專利名稱：減壓容器、減壓處理裝置以及減壓容器的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及減壓容器(也包括真空容器，以下同)的密封技術(shù)，
例如，對以液晶顯示裝置(LCD)或等離子體顯示器等為代表的平板 顯示器(FPD)用的玻璃基板等，在減壓下進(jìn)行干法蝕刻或成膜、搬送、 定位等處理時(shí)使用的減壓容器的密封技術(shù)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)的真空容器，從確保對大氣壓的耐久性和氣密性的觀點(diǎn) 出發(fā)，采用了通過機(jī)械加工從原料塊體削出容器的方法、或者通過焊 接或釬焊接合板材的方法來制造真空容器。但是，通過機(jī)械進(jìn)行切削 加工時(shí)，由于從材料切削出相當(dāng)于容積大小的量，因而存在加工時(shí)間 長，材料浪費(fèi)多的問題。另外，利用焊接或者釬焊的方法，由于需要 除去因熱量而造成的變形，或需要進(jìn)行精加工，因而存在制作成本高 的問題。
然而，近年，隨著被處理基板的大型化，處理腔室自身的尺寸也 隨之大型化。例如，F(xiàn)PD的生產(chǎn)過程中，將長邊長度超過2m的矩形大 型玻璃基板收容在處理腔室內(nèi)，在真空狀態(tài)下進(jìn)行蝕刻或灰化、成膜 等處理。另外，對于在真空狀態(tài)下對這樣的大型玻璃基板進(jìn)行處理的 真空容器來說，必須在由鋁等形成的金屬制容器的內(nèi)部成為真空的狀 態(tài)下，確保其能夠抵抗大氣壓的充分剛性。
因此，在由現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)械加工或焊接等制造的一體型結(jié)構(gòu)的真 空容器中，由于為了提高剛性必須使容器的壁具有充分的厚度，從而 造成重量的增加，并且，由于需要通過大型機(jī)械進(jìn)行加工，導(dǎo)致制造 成本增加的問題。另外，當(dāng)真空容器超過規(guī)定的尺寸而大型化時(shí)，在 搬送時(shí)受到法律上的限制，存在因搬送而經(jīng)費(fèi)增加的問題。
作為通過除機(jī)械加工或焊接以外的加工方法制造真空容器的技 術(shù)，例如具有提案為采用如下部件的真空容器通過結(jié)構(gòu)螺栓堅(jiān)固接
合成箱形的多個(gè)板材、從內(nèi)側(cè)沿各個(gè)板材的接合線連續(xù)設(shè)置的密封部 件、以及朝向所述接合線按壓所述密封部件并為了氣密性密封而通過 結(jié)合螺栓進(jìn)行安裝的按壓部件。(例如，專利文獻(xiàn)O
另外，也具有如下提案的技術(shù)，具有相互接合端面并構(gòu)成沿周邊 方向閉合的中空框體的四個(gè)以上側(cè)面部件、以及被設(shè)置在該中空框體 的頂面以及底面并進(jìn)行接合的頂面部件和底面部件，在各部件鄰接的 相互接合面之間設(shè)置密封部件并構(gòu)成整體化容器(例如，專利文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)l;日本特開平9-209150號公報(bào)(圖4等) 專利文獻(xiàn)2:日本特開2004-286165號公報(bào)(圖1等) 所述專利文獻(xiàn)l以及專利文獻(xiàn)2的真空容器，由于由板材和密封 部件而構(gòu)成，因而可以在設(shè)置地點(diǎn)進(jìn)行組裝，并且搬送時(shí)的限制也較 少。另外，與通過現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)械加工或焊接等制作真空容器的情形 相比，具有能夠?qū)崿F(xiàn)低成本的優(yōu)點(diǎn)。
但是，對于如專利文件1所述的通過組合板材并進(jìn)行接合所形成 的真空容器而言，存在難以確保容器內(nèi)部轉(zhuǎn)角處的密封性的問題。例 如，專利文獻(xiàn)1中，在轉(zhuǎn)角處的三片板材的接合部分上，沿板材的接 合線，使用在三個(gè)方向相互呈直角折曲的分枝形狀的密封部件。但是， 這種分枝形的密封部件，在制造時(shí)需要立體模具，因而無法避免成本 的增加。
另外，在專利文獻(xiàn)1的密封部件中，需要將人造橡膠以一定的壓 力壓入板材接合線。但是，在由三片板材構(gòu)成的轉(zhuǎn)角部，難以充分按 壓所述分枝形的密封部件，最糟糕的情況是可能無法維持真空狀態(tài)。
另外，在專利文獻(xiàn)2所記載的密封部件中，由于采取在各部件鄰 接的接合面之間設(shè)置密封部件的結(jié)構(gòu)，為了更換密封部件必須分解容 器，因而存在難以對于作為消耗品的密封部件進(jìn)行維修的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問題而提出的，其目的在于提供一 種通過接合多片板材而構(gòu)成的，并充分確保接合部氣密性的減壓容器。
為解決所述問題，本發(fā)明的第一個(gè)觀點(diǎn)是提供一種接合多個(gè)部件 而構(gòu)成的減壓容器，所述部件之間的接合部形成在離開所述減壓容器
轉(zhuǎn)角部的位置上，由密封部件從所述減壓容器的內(nèi)側(cè)密封所述接合部。
本發(fā)明的第二個(gè)觀點(diǎn)是提供一種通過接合多個(gè)部件而構(gòu)成的減壓 容器，在接合所述側(cè)板之間的所有接合部中，其兩側(cè)的內(nèi)壁面夾著該 接合部形成在大致同一平面上，通過密封部件從所述減壓容器的內(nèi)側(cè) 密封所述接合部。
本發(fā)明的第三個(gè)觀點(diǎn)是提供一種通過接合包括端部折曲形成的板 材和平板在內(nèi)的多個(gè)部件而構(gòu)成的減壓容器，
具有通過所述端部形成折曲的板材和與該板材接合的所述平板而 形成的轉(zhuǎn)角部，并且，
