專利名稱：溶劑熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的方法，更特別的說，是指用溶劑 熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜。
背景技術(shù)：
透明導(dǎo)電薄膜作為薄膜材料的重要分支，因其具有良好的光電特性，用途相當(dāng)廣
泛。透明導(dǎo)電薄膜是指對可見光(波長/l在380ww 760"m范圍內(nèi))的透射率高 且電導(dǎo)率高的薄膜。透明就意味著材料的能帶隙寬度大(五g > 3eF)而自由電子少；
另一方面，電導(dǎo)率高的材料往往自由電子多而像金屬，從而不透明。只有同時滿足這 兩種條件的材料才能在透明導(dǎo)電膜上應(yīng)用。目前的透明導(dǎo)電薄膜主要有:金屬膜、金 屬氧化物膜、其他氧化物膜、高分子膜、復(fù)合膜等。其中應(yīng)用最為廣泛的是前兩種。 金屬氧化物薄膜有l(wèi)n203、 Sn02和ZnO三大體系。
ZnO薄膜是一種新型的n vi族寬禁帶半導(dǎo)體材料，具有優(yōu)異的晶格、光電、 壓電及介電特性，無毒性，原料易得且廉價，外延生長溫度也較低，有利于降低設(shè)備 成本，抑制固相外擴(kuò)散，提高薄膜質(zhì)量，而且也易于實施摻雜。因此，近幾十年來， ZnO薄膜己成為金屬氧化物透明導(dǎo)電薄膜的熱門研究材料。
目前，磁控濺射制備的錫摻雜的三氧化二銦透明導(dǎo)電膜(ITO)應(yīng)用最廣泛、制 備工藝最成熟。但由于In, Sn的價格昂貴；In有毒，污染環(huán)境，還會對人體健康造 成危害；ITO在氫等離子體等特殊場合下性能不穩(wěn)定。同時，磁控濺射法所需設(shè)備復(fù) 雜，需要真空條件和高質(zhì)量靶材，生產(chǎn)成本很髙。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提出一種制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的方法，該方法釆用二水 合乙酸鋅和無機(jī)鋁鹽(六水合氯化鋁或九水合硝酸鋁)為前驅(qū)物，通過溶劑熱法在基 片上沉積出鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜。本發(fā)明是一種水熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的制備方法，其包括有下列制 備步驟
第一步準(zhǔn)備基片
將基片依次放入質(zhì)量百分比濃度為99.0%的丙酮、質(zhì)量百分比濃度為99.5%的 乙醇和去離子水中用超聲波清洗各10 20min，再將基片放入5CTC 80。C溫度下 的電熱恒溫干燥箱中，干燥10 15min后取出得到備用基片；
第二步配置前驅(qū)溶液
將二水合乙酸鋅、無機(jī)鋁鹽、乙二醇甲醚和乙醇胺在6crc 8crc溫度下混合得
到前驅(qū)溶液；
用量100w/的前驅(qū)溶液中含有l(wèi)g 15g的二水合乙酸鋅、0.1g 9.0g的 無機(jī)鋁鹽、0.3w/ 3.5m/的乙醇胺和余量的乙二醇甲醚； 第三步制鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜
(A) 先將第一步得到的備用基片放在反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中；
(B) 然后將第二步制得的前驅(qū)溶液加入反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中，且前驅(qū)溶
液的填充量為聚四氟乙烯內(nèi)襯容積的^ |;
(C) 調(diào)節(jié)溶劑熱反應(yīng)溫度為90°C 200°C，溶劑熱反應(yīng)時間1/ 48/ 后，并 調(diào)節(jié)降溫梯度0.3°C/min~20°C/min冷卻反應(yīng)釜至20。C 30。C,取出得到AZO/ 基片；
第四步清洗薄膜
將制得的AZO/基片依次使用質(zhì)量百分比濃度為99.0%的乙二醇甲醚和去離子 水清洗，然后放入干燥溫度為6CTC 80t的電熱恒溫干燥箱中干燥10 15min， 得到干燥后的AZO/基片。
在本發(fā)明中，無機(jī)鋁鹽可以是六水合氯化鋁、或者九水合硝酸鋁。 本發(fā)明的溶劑熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜具有如下優(yōu)點
(1) 本方法實現(xiàn)了鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的在低溫環(huán)境(溶劑熱反應(yīng)溫度為90 。C 20(TC)下制備，使得其可在有機(jī)柔性基體上制備。
(2) 通過設(shè)置不同的工藝參數(shù)(制備方法中的第三步)，可有效地控制鋁摻雜氧化
4鋅透明導(dǎo)電膜制備的質(zhì)量(可見光透過率和導(dǎo)電性)。制得的鋁摻雜氧化鋅透
明導(dǎo)電膜的可見光透過率為60% 90%,方塊電阻為30Q 760Q。
