專利名稱：試驗玻片更換系統(tǒng)的制作方法
試驗玻片更換系統(tǒng)本發(fā)明涉及用于在真空涂覆設備內(nèi)選擇性涂覆和光學檢測試驗玻片的試驗玻片更換系統(tǒng)，就像例如在DE3604624A1中所述類型的系統(tǒng)。光學多層膜系(也被稱為干涉層膜)的制造例如在光學產(chǎn)品如帶通濾波器、銳截止濾波器、冷光反射鏡、分束器和抗反射膜中扮演重要角色。這種涂層的目的是，在預定的波長范圍內(nèi)在多層膜系上獲得盡量完整的透射或反射，但在其外的波長范圍內(nèi)盡量無過渡地實現(xiàn)可忽略不計的透射或反射。滿足這樣的要求的前提是要有大量的獨立層膜，其中例如將高折射層和低折射層交替涂覆到基片上，也可以兩個高折射或兩個低折射層膜直接相接。在制造這種復合層系時，尤其當制造具有特殊功能性的多層時，定期測量或檢查涂覆到基片上的功能層是必需的，以保證期望的層膜厚度和層膜性能。為此，采用了多個測試玻片，每個測試玻片上淀積有單個層并且對此檢查。對于復雜的濾光器，為了達到濾光器規(guī)范而必須多次更換試驗玻片。為獲得所需要的精度，必須在基片位置上設置試驗玻片并且基本獲得與基片一樣的涂層。而且，應該盡量使在獨立的涂覆次序之間的試驗玻片更換自動化進行，就是說，不用操作人員手動更換測試玻片。由DE3604624A1公開一種試驗玻片更換裝置，它允許在封閉的涂覆室內(nèi)完成試驗玻片更換?；柚谵D(zhuǎn)臺布置在至少一股涂覆材料流穿過的路徑上，在該轉(zhuǎn)臺上支承有一個用于接納多個測試玻片的支架。該支架隨轉(zhuǎn)臺運動并且可相對轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)動地支承。沿該轉(zhuǎn)臺路徑設置的步進選擇器每次將一個試驗玻片接入相對轉(zhuǎn)臺固定不動的位置中，在此位置上，它和基片一起在轉(zhuǎn)臺的預定圈數(shù)下被引導交替經(jīng)過測量裝置的光路和涂覆材料流。 支架通過蓋子被蓋住，蓋子固定不動地安置在轉(zhuǎn)臺上并且總是只開放唯一一個試驗玻片在其涂覆測量位置上。支架的轉(zhuǎn)動通過一個活動的、設置在涂覆室內(nèi)的、伸入轉(zhuǎn)臺循環(huán)運動路徑中的且與支架上的凸起配合的開關指來實現(xiàn)。當開關指接合支架凸起時，使試驗玻片從與測量窗重合的重合位置上轉(zhuǎn)出，后面的試驗玻片來到其位置。DE3604624A1的試驗玻片更換裝置因此允許在封閉的涂覆室內(nèi)進行試驗玻片更換?？墒?，試驗玻片更換裝置的裝載十分麻煩，因為必須使若干測試玻片穿過基片閘門并進入試驗玻片更換裝置的支架中。而且，DE3604624A1所示的試驗玻片更換裝置可能只能接納較少數(shù)目(四個)的測試玻片，因而在制造多層膜系時，需要(至少)一次手動更換測試玻片。因而，本發(fā)明基于以下任務，如此改進已知的現(xiàn)有技術，即，能提供更多的測試玻片，它們無需人工干預就可以在涂覆室內(nèi)被更換。此外，將測試玻片送入涂覆室將以盡量簡單的方式來完成。該任務將通過權利要求1的特征來完成。有利的實施方式是從屬權利要求的主題。據(jù)此，該試驗玻片更換系統(tǒng)包括試驗玻片保持座，它具有用于接納一個或多個測試玻片的玻璃試板以及遮蓋玻璃試板并保護位于其中的測試玻片免受涂覆的蓋子。蓋子開設有測量窗，該測量窗只露出該玻璃試板的一小部分用于涂覆。也可以設置多個測量窗和/ 或基準窗。借助構(gòu)成試驗玻片更換系統(tǒng)的一部分的轉(zhuǎn)動裝置，可以使玻璃試板相對蓋子轉(zhuǎn)動，由此使安置在玻璃試板上的不同測試玻片移動到測量窗區(qū)域中，其在該區(qū)域被涂覆和測量。