專利名稱：工件的機(jī)加工設(shè)備及加工方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對其上安置有多個磁頭的待拋光工件機(jī)加工的拋光設(shè)備及加工方法，尤其涉及用于在加工期間修正工件彎曲的設(shè)備和方法。
用于磁盤機(jī)或類似裝置中的薄膜磁頭具有通過加工桿狀陶瓷(以后稱之為陶瓷條)而制成的零件，在磁頭上，多個由磁性薄膜或類似物制成的元件形成感應(yīng)型磁轉(zhuǎn)變元件、磁阻(以后稱為MRS)元件或類似元件，這些元件在表面上成一行排列。通常，在薄膜磁頭的零件成批制作過程中，其上制作有多個元件部份的陶磁條被拋光，并實(shí)施將每個元件的喉部高度或MR高度加工到一定值的工藝。一般說來，在磁盤機(jī)中，為了穩(wěn)定磁頭的輸出特性，必須將磁頭的磁極部份與記錄介質(zhì)表面間的距離保持在一誤差極小的恒定值。喉部或類似物的高度值被用作確定此距離的一重要參數(shù)。
在下面的介紹中，喉部高度就是指在那種磁頭芯部份中用于記錄/復(fù)制磁信號的磁極端部的長度(高度)，該磁頭芯部即是兩個磁極以一細(xì)小的間隙彼此面對著的部位。MR高度則是指從在面對介質(zhì)的側(cè)面上的MR元件的端部到其另一相對端間的長度(高度)。為了能夠進(jìn)行合適地信號的記錄/復(fù)制，喉部高度，MR高度及類似的高度值必須適合地選取。為了獲得預(yù)定值，需要高精密度的拋光(拋磨polishing)加工。
之后，在一工序中，陶瓷條被切成單個元件部份，每個元件部份構(gòu)成用于磁盤機(jī)的一磁頭的一部份。在磁頭用于磁盤機(jī)的情況下，該陶瓷部份成為一個滑件，在由該盤旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的充氣壓力影響下，該滑件可被從磁盤上抬高。此元件部份成為進(jìn)行記錄和/或復(fù)制磁盤磁信號的磁頭芯。
但是，一般說來，由于在從陶瓷基材制作元件部份或切割作業(yè)中所產(chǎn)生的應(yīng)力使上述的陶瓷條有張緊、變形或彎曲。因此僅靠將陶瓷條固定并在其上進(jìn)行拋光作業(yè)難以獲得高機(jī)加工精度。為此，例如在US 5620356或類似專利中已公開的那樣，已提供了專門的以高精度拋光陶瓷條形式的磁頭的拋光設(shè)備。而且，本受讓人也提出了一些方法及設(shè)備(如日本專利申請11-162799或類似申請)。
下面介紹一種用于上述陶瓷條的現(xiàn)有拋光方法。
首先，用粘結(jié)劑或類似物將與陶瓷條待拋光表面相對的表面固定于夾具上，然后通過夾具將陶瓷條待拋光面壓靠在拋光座的拋光面上來對待拋光的表面進(jìn)行拋光。夾具有一種梁結(jié)構(gòu)。載荷從夾具外施加到夾具的幾個(3-7)特定位置上，由此會使整個夾具變形。此外，該梁結(jié)構(gòu)允許固定于陶瓷條的部份因上述載荷的平衡調(diào)整而經(jīng)受復(fù)雜的變形，而陶瓷條同時會隨該固定部份彎曲，由此而使陶瓷條本身具有的彎曲或類似情況被校正。
在拋光作業(yè)中，在固定于夾具上的陶瓷條上的預(yù)定允許部份上，如喉部高度那樣的數(shù)值被用電學(xué)或光學(xué)方式來測量，由此而獲得測量值與目標(biāo)值間的差值，即根據(jù)測量獲得需要的拋光部份的拋光量。根據(jù)在預(yù)定獲得元件部份和其鄰近部份上所需要的拋光量調(diào)整在多個位置上的載荷，然后對通過夾具而變形的陶瓷條拋光。這些步驟一再被重復(fù)進(jìn)行，由此而使在此陶瓷條上形成的全部元件的喉部高度或類似高度均進(jìn)入預(yù)定范圍。
銷或類似物可以插入其內(nèi)的開口部分被制作在夾具的梁部上。在上述過程中加于夾具的載荷由如一低摩擦缸那樣的致動器經(jīng)傳遞件傳送到此夾具的開口部分中插入的各銷上。對夾具的載荷的調(diào)整是通過調(diào)整來自致動器的載荷，亦即是通過對致動器驅(qū)動量的調(diào)整來實(shí)現(xiàn)的。此外，由本申請人申請的日本專利申請10-178949公開了一種用于使陶瓷條有效變形或使載荷分布于陶瓷條上的一夾具專門實(shí)例。
根據(jù)目前磁盤機(jī)或類似物的記錄密度，通過采用上述夾具、用磁頭的機(jī)加工方法，可以使如喉部高度那樣的數(shù)值在某種程度上在允許范圍內(nèi)。但是，已加快發(fā)展了高記錄密度，而且，當(dāng)前喉部高度的高精度或元件的微型化的趨勢已很明顯。難以在陶瓷條全長范圍內(nèi)使喉部高度那樣的數(shù)值均在允許范圍之內(nèi)。
