專利名稱：研磨墊修整器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨墊修整器，更具體地說，是一種對(duì)研磨墊修整
器的活塞體驅(qū)動(dòng)方式進(jìn)行改進(jìn)的研磨墊修整器。
背景技術(shù)：
為了增加積體電路的集積密度，積體電路的每一層都必須達(dá)到全面的平坦度，而 化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)便是積集密度得以快速增加的關(guān)鍵技術(shù)；化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)通常是由晶 圓載具將一晶圓施壓置于涂有研磨液的研磨墊上，晶圓和研磨墊間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)研磨 的目的，研磨墊為多孔吹塑成型的聚氨脂，其上浸潤有研磨液，研磨過程中，研磨液中的研 磨粒子及研磨副產(chǎn)物會(huì)埋入并堵塞在研磨墊的氣孔中，從而使研磨率降低。 圖一，圖二為現(xiàn)有的研磨墊修整器結(jié)構(gòu)示意圖，現(xiàn)有的修整器由中心軸A、皮帶輪 B、鉆石磨輪C組成；鉆石磨輪C上設(shè)置有本體Cl，本體Cl具有內(nèi)軸套Cll和外環(huán)套C12，圓 筒柱C2其上端部套合于外環(huán)套C12內(nèi)，并將外環(huán)套區(qū)分成上氣室Dl和下氣室D2，透過輸送 管路連接至空氣壓縮機(jī)，傳動(dòng)軸C3由軸桿C31和軸盤C32組成，其中該軸桿C31以滑動(dòng)軸 方式與內(nèi)軸套Cll套接，軸盤C32以固定軸方式套合于圓筒柱C2下端部；中心軸A透過皮 帶輪B將旋轉(zhuǎn)動(dòng)力傳送至鉆石磨輪C上的傳動(dòng)軸C3，使傳動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，上、下氣室產(chǎn)生的壓力 使圓筒柱C2帶動(dòng)傳動(dòng)軸C3在外環(huán)套C12內(nèi)部升降移動(dòng)，進(jìn)而使碾磨面C4碾磨研磨墊，鉆 石磨輪，內(nèi)部有上氣室Dl和下氣室D2，要達(dá)到以氣壓控制圓筒柱C2移動(dòng)，勢(shì)必要對(duì)兩氣室 分別設(shè)計(jì)管路，而管路的配置較復(fù)雜，而且圓筒柱C2設(shè)置在外圍，旋轉(zhuǎn)軸承E設(shè)置在內(nèi)層， 當(dāng)圓筒柱C2下降時(shí)，旋轉(zhuǎn)軸承E會(huì)接觸到研磨墊上的研磨液，使研磨液侵蝕至軸承，因此， 必須定期進(jìn)行維修；另外，上氣室Dl和下氣室D2間的密封墊F需較大尺寸，接觸面積也大， 使污染物容易滲透進(jìn)密封墊F中，且大尺寸的密封墊F公差相對(duì)較大，無法精確配合，從而 造成密封效果較差，提供的壓力不穩(wěn)，而且鉆石磨輪中負(fù)責(zé)旋轉(zhuǎn)的軸承E尺寸相對(duì)較小，旋 轉(zhuǎn)時(shí)不穩(wěn)定。

發(fā)明內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型提供了一種對(duì)活塞體驅(qū)動(dòng)方式進(jìn)行改進(jìn) 的研磨墊修整器，延長了修整器的使用壽命，且旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，氣密性好。 本實(shí)用新型的目的是通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的 研磨墊修整器，結(jié)構(gòu)上包括本體、旋轉(zhuǎn)體、傳動(dòng)部件、活塞體、密封墊，本體內(nèi)開有 第一腔室，旋轉(zhuǎn)體置于第一腔室內(nèi)，且旋轉(zhuǎn)體內(nèi)開有第二腔室，傳動(dòng)部件固定在旋轉(zhuǎn)體上 方，并用封閉第二腔室一側(cè)，傳動(dòng)部件由皮帶輪、導(dǎo)氣管和旋轉(zhuǎn)軸組成，旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有一 軸向貫穿的導(dǎo)氣孔，導(dǎo)氣孔與導(dǎo)氣管相通連接，活塞體與旋轉(zhuǎn)體之間設(shè)有密封墊，活塞體封 閉第二腔室另一側(cè)，活塞體與旋轉(zhuǎn)軸之間以及旋轉(zhuǎn)體與活塞體之間形成封閉氣室，活塞體 的自由端固定有傳動(dòng)碟片，通過對(duì)氣室輸入空氣壓力或進(jìn)行抽真空，來控制活塞體升降，進(jìn) 而由傳動(dòng)部件間接驅(qū)動(dòng)活塞體旋轉(zhuǎn)，使傳動(dòng)碟片連帶產(chǎn)生相同的動(dòng)作。[0007] 由于采用了以上的技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有如下的有益效果 1、以氣壓推動(dòng)活塞體，以抽真空來收回活塞體，氣體于同一管路中流動(dòng)，管路配置 較為簡單； 2、支撐旋轉(zhuǎn)體的軸承直徑較大，使旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)，且軸承固定于本體腔室內(nèi)，不會(huì)隨著 活塞體升降而接觸研磨液，不會(huì)造成活塞體的腐蝕，可減少維修次數(shù)，延長修整器的使用壽