本發(fā)明的試驗玻片更換系統(tǒng)與DE3604624A1所述類型系統(tǒng)的區(qū)別在于，試驗玻片保持座(連同玻璃試板和蓋子)構(gòu)成封閉的單元，其與待涂覆的基片一樣經(jīng)過基片閘門被送入涂覆室并且能定位在轉(zhuǎn)臺上。這允許特別簡單省時的轉(zhuǎn)臺裝載，代替了在DE3604624A1 中所需要的給(永久固定到轉(zhuǎn)臺的)試驗玻片更換系統(tǒng)配裝測試玻片，其中該測試玻片必須單獨通過基片閘門并且被定位在玻璃試板上。當使用本發(fā)明的試驗玻片更換系統(tǒng)時，可在時間上與基片更換無關地在涂覆室外執(zhí)行試驗玻片保持座的裝載或準備工作。這在經(jīng)濟方面是有利的并且節(jié)省了時間。而且，可以在試驗玻片保持座上安置比較多的測試玻片。如此設計試驗玻片保持座的蓋子，它可相對玻璃試板轉(zhuǎn)動和升起。在涂覆室內(nèi)的試驗玻片更換按照以下方式完成，試驗玻片保持座的蓋子被頂起，玻璃試板相對蓋子轉(zhuǎn)動一個預定角度，并且蓋子隨后又落下。用于使玻璃試板轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動裝置最好以升降/轉(zhuǎn)動裝置的形式構(gòu)成，借此能實現(xiàn)圍繞平行于轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)動軸線的軸線的轉(zhuǎn)動和沿該軸線方向的升降運動。于是，試驗玻片更換按照以下方式進行，玻璃試板在軸向上從轉(zhuǎn)臺(或者設立在轉(zhuǎn)臺上的試驗玻片保持座主體)上升起并且使該蓋子在該軸向上從玻璃試板上升起。這兩個升起運動能夠同時或是錯時地完成。隨后，使玻璃試板轉(zhuǎn)動，由此換掉位于蓋子測量窗下方的玻璃試板區(qū)域并且玻璃試板的一個新區(qū)域位于蓋子測量窗下方。在此新的相對角度位置上，玻璃試板和蓋子被擱下。如果現(xiàn)在要使試驗玻片保持座在轉(zhuǎn)臺上移動經(jīng)過涂覆室的涂覆站，則剛好轉(zhuǎn)動到測量窗下的玻璃試板區(qū)域被涂覆。為了在圓形或圓柱形玻璃試板上進行試驗玻片更換，升降/轉(zhuǎn)動裝置適當?shù)鼐哂袃蓚€同心的環(huán)形體，兩者(有利的是共同)可做升降調(diào)整，兩個環(huán)形體之一可以受控制地轉(zhuǎn)動?？赊D(zhuǎn)動的環(huán)形體用于升起和轉(zhuǎn)動玻璃試板，而另一個環(huán)形體用于升起蓋子。升降/轉(zhuǎn)動裝置可以位置固定地安置在處理室內(nèi)并且例如在涂覆站區(qū)域中定位。 在此情況下，只能在轉(zhuǎn)臺的一個規(guī)定轉(zhuǎn)動位置上進行試驗玻片更換，即當試驗玻片保持座準確位于升降/轉(zhuǎn)動裝置上方時。或者，試驗玻片轉(zhuǎn)動裝置可被安置在轉(zhuǎn)臺(或與轉(zhuǎn)臺同步轉(zhuǎn)動的回轉(zhuǎn)平臺)上。這有以下優(yōu)點，試驗玻片更換可無需改變轉(zhuǎn)臺速度且在涂覆室內(nèi)的任何一個位置上(例如在測量站和涂覆站之間輸送試驗玻片保持座時)進行。在本發(fā)明的第一實施方式中，玻璃試板是圓盤形的監(jiān)視器玻璃。在此實施方式中， 整個玻璃試板或者任何被選中的玻璃試板區(qū)域可以作為試驗玻片。監(jiān)視器玻璃有利地配設有一個中心開口，基準光線能在光學測量過程中被引導經(jīng)過該中心開口，以控制測量光的漂移。在本發(fā)明的第二實施方式中，玻璃試板配設有多個用于接納獨立的測試玻片的容納區(qū)。