通過相互鄰接的三個(gè)部件而形成的接合部形成在離開所述轉(zhuǎn)角部 的位置上，
通過密封部件從所述減壓容器的內(nèi)側(cè)密封接合所述部件之間的接 合部。
在所述第一觀點(diǎn)到第三觀點(diǎn)中，作為所述部件，至少可以具有底 板、以及接合在該底板上的多個(gè)側(cè)板，此時(shí)，多個(gè)所述側(cè)板的全部或 一部分優(yōu)選其端部形成折曲。
本發(fā)明的第四個(gè)觀點(diǎn)是提供一種通過接合多個(gè)部件而構(gòu)成的減壓 容器，包括底板；
接合在所述底板上的多片側(cè)板；和
從內(nèi)側(cè)密封相鄰的所述側(cè)板之間、以及所述側(cè)板和所述底板的各個(gè) 接合部的密封部件，其中，
在所述底板上一體設(shè)置有構(gòu)成所述減壓容器的側(cè)壁下部的壁體，
所述側(cè)板的內(nèi)壁面與所述底板的壁體的內(nèi)壁面夾著所述接合部， 基本接合在同一平面上。
在所述第四個(gè)觀點(diǎn)中，還包括接合在所述側(cè)板上的上板，在該上 板上也可以一體設(shè)置構(gòu)成所述減壓容器的側(cè)壁上部的壁體。
另外，多片所述側(cè)板的全部或一部分，具有其端部折曲的形狀， 也可以在離開連結(jié)所述減壓容器的轉(zhuǎn)角與轉(zhuǎn)角的角部的位置上，形成 鄰接所述側(cè)板之間的接合部。
另外，所述側(cè)板之間以及接合所述底板與所述側(cè)板的所有接合部， 優(yōu)選形成在所述減壓容器的側(cè)部上。200710103865.0
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另外，在所述第一 第四個(gè)觀點(diǎn)中，在所述接合部，優(yōu)選形成安 裝所述密封部件的溝槽。
另外，本發(fā)明的第五個(gè)觀點(diǎn)是提供一種具有所述第一 第四個(gè)觀 點(diǎn)的任何一個(gè)減壓容器的減壓處理裝置。
另外，本發(fā)明的第六個(gè)觀點(diǎn)是提供一種減壓容器的制造方法，包括: 采用多個(gè)部件，所述部件之間的接合部形成在離開減壓容器轉(zhuǎn)角的位 置上，且在夾著所述接合部，其兩側(cè)的內(nèi)壁面基本形成在同一平面上 的方式下，接合各個(gè)部件組裝筐體的工序；和
在所述筐體的內(nèi)側(cè)，密封所述接合部的工序。
在所述第七個(gè)觀點(diǎn)中，作為所述部件，至少采用底板、以及接合 在該底板上的多片側(cè)板，并且，在所述底板上， 一體設(shè)置有構(gòu)成所述 減壓容器的側(cè)壁下部的壁體，
多片所述側(cè)板的全部或一部分優(yōu)選具有其端部折曲形成的側(cè)板。
本發(fā)明的第八個(gè)觀點(diǎn)提供一種減壓容器的制造方法，包括采用包 括端部形成折曲的部件和平板在內(nèi)的多個(gè)部件，由所述端部形成折曲 的部件與所述平板形成轉(zhuǎn)角，并且，由相互鄰接的三個(gè)部件所形成的 接合部以形成在離開所述轉(zhuǎn)角的位置上的形式接合各部件組裝成筐體 的工序；以及
在所述筐體的內(nèi)側(cè)，密封所述接合部的工序。
本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中，在通過接合至少包括底板、結(jié)合在該 底板上的多片側(cè)板在內(nèi)的多個(gè)部件而構(gòu)成的減壓容器中，將所述部件 之間的接合部形成在離開所述減壓容器轉(zhuǎn)角的位置上。由此，能夠避 免在難以由密封部件確保密封性的減壓容器的轉(zhuǎn)角部進(jìn)行密封。
另外，本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，在通過接合至少包括底 板、結(jié)合在該底板上的多片側(cè)板在內(nèi)的多個(gè)部件而構(gòu)成的減壓容器中， 夾著接合所述側(cè)板之間以及接合所述底板與所述側(cè)板的全部接合部， 將其兩側(cè)的內(nèi)壁面成在大致同一平面上。由此，能夠避免在減壓容器 的轉(zhuǎn)角部形成接合部，并能夠提高密封部件的密封性。
本發(fā)明的又一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，由于通過端部形成折曲的板材 和與其接合的平板的兩片板材而形成減壓容器的轉(zhuǎn)角，與由三片板材 接合而形成轉(zhuǎn)角的現(xiàn)有技術(shù)的減壓容器相比，能夠顯著提高該轉(zhuǎn)角處
的密封性。
另外，由相互鄰接的三個(gè)部件而形成的接合部，形成在離開所述 轉(zhuǎn)角的位置上，通過配置T字形的密封部件能夠可靠地進(jìn)行密封。
因此，根據(jù)本發(fā)明，能夠顯著提高接合多片板材的組裝結(jié)構(gòu)的減 壓容器氣密性。
另外，根據(jù)本發(fā)明，由于能夠制造具有優(yōu)良?xì)饷苄缘慕M裝結(jié)構(gòu)的 減壓容器，因而可以應(yīng)對在機(jī)械加工或焊接等接合方法中有所局限的 減壓容器的大型化。


圖1表示的是可以適用本發(fā)明密封機(jī)構(gòu)的真空處理系統(tǒng)的概略立 體圖。
圖2表示的是圖1真空處理系統(tǒng)的水平截面圖。
圖3表示的是控制部概略構(gòu)成的方塊圖。
圖4表示的是搬送室的外觀結(jié)構(gòu)立體圖。
圖5表示的是筐體的分解立體圖。
圖6表示的是筐體內(nèi)部接合結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵部位的立體圖。
圖7表示的是筐體內(nèi)部接合結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵部位的立體圖，(a)表示
