專利名稱：濺射靶及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及通過濺射制造薄膜時所使用的濺射靶及其制造方法，更具體地說，涉及一種由靶板、底板、以及將它們貼合在一起的粘合材料層構成且粘合材料層中不存在有襯墊的濺射靶及其制造方法。
背景技術：
濺射成膜法具有容易得到附著力強的薄膜、膜厚容易控制、合金的薄膜化再現性好、容易實現高融點材料的薄膜化等特點，因此，在半導體等電子·電氣元器件用材料的成膜、例如液晶顯示器用的透明導電膜的制造、硬盤的記錄層的制造、半導體存儲器的配線材料的制造等廣泛的領域得到采用。
在這種濺射成膜法中，作為濺射靶，一般使用的是由所要形成的薄膜的構成材料制成的靶板與由具有優(yōu)良的導電性與導熱性的材質制成的底板中間夾著粘合材料貼合在一起而構成的濺射靶。在這種場合，作為底板的材質，例如使用的是導電性和導熱性優(yōu)良的銅特別是無氧銅、鈦、不銹鋼等，作為用來將靶板和底板貼合在一起的粘合材料，例如使用的是In系、Sn系等低熔點金屬制成的粘合焊料。
此外，作為將靶板和底板貼合在一起的方法，例如采用的是，將粘合材料布置在靶板和底板之間，通過同時對它們進行加熱，使靶板和底板之間的粘合材料熔融而填充于其間，在該狀態(tài)下冷卻到室溫，從而使靶板與底板貼合在一起的方法，或者，分別在靶板的表面和底板的表面，通過進行涂布粘合材料之前的加熱或涂布之后的加熱而形成粘合材料的熔融物，然后將該靶板與該底板二者中間夾著粘合材料層對合，在該狀態(tài)下冷卻到室溫，從而使靶板與底板貼合在一起的方法等。
上述用來將靶板與底板貼合在一起的粘合材料層，要具有(1)旨在抵消靶板與底板之間因熱膨脹率的差異而產生的熱膨脹的差異的緩沖性，(2)對濺射過程中的熱應力的減緩吸收性，(3)對安裝到濺射裝置中時產生的形變、抽真空時大氣壓從底板的背面施加的變形作用力的減緩吸收性等，為此，粘合材料層需要達到某種程度的厚度。
若使用低熔點金屬等粘合材料將靶板與底板二者以現有方法進行貼合，則在粘合材料層達到某種程度的厚度時，粘合材料層的厚度的調節(jié)將變得困難，各濺射靶成品的粘合材料層的厚度不定，使用這種粘合材料層厚度不定的濺射靶進行濺射時，會出現所使用的每個濺射靶的放電電壓不同等所不希望的現象。而且，靶板的貼合面與底板的貼合面之間多無法保持平行關系，若使用這種因局部部位的原因導致兩個面的間隔多少不相等的濺射靶，則隨著濺射時間的延續(xù)，會在靶板的濺射面上發(fā)生偏磨損，這種結果是我們所不希望的。
為此，有人提出將銅片或銅絲等襯墊置于靶板與底板之間以增加粘合材料層的厚度并保持上述平行關系而解決上述問題的方案(例如可參照專利文獻1、2和3)。但是，按照這些方法，存在有襯墊的部分粘合材料層薄，變形應力容易集中，而且襯墊會阻礙粘合材料層的變形，因此，與襯墊接觸的部分或該附近的粘合材料部分有時會發(fā)生龜裂。
專利文獻1特開昭63-317668號公報專利文獻2特開平08-170170號公報專利文獻3特開平11-200028號公報發(fā)明內容本發(fā)明是鑒于上述現狀而提出的，其第1目的是，作為用粘合材料將靶板與底板貼合在一起而成的濺射靶，提供一種不使用襯墊而粘合材料的厚度較厚、靶板的貼合面與底板的貼合面二者實質上保持平行的濺射靶及其制造方法。
再有，本發(fā)明的第二目的是，提供一種除了具有上述特點之外，進行濺射時粘合材料飛濺出來的危險性小的濺射靶及其制造方法。
