǎn)軸30的軸向方向開設(shè)有中空結(jié)構(gòu) 并相互連通形成所述冷卻腔640,所述輸出管660懸于所述冷卻腔640內(nèi)并貫穿所述旋轉(zhuǎn)管 620、旋轉(zhuǎn)軸30、連接件630、輸入接口 670,所述輸出管660位于腔體10外的末端與所述輸 出接口 680固定連接,所述冷卻管650鋪設(shè)于所述擋板10上,所述冷卻管650具有輸入端 652與輸出端654,所述冷卻管650的輸入端652與所述冷卻腔640連通,所述冷卻管650 的輸出端654與所述輸出管660連通,所述輸入接口 670與所述冷卻腔640連通,所述輸出 接口 680與所述輸出管660連通。所述輸出管660套裝在旋轉(zhuǎn)管620與旋轉(zhuǎn)軸30中,實現(xiàn) 對旋轉(zhuǎn)管620與旋轉(zhuǎn)軸30及安裝于旋轉(zhuǎn)軸30的組件進(jìn)行冷卻,從而提高冷卻效果。較佳 者,所述冷卻介質(zhì)為冷水。所述冷水不僅冷卻效果好且成本較低,能有效吸收擋板10、旋轉(zhuǎn) 軸30及其他組件產(chǎn)生的熱量。可以理解地,所述冷卻介質(zhì)也可以為其他冷卻液體或氣體。 所述冷卻管650為金屬管,可以選擇不銹鋼、銅或者其他金屬合金。所述金屬管結(jié)構(gòu)堅固, 經(jīng)久耐用,熱傳遞效果好。在實用新型實施例中,所述傳動組件為套設(shè)于旋轉(zhuǎn)軸30上的齒 輪40,所述齒輪40固定在所述旋轉(zhuǎn)軸30上并位于所述動密封組件50與連接件630之間。 所述齒輪40由外部動力驅(qū)動從而帶動旋轉(zhuǎn)軸30轉(zhuǎn)動,實現(xiàn)控制擋板10的活動范圍。配合參考圖3,所述連接座610包括上連接座610a與下連接座610b,所述上連接 座610a與所述擋板10固定連接,所述下連接座610b與所述旋轉(zhuǎn)管620的上端固定連接, 所述上連接座610a與所述下連接座610b通過螺釘614固定連接,所述上連接座610a與所 述下連接座610b之間設(shè)有第一密封圈616,實現(xiàn)上連接座610a與下連接座610b的密封,保 證冷卻回路的密封性。所述上連接座610a上開設(shè)有上空腔612a,所述下連接座610b上開 設(shè)有下空腔612b,所述上空腔612a與所述下空腔612b連通,所述上空腔612a分別連通所 述冷卻管650的輸出端654及所述輸出管660,所述下空腔612b分別連通所述冷卻管650 的輸入端652及所述冷卻腔640。所述輸出管660位于真空腔體20內(nèi)的端部容置于所述 上空腔612a內(nèi),所述輸出管660與所述上空腔612a之間設(shè)有第二密封圈618,隔絕輸出管 660與下空腔612b的連通,使冷卻管650流出的冷卻介質(zhì)只通過輸出管660輸出。通過所 述上連接座610a與所述下連接座610b,使擋板10、冷卻管650、輸出管660、旋轉(zhuǎn)軸30之間 的組裝方便同時又保持了較高密封性,保持了冷卻介質(zhì)的循環(huán)通路,使冷卻順利進(jìn)行。較佳者,所述擋板10包括上表面12與下表面14,所述下表面14為磨砂面,所述下表面14與所述蒸發(fā)源相對,通過磨砂處理,有利于鍍膜物質(zhì)的吸附,減少微粒脫落的概率。 所述冷卻管650曲折地鋪設(shè)于所述擋板10的上表面12上。冷卻管650布置在擋板10的 非鍍膜表面,避免與蒸發(fā)源直接相對,保證擋板10的遮擋效果同時保護(hù)冷卻管650。所述 冷卻管650布置在擋板10上的形狀是根據(jù)擋板10冷卻效果和冷卻管650加工便利性等綜 合考慮。所述擋板10的上表面12對應(yīng)所述冷卻管650開設(shè)有凹槽(圖未示),所述冷卻 管650容置于所述凹槽中。通過凹槽的設(shè)計,增大冷卻管650與擋板10的接觸面積,增強(qiáng) 擋板10的冷卻效果。作為本實用新型的優(yōu)選實施例,所述冷卻管650為中空圓形管,即所 述冷卻管650的截面為圓形,對應(yīng)地,所述凹槽為弧形凹槽。所述圓形管加工便利且成本較 為低廉。可以理解地,所述冷卻管650也可以為中空的矩形管,包括中空的方形管,對應(yīng)地, 所述凹槽為矩形凹槽。參考圖4及圖5,本實用新型實施例的擋板冷卻機(jī)構(gòu)的工作原理為鍍膜工藝過程 中,外部驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動安裝在真空腔體20外的旋轉(zhuǎn)軸30上的齒輪40,所述齒輪40帶動旋 轉(zhuǎn)軸30轉(zhuǎn)動,所述旋轉(zhuǎn)管620與旋轉(zhuǎn)軸30同軸轉(zhuǎn)動,從而帶動真空腔體20內(nèi)的擋板10旋 轉(zhuǎn),實現(xiàn)對擋板10的活動范圍的控制和限制。