專利名稱：高效鋁合金靶組件的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及磁控濺射技術領域，尤其涉及一種管狀濺射合金靶組件。
背景技術：
軸瓦是柴油機心臟的關鍵運動部件，又是基礎部件和消耗部件，作為心臟 運動部件，它是決定柴油機性能與可靠性的關重部件，作為基礎部件，它對柴 油機整起著十分重要的支撐作用，軸瓦在使用中失效，將直接導致主機氣缸變 形或破裂等嚴重后果。由于軸瓦是消耗品，位居心臟，更換時柴油機需要解體 或部分解體，耗工費時。使用中發(fā)生故障，必定造成停車事故，這是絕對不允
許的。近年來，主機的發(fā)展速度很快，負荷和比壓明顯提高，這就對PVD軸瓦 的質量和相應的制造工藝提出了更加嚴格的要求，相應地對濺射靶的要求也更 高。歸納起來，以前的工藝存在如下不足
1、 管狀濺射合金靶一般采用分段式單金屬組合管，不僅裝配復雜、使用不 便，而且也難以得到組分均勻的濺射膜層。
2、 鋁合金靶與內套管之間的裝配過盈量太小僅為0.03 0.05mm，在濺射運 行、停止的不斷反復過程中，鋁合金靶由彈性變形逐漸轉變?yōu)樗苄宰冃?，靶與 內套管之間逐步出現(xiàn)局部非接觸的現(xiàn)象，從而造成導電、導熱能力顯著下降， 不能滿足使用要求，但若將鋁合金靶與內套管的過盈量增大，又會出現(xiàn)無法裝 配的困難。
實用新型內容
本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種鋁合金靶組件，該靶組件不 但裝配容易，而且能夠在長期使用中保持靶與內套管的緊密接觸。
本實用新型的技術方案如下 一種高效鋁合金靶組件，包括內套管，在該 管外緊套有鋁合金靶，在所述內套管外表面上設有過渡層，該過渡層是維氏硬 度HV《20的鉛錫合金或鉛銦合金，所述內套管與鋁合金靶的裝配過盈量為 0. 08 0. 15mm。
所述過渡層是維氏硬度HV《13的鉛銦合金。
所述過渡層外表面圓柱度《0. 03mni。
所述鋁合金靶為同種材料的整件。
本實用新型在內套管與鋁合金靶之間增設導熱、導電良好且較軟的過渡層， 由于此過渡層較軟，能承受大過盈量的擠壓，使鋁合金靶能夠較為容易地裝配 到內套管上，故能提高內套管與鋁合金靶的過盈量；此種過渡層所采用的材料 線膨脹率大于鋁合金靶，當鋁合金靶在濺射運行、停止的不斷反復過程中，逐 漸變大時，過渡層也隨之變大，從而始終保持靶與內套管之間緊密接觸，達到 導熱、導電目的。鋁合金靶以真空熔煉方式制得合金組分均勻的同質整件毛壞， 加工后，不但裝配簡單，更重要的是能得到組分均勻的濺射膜層。
本實用新型的有益效果是靶組件裝配容易，而且能夠在長期使用中保持 靶與內套管的緊密接觸，實現(xiàn)良好的導電、導熱功能；鋁合金靶為同種材料靶， 能得到組分均勻的濺射膜層
圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明
如圖1所示，本實用新型由內套管1、過渡層la和鋁合金靶2組成，其中 內套管1是帶有連接法蘭的長管，在內套管1與鋁合金靶2的配合圓柱面之間 設有過渡層la，該過渡層la為維氏硬度HV《13的鉛銦合金(Pbln6)，通過電 鍍方式固定在內套管l的外圓上，過渡層la外表面圓柱度《0.03mm，鍍有過渡 層la的內套管1與鋁合金靶2的內孔過盈配合，裝配過盈量為0. 12咖。鋁合金 耙2為同種材料的整件，由真空熔煉方式制得合金組分均勻的毛壞經(jīng)加工而成。
過渡層la也可以是維氏硬度HV《20的鉛、鉛錫合金(PbSn5 20)或伍 得合金中的任意一種。
權利要求1、一種高效鋁合金靶組件，包括內套管(1)，在該管外緊套有鋁合金靶(2)，其特征在于在所述內套管(1)外表面上設有過渡層(1a)，該過渡層(1a)是維氏硬度HV≤20的鉛錫合金或鉛銦合金，所述內套管(1)與鋁合金靶(2)的裝配過盈量為0.08～0.15mm。
2、 根據(jù)權利要求1所述的高效鋁合金靶組件，其特征在于所述過渡層(la) 是維氏硬度HV《13的鉛銦合金。
3、 根據(jù)權利要求1或2所述的高效鋁合金靶組件，其特征在于所述過渡 層(la)外表面圓柱度《0. 03mm。
4、 根據(jù)權利要求1所述的高效鋁合金靶組件，其特征在于所述鋁合金靶 (2)為同種材料的整件。
專利摘要本實用新型是一種高效鋁合金靶組件，包括內套管(1)，在該管外緊套有鋁合金靶(2)，其特征在于在所述內套管(1)外表面上設有過渡層(1a)，該過渡層(1a)是維氏硬度HV≤20的鉛錫合金或鉛銦合金，所述內套管(1)與鋁合金靶(2)的裝配過盈量為0.08～0.15mm。本實用新型裝配容易，能夠在長期使用中保持靶與內套管的緊密接觸，實現(xiàn)良好的導電、導熱功能；鋁合金靶為同種材料靶，能得到組分均勻的濺射膜層。
文檔編號C23C14/35GK201144279SQ20072018866
公開日2008年11月5日 申請日期2007年12月27日 優(yōu)先權日2007年12月27日
發(fā)明者劉太貴, 吳文俊, 張先智, 張永紅 申請人:重慶躍進機械廠有限公司