(3) 本方法所使用的設(shè)備簡單，制備工藝條件簡化，操作過程簡單，生產(chǎn)成本降低。 這顯然有利于鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，對氧化物透明導(dǎo)電膜制 備技術(shù)的推廣具有重要的應(yīng)用價值。
(4) 本方法與磁控濺射相比，具有低溫液相控制，能耗較低，并且反應(yīng)產(chǎn)物的產(chǎn)率 高、物相均勻、純度高、結(jié)晶性好的特點。同時，可通過調(diào)節(jié)各種溶劑熱法控 制因素，有效地控制反應(yīng)和晶體生長。此外，反應(yīng)在密閉的容器中進(jìn)行，可控 制反應(yīng)氣氛獲得特殊物相，也盡可能地減少了環(huán)境污染。


圖1是本發(fā)明實施例1制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的XRD譜。 圖2是本發(fā)明實施例1制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的UV-Vis譜。 圖3是本發(fā)明實施例1制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的方塊電阻圖。
具體實施例方式
下面將結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
本發(fā)明是一種釆用溶劑熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的方法，其包括有下列 步驟
第一步準(zhǔn)備基片
將基片切割成1.8cmX2.5cm大小，然后依次放入丙酮(質(zhì)量百分比濃度為 99.0%)、乙醇(質(zhì)量百分比濃度為99.5%)和去離子水中用超聲波清洗各10 20min，再將基片放入50^ 8(TC溫度下的電熱恒溫干燥箱中，干燥10 15min 后取出得到備用基片；
在本發(fā)明中，基片可以是玻璃、0f-Al2O3、藍(lán)寶石或者&基片；
第二步配置前驅(qū)溶液
將二水合乙酸鋅(Zn(CH3COO)2 . 2H20)、無機(jī)鋁鹽、乙二醇甲醚(C3H802) 和乙醇胺(C2H7NO)在6CrC 80。C溫度下混合得到前驅(qū)溶液；
用量100m/的前驅(qū)溶液中含有l(wèi)g 15g的二水合乙酸鋅、0.1g 9.0g的 無機(jī)鋁鹽、0.3w/ 3.5附/的乙醇胺和余量的乙二醇甲醚；
5在本發(fā)明中，無機(jī)鋁鹽可以是六水合氯化鋁(A1C13*6H20)、或者九水合硝酸 鋁(A1(N03)3.9H20)。
第三步制鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜
(A) 先將第一步得到的備用基片放在反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中；
(B) 然后將第二步制得的前驅(qū)溶液加入反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中，且前驅(qū)溶
1 4
液的填充量為聚四氟乙烯內(nèi)襯容積的5 ~5;
(C) 調(diào)節(jié)溶劑熱反應(yīng)溫度為90"C 20(TC,溶劑熱反應(yīng)時間1/z 48/z后，并 調(diào)節(jié)降溫梯度0.3°C/min 20°C/min冷卻反應(yīng)釜至2CTC 3CTC，取出得到在基片 上沉積有鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜(簡稱為AZO/基片)；
第四步清洗薄膜
將制得的AZO/基片依次使用乙二醇甲醚(質(zhì)量百分比濃度為99.0%)和去離 子水清洗，然后放入干燥溫度為6CTC 8CrC的電熱恒溫干燥箱中干燥10~15min, 得到干燥后的AZO/基片。
在本發(fā)明中，第三步驟中溶劑熱反應(yīng)溫度是在20(TC以下環(huán)境進(jìn)行，說明鋁摻雜 氧化鋅透明導(dǎo)電膜的生長的溫度環(huán)境為低溫環(huán)境。在這低溫環(huán)境下，基片可以是有機(jī) 柔性基體。
采用本發(fā)明的溶劑熱法與磁控濺射相比，具有低溫液相控制，能耗較低，并且反 應(yīng)產(chǎn)物的產(chǎn)率高、物相均勻、純度高、結(jié)晶性好的特點。同時，可通過調(diào)節(jié)各種溶劑 熱法控制因素，有效地控制反應(yīng)和晶體生長。此夕卜，反應(yīng)在密閉的容器中進(jìn)行，可控 制反應(yīng)氣氛獲得特殊物相，也盡可能地減少了環(huán)境污染。
釆用本發(fā)明的制備方法制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的可見光透過率為 60% 90%，方塊電阻為30Q 760Q。
實施例1 : 在玻璃基片上制鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜 第一步準(zhǔn)備基片
將玻璃基片切割成1.8cmX2.5cm大小，然后依次放入丙酮(質(zhì)量百分比濃度 為99.0%)、乙醇(質(zhì)量百分比^度為99.5%)和去離子水中用超聲波清洗各15min, 再將玻璃基片放入6CrC溫度下的電熱恒溫干燥箱中，干燥15min后取出得到備用 基片；第二步配置前驅(qū)溶液