在如喉部高度那樣的數(shù)值的允許范圍變窄的情況中，例如存在著這樣一種解決途徑即增加引起夾具變形的載荷施加位置。但是，這會導(dǎo)致實(shí)際施加載荷的致動器或載荷的傳遞部份(施加位置)的數(shù)量。如果說致動器或類似物使用于傳統(tǒng)裝置中是需要的話，由于從拋光設(shè)備結(jié)構(gòu)方面看來，要大大增加安裝致動器或類似物所需的空間，而使此方案難以具體實(shí)施。而且，在夾具根據(jù)元件微型化而本身被微型化的情況下，可能會出現(xiàn)的問題是難以安置用來將載荷施加于需要載荷的施加位置上的、所需數(shù)量的致動器或類似物，如此等等。
此外，在傳統(tǒng)的拋光方法中，由于來自拋光面的排斥力的影響存在于載荷施加點(diǎn)和梁之間或存在于施加點(diǎn)與施加點(diǎn)之間，不足以使陶瓷條足夠地變形。因此，在一些傳統(tǒng)情況中，根據(jù)如喉部高度那樣的數(shù)值允許范圍，可不被變形部份的相應(yīng)數(shù)值不處于該允許范圍內(nèi)。為這一問題而增加載荷施加點(diǎn)數(shù)量和致動器數(shù)量的這一方案已被試行。但是由于上述問題而在允許范圍內(nèi)有所限制。
而且，此傳統(tǒng)設(shè)備除了用于施加主壓力使陶瓷條壓靠在拋光面上并在陶瓷條縱長方向兩端部調(diào)整載荷平衡的致動器外，還有3-7個用于使夾具變形的致動器。但是，在實(shí)際上，為了將保持器部份彎到一必要值，該3-7個致動器必須有大的行程，此有大行程及在結(jié)構(gòu)上占據(jù)大空間的致動器也與傳統(tǒng)中的情況一樣總是需要的。而且，為了能夠提供復(fù)雜的彎曲，與致動器相應(yīng)的銷可插入其內(nèi)的夾具開口部分要增多，以便可相對開口部分提供沿垂直方向、橫向和回轉(zhuǎn)方向傳遞力矩的形式。此外，還需實(shí)現(xiàn)對每個致動器進(jìn)行復(fù)雜的驅(qū)動控制。因此傳統(tǒng)的設(shè)備不適合用于將預(yù)定的變形量傳遞給陶瓷條的每個約束部份。
鑒于上述觀點(diǎn)，本發(fā)明的目的是提供一種設(shè)備，此設(shè)備通過采用與傳統(tǒng)設(shè)備相比有小行程的致動器來將復(fù)雜的變形或類似物容易地傳遞給待加工(拋光)的如陶瓷條的工件，從而可以將一壓下的力傳遞到特定部位，由此而通過待加工(拋光)件的加工(拋光)過程減少該待加工(拋光)件的加工(拋光)量的不均勻程度。
為了實(shí)現(xiàn)此目的及其它目的，本發(fā)明提供一種加工沿一個方向延伸的待加物品的加工設(shè)備，此設(shè)備具有一具有一加工面、可被轉(zhuǎn)動的加工座，一安放置得相對加工面可動的加工頭安裝架；及一由加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于，加工頭具有用于夾持待加工件的一夾具，一可與夾具一起相對加工面上、下運(yùn)動的上、下運(yùn)動部份，以及-由上下運(yùn)動部份支承的修正機(jī)構(gòu)，此修正機(jī)構(gòu)具有固定于該上、下運(yùn)動部份的一基座，多個桿件，每個桿件在一端上有一鎖，一用于以可轉(zhuǎn)動方式支承那些桿件的軸，此軸被固定于該基座，以及多個被與那些桿件的另一端連接的修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)，這些機(jī)構(gòu)用于使那些桿件相對該軸樞軸轉(zhuǎn)動，并由此而使銷樞軸轉(zhuǎn)動，該夾具有一固定于上、下運(yùn)動部份的本體部份，一沿一個方向延伸的、固定于本體部份、用于夾持待加工件的夾持部份，及多個在夾持部份上的沿該方向平行地安置的載荷接受部份，載荷接受部份接納那些銷并受每個銷的樞軸運(yùn)動驅(qū)動，由此而使夾持部份內(nèi)與載荷接受部份相應(yīng)的部份與待加工件一起被變形。
根據(jù)本發(fā)明，那些銷的頂端最好大體上呈球狀。最好使相鄰桿件彼此的長度均不同，與桿件的長度相應(yīng)地使多個修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)與該軸之間的距離也彼此不同。最好此軸在銷附近的位置處支承桿件，此修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)最好是REC柱塞。
