專利名稱：復合離子注入軸承真空回火處理方法
復合離子注入軸承真空回火處理方法 技術領域 機械制造領域，復合離子注入軸承真空回火方法。
背景技術：
滾動軸承的滾動休和套圈主要由軸承鋼制造。軸承應具備長壽命、高精度、低 發(fā)熱量、高速性、高剛性、低噪音、高耐磨性等特性，因此要求軸承鋼具備高硬度、均勻 硬度、高彈性極限、高接觸疲勞強度、必須的韌性、 一定的淬透性、在大氣的潤滑劑中的耐 腐蝕性能。為了達到上述性能要求，對軸承鋼的化學成分均勻性、非金屬夾雜物含量和類型、 碳化物粒度和分布、脫碳等要求嚴格。軸承鋼總體上向高質(zhì)量、高性能和多品種方向發(fā)展。 軸承用鋼按特性及應用環(huán)境劃分為高碳鉻軸承鋼、滲碳軸承鋼、高溫軸承鋼、不銹軸承鋼 及專用的特種軸承材料。
目前為適應高溫、高速、高負荷、耐蝕的要求，需要研制一系列具有特殊性能的新型軸 承鋼。為了降低軸承鋼的氧含量，發(fā)展了真空冶煉、電渣重熔、電子束重熔等軸承鋼的冶煉 技術。而大批量軸承鋼的冶煉由電弧爐熔煉，發(fā)展成各種類型初煉爐加爐外精煉。日本和德 國等均建成了高潔凈度、高質(zhì)量的軸承鋼生產(chǎn)線，鋼的產(chǎn)量迅速增加，鋼的質(zhì)量和疲勞壽命 大幅度提高。瑞典生產(chǎn)的軸承鋼的氧含量降到10ppm以下。80年代末期，日本山陽特鋼公司 的先進水平為5.4ppm,達到了真空重熔軸承鋼的水平。
軸承的接觸疲勞壽命對鋼組織的均勻性非常敏感。提高潔凈度(減少鋼中的雜質(zhì)元素和 夾雜物含量)，促使鋼中的非金屬夾雜物和碳化物細小均勻分布，可以提高軸承鋼的接觸疲 勞壽命。軸承鋼使用狀態(tài)下的組織應是回火馬氏體基體上均勻分布著細小的碳化物顆粒，這 樣的組織可以賦予軸承鋼所需要的性能。高碳軸承鋼中的主要合金元素有碳、鉻、硅、錳、 釩等。
各國都在研究和開發(fā)新型軸承鋼，擴大應用和代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承鋼。如快速滲碳軸承鋼， 通過改變化學成分來提高滲碳速度，其中碳含量由傳統(tǒng)的0.08% 0.20%提高到0.45%左 右，滲碳時間由7小時縮短30分鐘。由于在高溫、腐蝕、潤滑條件惡劣的環(huán)境下使用軸承 愈來愈多，過去使用的M50(CrMo4V)、 440C(9Crl8Mo)等軸承鋼已不能滿足使用要求，急需研 制加工性能好、成本低、疲勞壽命長、能適合不同目的和用途的軸承用鋼，如高溫滲碳鋼 M50N比、易加工不銹軸承鋼50X18M以及陶瓷軸承材料等，采用離子注入方法，可以將普通
軸承鋼變成適合不同目的和用途的軸承用鋼。
今后軸承鋼主要向高潔凈度和性能多樣化兩個方向發(fā)展。提高軸承鋼的潔凈度，特別是 降低鋼中的氧含量，可以明顯延長軸承的壽命。氧含量由28ppm降低到5ppm，疲勞壽命可以 延長l個數(shù)量級。為了延長軸承鋼的壽命，人們多年來一直致力于開發(fā)應用精煉技術來降低 鋼中的氧含量。通過不懈的努力，軸承鋼中的最低氧含量己從20世紀60年代的28ppm降低 到90年代的5ppm。目前，我國可以將軸承鋼中的最低氧含量控制在lOppm左右。軸承使用 環(huán)境的變化要求軸承鋼必須具備性能的多樣化。如設備轉(zhuǎn)速的提高，需要準高溫用(20(TC以 下)軸承鋼(通常采用在SUJ2鋼的基礎上提高Si含量、添加V和Nb的方法來達到抗軟化和 穩(wěn)定尺寸的目的)；腐蝕應用場合，需要開發(fā)不銹軸承鋼；為了滿足航空航天的需要，應開 發(fā)高溫軸承鋼。