將二水合乙酸鋅(Zn(CH3COO)2 . 2H20)、六水合氯化鋁(A1C13 . 6H20)、乙 二醇甲醚(C3H802)和乙醇胺(C2H7NO)在6CTC溫度下混合得到前驅(qū)溶液；
用量100w/的前驅(qū)溶液中含有2.195g的二水合乙酸鋅、0.363g的六水合 氯化鋁、l.Om/的乙醇胺和余量的乙二醇甲醚；
第三步制鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜
(A) 先將第一步得到的備用基片放在反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中；
(B) 然后將第二步制得的前驅(qū)溶液加入反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中，且前驅(qū)溶
液的填充量為聚四氟乙烯內(nèi)襯容積的^ ;
(C) 調(diào)節(jié)溶劑熱反應(yīng)溫度為18CTC，溶劑熱反應(yīng)時間分別為l/z、 6/ 、 24/2和48/ 后，并調(diào)節(jié)降溫梯度2t/min冷卻反應(yīng)釜至25。C,取出得到在玻璃基 片上沉積有鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜(簡稱為AZO/基片)；
第四步清洗薄膜
將制得的AZO/基片依次使用乙二醇甲醚(質(zhì)量百分比濃度為99.0%)和去離 子水清洗，然后放入干燥溫度為60r的電熱恒溫干燥箱中干燥15min,得到干燥后 的AZO/基片。
將釆用實施例1制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜使用X射線衍射儀、紫外—可 見分光光度計和四探針測試儀進(jìn)行性能分析。
圖1所示中，在不同溶劑熱時間6/k 12/z、 24/2和48/0下，均在 34°附近出現(xiàn)強(qiáng)(002)衍射峰，說明所制得的薄膜是氧化鋅。
圖2所示中，制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜在可見光380wm 760ww范圍 內(nèi)的可見光透過率曲線。
當(dāng)溶劑熱時間為lA時，鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜對760ww可見光的透過率接 近90%;
當(dāng)溶劑熱時間為6/z時，鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜對760WW可見光的透過率為 70%;
當(dāng)溶劑熱時間為12/ 時鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜對760ww可見光的透過率為 73%;當(dāng)溶劑熱時間為24/z時鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜對760WW可見光的透過率為 64%;
當(dāng)溶劑熱時間為48/l時鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜對760wm可見光的透過率為 75.6%。
圖3所示中，溶劑熱時間為1/l時鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的方塊電阻為180fi; 溶劑熱時間為6/z時鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的方塊電阻為150Q;溶劑熱時間為 12/2時鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的方塊電阻為760Q;溶劑熱時間為24/ 時鋁摻雜 氧化鋅透明導(dǎo)電膜的方塊電阻為50Q;溶劑熱時間為48/z時鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電 膜的方塊電阻為30Q。
采用與實施例1相同的制備方法，僅將玻璃基片更換為a - A1203基片，最終制 得在"-八1203基片上沉積有鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜。釆用與實施例l相同的測試 方式進(jìn)行性能測量，其XRD圖、可見光透過率和方塊電阻無明顯差異，這說明基片 的變換不會影響到鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的形成和性能。
實施例2 : 在玻璃基片上制鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜 第一步準(zhǔn)備基片
將玻璃基片切割成1.8cmX2.5cm大小，然后依次放入丙酮(質(zhì)量百分比濃度 為99.0。/。)、乙醇(質(zhì)量百分比濃度為99.5。/。)和去離子水中用超聲波清洗各10min， 再將基片放入7CrC溫度下的電熱恒溫干燥箱中，干燥10min后取出得到備用基片；
第二步配置前驅(qū)溶液