此外，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于加工沿一方向延伸的待加工件的加工設(shè)備，此設(shè)備包括一可被轉(zhuǎn)動的有加工面的加工座，一安置得可相對加工面運(yùn)動的加工頭安裝架，及由加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于，加工頭有一用于夾持待加工件的夾具，一與夾具一起可相對加工面上下運(yùn)動的上下運(yùn)部份，及一由上下運(yùn)動部份支承的修正機(jī)構(gòu)，此修正機(jī)構(gòu)包括一固定于上下運(yùn)動部份上的基座，多個修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)中的每個均在一端處固定于該基座，與該修正機(jī)構(gòu)以同軸方式相接的一軸，及從該軸突伸出的各銷，該夾具包括一固定于該上下運(yùn)動部份的本體部份，一沿一個方向延伸的，固定于該本體部份的、用于夾持待加工件的夾持部份，多個在夾持部份上沿該方向平行安置的載荷接受部份，載荷接受部份容納銷并受每個銷運(yùn)動的驅(qū)動，由此而使夾持部份中相應(yīng)于載荷接受部份的部份與待加工件一起被變形。
此外，為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供一種用來加工沿一方向延伸的待加工件的加工設(shè)備，此設(shè)備具有一可被轉(zhuǎn)動的帶一加工面的加工座，一安置得可相對加工面運(yùn)動的加工頭安裝架，及一由加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于，加工頭包括一用于夾持待加工件的夾具，一與夾具一起可相對加工面上、下運(yùn)動的上下運(yùn)動部份，及由該上下運(yùn)動部份支承的一修正機(jī)構(gòu)，此修正機(jī)構(gòu)有一固定于該上下運(yùn)動部份上的基座，多個固定于該基座上的大體上為架狀的元件，多個夾持在該大體上為架狀的元件的中心線上的修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)，以及多個與修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動方向平行延伸的軸，軸的第一端與大體上為架狀的元件連接，軸的另一端與銷相連，此夾具包括一固定于該上下運(yùn)動部份的本體部份，一沿一個方向延伸的、固定于該本體部份上的，用于夾持待加工件的夾持部份，以及在夾持部份上沿該方向平行安置的多個載荷接受部份，載荷接受部份接納這些銷及受每一個銷的運(yùn)動驅(qū)動，由此而使此夾持部份內(nèi)相應(yīng)于載荷接受部份的部份與待加工件一起變形。
根據(jù)本發(fā)明，那些銷的頂端最好大體上呈球狀，相鄰軸最好具有彼此不同的長度，與軸長度相應(yīng)的修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)與銷間的距離彼此各不相同。根據(jù)本發(fā)明，那些軸最好與修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)同軸安置，修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)則是壓電元件致動器。
此外，為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供一種用于加工一種沿一個方向延伸的待加工件的加工設(shè)備，此設(shè)備具有一可被轉(zhuǎn)動的、帶一加工面的加工座，一安置得可相對該加工面運(yùn)動的加工頭安裝架，及一由該加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于，該加工頭具有用于夾持待加工件的一夾具，一與夾具一起可相對該加工面上下運(yùn)動的上下運(yùn)動部份，及一由該上下運(yùn)動部份支承的修正機(jī)構(gòu)，此修正機(jī)構(gòu)包括多個軸，在軸端部配置銷并有與該銷不同的凸部，沿一直線安置于該凸部兩側(cè)并夾緊此凸部的一對修正驅(qū)動件，及一固定于該上下運(yùn)動部份的基座，基座有用于接納該對修正驅(qū)動件及凸部的槽部，此對修正驅(qū)動件沿直線驅(qū)動凸部，從而沿與此直線平行的方向驅(qū)動此軸和銷，該夾具具有一固定于該上、下運(yùn)動部份的本體部份，一沿一個方向延伸的、固定于本體部份的、用于夾持待加工件的夾持部份，以及多個在該夾持部份上、沿該方向平行地安置的多個載荷接受部份，載荷接受部份接受那些銷并受每個銷的運(yùn)動驅(qū)動，由此而使在夾持部份內(nèi)相應(yīng)于載荷接受部份的部份與待加工件一起被變形。
根據(jù)本發(fā)明，那些銷的頂端最好大體上為球狀，相鄰?fù)共康耐怀隽孔詈帽舜瞬煌總€均容納在槽部中的修正驅(qū)動件的安置及該槽部的尺寸根據(jù)那些凸部的尺寸來確定。根據(jù)本發(fā)明，該對修正驅(qū)動件最好有一對由壓力介質(zhì)驅(qū)動的活塞，該基座最好有一對與該對活塞中每一個的后部連通的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口，此對相鄰的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口被以與該基座上的一預(yù)定表面有不同的距離設(shè)置。