隨著科學技術的進步及其在熱處理方面的應用，熱處理技術的發(fā)展主要體現(xiàn)在以下幾個 方面節(jié)約能源型清潔回火熱處理提倡充分利用廢熱、余熱，采用耗能低、周期短的工藝 代替周期長、耗能大的工藝等。精密熱處理提高產(chǎn)品質(zhì)量精密熱處理有兩方面的含義一 方面是根據(jù)工件的使用要求、材料、結構尺寸，利用物理冶金知識及先進的計算機模擬和檢 測技術，優(yōu)化工藝參數(shù)，達到所需的性能或最大限度地發(fā)揮材料的潛力；另一方面是充分保
證優(yōu)化工藝的穩(wěn)定性，實現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量分散度很小(或為零)及熱處理畸變?yōu)榱恪?br> 真空回火熱處理真空狀態(tài)下加熱可減少或避免工件的氧化，實現(xiàn)清潔熱處理。真空回 火熱處理基本上不向環(huán)境排放廢水、廢鹽、有毒氣體、粉塵等污染物。另外，真空回火熱處 理后，工件的顯微組織更加細小均勻，表面與心部組織一致，熱處理缺陷如脫碳、裂紋等大 大減少，硬度均勻，改善質(zhì)量、減少產(chǎn)品變形及畸變、降低軸承鋼中的含氧量，提高軸承壽 命，達到精密熱處理標準。隨著工件加工技術的發(fā)展，精密鍛造及精密輾擴(冷輾)工藝的 采用，零件毛坯的加工精度越來越高，逐步推廣少、無車削工藝，由此對熱處理提出了保護 工件的表面，防止其氧化的要求。真空回火熱處理能有效的滿足當今精密加工工業(yè)的要求。 真空回火熱處理工件加熱的熱源一般為電渦流加熱系統(tǒng)、熱傳導電加熱系統(tǒng)或輻射熱電加熱 系統(tǒng)。真空回火熱處理需要配備專用的熱回火處理設備，包括抽真空機組設備等。設備的投 入大及加熱程序的復雜，在一定程度上限制了真空回火技術的應用推廣。
離子注入金屬材料表面改性，是近年來材料科學領域興起的實用、有效的材料表面處理
方法。離子注入金屬加工工具，可降低工具切削時的摩擦系數(shù)、提高切削工具刃口的紅硬性。 減少切削金屬時，粘刀現(xiàn)象及冷焊現(xiàn)象，提高被加工工件的加工質(zhì)量，減少工具的刃磨和安 裝次數(shù)，能有效的提高加工工效；提高工具使用壽命7—20倍。美國海軍實驗室從1979年 起進行了軸承零件離子注入的研究，英國、丹麥和葡萄牙等國從1%9年開始進行與美國海 軍實驗室類似的工作。結果表明注入鉻離子能顯著提高M50鋼的抗腐蝕性能，而且抗接觸 疲勞性能也有所提高；此外還用注入硼離子來提高儀表軸承的抗磨損能力；對軸承鋼52100 進行氮等離子源離子注入(PSII)后在表面形成薄層氮化物，可提高軸承鋼的耐蝕性，用于 代替昂貴的不銹鋼。
然而，并非所有的工件一經(jīng)離子注入就會呈現(xiàn)出優(yōu)良的性能，在我們的科學實踐中，有 這樣情況軸承鋼工件離子注入后體硬度降低；摩擦實驗，低摩擦系數(shù)持續(xù)時間短等。鉆頭、 銑刀經(jīng)離子注入后，鉆孔、切削性能比沒有進行離子注入的對照試樣性能還差，刃口軟化； 究其原因，主要是因為，離子注入注入工件表面單位能量過大。注入能量隨離子束流，注入 到被加工工件表面，大部分的能量轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?。當注入能量過高時，被注入工件的體溫度， 高于工件材料的回火溫度，(由于，傳統(tǒng)離子注入工藝要求被注入工件，離子注入之前完 成一切機加工和熱處理工序)則發(fā)生已回火工件再次回火情況。 一些工件即產(chǎn)生過回火現(xiàn)象， 表現(xiàn)為被注入工件基體組織軟化。如軸承鋼使用狀態(tài)的體硬度應達到HRc61.5以上，離子 注入產(chǎn)生過回火，使其硬度降到小于HRc55。這樣情況出現(xiàn)后，離子注入軸承的性能表現(xiàn)為， 還不如沒有進行過離子注入軸承的性能。經(jīng)過多次科學實驗、研究分析，我們發(fā)明了復合離 子注入軸承真空回火處理理念。用此方法可以解決離子注入軸承過回火問題。提高離子注入 質(zhì)量