由于連接件630的作用,輸出管660位于腔 體10外的末端與輸出接口 680固定連接,使擋板10在轉(zhuǎn)動過程中,輸出管660及輸入接口 670、輸出接口 680能保持靜止不動的狀態(tài),從而實現(xiàn)集傳動及冷卻為一體。如圖4及圖5 中所示箭頭方向,冷卻介質(zhì)從輸入接口 670流入,進(jìn)入到冷卻腔640中,通過上連接座610a 的上空腔612a與下連接座610b的下空腔612b連通到冷卻管650的輸入端652,然后由冷 卻管650的輸出端654輸出流入到輸出管660中,最后從輸出接口 680流出,完成冷卻介質(zhì) 的循環(huán)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的擋板冷卻機(jī)構(gòu)利用鋪設(shè)在擋板10上的冷卻管650 實現(xiàn)對擋板10的冷卻,利用旋轉(zhuǎn)管620、旋轉(zhuǎn)軸30、連接件630、輸入接口 670及輸出接口 680的中空結(jié)構(gòu)相互連通形成冷卻腔640,所述輸入接口 670、冷卻腔640、冷卻管650、輸出 管660、輸出接口 680依次連通形成循環(huán)回路,冷卻介質(zhì)從輸入接口 670流入,經(jīng)過冷卻腔 640流入到冷卻管650之后經(jīng)輸出管660、輸出接口 680流出,在冷卻介質(zhì)的循環(huán)流動過程 中,將熱量源源不斷的帶走,從而達(dá)到冷卻效果,不僅實現(xiàn)了對擋板10的冷卻,降低了真空 腔體20內(nèi)的溫度,且?guī)ё吡诵D(zhuǎn)軸30及其他組件的熱量,通過該冷卻的循環(huán)回路在蒸鍍設(shè) 備中對蒸發(fā)源進(jìn)行遮擋的擋板10進(jìn)行冷卻,增強(qiáng)膜物質(zhì)與板的附著力,使附著在擋板10上 的膜不易脫落,減少了擋板10微粒的剝落,使蒸發(fā)源蒸發(fā)順暢,從而提高膜層形成的質(zhì)量, 同時還可以降低腔體10的溫度。其結(jié)構(gòu)簡單可靠,冷卻效果好且具有較高清潔度。本實用新型實施例的擋板冷卻機(jī)構(gòu)是在蒸鍍工藝的情況下說明的,但是對任何隔 離液體、粉狀固體或氣體材料的擋板10及其冷卻機(jī)構(gòu)都具有普遍的意義。比如濺射等。本 實用新型所涉及的動密封組件50的結(jié)構(gòu)及該動密封組件50的密封原理為本領(lǐng)域技術(shù)人員 所知,因此不另描述。以上結(jié)合最佳實施例對本實用新型進(jìn)行了描述,但本實用新型并不局限于以上揭 示的實施例,而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本實用新型的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。
權(quán)利要求一種擋板冷卻機(jī)構(gòu),適用于與冷卻介質(zhì)配合使用,所述擋板通過旋轉(zhuǎn)軸懸設(shè)于提供真空環(huán)境的真空腔體內(nèi)并位于蒸發(fā)源與待鍍基板之間,所述旋轉(zhuǎn)軸的上端與所述擋板固定連接,所述旋轉(zhuǎn)軸的下端穿過所述真空腔體并與真空腔體外的傳動組件固定連接,所述旋轉(zhuǎn)軸與所述真空腔體之間設(shè)有動密封組件,所述動密封組件套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸上并與所述旋轉(zhuǎn)軸樞接,其特征在于,所述擋板冷卻機(jī)構(gòu)包括連接座、連接件、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸入接口及輸出接口,所述擋板通過所述連接座與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接,所述連接件套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸位于真空腔體外的端部上,所述連接件的上端與所述旋轉(zhuǎn)軸樞接,所述連接件的下端與所述輸入接口固定連接,所述輸入接口與所述輸出接口固定連接并位于所述連接件與輸出接口之間,所述旋轉(zhuǎn)軸、連接件、輸入接口及輸出接口均沿所述旋轉(zhuǎn)軸的軸向方向開設(shè)有中空結(jié)構(gòu)并相互連通形成所述冷卻腔,所述輸出管懸于所述冷卻腔內(nèi)并貫穿所述旋轉(zhuǎn)軸、連接件、輸入接口,所述輸出管位于腔體外的末端與所述輸出接口固定連接,所述冷卻管鋪設(shè)于所述擋板上,所述冷卻管具有輸入端與輸出端,所述冷卻管的輸入端與所述冷卻腔連通,所述冷卻管的輸出端與所述輸出管連通,所述輸入接口與所述冷卻腔連通,所述輸出接口與所述輸出管連通。