根據(jù)本發(fā)明，最好是該對修正驅(qū)動件中的一個有一個由壓力介質(zhì)驅(qū)動的活塞，而另一個是由彈性件制成，該基座則有一個與該活塞后部連通的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口。此外，該對相鄰壓力介質(zhì)導(dǎo)入口最好被與該基座的一預(yù)定表面有不同的距離設(shè)置，壓力介質(zhì)最好為壓縮空氣。
此外，為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供一種用來加工一種沿一方向延伸的待加工件的加工設(shè)備，此設(shè)備具有一可被轉(zhuǎn)動的、有加工面的加工座，一安置得可相對加工面運(yùn)動的加工頭安裝架，及一由該加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于，該加工頭有一個用于夾持待加工件的夾具，一與該夾具一起可相對加工面上下運(yùn)動的上下運(yùn)動部份，及由該上下運(yùn)動部份支承的一修正機(jī)構(gòu)，該修正機(jī)構(gòu)有一軸，多個具有線性部份、在其端部配置銷、并在與銷不同的部份被該軸以可轉(zhuǎn)動方式支承的桿件，桿件的在端部處與該線性部份相連的被驅(qū)動部份有凸部，一對修正驅(qū)動件以直線方式安置在該凸部兩側(cè)并夾緊凸部，以及一有用于接納該對修正驅(qū)動件及凸部并固定于該上下運(yùn)動部份上的基座，該對修正驅(qū)動件以線性方式驅(qū)動并由此而驅(qū)動被其夾緊的凸部，從而桿件和銷樞軸地圍繞該軸，該夾具有一固定于該上下運(yùn)動部份上的本體部份，一沿一個方向延伸的、固定于該本體部份上的、用于夾持待加工件的夾持部份，以及多個沿一方向平行地安置于夾持部份上的載荷接受部份，此載荷接受部份接納那些銷并受各個銷的樞軸轉(zhuǎn)動的驅(qū)動，由此而使夾持部份中相應(yīng)于此載荷接受部份的部份與待加工件一起被變形。
根據(jù)本發(fā)明，各個銷的頂端最好是大體呈球狀，凸部突出的尺寸最好各不相同，每個均安置在槽部中的修正驅(qū)動件的安排及該槽部的尺寸最好均根據(jù)該凸部的尺寸來確定。最好該對修正驅(qū)動件有一對由壓力介質(zhì)驅(qū)動的活塞，該基座有一對與一對活塞中每一個的后部連通的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口。該對相鄰的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口最好被安置得離該基座預(yù)定表面處有彼此不同的距離。
最好一對修正驅(qū)動件之一有一由壓力介質(zhì)驅(qū)動的活塞，另外一個由彈性件制成，該基座有與該活塞后部連通的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口。最好該對相鄰的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口被安置得距該基座預(yù)定表面有不同的距離。壓力介質(zhì)最好是壓縮空氣，活塞的頂端最好大體上呈球狀。
此外，根據(jù)本發(fā)明，最好該夾具有一個與待加工件上形成的電元件連接的電極，修正機(jī)構(gòu)則有一可與該電極接觸的探測組件。根據(jù)本發(fā)明還推薦該加工頭有一個平衡致動器，該夾具在中央部份和沿該本體部份縱長方向的兩端部份上有通孔，夾具由修正機(jī)構(gòu)用一穿過在中央部份處的通孔的固定銷支承，而且此夾具由該平衡致動器經(jīng)在兩端部的定位銷被壓向該加工面。
根據(jù)本發(fā)明，還推薦該加工頭由支承在加工頭安裝架上的一調(diào)整環(huán)支承并與加工面接觸，而且由加工頭安裝架支承的加工頭面對該加工面的角度由該調(diào)整環(huán)確定。也推薦將加工頭以可轉(zhuǎn)動方式安裝在用于安裝此加工頭的軌道上。此外，本發(fā)明的此設(shè)備最好還具有一加工頭擺動機(jī)構(gòu)。在此設(shè)備中，加工頭擺動機(jī)構(gòu)在一預(yù)定角度范圍內(nèi)使該加工頭作往復(fù)轉(zhuǎn)動。更加推薦該待加工件是一種設(shè)置有多個磁頭的桿狀陶瓷。