命； 3、活塞體與旋轉(zhuǎn)體間的密封墊尺寸相對(duì)較小，制作時(shí)不易產(chǎn)生公差問題，且保障 套于活塞體上時(shí)與旋轉(zhuǎn)體間形成氣密，密封效果好； 4、密封墊與旋轉(zhuǎn)體、活塞體的接觸面積較小，不易產(chǎn)生污染物滲透進(jìn)密封墊的問 題。

圖1為現(xiàn)有的研磨墊修整器示意圖； 圖2為圖1的剖面圖； 圖3為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步進(jìn)行詳細(xì)描述。 參照附圖3，研磨墊修整器，結(jié)構(gòu)上包括本體1、旋轉(zhuǎn)體2、傳動(dòng)部件3、活塞體4、密 封墊F，本體內(nèi)開有第一腔室11 ，旋轉(zhuǎn)體2置于第一腔室11內(nèi)，且旋轉(zhuǎn)體2內(nèi)開有第二腔室 21，傳動(dòng)部件3固定在旋轉(zhuǎn)體2上方，并用封閉第二腔室21 —側(cè)，傳動(dòng)部件3由皮帶輪31、 導(dǎo)氣管32和旋轉(zhuǎn)軸33組成，旋轉(zhuǎn)軸33上設(shè)置有一軸向貫穿的導(dǎo)氣孔331，導(dǎo)氣孔331與導(dǎo) 氣管32相通連接，活塞體4與旋轉(zhuǎn)體2之間設(shè)有密封墊F，活塞體4封閉第二腔室21另一 側(cè)，活塞體4與旋轉(zhuǎn)軸33之間以及旋轉(zhuǎn)體2與活塞體4之間形成封閉氣室，活塞體4的自 由端固定有傳動(dòng)碟片5，通過對(duì)氣室輸入空氣壓力或進(jìn)行抽真空，來控制活塞體升降，進(jìn)而 由傳動(dòng)部件間接驅(qū)動(dòng)活塞體旋轉(zhuǎn)，使傳動(dòng)碟片連帶產(chǎn)生相同的動(dòng)作。 進(jìn)一步地，本體內(nèi)設(shè)置一承載盤12，承載盤12上有供活塞體4穿過的孔121，旋轉(zhuǎn) 體2外周圍設(shè)有軸承固定環(huán)22，軸承固定環(huán)22上下方的旋轉(zhuǎn)體2上各套設(shè)一軸承23，組合 有軸承23及軸承固定環(huán)22的旋轉(zhuǎn)體2置于本體的第一腔室11內(nèi)。 進(jìn)一步地，活塞體4上開有一配合孔41，活塞體4以配合孔41向上的方向軸向置 于旋轉(zhuǎn)體2第二腔室21內(nèi)，活塞體4上套設(shè)一活塞定位環(huán)42，該活塞定位環(huán)42固定于旋轉(zhuǎn) 體2下端面，活塞體4封閉于第二腔室21的一側(cè)，活塞體的自由端面鎖固有傳動(dòng)碟片5，傳 動(dòng)碟片5的中心是圓弧形結(jié)構(gòu)，周圍開設(shè)三個(gè)傳動(dòng)孔51， 進(jìn)一步地，傳動(dòng)部件3還包括一皮帶輪31，皮帶輪31中部鎖固一導(dǎo)氣管32，旋轉(zhuǎn) 軸33上具有軸向貫穿兩端的導(dǎo)氣孔331，旋轉(zhuǎn)軸33穿過旋轉(zhuǎn)軸接合部332于皮帶輪31鎖 固連接，通過旋轉(zhuǎn)軸接合部332將整個(gè)傳動(dòng)部3鎖固于旋轉(zhuǎn)體2上端面，旋轉(zhuǎn)軸33伸入活 塞體4配合孔41內(nèi)，并與活塞體4間通過鍵6連接。 進(jìn)一步地，活塞體4外周圍套設(shè)一感應(yīng)磁環(huán)7，在本體1適當(dāng)位置處設(shè)置一磁性感 應(yīng)器71，通過磁場(chǎng)的感應(yīng)來確認(rèn)活塞4的移動(dòng)位置及是否在旋轉(zhuǎn)，活塞體4外周圍于旋轉(zhuǎn)體2之間設(shè)置有氣密環(huán)8，確保旋轉(zhuǎn)軸33于活塞體4之間以及旋轉(zhuǎn)體2于活塞體4之間所 形成的氣室10、20被密封，旋轉(zhuǎn)軸33上套設(shè)耐磨環(huán)9，可以避免活塞體4反復(fù)相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸 33滑動(dòng)時(shí)兩者間產(chǎn)生的磨損。 本實(shí)用新型的工作原理是當(dāng)皮帶輪31轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，旋轉(zhuǎn)軸33及旋轉(zhuǎn)體2隨之旋轉(zhuǎn)， 兩個(gè)內(nèi)徑較大的軸承23用來限制旋轉(zhuǎn)體2，保障旋轉(zhuǎn)體2與旋轉(zhuǎn)軸33間旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的平穩(wěn)， 旋轉(zhuǎn)軸33的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力由鍵6傳送至活塞體4，使活塞體4帶動(dòng)傳動(dòng)碟片5旋轉(zhuǎn)，完成碾磨中 的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作；同時(shí)，傳動(dòng)部件3上導(dǎo)氣管32上設(shè)置閥門，閥門連接空氣壓縮機(jī)與真空泵，調(diào) 