實現發(fā)明任務的技術方案為實現上述目的，本發(fā)明人專門進行了研究，研究的結果發(fā)現，通過使用耐熱性臨時襯墊對粘合材料層的厚度進行控制并使得靶板的貼合面與底板的貼合面實質上保持平行，可得到第一目的的濺射靶，通過使用耐熱性臨時襯墊對存在于靶板的貼合面一側之表面上的粘合材料的范圍進行控制，可得到第二目的濺射靶，從而完成了本發(fā)明。
即，作為本發(fā)明的濺射靶，其特征是，由靶板、底板、將它們貼合在一起的粘合材料層構成，粘合材料層中不存在襯墊，粘合材料層的厚度在0.25～2mm的范圍內，并且，靶板的貼合面與底板的貼合面二者實質上保持平行。
此外，作為本發(fā)明的濺射靶，其特征是，由靶板、底板、將它們貼合在一起的粘合材料層構成，粘合材料層中不存在襯墊，粘合材料層的厚度在0.25～2mm的范圍內，靶板的貼合面與底板的貼合面二者實質上保持平行，并且，在靶板的貼合面一側之表面的周邊的至少一部分與底板之間不存在粘合材料。
再有，作為本發(fā)明的濺射靶的制造方法，其特征是，以可使得欲貼合在粘合材料層上的靶板表面與欲貼合在粘合材料層上的底板表面二者實質上保持平行的布置方式，將耐熱性臨時襯墊(1)可自由取放地布設在靶板的貼合面一側之表面的周邊上，或者(2)以與該靶板的表面上的可布設耐熱性臨時襯墊的位置成平面對稱的布局，可自由取放地布設在底板的貼合面一側之表面上，或者(3)可自由取放地布設在二者上，此時，對耐熱性臨時襯墊的合計厚度進行調整而使之在0.25～2mm的范圍內、并且實質上為固定值，或者在該靶板的貼合面一側之表面上形成粘合材料的熔融物，或者在該底板的貼合面一側之表面上，以與該靶板的表面上的可形成粘合材料熔融物的位置成平面對稱的布局形成粘合材料的熔融物，或者在二者上形成粘合材料的熔融物，接下來，將該靶板與該底板二者中間夾著該粘合材料貼合在一起，此時，若耐熱性臨時襯墊可自由取放地布設在二者上，則將該靶板與該底板二者以成平面對稱的耐熱性臨時襯墊對齊的狀態(tài)中間夾著粘合材料層貼合在一起，冷卻后將這些耐熱性臨時襯墊去除。
此外，本發(fā)明的濺射靶的制造方法，其特征是，將耐熱性臨時襯墊(1)可自由取放地布設在欲貼合在粘合材料層上的靶板表面的周邊的整周上，或者(2)以與該靶板的表面上的可布設耐熱性臨時襯墊的位置成平面對稱的布局，可自由取放地布設在欲貼合在粘合材料層上的底板表面上，或者(3)可自由取放地布設在二者上，此時，對耐熱性臨時襯墊的合計厚度進行調整而使之在0.25～2mm的范圍內并且實質上為固定值，在該靶板的表面上、該底板的表面上、或者二者的表面上的被耐熱性臨時襯墊圍起來的部位形成粘合材料的熔融物，接下來，將該靶板與該底板二者中間夾著該粘合材料層貼合在一起，此時，若耐熱性臨時襯墊可自由取放地布設在二者上，則將該靶板與該底板二者以成平面對稱的耐熱性臨時襯墊對齊的狀態(tài)中間夾著粘合材料層貼合在一起，冷卻后將這些耐熱性臨時襯墊去除。
在本發(fā)明中，所說“實質上保持平行”和“實質上為固定值”是指，在底板與靶板二者貼合的濺射靶中，底板與靶板二者的平行度確保達到本行業(yè)所容許的程度，而所說“耐熱性臨時襯墊的合計厚度”，在耐熱性臨時襯墊只布設在靶板的貼合面一側之表面上時是指其厚度，只布設在底板的貼合面一側之表面上時是指其厚度，布設在二者上時是指雙方厚度的合計厚度。