2.如權(quán)利要求1所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述連接座包括上連接座與下連 接座,所述上連接座與所述擋板固定連接,所述下連接座與所述旋轉(zhuǎn)軸的上端固定連接,所 述上連接座與所述下連接座通過螺釘固定連接,所述上連接座與所述下連接座之間設(shè)有第 一密封圈,所述上連接座上開設(shè)有上空腔,所述下連接座上開設(shè)有下空腔,所述輸出管位于 真空腔體內(nèi)的端部容置于所述上空腔內(nèi),所述輸出管與所述上空腔之間設(shè)有第二密封圈, 所述上空腔與所述下空腔連通,所述上空腔分別連通所述冷卻管的輸出端及所述輸出管, 所述下空腔分別連通所述冷卻管的輸入端及所述冷卻腔。
3.如權(quán)利要求2所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述下連接座與所述旋轉(zhuǎn)軸之間 還設(shè)有中空的旋轉(zhuǎn)管,所述旋轉(zhuǎn)管的上端與所述上連接座固定連接,所述旋轉(zhuǎn)管的下端與 所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接,所述輸出管貫穿所述旋轉(zhuǎn)管。
4.如權(quán)利要求1所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述擋板的表面對應(yīng)所述冷卻管 開設(shè)有凹槽,所述冷卻管容置于所述凹槽中。
5.如權(quán)利要求4所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述冷卻管為圓形管,所述凹槽為 弧形凹槽。
6.如權(quán)利要求4所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述冷卻管為矩形管,所述凹槽為 矩形凹槽。
7.如權(quán)利要求1所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述冷卻介質(zhì)為冷水。
8.如權(quán)利要求1所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述傳動組件為齒輪,所述齒輪固 定在所述旋轉(zhuǎn)軸上并位于所述動密封組件與連接件之間。
9.如權(quán)利要求1所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述冷卻管為金屬管。
10.如權(quán)利要求1所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述擋板包括上表面與下表面, 所述下表面與所述蒸發(fā)源相對,所述冷卻管鋪設(shè)于所述擋板的上表面上。
11.如權(quán)利要求10所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述擋板的下表面為磨砂面。
12.如權(quán)利要求1所述的擋板冷卻機(jī)構(gòu),其特征在于,所述連接件與所述旋轉(zhuǎn)軸之間設(shè) 有第三密封圈。
專利摘要本實用新型公開了一種擋板冷卻機(jī)構(gòu),包括連接座、連接件、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸入接口及輸出接口,擋板通過連接座與旋轉(zhuǎn)軸固接,旋轉(zhuǎn)軸位于真空腔體外的端部套設(shè)有連接件,連接件與旋轉(zhuǎn)軸樞接并與輸入接口固定連接,輸入接口與輸出接口固接,旋轉(zhuǎn)軸、連接件、輸入接口及輸出接口均沿旋轉(zhuǎn)軸的軸向方向開設(shè)有中空結(jié)構(gòu)并相互連通形成冷卻腔,輸出管懸于冷卻腔內(nèi)并貫穿旋轉(zhuǎn)軸、連接件、輸入接口且與輸出接口固定連接,冷卻管鋪設(shè)于擋板上,其輸入端與旋轉(zhuǎn)軸連通,輸出端與輸出管連通,輸入接口、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸出接口連通形成冷卻介質(zhì)的循環(huán)回路,其冷卻效果好、附著力強(qiáng)、清潔度高并能降低真空腔體溫度、提高膜層形成質(zhì)量。
文檔編號C23C14/56GK201648511SQ20102014068
公開日2010年11月24日 申請日期2010年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月23日
發(fā)明者劉惠森, 葉宗峰, 張華 , 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司