節(jié)閥門使空氣壓縮機(jī)對(duì)導(dǎo)氣管32輸入壓縮空氣，壓縮的空氣從導(dǎo)氣管32流向?qū)饪?31， 再從導(dǎo)氣孔331流向氣室IO，部分氣體從耐磨環(huán)9的間隙片流至氣室20，氣室10、20內(nèi)的 空氣推動(dòng)活塞體4沿軸向下降，通過輸入的空氣量來控制活塞體4的位移量；若需升起活塞 體4時(shí)，便切換閥門，利用真空泵抽出空氣，產(chǎn)生的真空吸力使活塞體4沿軸向上升，如此反 復(fù)升降便完成碾磨中的碾壓動(dòng)作，另外，活塞體4在旋轉(zhuǎn)及升降過程中，感應(yīng)磁環(huán)7變動(dòng)移 位產(chǎn)生磁場(chǎng)，磁性感應(yīng)器71感應(yīng)到磁場(chǎng)，便傳出確認(rèn)信號(hào)，從而確定活塞體4旋轉(zhuǎn)及移動(dòng)的 位置。
權(quán)利要求一種研磨墊修整器，結(jié)構(gòu)上包括本體，旋轉(zhuǎn)體，傳動(dòng)部件，活塞體，傳動(dòng)碟片，其特征在于，本體內(nèi)開有第一腔室，旋轉(zhuǎn)體置于第一腔室內(nèi)，且旋轉(zhuǎn)體內(nèi)開有第二腔室，傳動(dòng)部件固定在旋轉(zhuǎn)體上方，并用封閉第二腔室一側(cè)，傳動(dòng)部件由皮帶輪、導(dǎo)氣管和旋轉(zhuǎn)軸組成，旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有一軸向貫穿的導(dǎo)氣孔，導(dǎo)氣孔與導(dǎo)氣管相通連接，活塞體與旋轉(zhuǎn)體之間設(shè)有密封墊，活塞體封閉第二腔室另一側(cè)，活塞體與旋轉(zhuǎn)軸之間以及旋轉(zhuǎn)體與活塞體之間形成封閉氣室，活塞體的自由端固定有傳動(dòng)碟片。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述的導(dǎo)氣管通過閥門連接有 空氣壓縮機(jī)和真空泵。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述的旋轉(zhuǎn)體，其上套設(shè)有軸承 固定環(huán)，軸承固定環(huán)的上、下方分別套置有軸承，且軸承及軸承固定環(huán)位于第一腔室內(nèi)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述的活塞體，其上套有活塞定 位環(huán)，活塞定位環(huán)固定在所述旋轉(zhuǎn)體的下端面。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述的旋轉(zhuǎn)軸上套設(shè)一耐磨環(huán)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述活塞體之間 用鍵連接。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述活塞體與所述旋轉(zhuǎn)體之間 套設(shè)一氣密環(huán)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述活塞體上套設(shè)一感應(yīng)磁環(huán)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述的本體上設(shè)置一磁性感應(yīng)器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種研磨墊修整器，屬于研磨器械領(lǐng)域，其結(jié)構(gòu)包括本體、旋轉(zhuǎn)體、傳動(dòng)部件、旋轉(zhuǎn)軸、活塞體，本體內(nèi)開有第一腔室，旋轉(zhuǎn)體置于第一腔室內(nèi)，且旋轉(zhuǎn)體內(nèi)開有第二腔室，傳動(dòng)部件固定在旋轉(zhuǎn)體上方，并用封閉第二腔室一側(cè)，傳動(dòng)部件由皮帶輪、導(dǎo)氣管和旋轉(zhuǎn)軸組成，旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有一軸向貫穿的導(dǎo)氣孔，導(dǎo)氣孔與導(dǎo)氣管相通連接，活塞體與旋轉(zhuǎn)體之間設(shè)有密封墊，活塞體封閉第二腔室另一側(cè)，活塞體與旋轉(zhuǎn)軸之間以及旋轉(zhuǎn)體與活塞體之間形成封閉氣室，活塞體的自由端固定有傳動(dòng)碟片，通過控制活塞體的升降來帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)體、旋轉(zhuǎn)軸及活塞體同步轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)研磨動(dòng)作，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)巧妙，使用壽命久。
文檔編號(hào)B24B53/14GK201471296SQ20092020810
公開日2010年5月19日 申請(qǐng)日期2009年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月19日
發(fā)明者趙宏 申請(qǐng)人:趙宏