作為本發(fā)明的濺射靶，由于粘合材料層中不存在有襯墊，粘合材料層的厚度固定并且靶板的貼合面與底板的貼合面二者實質上保持平行，因此，各濺射靶的放電電壓不會改變，而且，不會隨著濺射時間的延續(xù)而在濺射靶的濺射面上發(fā)生偏磨損，粘合材料部分不會發(fā)生龜裂。此外，在靶板的貼合面一側之表面的周邊的至少一部分與底板之間不存在有粘合材料的場合，進行濺射時粘合材料飛濺出來的危險性小。


圖1是本發(fā)明濺射靶的一個例子的概略剖視圖。
圖2是本發(fā)明濺射靶制造方法中耐熱性臨時襯墊的布置位置的概略說明圖。
圖3是本發(fā)明濺射靶制造方法中靶板表面上的耐熱性臨時襯墊的布置位置的概略說明圖。
圖4是本發(fā)明濺射靶制造方法中兩分體靶板表面上的耐熱性臨時襯墊的布置位置的概略說明圖。
圖5是本發(fā)明濺射靶制造方法中三分體靶板表面上的耐熱性臨時襯墊的布置位置的概略說明圖。
圖6是展示本發(fā)明濺射靶的制造過程的其它階段的狀況的概略剖視圖。
圖7是耐壓試驗的概略說明圖。
附圖標記說明1 靶板2 底板3 粘合材料層
5 可自由取放地布設耐熱性臨時襯墊的位置6 可自由取放地布設耐熱性臨時襯墊的位置7 耐熱性臨時襯墊8 耐熱性臨時襯墊9 夾具具體實施方式
如圖1所示，由靶板1、底板2、以及將它們貼合在一起的粘合材料層3構成的本發(fā)明的濺射靶中，粘合材料層中不存在有襯墊，粘合材料層的厚度在0.25～2mm的范圍內，并且，靶板的貼合面與底板的貼合面二者實質上保持平行。此外，在本發(fā)明的其它方案中，粘合材料層中不存在有襯墊，粘合材料層的厚度在0.25～2mm的范圍內，靶板的貼合面與底板的貼合面二者實質上保持平行，并且，靶板的貼合面一側之表面的周邊的至少一部分、例如整周與底板之間4不存在有粘合材料。
在本發(fā)明的濺射靶中，靶板1可以由作為靶板所通常使用的任何材料形成，例如可以使用由鉻、鈦、鋁、ITO(In-Sn系)、SiO2等材料形成的靶板。此外，在本發(fā)明的濺射靶中，靶板1也可以是材質不同的多個靶板貼合在一片底板上的分體靶板。
在本發(fā)明的濺射靶中，底板2可以由作為底板所通常使用的任何材料形成，例如可以使用由導電性與導熱性優(yōu)良的銅特別是無氧銅、鈦、不銹鋼等材料形成的底板。此外，在本發(fā)明的濺射靶中，作為底板的厚度，從強度考慮，例如在材質為Cu(JIS C 1020)時，以10mm～50mm為宜。
在本發(fā)明的濺射靶中，粘合材料層3可以由作為粘合材料所通常使用的任何材料形成，但一般由In系、Sn系等低熔點金屬制成的粘合焊料形成。該粘合材料層的厚度以2mm以下為宜。若厚于2mm，漏磁通將衰減過多，濺射時放電電壓不穩(wěn)定。因此，若在1.5mm以下則更好。但是，從防止濺射靶龜裂和剝離的角度來說，粘合材料層的厚度以0.25mm以上為宜，0.5mm以上則更好。
在本發(fā)明的濺射靶中，為了避免粘合材料部分發(fā)生龜裂，需要使粘合材料層中不存在有襯墊，此外，為了避免隨著濺射時間的延續(xù)濺射靶的濺射面上發(fā)生偏磨損，需要使靶板的貼合面與底板的貼合面二者實質上保持平行。
此外，在本發(fā)明的濺射靶中，為了減小濺射時粘合材料飛濺出來的危險性，最好是，在靶板的貼合面一側之表面的周邊的至少一部分、例如整周與底板之間4不存在有粘合材料(即，在靶板的貼合面一側之表面的周邊的至少一部分、例如整周與底板之間4未填充有粘合材料，并且無論在靶板的貼合面一側之表面的周邊的至少一部分、例如整周上，還是作為與該部分相向的部分的底板的表面上均未附著有粘合材料)。