將二7jc合乙酸鋅(Zn(CH3COO)2 2H20)、九水合硝酸鋁(A1(NQ3)3 . 9H20)、 乙二醇甲醚(C3H802)和乙醇胺(C2H7NO)在60。C溫度下混合得到前驅(qū)溶液； 用量100w/的前驅(qū)溶液中含有13.200g的二水合乙酸鋅、6.5g的九水合硝
酸鋁(A1(N03)3 9H20)、 1.8m/的乙醇胺和余量的乙二醇甲醚； 第三步制鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜
(A) 先將第一步得到的備用基片放在反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中；
(B) 然后將第二步制得的前驅(qū)溶液加入反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中，且前驅(qū)溶
3
液的填充量為聚四氟乙烯內(nèi)襯容積的；；(C)調(diào)節(jié)溶劑熱反應(yīng)溫度分別為lOOt:、 120°C、 140°C、 160°C、 180°C、 20CrC下，溶劑熱反應(yīng)時間24/z后，并調(diào)節(jié)降溫梯度5"C/min冷卻反應(yīng)釜至20t， 取出得到在玻璃基片上沉積有鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜(簡稱為AZO/基片)； 第四步清洗薄膜
將制得的AZO/基片依次使用乙二醇甲醚(質(zhì)量百分比濃度為99.0%)和去離 子水清洗，然后放入干燥溫度為8(TC的電熱恒溫干燥箱中干燥lOmin，得到干燥后 的AZO/基片。
將釆用實施例2制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜使用X射線衍射儀、紫外一可
見分光光度計和四探針測試儀進(jìn)行性能分析。在溶劑溫度分別為iocrc、 12crc、 140
°C、 160°C、 180°C、 200。C下制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜是氧化鋅。
在溶劑溫度分別為IOCTC、 120°C、 140°C、 160°C、 180X:、 200。C下，溶劑 熱反應(yīng)時間24/z獲得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜對680WW可見光的透過率超過了
80%。
在溶劑溫度分別為100°C、 120°C、 140°C、 160°C、 180°C、 20CTC下，溶劑 熱反應(yīng)時間24/ 獲得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的方塊電阻為500Q。 實施例3 :在Si基片上制鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜
第一步準(zhǔn)備基片
將Si基片切割成1.8cmX2.5cm大小，然后依次放入丙酮(質(zhì)量百分比濃度為 99.0%)、乙醇(質(zhì)量百分比濃度為99.5%)和去離子水中用超聲波清洗各20min， 再將基片放入8(TC溫度下的電熱恒溫干燥箱中，干燥15min后取出得到備用基片；
第二步配置前驅(qū)溶液
將二水合乙酸鋅(Zn(CH3COO)2 . 2H20)、六水合氯化鋁(A1C13 . 6H20)、乙 二醇甲醚(C3H802)和乙醇胺(C2H7NO)在60" 8CrC溫度下混合得到前驅(qū)溶液； 用量100w/的前驅(qū)溶液中含有8.8g的二水合乙酸鋅、1.5g的六水合氯化鋁、
2.4m/的乙醇胺和余量的乙二醇甲醚； 第三步制鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜
(A) 先將第一步得到的備用基片放在反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中；
(B) 然后將第二步制得的前驅(qū)溶液加入反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中，且前驅(qū)溶
液的填充量為聚四氟乙烯內(nèi)襯容積的4 ;
9(C)調(diào)節(jié)溶劑熱反應(yīng)溫度為160°C，溶劑熱反應(yīng)時間36/2后，并調(diào)節(jié)降溫梯度10°C/min冷卻反應(yīng)釜至22匸，取出得到在Si基片上沉積有鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜(簡稱為AZO/基片)；第四步清洗薄膜
將制得的AZO/基片依次使用乙二醇甲醚(質(zhì)量百分比濃度為99.0%)和去離子水清洗，然后放入干燥溫度為70t的電熱恒溫干燥箱中干燥15min，得到干燥后的AZO/基片。
將采用實施例3制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜使用X射線衍射儀和四探針測試儀進(jìn)行性能分析。制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜是氧化鋅。鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的方塊電阻低于500Q。
