專利名稱：鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種鍍膜線設(shè)備，特別是一種鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭系統(tǒng)。
技術(shù)背景 現(xiàn)有的鍍膜線在工作時，旋轉(zhuǎn)靶通電、旋轉(zhuǎn)工作，由于通電會產(chǎn)生熱量需要通過水 來冷卻，而通過水冷卻不僅需要一定量的水以及水的循環(huán)，還需要水的密封性，現(xiàn)有的鍍膜 線旋轉(zhuǎn)靶頭，在工作時，由于和軸承以及滾針軸承之間的摩擦?xí)霈F(xiàn)凹凸，使其使用壽命減 少、冷卻水泄漏，流入真空鍍膜室，影響磁場，另有采用原裝進(jìn)口的鍍膜線，但這種成本較 高，且因進(jìn)口 ，不僅花費時間較長，對生產(chǎn)造成很大的影響，且維修不方便。
發(fā)明內(nèi)容 本實用新型的目的是為了克服以上的不足，提供一種能提高靶材利用率，減少成 本、維修方便、提高使用壽命、防止水泄漏和靶材打弧、節(jié)約時間、維修方便的鍍膜線旋轉(zhuǎn)水 靶頭系統(tǒng)。 本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)一種鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭系統(tǒng)，包括
轉(zhuǎn)動軸、旋轉(zhuǎn)靶軸座、進(jìn)出水管組件、接頭裝置，在轉(zhuǎn)動軸上連接有水頭軸套，水頭軸套外連
接有外軸套，水頭軸套與外軸套之間設(shè)有滾針軸承，外軸套與旋轉(zhuǎn)靶軸座下端相連接，且進(jìn)
出水管組件置于旋轉(zhuǎn)靶軸座中，進(jìn)出水管組件與接頭裝置相連接。 本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于所述水頭軸套為2Crl3材料。
本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于所述外軸套為聚甲醛。 本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的優(yōu)點靶材形式采用旋轉(zhuǎn)靶，提高了靶材的利 用率，降低了成本，采用2Crl3材料不僅耐磨、防銹，硬度提高且使用壽命提高，能夠防止水 泄漏和靶材打弧，節(jié)約時間，維修方便。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖中標(biāo)號1-轉(zhuǎn)動軸、2_旋轉(zhuǎn)靶軸座、3_進(jìn)出水管組件、4_接頭裝置、5_水頭軸 套、6_外軸套、7-滾針軸承。
具體實施方式
為了加深對本實用新型的理解，下面將結(jié)合實施例和附圖對本實用新型作進(jìn)一步
詳述，該實施例僅用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型保護(hù)范圍的限定。 如圖1示出了本實用新型鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭系統(tǒng)的一種實施方式，包括轉(zhuǎn)動軸1、 旋轉(zhuǎn)靶軸座2、進(jìn)出水管組件3、接頭裝置4，在轉(zhuǎn)動軸1上連接有水頭軸套5，水頭軸套5為 2Crl3材料，在水頭軸套5外連接有外軸套6，外軸套6為聚甲醛，水頭軸套5與外軸套6之 間設(shè)有滾針軸承7，外軸套6與旋轉(zhuǎn)靶軸座2下端相連接，且進(jìn)出水管組件3置于旋轉(zhuǎn)靶軸座2中，進(jìn)出水管組件3與接頭裝置4相連接。靶材形式采用旋轉(zhuǎn)靶，可以提高靶材的利用 率，鍍膜線在工作時，旋轉(zhuǎn)靶通電、旋轉(zhuǎn)工作，由于通電會產(chǎn)生熱量，就需要通水冷卻，采用 2Crl3材料先后進(jìn)行調(diào)質(zhì)、淬火處理，最后進(jìn)行鍍硬鉻，制成水頭軸套，這樣不僅硬度提高， 且可以耐磨、防銹，提高了鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭系統(tǒng)的使用壽命，解決了水泄漏、耙材打弧等 問題，且相對于進(jìn)口的鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭系統(tǒng)節(jié)約了成本，維修方便。
權(quán)利要求一種鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭系統(tǒng)，包括轉(zhuǎn)動軸(1)、旋轉(zhuǎn)靶軸座(2)、進(jìn)出水管組件(3)、接頭裝置(4)，其特征在于所述轉(zhuǎn)動軸(1)上連接有水頭軸套(5)，所述水頭軸套(5)外連接有外軸套(6)，所述水頭軸套(5)與外軸套(6)之間設(shè)有滾針軸承(7)，所述外軸套(6)與旋轉(zhuǎn)靶軸座(2)的下端相連接，所述進(jìn)出水管組件(3)置于旋轉(zhuǎn)靶軸座(2)中，所述進(jìn)出水管組件(3)與接頭裝置(4)相連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭系統(tǒng)，其特征在于所述水頭軸套(5)為2Crl3材料。
專利摘要本實用新型涉及一種鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭系統(tǒng)，包括轉(zhuǎn)動軸、旋轉(zhuǎn)靶軸座、進(jìn)出水管組件、接頭裝置，在轉(zhuǎn)動軸上連接有水頭軸套，水頭軸套外連接有外軸套，水頭軸套與外軸套之間設(shè)有滾針軸承，外軸套與旋轉(zhuǎn)靶軸座下端相連接，且進(jìn)出水管組件置于旋轉(zhuǎn)靶軸座中，進(jìn)出水管組件與接頭裝置相連接。本實用新型具有提高靶材利用率，減少成本、維修方便、提高使用壽命、防止水泄漏和靶材打弧、節(jié)約時間、維修方便的優(yōu)點。
文檔編號C23C14/34GK201447501SQ20092004384
公開日2010年5月5日 申請日期2009年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月26日
發(fā)明者俞立民, 王賢榮, 陳詠寧, 黃林沖 申請人:江蘇藍(lán)星玻璃有限公司