在本發(fā)明的濺射靶的制造方法中，首先在最開始，例如如圖2～圖5所示，為了使欲貼合在粘合材料層上的靶板表面與欲貼合在粘合材料層上的底板表面二者實質上保持平行，將耐熱性臨時襯墊(1)可自由取放地布設在靶板1的貼合面一側之表面的周邊的、各自包括可對該靶板進行支持的至少3個支點部分的部分5上，或者(2)以與該靶板1的表面上的可布設耐熱性臨時襯墊的位置成平面對稱的布局6，可自由取放地布設在底板2的貼合面一側之表面上，或者(3)可自由取放地布設在二者上。在靶板1是由相同材質或不同材質的多個靶板構成的分體靶板時，為了使欲貼合在粘合材料層上的各個分體靶板的靶板表面與欲貼合在粘合材料層上的底板表面二者實質上保持平行，將耐熱性臨時襯墊(1)可自由取放地布設在各個分體靶板的靶板的貼合面一側之表面的周邊的、各自包括可對該各個分體靶板的靶板進行支持的至少3個支點部分的部分上，或者(2)以與該各個靶板的靶板的表面上的可布設耐熱性臨時襯墊的位置成平面對稱的布局，可自由取放地布設在底板2的貼合面一側之表面上，或者(3)可自由取放地布設在二者上。
作為上述“靶板的貼合面一側之表面的周邊的、各自包括可對該靶板進行支持的至少3個支點部分的部分”的例子，除了圖2所示的整周5之外，還有圖3～圖5所示的各種方案。圖3的(a)～(d)是單一靶板的例子，圖4(a)～(d)是兩分體靶板的例子，圖5(a)～(d)是三分體靶板的例子。
作為本發(fā)明制造方法中所使用的耐熱性臨時襯墊，只要在粘合材料層冷卻固化后能夠被去除，可以由任何材料制成。作為這種材料，可列舉出銅、不銹鋼、鋁、鎳、鋅等金屬或合金、陶瓷、以及特氟隆(注冊商標)等耐熱樹脂等。但作為最佳材料，由于在粘合材料層冷卻固化后要將襯墊去除，因而最好是，在粘合材料的熔融溫度下實質上不會燒失的材料、不會發(fā)生塑性變形的材料、不會與粘合材料發(fā)生反應的材料、不會形成合金層的材料、具有與粘合材料的線膨脹系數同等以上的線膨脹系數的材料或者彈性變形適當的材料、強度適當的材料等。
關于本發(fā)明制造方法中所使用的耐熱性臨時襯墊的形狀，可以是帶狀、板狀、線狀、棒狀(方、圓)、圓盤狀、高度矮的三棱柱狀等任何形狀。而作為將這種襯墊可自由取放地進行布設的方法，可以采用用粘接劑臨時固定的方法，使襯墊沿靶板或底板的貼合面一側之表面、側面、背面彎曲，將該彎曲的襯墊插在靶板或底板上進行臨時固定的方法，以及，將襯墊放在靶板或底板的貼合面一側之表面的周邊部上，從側面用夾子臨時固定的方法等。作為本發(fā)明的制造方法，僅將襯墊簡單地放置在靶板或底板的貼合面一側之表面上也能夠加以實施。
關于耐熱性臨時襯墊的厚度，既可以如圖6所示，將該靶板1上的耐熱性臨時襯墊7的厚度與該底板2上的耐熱性臨時襯墊8的厚度的合計厚度調整在0.25～2mm的范圍內并且實質上為固定值，也可以僅在該靶板1上或底板2上的某一方上可自由取放地布設耐熱性臨時襯墊而將其厚度調整在0.25～2mm的范圍內并且實質上為固定值。
此外，在作為耐熱性臨時襯墊7和8使用的是耐熱性粘膠帶，其厚度較薄而它們的厚度或它們的合計厚度達不到0.25～2mm范圍內的既定厚度的場合，也可以將兩片以上的耐熱性粘膠帶重疊起來使用。使用耐熱性粘膠帶時，從摩擦系數小且強度高，粘合材料冷卻固化后很容易拔除等觀點出發(fā)，最好是使用由氟樹脂(例如特氟隆(注冊商標))帶材和涂布在其單面上的改性硅系粘著材料構成的耐熱性粘膠帶，或者由氟樹脂層和它上面的無機纖維織物層和它上面的氟樹脂層和它上面的改性硅系粘著材料層構成的耐熱性粘膠帶。