發(fā)明內(nèi)容
復合離子注入軸承真空回火處理方法，要求被注入軸承工件在離子注入之前， 只進行高溫淬火及其后續(xù)的定型加工。將其熱處理的回火工序留給復合離子注入工序完成， 這樣可以解決軸承工件在離子注入過程中，雙重回火或過回火問題。即，消除因離子注入束 流過大、注入加熱時間過長、被注入軸承工件溫度過高，而引起的軸承工件基體硬度降低， 綜合性能變差現(xiàn)象；同時，因取消了軸承工件在常規(guī)熱處理程序中的回火工序，消除了軸承 工件在常規(guī)熱處理回火工序中產(chǎn)生的表層氧化問題、有害氣體殘留問題。
復合離子注入是應用新型金屬蒸汽真空弧離子源，即MEVVA離子源改進型注入機，以
離子強滲透的方式，將全屬離子和非僉屬離子按一定的比例組僉、 一定的裸度分布、 一定的 入射角度及適當?shù)臏囟葪l件即被注入軸承材料的回火溫度，以一定的能量分布，將多種元素 組合離子束，同時注入到被處理的軸承內(nèi)環(huán)、外環(huán)與滾子運動接觸面及滾珠滾柱表面。在被 處理軸承表面與基體之間，形成納米陶瓷濃度逐漸增加至表面的過波層。因此，納米陶瓷注 入層與機體之間沒有明顯的界面。優(yōu)化納米陶瓷注入層的成份，可得到軸承非常良好的自潤 滑性能和耐磨損性能。
經(jīng)復合離子注入軸承真空回火處理后，注入層的納米陶瓷組織極其細小、碳化物分布更 均勻，比一般回火具有更高硬度、高接觸疲勞強度和滑動耐磨性；復合離子注入軸承真空回 火處理方法比較原軸承工件采用真空回火工藝，取消了原來真空回火處理的繁瑣工序及真空 加熱設備，減少投資。軸承工件經(jīng)淬火加工定型后，直接進行復合離子注入軸承真空回火處 理。此方法在保留軸承工件真空回火處理軸承優(yōu)點的同時，軸承工件能充分顯示出復合離子 注入的優(yōu)點。既減少了被加工軸承工件的整體工序、節(jié)約能源、提高復合離子注入的可靠性、 最終提高被加工軸承的性能和產(chǎn)品質(zhì)量。復合離子注入軸承真空回火處理方法，使軸承具備 長壽命、高精度、低發(fā)熱量、高速性、高剛性、低噪音、高耐磨性等特性。此方法有很好的 應用前景。


圖1、 1、為Ti+C離子復合注入淬火狀態(tài)軸承鋼工件，即軸承鋼工件淬火后采
取直接進行復合離子注入真空回火工藝。復合注入軸承鋼真空回火工件在德國ZEISS設備上
測得的納米顯微硬度(Hv)—深度(nm)分布曲線，此曲線顯示經(jīng)復合離子注入軸承鋼工件真空
回火后，工件表面硬度明顯提高；圖l、 2、為常規(guī)熱處理淬火、回火后軸承鋼工件，進行離
子注入處理。在同一設備上測得的納米顯微硬度一深度分布曲線，此曲線顯示當深度超過
1000納米時其硬度已經(jīng)低于常規(guī)熱處理工件的硬度，即出現(xiàn)過回火現(xiàn)象圖1、 3、為常規(guī)
熱處理淬火、回火后軸承鋼納米顯微硬度一深度分布曲線。從圖1中可以看出復合離子注入
真空回火軸承鋼工件的納米硬度分布，高于常規(guī)熱處理后，進行離子注入軸承鋼工件的納米
硬度150%。常規(guī)熱處理后進行離子注入軸承鋼工件，其深層容易出現(xiàn)過回火現(xiàn)象。
圖2、 1、為常規(guī)熱處理軸承鋼工件，進行離子注入處理后摩擦學曲線。其摩擦系數(shù)在