圖6中A部的放大圖，(b)表示同圖B部的放大圖。 圖8表示的是密封部件整體形象的立體圖。 圖9表示的是用于說明接合部結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵部位截面圖。 圖10表示的是用于說明接合部密封構(gòu)造的關(guān)鍵部位截面圖，表示
的是固定密封部件的狀態(tài)。
圖11表示的是涉及另一個(gè)實(shí)施方式的筐體的分解立體圖。
圖12表示的是圖11筐體接合結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵部位立體圖
圖13表示的是用于說明密封部件固定方法的關(guān)鍵部位立體圖。
圖14表示的是涉及另一個(gè)實(shí)施方式的筐體外觀立體圖。
圖15表示的是在另一個(gè)實(shí)施方式中的筐體角部中的接合結(jié)構(gòu)的關(guān)
鍵部位截面圖。
標(biāo)號說明
1:真空處理系統(tǒng)；10a、 10b、 10c:處理腔室；20:搬送室；30:
負(fù)載鎖定室(load lock room); 50:搬送裝置；60:控制部；80:密封 部件；80a、 80b:環(huán)線部；80c、 80d、 80e、 80f:直線部；90:按壓件；
9h角部按壓件
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖，對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說明。此處，以 可以適用本發(fā)明的密封部件的真空處理系統(tǒng)為例進(jìn)行說明。圖1表示 的是具有本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式涉及的真空腔室的真空處理系統(tǒng)1的概
略構(gòu)成立體圖，圖2是概略表示其內(nèi)部的水平截面圖。該真空處理系 統(tǒng)l，例如，作為用于對FPD用的玻璃基板(以下僅稱"基板")S進(jìn) 行等離子體處理的多腔室式的真空處理系統(tǒng)而構(gòu)成。此處，作為FPD， 可以舉例出液晶顯示器(LCD)、發(fā)光二極管(LED)顯示器、電致發(fā) 光(EL: electro luminescence)顯示器、真空熒光顯示管(VFD: Vacuum Fluorescent Display )、等離子體顯示板(PDP)等。
在真空處理系統(tǒng)l中，搬送室20和負(fù)載鎖定室30連設(shè)在中央部。 并且，在搬送室20的周圍設(shè)置有對基板S進(jìn)行蝕刻等等離子體處理的 三個(gè)處理腔室10a、 10b、 10c。所述搬送室20、負(fù)載鎖定室30、三個(gè) 處理腔室10a、 10b、 10c中的任何一個(gè)均作為真空腔室而構(gòu)成。在搬 送室20與負(fù)載鎖定室30之間，搬送室20與各個(gè)處理腔室10a、 10b、 10c之間，以及連通負(fù)載鎖定室30與外側(cè)的大氣氣氛的開口部上分別 插設(shè)有將其間氣密性地密封并且以可以開關(guān)的方式而構(gòu)成的閘閥22。
負(fù)載鎖定室30的外側(cè)上設(shè)置有兩個(gè)盒定位器(cassette indexer)41， 其上面分別載置收容基板S的盒40。在這些盒40中的一個(gè)上，例如， 可以收容未處理基板，在另一個(gè)上能夠收容處理完畢的基板。所述盒 40可以通過升降機(jī)構(gòu)42而進(jìn)行升降。
在所述兩個(gè)盒40之間，在支承臺44上設(shè)置有搬送機(jī)構(gòu)43，該搬 送機(jī)構(gòu)43具有設(shè)為上下兩層的拾取器45、 46;以及以可以整體進(jìn)出 退避和旋轉(zhuǎn)的方式支承這些部件的底座47。
上述處理腔室10a、 10b、 10c，其內(nèi)部空間可以被保持在規(guī)定的減 壓氣氛、例如真空狀態(tài)，在其內(nèi)部進(jìn)行等離子處理、例如蝕刻處理或
灰化處理。本實(shí)施方式中，由于具有三個(gè)處理腔室，例如，可以使其 中兩個(gè)處理腔室作為蝕刻處理室而構(gòu)成，剩下的一個(gè)處理腔室作為灰 化處理室而構(gòu)成，或者也能夠?qū)⑷齻€(gè)處理腔室全部作為進(jìn)行同一處理 的蝕刻處理室或灰化處理室而構(gòu)成。此外，處理腔室的數(shù)量不僅限于 三個(gè)，也可以是四個(gè)以上。
搬送室20可以與作為真空處理室的處理腔室10a 10c —樣，保 持在規(guī)定的減壓氣氛，如圖2所示，其中設(shè)置了具有上下兩層的滑動(dòng) 拾取器513、 523 (僅圖示上層)的搬送裝置50。于是，通過該搬送裝 置50，在負(fù)載鎖定室30以及三個(gè)處理腔室10a、 10b、 10c之間搬送基 板S。
負(fù)載鎖定室30與各個(gè)處理腔室10以及搬送室20 —樣，可以保持 在規(guī)定的減壓氣氛。另外，負(fù)載鎖定室30用于在處于大氣氣氛中的盒 40與減壓氣氛中的處理腔室10a、 10b、 10c之間進(jìn)行基板S的接收， 由于重復(fù)大氣氣氛與減壓氣氛，因而構(gòu)成為盡可能縮小其內(nèi)容積。在 負(fù)載鎖定室30內(nèi)，基板收容部31設(shè)置在上下兩層(在圖2中僅顯示 上層)，在各個(gè)基板收容部31上設(shè)置有支承基板S的多個(gè)緩沖器32， 在這些緩沖器32之間形成有滑動(dòng)拾取器513、 523的空刀槽32a。另外， 在負(fù)載鎖定室30內(nèi)，與矩形基板S的相對角部附近抵接，而設(shè)置有進(jìn) 行定位的定位器33。
