專利名稱：一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種等離子化學(xué)氣相沉積裝置，尤其是一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的它包括上封頭、沉積室中段、下封頭，以及設(shè)置在主機(jī)柜內(nèi)的升降機(jī)、羅茨泵、機(jī)械泵，其中在所述的主機(jī)柜的上部設(shè)置有沉積室中段，沉積室中段帶有上封頭和下封頭，在上封頭和下封頭內(nèi)部分別設(shè)有上層上極板和下層下極板，在沉積室中段內(nèi)部分別與上層上極板和下層下極板對應(yīng)設(shè)有上層下極板和下層上極板，在沉積室中段上設(shè)有觀察窗，所述的下封頭的底部通過蝶閥和管道連接有羅茨泵和機(jī)械泵。
所述的上封頭與安裝在主機(jī)柜殼體上的升降機(jī)連接，所述的沉積室中段與安裝在主機(jī)柜殼體上的升降桿連接。
所述的主機(jī)柜的上部設(shè)置有至少一層沉積室中段。
所述的沉積室中段內(nèi)部至少設(shè)有一對上下極板。
所述的沉積室中段上至少設(shè)有一個(gè)觀察窗。
所述的沉積室中段通過法蘭與上封頭和下封頭連接。
所述的沉積室中段，其直徑為1000毫米-5000毫米之間，其高度為1000毫米-5000毫米之間。
所述的法蘭的直徑為1000毫米-5000毫米之間。
所述的主機(jī)柜設(shè)有柜門。
由于本實(shí)用新型采用了上述結(jié)構(gòu)，與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)首先，立式多層沉積室的設(shè)計(jì)，能較好的解決立式鐘罩沉積裝置加工面積小的問題；其次，采用同直徑法蘭密封的立式多層設(shè)備，其加工量可達(dá)到原立式鐘罩設(shè)備加工面積的1倍至數(shù)倍(每增加一層即可增加一倍)，便于大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)；另外，多層沉積室的設(shè)計(jì)，較好的解決了直徑越大、產(chǎn)量越大、無效空間比例越大的問題，可充分利用沉積室空間，每增加一層，就可提高一倍的產(chǎn)量，卻不增加無效空間，使有效空間隨層數(shù)的增加而增加；由于充分利用了沉積室的空間，成倍的提高了產(chǎn)量，可最大限度的減少能源和原料的浪費(fèi)，因而使加工成本大幅度的降低，立式雙層沉積設(shè)備加工產(chǎn)品的成本，比同直徑單層鐘罩式設(shè)備加工產(chǎn)品成本低30％；由于采用立式多層沉積室的設(shè)計(jì)，使設(shè)備制造成本成倍下降，1臺立式雙層沉積室的設(shè)備，是2臺同直徑單層鐘罩式設(shè)備的產(chǎn)量，而設(shè)備制造成本，僅相當(dāng)于1.5臺同直徑鐘罩式設(shè)備；所以本實(shí)用新型的裝置與現(xiàn)有技術(shù)比具有產(chǎn)量大、占地面積小、設(shè)備空間利用率高、單件加工成本低，結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、自動(dòng)化程度高，便于大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。


圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中1.上封頭；2.上層上極板；3.法蘭；4.上層下極板；5.下層上極板；6.觀察窗；7.下層下極板；8.升降機(jī)；9.蝶閥；10.羅茨泵；11.機(jī)械泵；12.升降桿；13.主機(jī)柜；14.沉積室中段；15.下封頭；16.柜門。
上封頭1與安裝在主機(jī)柜13殼體上的升降機(jī)8連接，沉積室中段14與安裝在主機(jī)柜13殼體上的升降桿12連接，這樣可以通過升降機(jī)8和升降桿12把上封頭蓋和沉積室中段14開啟和關(guān)閉。
沉積室通過其上端的通管接頭及流量計(jì)與氣瓶連接，氣瓶內(nèi)裝有用于沉積的陶瓷氣體。沉積室的上極板的極端通過導(dǎo)線和隔直流電容與高頻電源連接。下極板的極端通過導(dǎo)線與高頻電源的地線共接對地。此為現(xiàn)有技術(shù)，不在贅述。