之后，或者在靶板的貼合面一側之表面上形成粘合材料的熔融物，或者在底板的貼合面一側之表面上，以與該靶板的表面上的可形成粘合材料熔融物的位置成平面對稱的布局形成粘合材料的熔融物，或者在二者上形成粘合材料的熔融物。此時，作為粘合材料熔融物的合計厚度，為了使靶板與底板二者能夠完全貼合在一起，以稍厚于該耐熱性臨時襯墊的合計厚度為宜。接下來，如圖6所示地將靶板與底板二者貼合在一起，此時，若耐熱性臨時襯墊可自由取放地布設在二者上，則將該靶板與該底板二者以成平面對稱的耐熱性臨時襯墊對齊的狀態(tài)中間夾著粘合材料層貼合在一起。
作為在靶板的表面、底板的表面、或者二者的表面形成粘合材料的熔融物的方法，有將上述靶板的表面和上述底板的表面加熱到足以使粘合材料熔融的溫度，在該靶板的表面、該底板的表面、或者二者的表面分別涂布粘合材料使之熔融的方法，以及，在上述靶板的表面、上述底板的表面、或者二者的表面分別涂布粘合材料，之后進行加熱使之熔融的方法。
將靶板與底板二者貼合在一起之后，而當耐熱性臨時襯墊是可自由取放地布設在二者上時則是將該靶板與該底板二者以成平面對稱的耐熱性臨時襯墊對齊的狀態(tài)中間夾著粘合材料層貼合在一起之后，使粘合材料冷卻凝固。對于使粘合材料冷卻凝固的方法并無特殊限制，例如，可以采用從底板一側吹拂冷風，或者，以銅錠頂在底板背面的中央部位等方法。此外，在靶板由抗熱沖擊性能高的金屬等材料制成的場合，也可以以從靶板一側吹拂冷風等方式進行冷卻。
在粘合材料冷卻凝固后，將耐熱性臨時襯墊去除便可得到本發(fā)明的濺射靶。在如上所述將耐熱性臨時襯墊去除后，曾存在有耐熱性臨時襯墊的部分將處于未附著有粘合材料的狀態(tài)，在耐熱性臨時襯墊是可自由取放地布設在靶板的貼合面一側之表面的周邊的整周上時，將處于靶板的貼合面一側之表面的周邊的整周與底板之間不存在有粘合材料，并且無論靶板的貼合面一側之表面的周邊的整周還是作為與該部分相向的部分的底板的表面上均未附著有粘合材料的狀態(tài)。在采用這種底板的場合，進行濺射時不存在粘合材料飛濺出來的危險性。
此外，以本發(fā)明的制造方法得到的濺射靶具有這樣的特點，即，靶板與底板的貼合部二者的面實質上保持平行，在使用該濺射靶進行濺射時，靶板之間放電電壓的離散性小，而且不會發(fā)生磨損。
下面，對本發(fā)明的濺射靶及其制造方法結合實施例和對比例進行說明。
實施例1
制備127mm×381mm×4.8mm大小的藍色玻璃靶板、150mm×440mm×6mm大小的無氧銅制造的底板、以四氟乙烯樹脂(特氟隆(注冊商標))為基底材料而在其單面涂布改性硅系粘著材料的寬3mm、厚約0.13mm的耐熱性粘膠帶、以及作為粘合材料的銦粉。
在上述靶板和底板上，以圖2所示的布局可自由取放地布設耐熱性粘膠帶。之后，使用加熱板將靶板和底板加熱到190℃，在它們的各自的貼合面上涂布銦粉，使之熔融而形成粘合材料的熔融物。接下來，如圖6所示，將靶板與底板二者以成平面對稱的耐熱性粘膠帶對齊的狀態(tài)中間夾著粘合材料層貼合在一起。貼合在一起之后，在靶板上放置3kg的鎢酸鈣進行自然冷卻。在靶板的溫度大約變成100℃時，取下鎢酸鈣，拔出耐熱性粘膠帶將其去除，得到了本發(fā)明的濺射靶。以同樣的方法共計制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為0.25mm且大致固定。