真空處理系統(tǒng)1的各個(gè)構(gòu)成部形成與控制部60連接并被控制的構(gòu) 成方式(圖l中省略圖示)?？刂撇?0的概要如圖3所示?？刂撇?0 包括配備有CPU的處理控制器61，該處理控制器61上連接有用戶界 面62，該用戶界面包括工序管理者為了管理真空處理系統(tǒng)1而進(jìn)行指 令輸入操作等的鍵盤以及可視化顯示真空處理系統(tǒng)1的運(yùn)行狀況的顯
另外，控制部60具有存儲部63，在該存儲部中存儲有記錄著用于 在處理控制器61的控制下實(shí)現(xiàn)真空處理系統(tǒng)1所實(shí)施的各種處理的控 制程序(軟件)以及處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)等的方案，該存儲部63與處理控制 器61連接。
另外，根據(jù)需要，根據(jù)來自用戶界面62的指示等將任意的方案從 存儲部63調(diào)出，并使處理控制器61實(shí)施，由此，在處理控制器61的
控制下，在真空處理系統(tǒng)1中進(jìn)行所希望的處理。
所述控制程序和處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)等方案，可以利用存儲于計(jì)算機(jī)可
讀取的存儲介質(zhì)、例如CD-ROM、硬盤、軟磁盤、閃存存儲器等中的
狀態(tài)的方案，或者也可以從其他裝置、例如通過專用電路而即時(shí)傳送、
以在線(online)狀態(tài)進(jìn)行利用。
以下，針對如上所述構(gòu)成的真空處理系統(tǒng)1的動(dòng)作進(jìn)行說明。
首先，驅(qū)動(dòng)搬送機(jī)構(gòu)43的兩片拾取器45、 46使之進(jìn)退，從收容 有未處理基板的一個(gè)盒40將兩片基板S —片一片地搬入到負(fù)載鎖定室 30的上下兩層的基板收容部31中。
拾取器45、 46退避后，將負(fù)載鎖定室30的大氣一側(cè)的閘閥22關(guān) 閉。之后，為負(fù)載鎖定室30內(nèi)排氣，將內(nèi)部減壓至規(guī)定的真空度。抽 真空完成后，通過由定位器33按壓基板S而進(jìn)行基板S的定位。
如上所述的定位完成后，開啟位于搬送室20與負(fù)載鎖定室30之 間的閘閥22，通過搬送室20內(nèi)的搬送裝置50接受收容在負(fù)載鎖定室 30的基板收容部31內(nèi)的基板S。于是，通過搬送裝置50的滑動(dòng)拾取 器513或523，將基板S搬入處理腔室10a、 10b、 10c的任何一個(gè)中。 然后，在處理腔室10a、 10b、 10c中進(jìn)行過蝕刻等規(guī)定處理的基板S， 通過搬送裝置50被搬出處理腔室10a、 10b、 10c。于是，基板S按照 與上述相反的路徑經(jīng)過負(fù)載鎖定室30，通過搬送機(jī)構(gòu)43而被收容在盒 40內(nèi)。此時(shí)，可以將基板S返回原來的盒40內(nèi)，也可以將其收容在另 一個(gè)盒40內(nèi)。
以下，針對本發(fā)明的密封部件以及采用密封部件的密封機(jī)構(gòu)進(jìn)行 說明。構(gòu)成搬送室20、負(fù)載鎖定室30、以及處理腔室10a、 10b、 10c 的真空容器，為了能夠?qū)⒏髯缘膬?nèi)部保持在真空狀態(tài)，采用密封部件 進(jìn)行密封。此處，以搬送室20中的密封機(jī)構(gòu)為例進(jìn)行說明。
圖4表示的是搬送室20外觀結(jié)構(gòu)的立體圖，圖5表示的是其分解 立體圖。此外，省略搬送裝置50等的內(nèi)部構(gòu)造圖。搬送室20，作為其 主要結(jié)構(gòu)，是具有筐體70和頂板71的真空容器?？痼w70通過接合六 片板材而構(gòu)成。即、筐體70包括上板72、與該上板72相對且平行配 置的底板73、以及與所述上板72和底板73接合的四片側(cè)板74a、 74b、 74c、 74d。構(gòu)成筐體70的各個(gè)板材，例如，通過螺釘或螺栓等固定部
件(未圖示)進(jìn)行接合，成為一體并在其內(nèi)部形成搬送基板S的搬送 空間。
上板72如圖所示，在中央具有開口75 。另外，例如在使用起重 機(jī)等使頂板71上升的狀態(tài)下，形成通過該開口 75可以對配置在搬送 室20內(nèi)部的搬送裝置50進(jìn)行維修的結(jié)構(gòu)形式。另外，上板72的開口 75的周圍，在未圖示的細(xì)溝槽內(nèi)配置有0形環(huán)等密封部件76。另外， 將頂板71通過螺釘或螺栓等固定部件101暫時(shí)固定在筐體70上，通 過在這種狀態(tài)下為搬送室20的內(nèi)部減壓，形成能夠確保作為真空容器 的充分的氣密性的結(jié)構(gòu)形式。另外，雖然未圖示，但在底板73上也形 成有用于設(shè)置搬送機(jī)構(gòu)50 (參照圖2)的開口。
在上板72上設(shè)有構(gòu)成筐體70的側(cè)壁局部(上部)的壁部72a，呈 下面開口的淺箱形。如此形狀的上板72，例如，能夠通過切削加工而 形成。
另外，底板73上設(shè)有構(gòu)成筐體70的側(cè)壁局部(下部)的壁部73a， 呈上面開口的淺箱形。如此形狀的上板73，例如，能夠通過切削加工 而形成。
在四片側(cè)板74a、 74b、 74c、 74d上分別設(shè)有用于基板S搬入搬出 的搬送用開口?？痼w70的短邊一側(cè)的側(cè)板74a上形成的搬送用開口 77a、 77b形成在與負(fù)載鎖定室30 (參照圖1及圖2)的緩沖器32之間 可以搬入搬出基板S的位置上。另外，位于筐體70其他三邊的側(cè)板 74b 70d上所分別形成的搬送用開口 78，在與作為真空處理室的處理 腔室10a 10c之間搬入搬出基板S時(shí)使用。在各個(gè)搬送用開口 77a、 77b、 78上，分別安裝閘閥22 (參照圖1)，通過各個(gè)閘閥22在鄰接設(shè) 置的各個(gè)處理腔室10a、 10b、 10c以及負(fù)載鎖定室30之間進(jìn)行基板S 的交接傳遞。