在這里，在試驗玻片更換時使玻璃試板相對蓋子轉(zhuǎn)動一個預定角度，以便該試驗玻片準確位于蓋子的測量窗下方。以下將結(jié)合附圖所示的實施例來詳細說明本發(fā)明，其中圖Ia和Ib是帶有轉(zhuǎn)臺的涂覆設備的截面圖；圖2是圖Ia和Ib的轉(zhuǎn)臺的俯視示意圖；圖3示出帶有試驗玻片保持座和升降/轉(zhuǎn)動裝置的本發(fā)明試驗玻片更換系統(tǒng)的第一實施方式；圖3a是試驗玻片保持座的俯視圖北是試驗玻片保持座的截面圖；圖3c是對應的升降/轉(zhuǎn)動裝置的截面圖；圖4示出帶有試驗玻片保持座和升降/轉(zhuǎn)動裝置的本發(fā)明試驗玻片更換系統(tǒng)的另一個實施方式；圖如是試驗玻片保持座的俯視圖；圖4b是試驗玻片保持座的截面圖；圖如是對應的升降/轉(zhuǎn)動裝置的截面圖。圖Ia和Ib示意表示涂覆室1的截面圖，該涂覆室是真空涂覆設備3的一部分。 在涂覆室1內(nèi)有轉(zhuǎn)臺2，轉(zhuǎn)臺能借助可控的或可調(diào)的轉(zhuǎn)動裝置4被驅(qū)動繞轉(zhuǎn)動軸線5轉(zhuǎn)動。 圖2示出了轉(zhuǎn)臺2的俯視圖。在轉(zhuǎn)臺2上設有多個凹槽6，它們安置在以軸線5為中心的一個共同的大圓23上。這些凹槽6能可選地配裝有圓盤形基片7或者試驗玻片保持座8。 在涂覆室1內(nèi)并在殘余氣體下，在該基片7和試驗玻片保持座8上淀積氧化層。該試驗玻片保持座8與試驗玻片轉(zhuǎn)動裝置9 一起構(gòu)成試驗玻片更換系統(tǒng)10的一部分。給轉(zhuǎn)臺2配裝基片7和試驗玻片保持座8是通過在涂覆室1側(cè)壁內(nèi)的基片閘門20 進行的。為了取出基片7或試驗玻片保持座8，在涂覆室1內(nèi)并且在基片閘門20正對面設有升降裝置21，該升降裝置具有能沿軸向5移動的頂桿22。在基片更換時，升降裝置21的頂桿22從下方被引導插入在轉(zhuǎn)臺2的凹槽區(qū)6中的缺口 6'并同時將位于凹槽區(qū)6中的基片7或試驗玻片保持座8頂離轉(zhuǎn)臺2，從而基片7或者試驗玻片保持座8通過基片閘門20 被取走。利用基片閘門20，可容易地換上另一個試驗玻片保持座8，因而在處理很多層膜的情況下也能提供足夠多的監(jiān)視器玻璃，不會破壞真空或不會損失大量用于試驗玻片保持座的空間。涂覆室1包括涂覆站11和測量站13，它們最好通過隔板相互分隔開并且只通過隔板中的縫隙相互連通。在涂覆站11中有濺射裝置12，在該濺射裝置中，按照已知方式利用反應濺射來噴濺靶濺射材料，在這里，濺射材料和氧的化合物沉積在涂覆室1的室壁和基片7或者試驗玻片保持座8上。在測量站13中有光學測量裝置14，借此能確定生長層膜的光學性能，尤其是透射性和/或反射性。光學測量裝置14包括安置在涂覆室1上方的光源以及安置在涂覆室1下方和/或上方的檢測器16，用于測量透射光和/反射光。在涂覆室 1的蓋子17或者底板18中安設有真空密封的窗19，測量光線15通過該窗被傳遞經(jīng)過涂覆室1。光學測量裝置14最好是單波長光譜儀或多波長光譜儀，尤其是分光測光儀或光譜橢圓計。借助光學測量裝置14，可以在沉積了預定層膜厚度之后測量光損失并且根據(jù)來自光學測量裝置14的信號調(diào)節(jié)層膜性能。當使用分光測光儀時，能夠以簡單方式與層厚相關地測定在規(guī)定光譜范圍內(nèi)的透射、吸收和反射。除了