實施例2除了使用以四氟乙烯樹脂(特氟隆(注冊商標))為基底材料，在其單面涂布改性硅系粘著材料的寬3mm、厚約0.66mm的耐熱性粘膠帶之外，以與實施例1同樣的方法制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為1.3mm且大致固定。
對比例1制備127mm×381mm×4.8mm大小的藍色玻璃靶板、150mm×440mm×6mm大小的無氧銅制造的底板、20mm×381mm×0.25mm大小的無氧銅片(襯墊)、以及作為粘合材料的銦粉。
使用加熱板將靶板和底板加熱到190℃，在它們的各自的貼合面上涂布銦粉使之熔融。將兩片上述無氧銅片(襯墊)加熱到190℃，在它們的整個面上涂布銦粉使之熔融而浸潤之。將該兩片無氧銅片以65mm的間隔平行地布置在底板的銦熔融膜上，再使靶板貼合在它上面。貼合后，在靶板上放置3kg的鎢酸鈣，進行自然冷卻后得到濺射靶。以同樣的方法共計制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為0.25mm且大致固定。
對比例2除了替代20mm×381mm×0.25mm大小的無氧銅片(襯墊)而使用20mm×381mm×1.3mm大小的無氧銅片(襯墊)之外，以與對比例1同樣的方法制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為1.3mm且大致固定。
實施例3制備127mm×381mm×4.8mm大小的藍色玻璃靶板、150mm×440mm×6mm大小的無氧銅制造的底板、寬5mm×厚1.5mm大小的無氧銅片(襯墊)、以及作為粘合材料的銦粉。
僅在上述靶板上以圖2所示的布局可自由取放地布設上述銅片制造的襯墊。之后，使用加熱板將靶板和底板加熱到190℃，在它們的各自的貼合面上涂布銦粉，使之熔融而形成粘合材料的熔融物。接下來，以圖6所示的布局，將靶板與底板二者中間夾著粘合材料層貼合在一起。貼合在一起之后，在靶板上放置3kg的鎢酸鈣進行自然冷卻。在靶板的溫度大約變成100℃時，取下鎢酸鈣，拔出銅片制造的襯墊將其去除，得到了本發(fā)明的濺射靶。以同樣的方法共計制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為1.5mm且大致固定。
對比例3除了不將銅片制造的襯墊拔出而原樣保留之外，以與實施例3同樣的方法制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為1.5mm且大致固定。
實施例4制備127mm×381mm×4.8mm大小的藍色玻璃靶板、150mm×440mm×6mm大小的無氧銅制造的底板、寬5mm×長21mm×厚2mm大小的SUS片(襯墊)、以及作為粘合材料的銦粉。