另外，四片側(cè)板74a、 74b、 74c、 74d中，側(cè)板74a與側(cè)板74c的
兩端部E分別被彎折成直角并形成能夠構(gòu)成筐體70的局部側(cè)壁的形 式。
根據(jù)所述上板72以及底板73的形狀，在組裝成筐體70的狀態(tài)下， 全部接合部均形成在離開筐體70的八個(gè)轉(zhuǎn)角部400 (參照圖6)的位 置上。由此，不需要對難于確保密封性的筐體70的轉(zhuǎn)角部400進(jìn)行密
封。另外，本實(shí)施方式中，四片側(cè)板74a 74d中，由于側(cè)板74a與側(cè) 板74c的兩端部E為折曲形狀，在組裝成筐體70的狀態(tài)下，鄰接側(cè)板 之間的接合部形成于離開在筐體70的內(nèi)側(cè)將相鄰的轉(zhuǎn)角部400與轉(zhuǎn)角 部400連結(jié)的角部500 (參照圖6)的位置上。由此，不需要對僅次于 轉(zhuǎn)角部400的難于確保密封性的筐體70的角部500進(jìn)行密封。
由此，本實(shí)施方式涉及的筐體70，通過對作為構(gòu)成部件的各個(gè)板 材的形狀進(jìn)行推敲，盡可能減少對難以密封的筐體70的轉(zhuǎn)角部400和 角部500進(jìn)行密封，提高了作為減壓容器的搬送室20的氣密性。另外， 通過所述結(jié)構(gòu)，由于所有接合部被形成在筐體70的側(cè)壁部分(側(cè)面) 上，便于筐體70的組裝，使得密封部件80 (參照圖8)的交換等維修 能夠方便的進(jìn)行。
搬送室20的頂板71與構(gòu)成筐體70的六枚板材，能夠由例如鋁、 不銹鋼、鋼鐵材料等金屬材料構(gòu)成。
搬送室20的組裝能夠通過以下順序進(jìn)行。首先，將上板72、底板 73、側(cè)板74a 74d通過螺釘或螺栓等固定部件接合并形成筐體70。此 時(shí)，各個(gè)板材的接合順序可以任意。然后，通過本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方 式涉及的密封機(jī)構(gòu)將各個(gè)板材的接合部從筐體70的內(nèi)側(cè)進(jìn)行密封，確 保能夠承受真空狀態(tài)的氣密性。關(guān)于該密封機(jī)構(gòu)將在后面詳述。
然后，將搬送機(jī)構(gòu)50等內(nèi)部部件以及閘閥22等設(shè)置在筐體70上 后，將頂板71設(shè)置在筐體70的上部，使0形環(huán)等的密封部件76與頂 板71的下面抵接。然后，將頂板71通過螺釘或螺栓等固定部件101 臨時(shí)固定在筐體70上。在這種狀態(tài)下，通過未圖示的排氣裝置為搬送 室20內(nèi)部進(jìn)行減壓排氣，密封部件76被壓接在頂板71的下面，能夠 在確保氣密性的狀態(tài)下將內(nèi)部維持為真空狀態(tài)。
此外，在接合頂板71以及構(gòu)成筐體70的各個(gè)板材(上板72、底 板73、側(cè)板74a 74d)時(shí)，可以采用不局限于螺釘或螺栓的任何固定 部件。
圖6表示的是搬送室20的內(nèi)部接合部的密封機(jī)構(gòu)的關(guān)鍵部位立體 圖。另外，圖7 (a)表示的是圖6中A部的放大圖，圖7 (b)表示的 是圖6中B部的放大圖。另外，圖8表示的是本實(shí)施方式中采用的密 封部件80的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。本實(shí)施方式中的密封機(jī)構(gòu)使用了對應(yīng)
于筐體70內(nèi)側(cè)接合部的形狀的密封部件80、以及用于固定該密封部件 80的輔助器具(后述的按壓件卯、角部按壓件91)。
在本實(shí)施方式中，如前所述，在底板73上設(shè)有構(gòu)成筐體70的局 部側(cè)壁的壁部73a，呈上面開口的淺箱形。由此，如圖6所示，夾著底 板73的壁部73a與側(cè)板74c的接合部Jac，使其兩側(cè)的內(nèi)壁面(底板 73的壁部73a與側(cè)板74c的內(nèi)壁面)基本形成在一個(gè)平面(同一平面) 上。同樣，夾著底板73的壁部73a與側(cè)板74d之間的接合部Jad并使 其兩側(cè)的內(nèi)壁面(底板73的壁部73a與側(cè)板74d的內(nèi)壁面)基本形成 在同一平面上。圖6中雖未圖示，但對于側(cè)板74a、 74b與底板73的 壁部73a之間的接合部也是同樣。另外，如前所述，四片側(cè)板74a、 74b、 74c、 74d中，側(cè)板74a與側(cè)板74c的兩端部E分別被彎折成直角。因 此，例如圖6中，在接合側(cè)板74c與側(cè)板74d的狀態(tài)下，夾持兩者的 接合部Jcd并使其兩側(cè)的內(nèi)壁面大致形成在同一平面上。
如前所述的現(xiàn)有技術(shù)，如果在筐體的轉(zhuǎn)角部設(shè)置由板材形成的接 合部的話，需要使用沿三個(gè)方向進(jìn)行分枝的結(jié)構(gòu)的密封部件，例如， 如果不在其交點(diǎn)部分進(jìn)行直角彎折的話，就不能夠密封轉(zhuǎn)角部400的 接合部。但是，密封部件為沿三個(gè)方向分枝的形狀并且為折曲狀態(tài)， 以足夠的壓力將這樣的密封部件按壓在轉(zhuǎn)角部400的接合線上決非易 事，筐體70的轉(zhuǎn)角部400處的密封性能有可能下降并產(chǎn)生泄漏，損害 作為真空容器的可靠性。