圖1所示的涂覆站11，在涂覆室1內(nèi)還可以設有其它的處理區(qū)域(例如等離子體處理區(qū)域，其它濺射裝置等)。此外，可以設置其它測量站。借助轉(zhuǎn)動裝置4，使轉(zhuǎn)臺2在涂覆室1內(nèi)可控地或可調(diào)節(jié)地繞轉(zhuǎn)動軸線5轉(zhuǎn)動。此時，使基片7和試驗玻片保持座8按照圓形運動軌跡至少一次先后經(jīng)過涂覆站11和測量站 13。試驗玻片保持座8如圖2所示近似具有與基片7 —樣的直徑，從而試驗玻片保持座8 像基片7那樣容納在轉(zhuǎn)臺2的任何一個凹槽6內(nèi)并且在采用升降裝置21的情況下能從轉(zhuǎn)臺2中被取出。
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為了定期檢查涂覆到基片7上的涂層，借助測量裝置13對容放在試驗玻片保持座 8中的試驗玻片M進行測量。圖3a和北示出圖1的試驗玻片保持座8的俯視圖(圖3a) 或者截面圖(圖北)。該試驗玻片保持座8包括管形的主體25，主體上安放有圓盤形玻璃試板26。玻璃試板沈具有中心開口 27。在圖3a和北的實施例中，監(jiān)視器玻璃沈‘構(gòu)成玻璃試板沈，就是說，它呈帶有中心開口 27的整圓盤形玻璃板形狀。為了目的明確地涂覆被選中的監(jiān)視器玻璃26'區(qū)域，監(jiān)視器玻璃沈‘被可取走的圓形蓋子觀蓋住。蓋子觀配設有兩個孔，一個是測量窗四，一個是基準窗30。如果要使試驗玻片保持座8在轉(zhuǎn)臺2上移動經(jīng)過涂覆站11，則位于測量窗四下方的監(jiān)視器玻璃沈‘區(qū)域31獲得涂層，而被蓋子觀遮住的監(jiān)視器玻璃沈‘其余區(qū)域未被涂覆。測量窗四用于在測量站13中光學測量位于窗四內(nèi)的監(jiān)視器玻璃沈‘區(qū)域31的層膜厚度或者層膜性能。居中安置在蓋子觀上的基準窗30用于100%測量涂覆到監(jiān)視器玻璃沈‘上的層膜，由此避免測量光漂移。在圖3的實施例中，兩個窗四、30呈矩形形狀， 但它們也可以為圓形、橢圓形等。如果要將試驗玻片保持座8送入涂覆站11，則位于測量窗四下方的監(jiān)視器玻璃沈‘區(qū)域31暴露在濺射物質(zhì)下并獲得涂層，該涂層的厚度和組成在測量站13中被測定。在更換站32處，使位于試驗玻片保持座8內(nèi)的監(jiān)視器玻璃沈‘轉(zhuǎn)過預定的角度33，以便將監(jiān)視器玻璃沈‘的另一個(之前未涂覆的)區(qū)域31'安放在測量窗四下方。監(jiān)視器玻璃沈‘的這種轉(zhuǎn)動借助設置在更換站32中的轉(zhuǎn)動裝置9來實現(xiàn)，該轉(zhuǎn)動裝置最好呈升降/轉(zhuǎn)動裝置34的形式，并且如圖Ib所示，該轉(zhuǎn)動裝置在轉(zhuǎn)臺2下方安裝在涂覆室1的底板18上。在圖Ib的實施例中，更換站32位于與涂覆站11相同的涂覆室1區(qū)域中，從而升降/轉(zhuǎn)動裝置34設置在濺射裝置12下方。升降/轉(zhuǎn)動裝置34包括兩個同心布置的環(huán)形體35、37 (見圖3c)并且安置在涂覆室1內(nèi)的這樣的位置上，即，環(huán)形體35、37的共同中心39就在支承于轉(zhuǎn)臺2上的基片7的大圓23的正下方。內(nèi)側(cè)環(huán)形體35可以借助(附圖未示出)控制裝置繞軸線5'轉(zhuǎn)動，該軸線經(jīng)過其中心39并且近似平行于轉(zhuǎn)臺2的轉(zhuǎn)動軸線5地取向。此外，環(huán)形體35、37可以借助控制裝置共同平行于軸線5'移動。升降/轉(zhuǎn)動裝置也可以如此設計，這兩個環(huán)形體35、 37能被單獨移動，但是這需要一個附加的運動軸，因此，規(guī)定兩個環(huán)形體35、37的共同進給運動是有利的。