60T處開始增大。圖2、 2、復合離子注入真空回火軸承鋼工件摩擦學曲線，軸承鋼工件保持
低摩擦系數(shù)的時間，是常規(guī)熱處理后離子注入軸承鋼工件的五倍。復合離子注入真空回火軸
承鋼工件摩擦學曲線，比對照曲線表現(xiàn)出高接觸疲勞強度。
具體實施方式
復合離子注入軸承真空回火處理方法，是利用MEVVA源離子注入機離 子注入時，加速電場、注入束流產(chǎn)生的能量，此能量由復合離子攜帶注入到被注入軸承工件 表面。依據(jù)注入元素的電離能和注入元素及被注入軸承材料中各元素的結合能大小、依據(jù)離 子注入射程和納米陶瓷膜形成條件、依據(jù)軸承材料熱處理數(shù)據(jù)，綜合各個條件設計注入電壓 的高低，控制注入離子束流的大小等選擇各種離子注入條件，控制被注入試樣表面所接收的 能量多少，從而控制被注入軸承工件的基體平均溫度。以達到軸承工件離子注入的同時進行 真空回火。復合離子注入軸承真空回火處理方法中，離子種類包括金屬和非金屬同時電離 復合離子、包括金屬與金屬同時電離復合離子、非金屬與非金屬同時電離復合離子的離子注 入。復合離子的產(chǎn)生，用純金屬或合金制成陰極形狀。固體非金屬，按納米陶瓷注入層原子 比，及各參與元素的電離能比關系，設計各元素的量比。將固體非金屬依比量制成細柱狀， 按蓬籽排列狀態(tài)鑲嵌到純金屬或合金制成的陰極中。用此陰極觸發(fā)、電離、配以適當能量分 布進行離子注入?？傻玫骄鶆虻募{米陶瓷注入層。采用此方法獲取納米陶瓷注入層的有VC、 TiC、 ZrC、 MoC、 WC、 NiC、 SnC、 NbC、 YC、 GrC、 AgC等，純金屬也可以換成固體非金 屬制成陰極，生成如下納米陶瓷層BC、 SiC、 S舊C等。上述金屬也可以是一種金屬配以另 一種或幾種純金屬，再配以非金屬或兩種及種兩種以上非金屬，生成納米陶瓷層如TiZrC、 ZrBC、 ZrGrC、 VNbC、 GrMoC、 TiGrMoC、 TiZrVBC等。用上述方法生成金屬和固體非 金屬多種離子混合納米陶瓷層。
非金屬元素是氣體時，用通氣銅管配以針閥，安裝在MEVVA離子源陰極放電室。通入 單一氣體，調(diào)整適當氣壓，使離子源保持正常電離工作狀態(tài)。調(diào)整觸發(fā)電壓、引出電壓、引 出離子的成份，達到納米陶瓷注入層成份的要求。配以適當?shù)哪芰糠植歼M行離子注入。形成 納米陶瓷注入層。如TiN、 ZrN、 VN、 TiVN、 TiNbVN、 VNbN、 TiO、 ZrO、 TiZrN;上述 氣體也可以是混合氣體或固體加氣體，生成納米陶瓷注入層，如TiNO、 ZrNO、 TiZrCN、 VNbCN、 TiNbVCN、 TiZrCNO、 GrMoCO等；上述金屬也可換成非金屬，生成納米陶瓷注 入層，如BN、 CN、 BCN、 SiCN、 BNO、 AgO、 AgN、 AgCN、 SiNO等。用此方法可引出
金屬和氣體非金屬多種離子混合離子束。用金屬和氣體非金屬多種離子混合離子束注入軸承 內(nèi)環(huán)、外環(huán)，也可使軸承內(nèi)、外環(huán)產(chǎn)生減摩潤滑性能。人為控制陶瓷膜的成分，可使軸承產(chǎn)
生優(yōu)良的減摩潤滑性能、降低運行能耗、延長使用壽命。
被注入軸承工件在離于注入之前，只進行高溫淬火及其后續(xù)的定型加工。將其熱處理的 回火工序留給復合離子注入工序完成。軸承工件在離子注入條件下加熱到其所需要的回火溫 度，保持這個溫度，經(jīng)過一定的回火時間，被注入軸承工件的基體組織轉(zhuǎn)變到回火組織要求。 使工件在復合離子注入的同時，達到基體回火的目的。用金屬和固體、氣體非金屬等多種離 子混合離子束注入軸承內(nèi)環(huán)、外環(huán)，可使軸承內(nèi)、外環(huán)產(chǎn)生納米陶瓷膜。