在本實(shí)施方式中，在筐體70內(nèi)側(cè)的各個(gè)接合部上，使其兩側(cè)的內(nèi) 壁面基本形成在同一平面上，在筐體70的轉(zhuǎn)角部上不形成接合部。由 此，可以平面地進(jìn)行對構(gòu)成筐體70的各個(gè)板材的接合部的密封，能夠 獲得優(yōu)良的密封性。另外，本實(shí)施方式中，作為密封部件80，采用如 圖8所示形狀的密封部件80。更具體地說就是，密封部件80構(gòu)成為通 過四根直線部80c、 80d、 80e、 80f而連結(jié)環(huán)線形的上下環(huán)線部80a、 80b的形態(tài)。相對上下環(huán)線部80a、 80b，四根直線部80c、 80d、 80e、 80f分別呈T字形并連接為直角。另外，密封部件80中的上側(cè)環(huán)線部 80a，將上板72與各側(cè)板74a 74d之間的接合部密封，下側(cè)的環(huán)線部 80b，將底板73與各側(cè)板74a 74d之間的接合部密封。另外，密封部 件80中的四根直線部80c、 80d、 80e、 80f，形成能夠分別密封各側(cè)板
74a 74d之間的接合部的結(jié)構(gòu)形式。通過采用這樣的密封部件80，能 夠可靠地密封上板72以及底板73與側(cè)板74a 74d之間的接合部。
密封部件80，采用例如直徑2 10mm左右的線形人造橡膠而構(gòu) 成。作為密封部件80的材質(zhì)，與通常的O形環(huán)一樣，可以使用例如以 氟橡膠(viton，產(chǎn)品名，DuPont公司制造)為代表的氟類橡膠、丁基 類橡膠、硅橡膠等人造橡膠。
密封部件80，沿形成在各個(gè)板材接合部上的接合線設(shè)置，通過輔 助器具而被固定。例如，在由底板73與側(cè)板74c、 74d而形成的接合 部Jac、 Jad或由側(cè)板74c與側(cè)板74d形成的接合部Jcd，通過按壓件 90將密封部件80按壓在接合線上，由此進(jìn)行固定，能夠確保氣密性。 另外，在側(cè)板74c的角部500，通過角部按壓件91，將密封部件80按 壓在接合部Jac的接合線上，由此進(jìn)行固定，能夠確保氣密性。此外， 雖然在圖6中被省略，但側(cè)板74c與74d的接合部Jcd上也配備有按壓 件90。另外，圖6中的符號202是通過螺釘或螺栓等固定部件102固 定按壓件90、 91時(shí)的螺孔，按壓件90的符號90a，角部按壓件91的 符號91a是在那時(shí)固定部件102所插入的孔部。
圖9及圖10是表示接合部的密封構(gòu)造的一個(gè)例子的截面圖。此處 表示的是，底板73的壁部73a與側(cè)板74d的接合部Jad的例子。
按壓件90由與構(gòu)成筐體70的各個(gè)板材同樣的材質(zhì)形成長板形。 并且，通過按壓件90，朝向筐體70中的接合部Jad內(nèi)側(cè)的接合線按壓 密封部件80，同時(shí)，通過螺釘或螺栓等固定部件102而固定。此時(shí)， 夾著接合部Jad，其兩側(cè)的壁面(側(cè)板74d與底板73的壁部73a的壁 面)形成為基本在同一平面，因而易于通過按壓件90均勻且可靠地按 壓密封部件80。本實(shí)施方式中，不局限于接合部Jad，在構(gòu)成筐體70 的全部接合部中，夾著該接合部并且其兩側(cè)的壁面呈大致同一平面的 形式，因而通過密封部件80能夠充分確保密封性。
另外，在接合部Jad上形成密封槽79，如圖10所示，形成將密封 部件80 (圖9中下側(cè)的環(huán)線部80b)嵌入該密封槽79內(nèi)而進(jìn)行密封的 構(gòu)成形式。密封槽79具有確定密封部件80位置的功能，起使密封部 件80可靠地壓接在接合部Jad上的作用。因此，能夠充分確保密封部 件80的密封性。此外，密封槽79能夠通過將形成各接合部的板材的
邊緣切除并形成臺階部的形式而進(jìn)行設(shè)置。此時(shí)，圖9以及圖10中，
雖然是在構(gòu)成接合部的兩片板材的一方側(cè)板74d上形成臺階部，但也 可以在底板73的壁部73a的邊緣上形成臺階部，或者也可以在兩片板 材各自的邊緣上形成臺階部。
以下，參照圖11 圖13，針對另一個(gè)實(shí)施方式涉及的減壓容器進(jìn) 行說明。如前所述，圖4 圖6所述的實(shí)施方式中，作為構(gòu)成筐體70 的上板72與底板73，通過采用具有壁部72a、 73a的板材，使相互鄰 接的三片板材所形成的接合部形成在離開筐體70的轉(zhuǎn)角部400的側(cè)壁 部分上。但是，例如圖ll所示，通過接合平板形的上板301以及平板 形的底板302、和側(cè)板303a 303d，也能夠形成筐體300。此外，在圖 11中省略了頂板的圖示。
構(gòu)成搬送室20的筐體300，具有，平板形的上板301、與該上板 301相對且平行設(shè)置的平板形底板302、以及接合在該上板301和底板 302上的四片側(cè)板303a、 303b、 303c、 303d。構(gòu)成筐體300的各個(gè)板 材，通過例如螺釘或螺栓等固定部件(未圖示)而接合，成為一體， 構(gòu)成在其內(nèi)部搬送基板S的搬送空間。
上板301具有開口部304。另外，形成在使用例如起重機(jī)等使未圖 示的頂板上升的狀態(tài)下，通過該開口 304能夠進(jìn)行對配置在搬送室20 內(nèi)部的搬送裝置50進(jìn)行維修的結(jié)構(gòu)形式。另外，上板301的開口304 的周圍，在未圖示的細(xì)溝槽內(nèi)配置有O形環(huán)等密封部件305。另外， 在通過螺釘或螺栓等固定部件將未圖示的頂板暫時(shí)固定在筐體300上 的狀態(tài)下，為搬送室20的內(nèi)部減壓，由此能夠確保作為真空容器的充 分氣密性。另外，雖然未圖示，但在底板302上也形成有用于設(shè)置搬 送機(jī)構(gòu)50 (參照圖2)的開口。
在四片側(cè)板303a、 303b、 303c、 303d上分別設(shè)有用于搬入搬出基 板S的搬送用開口 ?？痼w300的短邊一側(cè)的側(cè)板303a上形成的搬送用 開口 306a、 306b，形成在與負(fù)載鎖定室30 (參照圖1及圖2)的緩沖 器32之間，可以搬入搬出基板S的位置上。另夕卜，位于筐體300的其 他三邊上的側(cè)板303b 303d上所分別形成的搬送用開口 307，在與作 為真空處理室的處理腔室10a 10c之間搬入搬出基板S時(shí)使用。在各 個(gè)搬送用開口 306a、 306b、 307上，分別安裝有閘閥22 (參照圖l)，