每個環(huán)形體35、37配備有一組升降件36、38，在本實施例中是一組銷36'、 38'，它們在移動方向5'上突入環(huán)形體35、37中。如果要執(zhí)行試驗玻片更換(即，使試驗玻片保持座8的監(jiān)視器玻璃沈‘轉(zhuǎn)動一個角度33)，則試驗玻片保持座8借助轉(zhuǎn)臺2如此相對升降/轉(zhuǎn)動裝置；34定位，即，試驗玻片保持座8的中心40位于環(huán)形體35、37的中心39 的上方。接著，使這兩個環(huán)形體35、37向上運動，直到外側(cè)環(huán)形體37的這些銷38'進入試驗玻片保持座8的主體25內(nèi)的空腔41，而內(nèi)側(cè)環(huán)形體35的銷36'容納在主體41的內(nèi)腔 42中。如此設定銷36' ,38'的長度，從而在環(huán)形體35、37繼續(xù)進給時，外側(cè)環(huán)形體37的銷 38'頂起試驗玻片保持座8的蓋子觀，而內(nèi)側(cè)環(huán)形體35的銷36'頂起監(jiān)視器玻璃沈‘，確切說，按照以下方式，監(jiān)視器玻璃26'從主體25上升起，而蓋子觀從監(jiān)視器玻璃沈‘上升起，從而監(jiān)視器玻璃沈‘或者蓋子觀沒有相互接觸且沒有接觸主體25地靜置在銷36'或 38'上。在此姿態(tài)下，通過內(nèi)側(cè)環(huán)形體35的轉(zhuǎn)動使監(jiān)視器玻璃沈‘轉(zhuǎn)動過該角度33，而主體25和蓋子觀保持其位置不變。通過這種方式，現(xiàn)在，頂替最初位于測量窗四下方的監(jiān)視器玻璃區(qū)域31，監(jiān)視器玻璃沈‘的另一個區(qū)域31'現(xiàn)在位于測量窗四下方。就是說，通過監(jiān)視器玻璃26'的轉(zhuǎn)動，就像執(zhí)行了試驗玻片更換監(jiān)視器玻璃沈‘相對蓋子觀的相繼轉(zhuǎn)動實現(xiàn)了監(jiān)視器玻璃26'的不同區(qū)域31、31'運動到測量窗四區(qū)域中。升降/轉(zhuǎn)動裝置34因此允許在封閉的涂覆室1內(nèi)進行全自動的試驗玻片更換。如此確定測量窗四的尺寸和位置，監(jiān)視器玻璃沈‘能通過轉(zhuǎn)動而運動到至少6個不同的測試位置，有利的是移動到8個(或更多)不同的測試位置。在圖3a和北的實施例中，監(jiān)視器玻璃沈‘的直徑為125mm，而測量窗四的尺寸為38mmX15mm。涂覆順序按以下方式進行首先，基片7和一個裝有未涂覆的監(jiān)視器玻璃沈‘的試驗玻片保持座8經(jīng)基片閘門20被引入涂覆室1中并且放置在轉(zhuǎn)臺2的為其而設的位置 6中。在第一次涂覆中，基片7和位于測量窗四下方的監(jiān)視器玻璃沈‘區(qū)域31在濺射裝置12中接受第一次涂覆；在測量站13，在涂覆過程中現(xiàn)場測量透射和/或反射的強度變化并借此通過光學確定在監(jiān)視器玻璃沈‘的區(qū)域31中淀積的膜層的厚度和狀況。在包括淀積至少一層但一般可以有多層的第一次涂覆作業(yè)后，使試驗玻片保持座8相對升降/轉(zhuǎn)動裝置34定位并且如上所述通過監(jiān)視器玻璃沈‘的轉(zhuǎn)動執(zhí)行試驗玻片更換，從而現(xiàn)在頂替區(qū)域31地，監(jiān)視器玻璃沈‘的新區(qū)域31'位于測量窗四下方。隨后，執(zhí)行第二次涂覆，以及在現(xiàn)場的第二次測量。這個過程一直重復進行，直到最后一次涂覆。如果期望的涂覆次數(shù)大于可在監(jiān)視器玻璃沈‘上可安置的涂覆區(qū)31、31'的數(shù)量，則試驗玻片保持座8通過基片間門20被換走，換上一個帶有新的未涂覆基片的試驗玻片保持座。