釆用本發(fā)明的溶劑熱法進(jìn)行制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜，能有效地提高薄膜的電導(dǎo)率，改善其性能。鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜在380"w 760"w的可見光范圍內(nèi)具有較高的透射率，并且在高溫條件下，不易與氫發(fā)生互擴(kuò)散，因此在活性氫和氫等離子體環(huán)境中化學(xué)穩(wěn)定性高，不易使太陽能電池材料活性降低；材料來源豐富、價格便宜，因而鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜在太陽能電池、液晶顯示、防靜電等領(lǐng)域中有廣泛的應(yīng)用前景。
權(quán)利要求
1、一種溶劑熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于包括有下列步驟第一步準(zhǔn)備基片將基片依次放入質(zhì)量百分比濃度為99.0％的丙酮、質(zhì)量百分比濃度為99.5％的乙醇和去離子水中用超聲波清洗各10～20min，再將基片放入50℃～80℃溫度下的電熱恒溫干燥箱中，干燥10～15min后取出得到備用基片；第二步配置前驅(qū)溶液將二水合乙酸鋅、無機(jī)鋁鹽、乙二醇甲醚和乙醇胺在60℃～80℃溫度下混合得到前驅(qū)溶液；用量100ml的前驅(qū)溶液中含有1g～15g的二水合乙酸鋅、0.1g～9.0g的無機(jī)鋁鹽、0.3ml～3.5ml的乙醇胺和余量的乙二醇甲醚；第三步制鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜(A)先將第一步得到的備用基片放在反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中；(B)然后將第二步制得的前驅(qū)溶液加入反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)襯中，且前驅(qū)溶液的填充量為聚四氟乙烯內(nèi)襯容積的 id="icf0001" file="A2009100902480002C1.tif" wi="14" he="11" top= "124" left = "93" img-content="drawing" img-format="tif" orientation="portrait" inline="yes"/>(C)調(diào)節(jié)溶劑熱反應(yīng)溫度為90℃～200℃，溶劑熱反應(yīng)時間1h～48h后，并調(diào)節(jié)降溫梯度0.3℃/min～20℃/min冷卻反應(yīng)釜至20℃～30℃，取出得到AZO/基片；第四步清洗薄膜將制得的AZO/基片依次使用質(zhì)量百分比濃度為99.0％的乙二醇甲醚和去離子水清洗，然后放入干燥溫度為60℃～80℃的電熱恒溫干燥箱中干燥10～15min，得到干燥后的AZO/基片。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特 征在于無機(jī)鋁鹽可以是六水合氯化鋁、或者九水合硝酸鋁。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特 征在于基片可以是玻璃、a-Al203、藍(lán)寶石或者Si基片。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特 征在于第三步驟中溶劑熱反應(yīng)溫度是在200。C以下環(huán)境進(jìn)行，說明鋁摻雜氧化 鋅透明導(dǎo)電膜的生長的溫度環(huán)境為低溫環(huán)境。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特 征在于制得的鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的可見光透過率為60% 90%，方塊電 阻為30Q 760Qo
全文摘要
本發(fā)明公開了一種溶劑熱法制備鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜的制備方法，以鋅的可溶性有機(jī)鹽和無機(jī)鋁鹽為前驅(qū)物，采用溶劑熱法在基片上沉積出鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜。本發(fā)明的工藝通過控制反應(yīng)物前驅(qū)溶液濃度、鋁離子摻雜量、溶劑熱反應(yīng)溫度、溶劑熱反應(yīng)時間、反應(yīng)釜冷卻方式和反應(yīng)釜填充量，在200℃以下溫度可以在基片上沉積出鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電膜，并使得薄膜的可見光透過率達(dá)到80％，方塊電阻小于760Ω。
文檔編號C23C18/00GK101629284SQ200910090248
公開日2010年1月20日 申請日期2009年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月3日
發(fā)明者躍 張, 谷景華, 珊 高 申請人:北京航空航天大學(xué)