經(jīng)由各個(gè)閘閥22在鄰接設(shè)置的各個(gè)處理腔室10a、 10b、 10c以及負(fù)載 鎖定室30之間進(jìn)行基板S的交接傳遞。
另外，四片側(cè)板303a、 303b、 303c、 303d中，側(cè)板303a與側(cè)板 303c的兩端部E分別被彎折成直角并形成能夠構(gòu)成筐體300的局部側(cè) 壁的形式。
本實(shí)施方式中，四片側(cè)板303a 303d中，側(cè)板303a、 303c的兩側(cè) 端部E為折曲的形狀，所以通過接合形成為平板狀的上板301以及底 板302與端部E呈折曲形的側(cè)板303a、 303c能夠形成筐體300中的八 個(gè)轉(zhuǎn)角部400。另外，在組裝了筐體300的狀態(tài)下，鄰接側(cè)板之間的接 合部，在筐體300的內(nèi)側(cè)，形成在離開連結(jié)相互鄰接的轉(zhuǎn)角部400與 轉(zhuǎn)角部400的角部500的位置上。例如，如圖12所示，由于通過平板 形的底板302和端部呈折曲形的側(cè)板303c的兩片板材而形成筐體300 的轉(zhuǎn)角部400，與通過三片板材接合而形成轉(zhuǎn)角部400的現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu) 的減壓容器相比，能夠顯著提高該轉(zhuǎn)角部400的密封性能。
另外，由于側(cè)板303c與側(cè)板303d的接合部308a的兩側(cè)內(nèi)壁面呈 大致同一平面，此處，通過未圖示的按壓件90 (參照圖6)能夠可靠 地進(jìn)行密封。此外，由于底板302與側(cè)板303c、303d之間的接合部308b 形成在筐體300的角部500，因而在該部分，兩個(gè)內(nèi)壁面例如呈直角。 此處，在接合部308b，例如圖13所示，采用截面呈L字形的角部按壓 件93將密封部件80固定。使密封部件80抵接在其外周面上的接合部 93b形成在角部按壓件93上，通過該接合部93b能夠?qū)⒚芊獠考?0 按壓固定。此外，在圖13中，符號93a是用于通過螺釘或螺栓等固定 器具102將角部按壓件93固定的孔部。
通過以上結(jié)構(gòu)，本實(shí)施方式中，通過相互鄰接的三片板材，例如 底板302與側(cè)板303c和側(cè)板303d形成的接合部309 (即，接合部308a 與接合部308b之間的交叉部位)形成在離開所述轉(zhuǎn)角部400的位置上。 該接合部309中的T字形的接合線，通過配置具有T字形連接部的密 封部件80而能夠可靠地進(jìn)行密封。因此，能夠形成氣密性優(yōu)良的減壓 容器。
此外，圖11以及圖12所示的實(shí)施方式的筐體300中，除了上板 301以及底板302為平板狀之外，基本可以采用與如圖4至圖6所示的
實(shí)施方式涉及的筐體70同樣的構(gòu)成形式，密封部件80也可以采用與 圖8同樣的構(gòu)成形式。
這樣，在本實(shí)施方式涉及的筐體300中，通過對結(jié)構(gòu)部件的各個(gè) 板材的形狀進(jìn)行設(shè)計(jì)，能夠盡可能減少難以密封的筐體300的轉(zhuǎn)角部 400以及角部500的密封，提高作為減壓容器的搬送室20的氣密性。
本發(fā)明中，通過采用所述各個(gè)實(shí)施方式所示的密封結(jié)構(gòu)，即使在 接合多片板材的組裝結(jié)構(gòu)中，也能夠方便的制作具有良好氣密性的真 空容器。因此，作為在安裝場所進(jìn)行接合的組裝式的減壓容器，與現(xiàn) 有技術(shù)的一體型真空容器相比，不僅能夠減少加工成本等制造成本， 而且還能減少運(yùn)輸成本。
此外，本發(fā)明并不僅限于所述實(shí)施方式，可以進(jìn)行各種變形。例 如，作為被處理體，不局限于采用FPD用的玻璃基板，也可以是半導(dǎo) 體晶片。
另外，所述實(shí)施方式中，作為形成減壓容器的筐體70，以平面視 圖矩形的六面體為例進(jìn)行了說明，但接合板材形成例如八面體或十面 體等形狀的減壓容器也同樣能夠采用本發(fā)明的密封機(jī)構(gòu)。圖14表示的 是將底板311以及五枚側(cè)板312a 312e接合并可以作為搬送腔室使用 的平面視圖呈五角形(七面體)的減壓容器310的例子。此外，圖14 中省略了上板或頂板的圖示。
另外，減壓容器不局限如圖4所示的具有筐體70與頂板71的結(jié) 構(gòu)。例如，通過下部容器以及與之相對設(shè)置的上部容器形成一個(gè)腔室 結(jié)構(gòu)，并通過使上部容器升降、滑動(dòng)、旋轉(zhuǎn)而開啟關(guān)閉腔室的減壓容 器中，通過接合板材而制造所述上部容器以及下部容器時(shí)，也能夠使 用本發(fā)明的密封構(gòu)造。
另外，圖4 圖6所述的實(shí)施方式中，構(gòu)成筐體70的板材中，在 上板72與底板73上分別設(shè)置壁部72a、 73a，同時(shí)，在側(cè)板74a、 74c 的端部上設(shè)置折曲部E，避免了在筐體70的八個(gè)轉(zhuǎn)角部400上形成接 合部。但是，例如圖15所示，也可以斜向切斷側(cè)板74c、 74d的端部 形成傾斜面，并且，采用在各個(gè)側(cè)板74c、 74d的端部設(shè)置山形凸出部 D的結(jié)構(gòu)形式。此時(shí)，通過使兩片板材74c、 74d的傾斜面相互接合， 兩個(gè)凸出部D以形成接合部Jcd的形式而組合，使筐體內(nèi)側(cè)的角部平
坦化。即，在筐體內(nèi)側(cè)的角部，可以夾著接合部Jcd并使其兩側(cè)的內(nèi)壁