圖示出本發(fā)明試驗玻片更換系統(tǒng)的另一個實施方式。該試驗玻片更換系統(tǒng) 10"包括試驗玻片保持座8"，其玻璃試板沈由載板沈“構(gòu)成，該載板具有用于多個獨立的測試玻片>24"的開口。在本實施例中，這些測試玻片>24"由長條形的、端部被倒圓的、40mm長且16mm寬的玻璃片構(gòu)成，這些玻璃片對稱安置在載板沈“上，在圖 4b的實施例中，載板沈“可以接納8片測試玻片，每片測試玻片相對相鄰的測試玻片轉(zhuǎn)過45°的角度33〃。載板沈〃居中具有一個開口 27〃。為了有目的地涂覆被選中的測試玻片，載板沈“被可取走的圓形蓋子觀“蓋住。如圖4b的視圖所示，蓋子觀〃具有測量窗四“(使被選中的測試玻片可用)和基準窗30"(在測量站13中的光學測量時用于基準測量)。如果使試驗玻片保持座8"在轉(zhuǎn)臺2上運動經(jīng)過涂覆站11，則位于測量窗四“下的水平測試玻片獲得涂層，而被蓋子觀“蓋住的其它測試玻片未被涂覆。該涂層的厚度和成分在測量站13內(nèi)被測定。在更換站32中，使試驗玻片保持座8的載板沈“轉(zhuǎn)過預定的角度33"，以便將另一片測試玻片放置在蓋子觀“中的測量窗四“下。載板26"的轉(zhuǎn)動借助呈升降/轉(zhuǎn)動裝置34"形式的轉(zhuǎn)動裝置9"實現(xiàn)，該轉(zhuǎn)動裝置被接附在涂覆室1的底板18上并且包括兩個同心布置的環(huán)形體35"、37"(見圖如)。環(huán)形體35"、37"的中心39"緊接在支承于轉(zhuǎn)臺2上的基片7的大圓23的下方。 外側(cè)環(huán)形體35〃能夠可控地繞軸線5'轉(zhuǎn)動，而這兩個環(huán)形體35〃、37〃可平行于軸線5' 地共同移動。每個所述環(huán)形體35"、37"配備有呈朝上突出的環(huán)形連板36"、38"形式的升降件36、38。在試驗玻片更換時，使兩個環(huán)形體35"、37"向上運動，內(nèi)側(cè)環(huán)形體37“的連板38"碰到蓋子觀“的向下伸出的管段43"并將蓋子觀“向上頂，而外側(cè)環(huán)形體35" 的連板36〃碰到載板沈〃的下邊緣44〃并頂起載板沈〃。連板36〃、38〃的長度如此確定，在共同進給環(huán)形體35〃、37〃時，載板沈〃從轉(zhuǎn)臺2上升起，而蓋子觀〃從載板沈〃上升起，從而載板26"和蓋子觀“沒有相互接觸且沒有接觸轉(zhuǎn)臺2地靜置在連板36"、38〃
7上。在此姿態(tài)下，通過外側(cè)環(huán)形體35"的轉(zhuǎn)動使載板沈“轉(zhuǎn)動了角度33"，而保持在環(huán)形體38"上的蓋子觀“留在其位置上，從而頂替最初位于測量窗四“下的試驗玻片，現(xiàn)在有另一片試驗玻片來到測量窗四“下。就是說，通過使載板沈“相對蓋子觀“依次轉(zhuǎn)動，可以使不同的試驗玻片>24"移動到測量窗四“區(qū)域中。就是說，升降/轉(zhuǎn)動裝置34"允許在封閉的涂覆室1內(nèi)進行全自動的試驗玻片更換。
權利要求
1.一種用于在真空涂覆設備(3)的涂覆室(1)內(nèi)選擇性涂覆和光學檢測試驗玻片 (24,24")的試驗玻片更換系統(tǒng)(10，10")，在該涂覆室內(nèi)設有用于引導至少一個基片(7) 布置在涂覆材料流所穿過的路徑上的轉(zhuǎn)臺O)，其中該試驗玻片更換系統(tǒng)(10，10")具有試驗玻片保持座(8，8")，該試驗玻片保持座包括用于接納試驗玻片04J4")的玻璃試板06)和用于選擇性覆蓋該玻璃試板06)的蓋子08二8")，該試驗玻片更換系統(tǒng)(10) 具有用于使該玻璃試板06)繞近似平行于該轉(zhuǎn)臺O)的轉(zhuǎn)動軸線(5)取向的軸線(5') 轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動裝置(9)，其中，該試驗玻片保持座(8，8")作為一個單元能定位在該轉(zhuǎn)臺(2) 上并且能從該涂覆室(1)被取出。