以與靶板的表面上的圖3(b)所示布局成平面對稱的布局，在欲貼合在粘合材料層上的底板的表面上可自由取放地布設上述SUS片制造的襯墊。之后，使用加熱板將靶板和底板加熱到190℃，在底板的貼合面上涂布銦粉，使之熔融而形成粘合材料的熔融物。接下來，以靶板覆蓋在上述各個SUS片制造襯墊的9.5mm長的部分上的狀態(tài)，將靶板與底板中間夾著粘合材料層貼合在一起。貼合在一起之后，在靶板上放置3kg的鎢酸鈣進行自然冷卻。在靶板的溫度大約變成100℃時，取下鎢酸鈣，拔出SUS片制造的襯墊將其去除，得到了本發(fā)明的濺射靶。以同樣的方法共計制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為2.0mm且大致固定。
對比例4除了不將SUS片制造的襯墊拔出而原樣保留之外，以與實施例4同樣的方法制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為2.0mm且大致固定。
實施例5除了替代寬5mm×長21mm×厚2mm大小的SUS片(襯墊)而使用直徑0.5mm×長21mm的銅絲(襯墊)之外，以與實施例4同樣的方法制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為0.5mm且大致固定。
對比例5除了不將銅絲(襯墊)拔出而原樣保留之外，以與實施例5同樣的方法制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為0.5mm且大致固定。
實施例6除了替代寬5mm×長21mm×厚2mm大小的SUS片(襯墊)而使用直徑1.0mm×長21mm的SUS絲(襯墊)之外，以與實施例4同樣的方法制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為1.0mm且大致固定。
對比例6除了不將SUS絲(襯墊)拔出而原樣保留之外，以與實施例6同樣的方法制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為1.0mm且大致固定。
對比例7除了替代寬5mm×長21mm×厚2mm大小的SUS片(襯墊)而使用直徑0.1mm×長21mm的銅絲(襯墊)之外，以與對比例4同樣的方法制作了10個濺射靶。各個濺射靶的粘合材料層的厚度為0.1mm且大致固定。但是，由于銅絲(襯墊)太細，即使想拔出也會拉斷，無法將其完全去除。
對比例8嘗試著除了替代寬5mm×長21mm×厚2mm大小的SUS片(襯墊)而使用直徑2.5mm×長21mm的銅絲(襯墊)之外，以與對比例4同樣的方法制作濺射靶。但是，在將靶板與底板中間夾著粘合材料層貼合在一起時，發(fā)生了粘合材料mp泄漏。
耐壓試驗對于實施例1～6以及對比例1～6中所制作的各個濺射靶的耐壓性能，以下面的方法進行了評價。
如圖7所示，將濺射靶的底板2用螺釘(未圖示)固定在夾具9上，使得對底板的整個背面施加均勻的壓力。向空間10中緩緩引入氮氣并對發(fā)生龜裂時的壓力進行測定。它們的測定結果如表1所示。
由表1的數據也可知，以本發(fā)明的制造方法得到的本發(fā)明的濺射靶優(yōu)于內有襯墊的濺射靶。


權利要求
1.一種濺射靶，其特征是，由靶板、底板、將它們貼合在一起的粘合材料層構成，粘合材料層中不存在襯墊，粘合材料層的厚度在0.25～2mm的范圍內，并且，靶板的貼合面與底板的貼合面二者實質上保持平行。
2.一種濺射靶，其特征是，由靶板、底板、將它們貼合在一起的粘合材料層構成，粘合材料層中不存在襯墊，粘合材料層的厚度在0.25～2mm的范圍內，靶板的貼合面與底板的貼合面二者實質上保持平行，并且，在靶板的貼合面一側之表面的周邊的至少一部分與底板之間不存在粘合材料。