此外，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種方法，此方法通過將待加工件夾持于一夾具并經(jīng)夾具將待加工件壓向被回轉(zhuǎn)驅(qū)動的加工座上的加工面來加工一沿一個方向延伸的待加工件，此方法具有下述步驟當(dāng)該待加工件壓靠在加工面上時，測量待加工件多個位置處的加工量；根據(jù)被測得的加工量由多個修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)使其端部處有銷的多個桿件與那些銷一起轉(zhuǎn)動，來通過其頂端被置于夾具內(nèi)的銷的轉(zhuǎn)動將一預(yù)定變形傳遞給與該夾具在一起的待加工件。
此外，為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供一種方法，此方法通過將沿一個方向延伸的待加工件夾持于一夾具，然后通過夾具將待加工件朝被轉(zhuǎn)動的一加工座的加工面壓下來加工該待加工件，此方法具有步驟當(dāng)該待加工件被壓靠在加工面上時，測量待加工件多個位置處的加工量；根據(jù)該測得的加工量驅(qū)動與多個修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)同軸安置且有銷的多個軸，來通過沿其頂端安置于該夾具內(nèi)的各銷軸線進(jìn)行驅(qū)動而將一預(yù)定的變形傳遞給該待加工件和夾具。
此外，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種方法，此方法用于將一沿一個方向延伸的待加工件夾持于一夾具上，然后通過夾具將待加工件朝制作在可被轉(zhuǎn)動的一加工座上的加工面壓下來加工該待加工件，此方法具有步驟在該待加工件壓靠在該加工面上時測量待加工件多個位置處的加工量，然后根據(jù)測得的加工量通過一對沿多條直線設(shè)置的修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)線性驅(qū)動多個有銷的軸，并通過沿其頂端均安置于該夾具內(nèi)的那些銷的直線驅(qū)動，將一預(yù)定量的變形傳遞給待加工件和夾具。


圖1是一總體正視圖，它展示本發(fā)明一實(shí)施例的磁頭拋光設(shè)備。
圖2是展示本發(fā)明該實(shí)施例磁頭拋光設(shè)備的總體俯視圖。
圖3是展示與圖1所示磁頭拋光設(shè)備中相似的一拋光頭的正視圖。
圖4是圖3所示拋光頭的俯視圖。
圖5是圖3所示拋光頭的側(cè)視圖。
圖6是圖3所示拋光頭的側(cè)面剖視圖。
圖7是展示適用于本發(fā)明拋光頭的一調(diào)整環(huán)的仰視圖。
圖8是展示本發(fā)明第一實(shí)施例修正機(jī)構(gòu)的俯視圖。
圖9是圖8所示修正機(jī)構(gòu)的正視圖。
圖10是圖8所示修正機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。
圖11是沿圖9所示修正機(jī)構(gòu)的11-11線剖切的示意性剖視圖。
圖12是用于本發(fā)明此實(shí)施例的待拋光件安裝夾具的正視圖。
圖13是本發(fā)明此實(shí)施例的與拋光量控制有關(guān)的框圖。
圖14是展示圖13中的測量和多路基片(mulliplex substrate)的細(xì)節(jié)的框圖。
圖15是展示圖13所示微形致動器驅(qū)動基片細(xì)節(jié)的圖。
圖16是本發(fā)明第二實(shí)施例拋光頭的側(cè)剖視圖。
圖17是本發(fā)明第二實(shí)施例修正機(jī)構(gòu)的俯視圖。
圖18是圖17所示修正機(jī)構(gòu)的正視圖。
圖19是沿圖18所示修正機(jī)構(gòu)的19-19線的示意性剖視圖。
圖20是本發(fā)明第三實(shí)施例拋光頭的一側(cè)剖視圖。
圖21是本發(fā)明第三實(shí)施例修正機(jī)構(gòu)的一俯視圖。
圖22是圖21所示修正機(jī)構(gòu)的正視圖。
圖23是沿圖22所示修正機(jī)構(gòu)的23-23線剖切的示意性剖視圖。
圖24是展示該修正機(jī)構(gòu)后表面的視圖，在此表面上以第三實(shí)施例中交錯方式安置著相鄰的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口。
圖25是沿圖24所示修正機(jī)構(gòu)的25-25線剖切的示意性剖視圖。
圖26是本發(fā)明第四實(shí)施例拋光頭的側(cè)剖視圖。
圖27是本發(fā)明第四實(shí)施例修正機(jī)構(gòu)的俯視圖。
圖28是圖27所示修正機(jī)構(gòu)的正視圖。
圖29是沿圖28所示修正機(jī)構(gòu)的線29-29剖切的示意性剖視圖。
圖30是展示修正機(jī)構(gòu)后表面的視圖，在該表面上以第四實(shí)施例中的交錯方式安置著相鄰的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口。