2.根據(jù)權利要求1所述的試驗玻片更換系統(tǒng)(10)，其特征是，該玻璃試板06)由圓盤形的監(jiān)視器玻璃)構(gòu)成。
3.根據(jù)權利要求2所述的試驗玻片更換系統(tǒng)(10)，其特征是，該監(jiān)視器玻璃)具有中心開口 07)。
4.根據(jù)權利要求1所述的試驗玻片更換系統(tǒng)(10")，其特征是，該玻璃試板06)設計成用于接納多個試驗玻片)的載板)形式。
5.根據(jù)前述權利要求之一所述的試驗玻片更換系統(tǒng)(10，10")，其特征是，該試驗玻片轉(zhuǎn)動裝置(9)設計成升降/轉(zhuǎn)動裝置(34)的形式，借助于該升降/轉(zhuǎn)動裝置(34)-該玻璃試板06)能在軸向(5')上相對該轉(zhuǎn)臺( 移動，-該蓋子08，觀“)能在該軸向(5')上相對該玻璃試板06)移動，并且-該玻璃試板06)能繞該軸向(5 ‘)轉(zhuǎn)動。
6.根據(jù)權利要求5所述的試驗玻片更換系統(tǒng)(10，10")，其特征是，該升降/轉(zhuǎn)動裝置 (23)具有用于升起該蓋子08二8")的第一環(huán)形體(37，37")和用于升起并轉(zhuǎn)動該玻璃試板(26)的第二環(huán)形體(35,35")。
7.根據(jù)權利要求5或6所述的試驗玻片更換系統(tǒng)(10，10")，其特征是，該升降/轉(zhuǎn)動裝置(34)固定地設置在該處理室(1)中。
8.根據(jù)權利要求5或6所述的試驗玻片更換系統(tǒng)(10，10")，其特征是，該升降/轉(zhuǎn)動裝置(34)安置在該轉(zhuǎn)臺(2)上。
9.根據(jù)前述權利要求之一所述的試驗玻片更換系統(tǒng)(10，10')，其特征是，設有用于給該轉(zhuǎn)臺(2)供應基片的基片閘門00)。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于在真空涂覆設備(3)的涂覆室(1)內(nèi)選擇性涂覆和光學檢測試驗玻片(24，24″)的試驗玻片更換系統(tǒng)(10)。在該涂覆室內(nèi)，借助活動的轉(zhuǎn)臺(2)使基片(7)位于涂覆材料流所經(jīng)過的路徑上。該試驗玻片更換系統(tǒng)(10)具有試驗玻片保持座(8，8″)，該試驗玻片保持座包括用于接納試驗玻片(24，24″)的玻璃試板(26)和用于選擇性覆蓋玻璃試板(26)的蓋子(28，28″)。試驗玻片更換系統(tǒng)(10)還具有用于使玻璃試板(26)繞近似平行于轉(zhuǎn)臺(2)的轉(zhuǎn)動軸線(5)取向的軸線(51)轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動裝置(34)。試驗玻片保持座(8，8″)能作為一個單元定位在轉(zhuǎn)臺(2)上并能從該涂覆室(1)被取出。
文檔編號C23C14/54GK102272348SQ200980153904
公開日2011年12月7日 申請日期2009年11月5日 優(yōu)先權日2008年11月6日
發(fā)明者M·謝勒 申請人:萊博德光學有限責任公司