復合離子注入軸承真空回火處理方法中，離子注入能量的范圍為2.0—5000KV。離子 注入劑量的范圍為2X1012—5X102°Ion/Cm2。離子注入束流的密度為1x10—2—5^103 mA/mm2。離子注入靶室的真空度8X l(r2MP—l X l(T8MPa。離子注入金屬材料工件回火處 理方法，溫度控制，是參考被注入金屬材料之工件使用狀態(tài)所需要的回火溫度。溫度測量， 其測量點，應該避開離子束流的直接照射。即，測量的溫度應該是，被注入試樣的基體溫度。 離子注入金屬材料工件回火處理方法之回火時間，是參考被注入金屬材料試樣使用狀態(tài)的回 火，所需回火時間；及達到離子注入金屬材料表面改性注入離子劑量，所需要的注入時間的 綜合設計。離子注入金屬材料工件真空回火處理方法，所述金屬材料泛指各種軸承鋼及其合 金如各種Grl5鋼材、高溫滲碳鋼、普通碳素鋼、M50NiL、 50X18M、 M50(CrMo4V)、 440C(9Crl8Mo)、易加工不銹軸承鋼等軸承鋼、鐵基軸承合金、鈦及鈦軸承合金、鎂及鎂軸 承合金、銅及銅基軸承合金、鎳及鎳軸承合金、鋁及鋁軸承合金、鉻及鉻軸承合金、鋯及鋯 軸承合金等。而復合離子注入軸承真空回火處理方法一大特點是可以采用普通碳素鋼制成 軸承經(jīng)復合離子注入真空回火方法處理后，達到或超過各種特殊材料鋼制軸承的性能。因而 可以節(jié)約成本。
復合離子注入軸承真空回火處理方法中脫氣效應。各種元素都有自身的蒸汽壓。如環(huán)境 中某種元素的分氣壓，低于該元素的飽和蒸汽壓，則該元素就會蒸發(fā)。離子注入金屬材料工 件真空回火熱處理時，金屬工件在真空環(huán)境中被復合離子束轟擊加熱，金屬中的有害氣體會 被排出，如Grl5鋼材、M50NiL、 50X18M、 M50(CrMo4V)、 440C(9Crl8Mo)、碳素鋼及鎳、 鈦和鈦合金軸承中的氫和氧等氣體在真空、高溫下會逸出。這有利于提高軸承的機械性能和 使用壽命。
權利要求
1.復合離子注入軸承真空回火處理方法。其特征在于利用復合離子注入過程中，加速電場作用下，注入束流產(chǎn)生的能量，加熱被注入的軸承環(huán)、滾珠、滾柱。依據(jù)注入元素的電離能和注入元素及被注入工件材料中各元素的結合能大小、依據(jù)離子注入射程、依據(jù)納米陶瓷膜形成條件、依據(jù)材料熱處理數(shù)據(jù)，綜合個條件設計注入電壓的高低，控制注入復合離子束流的大小等選擇各種復合離子注入條件，達到控制被注入軸承環(huán)、滾珠或滾柱所接收能量大小。從而控制被注入軸承環(huán)、滾珠、滾柱的溫度。達到軸承環(huán)、滾珠及滾柱復合離子注入真空回火的目的。
2. 權力要求1的，復合離子注入軸承真空回火處理方法中，注入離子種類包括金屬和非 金屬離子同時電離復合離子、還包括金屬與金屬同時電離復合離子、非金屬與非金屬同時電離復合離子的離子注入。復合離子的產(chǎn)生，用純金屬或合金制成MEVVA源陰極形 狀。固體非金屬，按納米陶瓷注入層原子比，及各參與元素的電離能比關系，設計各元 素的量比。將固體非金屬依比量制成細柱狀，按蓬籽排列狀態(tài)鑲嵌到純金屬或合金制成 的陰極中。用此陰極觸發(fā)、電離、配以適當能量分布進行離子注入?？傻玫剿璧募{米 陶瓷注入層。