此主機(jī)結(jié)構(gòu)可與相應(yīng)的電腦控制系統(tǒng)連接，其真空、溫度、工作氣體的流量、射頻電源的功率等價(jià)格9參數(shù)均由電腦自動(dòng)控制。沉積室中段14的直徑在1000毫米-5000毫米之間，其高度在1000毫米-5000毫米之間，工作空間大，能較好的解決立式鐘罩式沉積裝置加工面積小的問題。法蘭3的直徑也在1000毫米-5000毫米之間，這樣采用同直徑法蘭密封的立式多層設(shè)備，其加工量可達(dá)到原立式鐘罩式設(shè)備加工面積的1倍至數(shù)倍(每增加一層沉積室中段14即可增加1倍)，便于大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，同時(shí)降低設(shè)備加工成本和產(chǎn)品加工成本。
權(quán)利要求1.一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置，包括上封頭(1)、沉積室中段(14)、下封頭(15)，以及設(shè)置在主機(jī)柜(13)內(nèi)的升降機(jī)(8)、羅茨泵(10)、機(jī)械泵(11)，其特征是在所述的主機(jī)柜(13)的上部設(shè)置有沉積室中段(14)，沉積室中段(14)帶有上封頭(1)和下封頭(15)，在上封頭(1)和下封頭(15)內(nèi)部分別設(shè)有上層上極板(2)和下層下極板(7)，在沉積室中段(14)內(nèi)部分別與上層上極板(2)和下層下極板(7)對應(yīng)設(shè)有上層下極板(4)和下層上極板(5)，在沉積室中段(14)上設(shè)有觀察窗(6)，所述的下封頭(15)的底部通過蝶閥(9)和管道連接有羅茨泵(10)和機(jī)械泵(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置，其特征是所述的上封頭(1)與安裝在主機(jī)柜(13)殼體上的升降機(jī)(8)連接，所述的沉積室中段(14)與安裝在主機(jī)柜(13)殼體上的升降桿(12)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置，其特征是所述的主機(jī)柜(13)的上部設(shè)置有至少一層沉積室中段(14)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置，其特征是所述的沉積室中段(14)內(nèi)部至少設(shè)有一對上下極板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置，其特征是所述的沉積室中段(14)上至少設(shè)有一個(gè)觀察窗(6)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置，其特征是所述的沉積室中段(14)通過法蘭(3)與上封頭(1)和下封頭(15)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置，其特征是所述的沉積室中段(14)，其直徑為1000毫米-5000毫米之間，其高度為1000毫米-5000毫米之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置，其特征是所述的法蘭(3)的直徑為1000毫米-5000毫米之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種立式多層陶瓷薄膜沉積裝置，其特征是所述的主機(jī)柜(13)設(shè)有柜門(16)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了大型數(shù)控立式多層陶瓷薄膜沉積裝置，主要由上封頭、沉積室中段、下封頭，以及設(shè)置在主機(jī)柜內(nèi)的升降機(jī)、羅茨泵、機(jī)械泵，其中在主機(jī)柜的上部設(shè)置有沉積室中段，沉積室中段帶有上封頭和下封頭，在上封頭和下封頭內(nèi)部分別設(shè)有上層上極板和下層下極板，在沉積室中段內(nèi)部分別與上層上極板和下層下極板對應(yīng)設(shè)有上層下極板和下層上極板，在沉積室中段上設(shè)有觀察窗。下封頭的底部通過蝶閥和管道連接有羅茨泵和機(jī)械泵。立式多層沉積室的設(shè)計(jì)，能較好的解決立式鐘罩沉積裝置加工面積小的問題，采用同直徑法蘭密封的立式多層設(shè)備，其加工量可達(dá)到原立式鐘罩設(shè)備加工面積的1倍至數(shù)倍，便于大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。
文檔編號C23C16/30GK2536599SQ0224021
公開日2003年2月19日 申請日期2002年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月11日
發(fā)明者呂建治, 朱紀(jì)伍 申請人:呂建治, 朱紀(jì)伍