專利名稱：鍍膜線旋轉(zhuǎn)靶水頭軸套的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種鍍膜線設(shè)備，特別是一種鍍膜線旋轉(zhuǎn)耙水頭軸套。
技術(shù)背景
現(xiàn)有的鍍膜線在工作時(shí)，旋轉(zhuǎn)靶通電、旋轉(zhuǎn)工作，由于通電會產(chǎn)生熱量需 要通過水來冷卻，而通過水冷卻不僅需要一定量的水以及水的循環(huán)，還需要水 的密封性，現(xiàn)有的鍍膜線旋轉(zhuǎn)靶頭，其水頭軸套是由不銹鋼材料制成的，并在 表面鍍硬鉻，能夠防磨耐銹，但在工作時(shí)，由于和軸承以及密封圈之間的摩擦 會出現(xiàn)凹凸，使其使用壽命減少、冷卻水泄漏，流入真空鍍膜室，影響磁場， 另有采用原裝進(jìn)口的鍍膜線，但這種成本較高，且因進(jìn)口，不僅花費(fèi)時(shí)間較長， 對生產(chǎn)造成很大的影響。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是為了克服以上的不足，提供一種能提高靶材利用率， 減少成本、提高使用壽命、防止水泄漏和靶材打弧的鍍膜線旋轉(zhuǎn)靶水頭軸套。
本實(shí)用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn) 一種鍍膜線旋轉(zhuǎn)靶水頭軸套， 包括殼體，殼體下端設(shè)有凸臺，在凸臺的下表面設(shè)有固定孔，凸臺的外圓周上
設(shè)有圓弧凹槽殼體內(nèi)部為空心結(jié)構(gòu)，且殼體為2Crl3材料。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的優(yōu)點(diǎn)耙材形式采用旋轉(zhuǎn)耙，提高了靶
材的利用率，降低了成本，采用2Crl3材料不僅耐磨、防銹，硬度提高且使用
壽命提高，能夠防止水泄漏和靶材打弧。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖中標(biāo)號卜殼體、2-凸臺、3-固定孔。
具體實(shí)施方式
為了加深對本實(shí)用新型的理解，下面將結(jié)合實(shí)施例和附圖對本實(shí)用新型作 進(jìn)一步詳述，該實(shí)施例僅用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對本實(shí)用新型保護(hù)范 圍的限定。
如圖1示出了本實(shí)用新型鍍膜線旋轉(zhuǎn)靶水頭軸套的一種實(shí)施方式，包括殼
體l，殼體1下端設(shè)有凸臺2，凸臺可為圓形，在凸臺2的下表面設(shè)有四個(gè)固定 孔3，并均勻的分布在凸臺的圓周上，在凸臺的外圓周上設(shè)有圓弧凹槽4，可以 防止水泄漏，殼體內(nèi)部為空心結(jié)構(gòu)，且殼體為2Crl3材料。靶材形式采用旋轉(zhuǎn) 靶，可以提高靶材的利用率，鍍膜線在工作時(shí)，旋轉(zhuǎn)靶通電、旋轉(zhuǎn)工作，由于 通電會產(chǎn)生熱量，就需要通水冷卻，采用2Crl3材料先后進(jìn)行調(diào)質(zhì)、淬火處理， 最后進(jìn)行鍍硬鉻，制成水頭軸套，這樣不僅硬度提高，且可以耐磨、防銹，提 高了鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭的使用壽命，解決了水泄漏、靶材打弧等問題，且相對 于進(jìn)口的鍍膜線旋轉(zhuǎn)水靶頭節(jié)約了成本。
權(quán)利要求1、一種鍍膜線旋轉(zhuǎn)靶水頭軸套，包括殼體(1)，其特征在于所述殼體(1)下端設(shè)有凸臺(2)，所述凸臺(2)的下表面設(shè)有固定孔(3)，所述凸臺的外圓周上設(shè)有圓弧凹槽(4)，所述殼體(1)內(nèi)部為空心結(jié)構(gòu)。
2、 根據(jù)要求1所述鍍膜線旋轉(zhuǎn)靶水頭軸套，其特征在于所述殼體(1)為2Crl3材料。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種鍍膜線旋轉(zhuǎn)靶水頭軸套，包括殼體，殼體下端設(shè)有凸臺，在凸臺凸臺的下表面設(shè)有固定孔，所述凸臺的外圓周上設(shè)有圓弧凹槽，殼體內(nèi)部為空心結(jié)構(gòu)，且殼體為2Cr13材料。本實(shí)用新型具有提高靶材利用率，減少成本、提高使用壽命、防止水泄漏和靶材打弧的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號C23C14/34GK201406465SQ20092004381
公開日2010年2月17日 申請日期2009年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月25日
發(fā)明者俞立民, 王賢榮, 陳詠寧, 黃林沖 申請人:江蘇藍(lán)星玻璃有限公司