復合離子組合VC、 TiC、 ZrC、 MoC、 WC、 NiC、 SnC、 NbC、 YC、 GrC、 AgC、 BC、 SiC、 SiBC、 TiZrC、 ZrBC、 ZrGrC、 VNbC、 GrMoC、 TiGrMoC、 TiZrVBC、 TiN、 ZrN、 VN、 TiVN、 TiNbVN、 VNbN、 TiO、 ZrO、 TiZrN、 TiNO、 ZrNO、 TiZrCN、 VNbCN、 ，bVCN、 TiZrCNO、 GrMoCO、 BN、 CN、 BCN、 SiCN、 BNO、 AgO、 AgN、 AgCN、 SiNO、用上述各類復合離子注入軸承環(huán)、滾珠、滾柱，使軸承環(huán)、滾珠、滾柱加 熱到其所需要的回火溫度，保持這個溫度，經(jīng)過一定的回火時間，工件的基體組織轉(zhuǎn)變 到此類軸承材料回火組織要求。使軸承環(huán)、滾珠、滾柱在離子注入的同時，達到基體回 火的目的。
3. 權力要求l的，復合離子注入軸承真空回火處理方法中，離子注入能量的范圍為2.0— 5000KV。
4. 權力要求1的，復合離子注入軸承真空回火處理方法中，離子注入劑量的范圍為lxl0'2_5xl02°Ion/cm2。
5. 權力要求1的，復合離子注入軸承真空回火處理方法中，離子束流的注入目標為軸承內(nèi)、外環(huán)摩擦面；滾珠整體表面；滾柱的摩擦表面等。
6. 權力要求1的，復合離子注入軸承真空回火處理方法所述真空度，即，離子注入時靶室 的真空度8Xl(r2MP_lX10-7MPa。
7. 權力要求2中所述復合離子注入軸承回火處理方法，溫度控制，是參考被注入軸承環(huán)、 滾珠或滾柱，使用狀態(tài)所需要的回火溫度。
8. 權力要求7所述的溫度測量，其測量點，應該避開離子束流的直接照射。即，測量的溫 度應該是，被注入軸承工件的基體溫度。
9. 權力要求2中所述復合離子注入軸承回火處理方法之回火時間，是參考被注入軸承材料 工件使用狀態(tài)，所需的回火時間；及復合離子注入軸承環(huán)、滾珠或滾柱表面改性所需注 入離子劑量，在設定溫度條件，控制束流條件下，離子注入所需時間，兩者的綜合設計。
10. 權力要求1一9中復合離子注入軸承真空回火處理方法，所述軸承環(huán)、滾珠或滾柱使用的 材料泛指各種軸承鋼及軸承合金。如軸承鋼Grl5鋼材及其衍生鋼材、高溫滲碳鋼、普 通碳素鋼、M50NiL、 50X18M、 M50(CrMo4V)、 440C(9Crl8Mo)、易加工不銹軸承鋼等 軸承鋼、鐵基軸承合金、鈦及鈦軸承合金、鎂及鎂軸承合金、銅及銅基軸承合金、鎳及 鎳軸承合金、鋁及鋁軸承合金、鉻及鉻軸承合金、鋯及鋯軸承合金等。
全文摘要
復合離子注入軸承真空回火處理方法，可解決軸承在復合離子注入過程中過回火問題。即消除軸承因復合離子注入束流過大、注入時間過長、注入時軸承溫度過高，而引起的基體軟化；此方法免去軸承在常規(guī)熱處理程序中的回火工序，避免軸承在常規(guī)熱處理回火工序中產(chǎn)生的表層氧化問題、有害氣體殘留問題；復合離子注入軸承真空回火處理方法，比較軸承常規(guī)真空回火熱處理工序，其特點為軸承經(jīng)淬火、加工定型后，直接進行復合離子注入真空回火處理，在保留軸承真空回火熱處理工藝優(yōu)點的同時，進行軸承復合離子注入處理。此方法能充分展現(xiàn)復合離子注入的優(yōu)點減少軸承摩擦系數(shù)，延長軸承使用壽命，可增加軸承耐高溫、耐腐蝕性能、提高接觸疲勞強度。同時達到節(jié)約能源、提高復合離子注入效率目的。
文檔編號C21D9/36GK101104922SQ200610098680
公開日2008年1月16日 申請日期2006年7月12日 優(yōu)先權日2006年7月12日
發(fā)明者丁云濤, 丁曉紀, 劉安東 申請人:北京師范大學