圖31是沿圖30所示修正機(jī)構(gòu)的31-31線剖切的示意性視圖。
描述最佳實(shí)施例(第一實(shí)施例)現(xiàn)在參照附圖介紹本發(fā)明第一實(shí)施例的加工設(shè)備，即一種磁頭拋光設(shè)備。圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例的磁頭拋光設(shè)備的總體正視圖。圖2是一俯視圖。現(xiàn)在參照圖1,2介紹該磁頭拋光設(shè)備總體結(jié)構(gòu)。此磁頭拋光設(shè)備配置一底座1。亦是加工座的拋光座2由底座1以在水平面內(nèi)可轉(zhuǎn)動的方式支承。而且拋光座2由配置在底座1內(nèi)的作為一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源的座驅(qū)動馬達(dá)4經(jīng)皮帶6轉(zhuǎn)動。
沿垂直方向彼此分開的一對導(dǎo)軌8由底座1上部支承著沿水平方向延伸。橫向運(yùn)動滑件10由該對導(dǎo)軌8引導(dǎo)著在水平方向滑動。作為加工頭安裝架的拋光頭安裝架12安裝在橫向運(yùn)動滑件10上，并在垂直方向被移動(被垂直驅(qū)動是為了調(diào)整高度)。橫向運(yùn)動滑件10例如可以通過使滑件10上的滾珠螺母與一平行于導(dǎo)軌8的滾珠絲桿連接并由一馬達(dá)使此滾珠絲桿轉(zhuǎn)動來實(shí)現(xiàn)其的驅(qū)動。此外，滑件10和拋光頭安裝架12可以進(jìn)行往復(fù)直線運(yùn)動。
如圖3所示，一回轉(zhuǎn)支承部份16通過拋光頭安裝架12內(nèi)的一環(huán)形軸承部份14以可轉(zhuǎn)動方式被支承著。作為加工頭的拋光頭20通過一為剛性件的連接件18安裝在旋轉(zhuǎn)支承部份16上。拋光頭20有一底板和一垂直支承板24，它們彼此平行地沿垂直方向固定在底板20上。如圖2,3所示，皮帶輪28固定于回轉(zhuǎn)支承部份16。用于使一皮帶輪30轉(zhuǎn)動的拋光頭擺動馬達(dá)32安裝在拋光頭安裝架12的外側(cè)。皮帶34環(huán)繞著皮帶輪28、30。馬達(dá)32、皮帶輪30、28和皮帶34起使拋光頭20在預(yù)定角度范圍內(nèi)往復(fù)回轉(zhuǎn)運(yùn)動(擺動)的擺動機(jī)構(gòu)的作用。
如圖所示，在本實(shí)施例中，一剛性件用作連接件18并可以將拋光頭20穩(wěn)定地沿基本上垂直的方向固定于拋光面2a。但是，在拋光步驟中難以確保拋光頭20相對拋光面2a的穩(wěn)定狀態(tài)的情況下，可以采用如彈簧、橡膠那樣的彈性件作該連接件，并增加使用調(diào)整環(huán)來穩(wěn)定拋光頭的狀態(tài)。
在這種情況下，調(diào)整環(huán)(耐摩墊)26被固定于拋光頭20的底板22的底表面上，并使之與是拋光座20的頂面的拋光面2a接觸。圖7就是展示此調(diào)整環(huán)的仰視圖。如圖7所示，例如調(diào)整墊26是通過嵌入鋁制環(huán)體36中的用耐磨陶瓷制作的圓柱體38制成的。圓柱體38的下端面突伸出環(huán)體36少許。圓柱體38的數(shù)量依據(jù)要置于調(diào)整環(huán)26上的拋光頭20的重量平衡來確定。在如圖7所示的調(diào)整環(huán)26的情況下，由于調(diào)整墊26與拋光座2接觸的圓弧部份40,42中的圓弧部份40經(jīng)受更多的拋光頭20之負(fù)荷，故其上的圓柱體38之?dāng)?shù)目也增多。
如圖3至6所示，一與拋光座2的下表面平行的可傾斜軸44被設(shè)置于拋光頭20之垂直支承板24的該部分間。一可相對拋光頭20傾斜的可傾斜部份46樞軸地環(huán)繞著可傾斜軸。
如圖5、6所示，一馬達(dá)安裝座部份48的下部被以可旋轉(zhuǎn)方式安裝在拋光頭20的垂直支承板24內(nèi)的一樞軸50上。一傾斜馬達(dá)52固定于馬達(dá)安裝座部份48的上部。滾珠絲桿54與馬達(dá)52的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸連接。滾珠螺母56與滾珠絲桿54嚙合。其另一端與可傾斜部份46連接的臂桿58的一端在樞軸60處與滾柱螺母56連接。由驅(qū)軸50至樞軸60的這一機(jī)構(gòu)構(gòu)成了用于使可傾斜部份46從垂直平面向拋光座2的拋光面2a傾斜預(yù)定角度的可傾斜部份驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