3.一種濺射靶的制造方法，其特征是，以可使得欲貼合在粘合材料層上的靶板表面與欲貼合在粘合材料層上的底板表面二者實質上保持平行的布置方式，將耐熱性臨時襯墊(1)可自由取放地布設在靶板的貼合面一側之表面的周邊上，或者(2)以與該靶板的表面上的可布設耐熱性臨時襯墊的位置成平面對稱的布局，可自由取放地布設在底板的貼合面一側之表面上，或者(3)可自由取放地布設在二者上，此時，對耐熱性臨時襯墊的合計厚度進行調整而使之在0.25～2mm的范圍內、并且實質上為固定值，或者在該靶板的貼合面一側之表面上形成粘合材料的熔融物，或者在該底板的貼合面一側之表面上，以與該靶板的表面上的可形成粘合材料熔融物的位置成平面對稱的布局形成粘合材料的熔融物，或者在二者上形成粘合材料的熔融物，接下來，將該靶板與該底板二者中間夾著該粘合材料貼合在一起，此時，若耐熱性臨時襯墊可自由取放地布設在二者上，則將該靶板與該底板二者以成平面對稱的耐熱性臨時襯墊對齊的狀態(tài)中間夾著粘合材料層貼合在一起，冷卻后將這些耐熱性臨時襯墊去除。
4.一種濺射靶的制造方法，其特征是，將耐熱性臨時襯墊(1)可自由取放地布設在欲貼合在粘合材料層上的靶板表面的周邊的整周上，或者(2)以與該靶板的表面上的可布設耐熱性臨時襯墊的位置成平面對稱的布局，可自由取放地布設在欲貼合在粘合材料層上的底板表面上，或者(3)可自由取放地布設在二者上，此時，對耐熱性臨時襯墊的合計厚度進行調整而使之在0.25～2mm的范圍內、并且實質上為固定值，在該靶板的表面上、該底板的表面上、或者二者的表面上的被耐熱性臨時襯墊圍起來的部位形成粘合材料的熔融物，接下來，將該靶板與該底板二者中間夾著該粘合材料層貼合在一起，此時，若耐熱性臨時襯墊可自由取放地布設在二者上，則將該靶板與該底板二者以成平面對稱的耐熱性臨時襯墊對齊的狀態(tài)中間夾著粘合材料層貼合在一起，冷卻后將這些耐熱性臨時襯墊去除。
5.如權利要求3或4所說的濺射靶的制造方法，其特征是，將中間夾著上述粘合材料層貼合在一起的上述靶板和上述底板的各自的表面加熱到足以使粘合材料熔融的溫度，在該靶板的表面、該底板的表面、或者二者的表面分別涂布粘合材料使之熔融，從而在該靶板的表面上、該底板的表面上、或者二者的表面上形成粘合材料的熔融物。
6.如權利要求3或4所說的濺射靶的制造方法，其特征是，在所說靶板的表面、所說底板的表面、或者二者的表面分別涂布粘合材料，之后進行加熱，從而在該靶板的表面上、該底板的表面上、或者二者的表面上形成粘合材料的熔融物。
7.如權利要求3、4、5或6所說的濺射靶的制造方法，其特征是，耐熱性臨時襯墊或者是由氟樹脂帶和涂布在其單面上的改性硅系粘著材料構成的，或者是由氟樹脂層和它上面的無機纖維織物層和它上面的氟樹脂層和它上面的改性硅系粘著材料層構成的，粘合材料是以銦為主成分的粘合材料。
全文摘要
本發(fā)明是通過濺射制造薄膜時所使用的濺射靶及其制造方法，由靶板、底板、將它們貼合在一起的粘合材料層構成，粘合材料層中不存在有襯墊，粘合材料層的厚度在0.25～2mm的范圍內，并且，靶板的貼合面與底板的貼合面二者實質上保持平行。
文檔編號C23C14/34GK1842613SQ200580001008
公開日2006年10月4日 申請日期2005年5月17日 優(yōu)先權日2004年5月18日
發(fā)明者尾野直紀 申請人:三井金屬礦業(yè)株式會社