面呈同一平面的形式。在本實(shí)施方式中，也可以使用未圖示的按壓件 90可靠地按壓固定密封部件80。
另外，所述實(shí)施方式中，以搬送腔室20為例進(jìn)行了說明，但只要
是減壓容器，沒有特別的限制可以適用本發(fā)明的技術(shù)思想。例如，作
為真空預(yù)備室的負(fù)載鎖定室30，或是作為真空處理室的處理腔室10a 10c也能夠采用同樣的密封裝置。
另外，所述實(shí)施方式中，以將基板S保持水平方向的狀態(tài)進(jìn)行搬 送和處理的腔室為例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明的技術(shù)思想，也可以適用 于以將基板S縱向豎起的狀態(tài)進(jìn)行搬送及處理的所謂縱向式結(jié)構(gòu)的腔
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明，可以優(yōu)選適用于制造例如對FPD用的玻璃基板等基板進(jìn) 行搬送或蝕刻等各種處理時(shí)使用的減壓容器。
權(quán)利要求
1.一種減壓容器，通過接合多個(gè)部件而構(gòu)成，其特征在于所述部件之間的接合部形成在離開所述減壓容器的轉(zhuǎn)角部的位置上，通過密封部件從所述減壓容器的內(nèi)側(cè)密封所述接合部。
2. —種減壓容器，通過接合多個(gè)部件而構(gòu)成，其特征在于 在接合所述部件之間的所有接合部中，其兩側(cè)的內(nèi)壁面夾著該接合部基本形成在同一平面，通過密封部件從所述減壓容器的內(nèi)側(cè)密封所 述接合部。
3. —種減壓容器，通過接合包括端部呈折曲形的板材與平板在內(nèi) 的多個(gè)部件而構(gòu)成，其特征在于具有通過所述端部形成折曲的板材和與該板材接合的所述平板而 形成的轉(zhuǎn)角部，并且，通過相互鄰接的三個(gè)部件而形成的接合部形成在離開所述轉(zhuǎn)角部 的位置上，通過密封部件從所述減壓容器的內(nèi)側(cè)密封接合所述部件之間的接 合部。
4. 如權(quán)利要求1 3中任何一項(xiàng)所述的減壓容器，其特征在于 作為所述部件，至少包括底板和與該底板接合的多片側(cè)板。
5. 如權(quán)利要求4所述的減壓容器，其特征在于 多片所述側(cè)板的全部或一部分的端部折曲形成。
6. —種減壓容器，通過接合多個(gè)部件而構(gòu)成，其特征在于，包括 底板；接合在所述底板上的多片側(cè)板；和從內(nèi)側(cè)密封相鄰的所述側(cè)板之間、以及所述側(cè)板和所述底板的各個(gè) 接合部的密封部件，其中，在所述底板上一體設(shè)置有構(gòu)成所述減壓容器的側(cè)壁下部的壁體， 所述側(cè)板的內(nèi)壁面與所述底板的壁體的內(nèi)壁面夾著所述接合部，基 本接合成同一平面。
7. 如權(quán)利要求6所述的減壓容器，其特征在于還包括與所述側(cè)板接合的上板，在該上板上一體設(shè)置有構(gòu)成所述減 壓容器側(cè)壁上部的壁體。
8. 如權(quán)利要求6或7所述的減壓容器，其特征在于 多片所述側(cè)板的全部或一部分，具有其端部折曲的形狀，鄰接的所述側(cè)板之間的接合部形成在離開連結(jié)所述減壓容器的轉(zhuǎn)角和轉(zhuǎn)角的角 部位置上。
9. 如權(quán)利要求6 8中任何一項(xiàng)所述的減壓容器，其特征在于 接合所述側(cè)板之間以及接合所述底板和所述側(cè)板的所有接合部形成在所述減壓容器的側(cè)部。
10. 如權(quán)利要求1 9中任何一項(xiàng)所述的減壓容器，其特征在于 在所述接合部上，形成有安裝所述密封部件的溝槽。
11. 一種減壓處理裝置，其特征在于 包括權(quán)利要求1 10中任何一項(xiàng)所述的減壓容器。
12. —種減壓容器的制造方法，其特征在于，包括 采用多個(gè)部件，所述部件之間的接合部形成在離開減壓容器轉(zhuǎn)角的位置上，且在夾著所述接合部，其兩側(cè)的內(nèi)壁面基本形成在同一平面 上的方式下，接合各個(gè)部件組裝筐體的工序；和 在所述筐體的內(nèi)側(cè)，密封所述接合部的工序。
13. 如權(quán)利要求12所述的減壓容器的制造方法，其特征在于 作為所述部件，至少采用底板和接合在該底板上的多片側(cè)板，并且， 構(gòu)成所述減壓容器的側(cè)壁下部的壁體被一體設(shè)置在所述底板上， 多片所述側(cè)板的全部或一部分，具有端部被折曲的形狀。
14. 一種減壓容器的制造方法，其特征在于，包括 采用包括端部折曲形成的部件和平板在內(nèi)的多個(gè)部件，由所述端部 折曲形成的部件與所述平板形成轉(zhuǎn)角，并且，由相互鄰接的三個(gè)部件 所形成的接合部以形成在離開所述轉(zhuǎn)角的位置上的形式接合各部件組 裝成筐體的工序；以及在所述筐體的內(nèi)側(cè)，密封所述接合部的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種通過接合多片板材而構(gòu)成的，充分確保接合部的氣密性的減壓容器。在減壓容器內(nèi)，由底板73的壁部73a和側(cè)板74c或側(cè)板74d形成的接合部Jac、Jad以及由側(cè)板74c與側(cè)板74d形成的接合部Jcd，在這些接合面兩側(cè)的內(nèi)壁面分別形成在大致同一平面。另外，通過按壓件90將密封部件80按壓固定在各個(gè)接合部上，由此來確保減壓容器的氣密性。
文檔編號C23C14/44GK101108328SQ20071010386
公開日2008年1月23日 申請日期2007年5月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月17日
發(fā)明者山田洋平 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社