上下運(yùn)動部份64通過在可傾斜部份46內(nèi)的一滑動軸承(橫向滾子引導(dǎo)件)62被安裝得可相對可傾斜部份46上、下運(yùn)動。應(yīng)該指出由于上下運(yùn)動部份64的運(yùn)動與可傾斜部份一起實(shí)施，可傾斜部份46和上、下運(yùn)動部份64兩者始終保持相互平行的狀態(tài)。一背板68樞接在與可傾斜軸44垂直并與拋光座的下面平行的樞軸66上。
如圖3,5所示，平衡致動器70A,70B通過一托架72支承在可傾斜部份46的上部。這些平衡致動器70A,70B被用來控制施加于背板68的載荷及用來將背板68的一樞軸(沿縱長方向的中心部份)左右側(cè)向上抬起(用于拉延力)。
平衡致動器70A和70B在本實(shí)施例中是電磁的REC柱塞，它們由架殼74A和74B，安裝在架殼74A和743內(nèi)、構(gòu)成固定部份的線圈76A和76B，安裝在致動器70A和70B中央、構(gòu)成可動部份的磁體78A和78B，及與磁體78A和78B的中心安裝成一體的桿80A和80B構(gòu)成。上下運(yùn)動件82A和82B中的每個均有L形截面、且被連接在桿80A和80B下端，從而使它們可沿安裝在架殼74A和74B中的滑動軸承84A和84B上下運(yùn)動。上下運(yùn)動件82A和82B的下端兩側(cè)和背板68的左右側(cè)通過連桿88A和88B相互連接。在此應(yīng)指明磁體78A和78B的運(yùn)動方向與施加于背板68的力的方向是相互平行的。
在實(shí)踐拋光作業(yè)中，對待拋光件92的拋光面2a的主壓下載荷的調(diào)整是通過平衡致動器70A和70B進(jìn)行的。與此同時也對沿待拋光件92縱向施加的壓下載荷的粗略平衡進(jìn)行調(diào)整。具體地說，在本實(shí)施例中，一個主要是向上的牽引待拋光件92的力(牽引力)是由致動器70A和70B根據(jù)拋光量的大小及沿待拋光件92縱長方向被拋光的部份的變化來施加的。但是，也可根據(jù)每個部份所需的拋光量部分地施加壓下力(以此方向上的力將待加工件92壓靠在拋光面上)。
在拋光作業(yè)中通過夾具94對待拋光件92的彎曲或類似缺陷實(shí)際修正的修正機(jī)構(gòu)100被固定于背板68，修正機(jī)構(gòu)100本身由平衡致動器70A和70B驅(qū)動。在下面將詳細(xì)介紹修正機(jī)構(gòu)100。
圖8、9、10分別是本實(shí)施例修正機(jī)構(gòu)100的俯視圖、正視圖及側(cè)視圖。底座101通過螺釘或類似物被固定得大體上與背板68平行，從而使修正機(jī)構(gòu)100本身也固定在背板68上。托架103用夾持器102固定于基座101的上部。托架103的兩側(cè)面被安置得大體上平行于背板68。板104和105被平行地固定在托架103的兩側(cè)面，托架103被夾在此兩平板之間，從而使有多個修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)的修正致動器106被夾持在預(yù)定位置上。
圖11是展示修正機(jī)構(gòu)100的驅(qū)動部份結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。如圖11所示，在修正機(jī)構(gòu)100驅(qū)動部份上的各個修正致動器106中的每個均與一沿大體上垂直于該驅(qū)動方向延伸的桿件113的一端用一接頭118及一銷117相連。此外，桿件113還通過一軸承112由固定于底座101的一軸111以可轉(zhuǎn)動方式支承著，并可在修正致動器106驅(qū)動下繞軸111轉(zhuǎn)動。桿件113在其與驅(qū)動部份連接的另一端配置一銷113a，以便可使之環(huán)繞軸111轉(zhuǎn)動。
在本實(shí)施例中，軸111被配置于支承桿件113的銷113a的附近，由此可使從修正致動器106處獲得的驅(qū)動力因杠桿原理而被放大及可以實(shí)現(xiàn)對銷113a的精細(xì)控制。銷113a的頂端被加工成球狀，并且沿著大體上垂直于此致動器驅(qū)動方向的一方向(大體上沿拋光面2a的垂直方向)由此修正致動器106驅(qū)動。
順便提一下，由于相鄰銷113a間的間隔小于本實(shí)施例中用的修正致動器106的尺寸(在此情況中為直徑)，簡單地將修正致動器106彼此平行地排列是不可能的。因此，如圖11所示，在每種情況下的桿件113的長度均被改變，從而使修正致動器106能以交錯方式排列而提供修正致動器106的夾持空間。在此情況下，各銷113a頂端的驅(qū)動量由于各桿件113長度的差別而各不相同。但是，根據(jù)本實(shí)施例，修正致動器106各自的驅(qū)動行程被限定于一預(yù)定范圍，而且與此同時，用于測量銷113a的實(shí)際驅(qū)動量的計算數(shù)值也彼此不同，由此而使各頂端的驅(qū)動量維持恒定。
如圖6或9所示，沿與背板68相反方向突出的一固定銷107及一對定位銷107a也可以在底座101下部的縱長方向的中央部份及兩端部彼此平行地被固定。具有由多個電阻測量端128構(gòu)成的探測組件109和110或類似物的托架108用該對定位銷對107a來固定。用于夾持待拋光件92的夾具94被夾固得使托架108被用固定銷107和定位銷107a壓緊在底座101上。
如正視圖12所示，例如夾具94可以制成一體的架狀，它具有沿一個方向延伸的本體部份131，一大體上有與本體部份131同樣長度、安置得與本體部份131平行的夾持部份132，以及用于在沿縱長方向在兩端部處連接夾持部份132及本體部份131的連接部份133和134。在本體部份131內(nèi)設(shè)置可穿過定位銷107a及固定銷107的孔120a及120，本體部份被固定于底座101。在夾持部份132中，沿縱長方向在該架內(nèi)部安置多個載荷接受部份145，夾持部份132將待拋光件92夾持于該架的外部。
在每個載荷接受部份145的中央部份處制作一載荷接受孔146。在夾具94固定于底板101時，銷113a頂端的球形部份就插入載荷接受孔146中。隨著修正致動器106的驅(qū)動，銷113a的頂端部份就壓擠載荷接受孔的周壁，從而將載荷接受部份145向下或向上驅(qū)動。隨著載荷接受部份145的運(yùn)動，夾持部份132被局部地變形，而與此同時也使待拋光的該部份92也局部地變形。
順便提一下，根據(jù)桿件113的環(huán)繞軸11的圓周運(yùn)動的一個圓周軌跡，銷113a的頂端部份不作上下線性移動，但上下運(yùn)動。為此而在本實(shí)施例中將頂端部份制成球狀而使此頂端部份可以滑動到載荷接受孔146的周邊部份，以便使載荷接受部份145可相對此頂端部份平緩地滑動。
在被固定于夾持部份本體132中的待拋光件92中，以薄磁性膜型式制成的數(shù)個磁頭的元件部份沿延長的矩形陶瓷條(將被分成用于薄膜磁頭的滑件的元件)排列成一條直線。這些元件部份的磁性薄膜型式被安排在此陶瓷條的一縱向側(cè)表面。因此，陶瓷條的底面被拋光，從而使作在上述縱長側(cè)面上的元件部份的喉部高度和MR高度可被減少。
如上所述，在待拋光件92中有應(yīng)力、變形或類似情況存在。當(dāng)待拋光件92被拋光時，需要在應(yīng)力或類似物被修正后再拋光它，在本實(shí)施例中，在沿待拋光件92縱長方向的每個位置上需要的彎曲變形量，被通過根據(jù)所需的量上下驅(qū)動在側(cè)面的縱向夾具94上形成的每個載荷接受部分來修正。
因此，在此拋光作業(yè)時，需要確定那些載荷接受位置145的需要驅(qū)動量，亦即是要確定待拋光件92的彎曲變形量。下面介紹拋光作業(yè)期間確定需要的變形量并根據(jù)確定的量驅(qū)動修正致動器106的具體實(shí)例。在本實(shí)施例中，除了那些元件外，在陶瓷條的縱向側(cè)表面上還配置附加電極。附加電極根據(jù)該陶瓷條的拋光作業(yè)減少陶瓷條的尺寸，并增大電阻值。在本發(fā)明的此實(shí)施例中，實(shí)施根據(jù)所謂的閉環(huán)控制的拋光作業(yè)來控制在待拋光件92中的拋光量。在此閉環(huán)控制的拋光作業(yè)中，監(jiān)測附加電極的阻值變化并在臨控期間確定拋光量，由此而根據(jù)獲得的拋光量來確定另外需要的變形量。
正是由于這一原因，一些通過導(dǎo)線接合法與那些附加電極進(jìn)行電連接的電極被事先制作在側(cè)面的縱向夾具94的面向托架108一側(cè)的表面上。由彈簧或類似物推壓的測量銷128被嵌入托架108上的探測組件109和110。當(dāng)側(cè)面的縱向夾具94被固定于底座101時，上述的測量銷128及電極就相互接觸。此外，測量銷128還被連接于未示出的電阻值測量機(jī)構(gòu)，側(cè)面的縱向夾具94還被固定于基座101，由此而使得能夠測量附加電極的電阻值。
下面介紹致動器106的專門的電阻值測量機(jī)構(gòu)和控制機(jī)構(gòu)。圖13是用于根據(jù)測量的附加電極的電阻值驅(qū)動修正致動器1 06的控制框圖，此圖包括上述的測量機(jī)構(gòu)和控制機(jī)構(gòu)。圖14是一測量和多路基片220的詳細(xì)框圖。圖15是此致動器驅(qū)動基片的詳細(xì)框圖。順便說一下，在本實(shí)施例中，由于電阻值是用一四端法測量的，多個測量銷128與一個附加電極201接觸。
電壓是由附加電極201經(jīng)測量銷128用測量和多路基片220獲得的，此電壓被根據(jù)在公知的四端測量中用的計算轉(zhuǎn)換為電阻值。此外，這些值被轉(zhuǎn)換和多路化作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)并輸入微處理器210的輸入/輸出端211。之后，利用輸入微處理器210的這些數(shù)據(jù)計算出待拋光件92的拋光量并將這些拋光量顯示給操作器。
下面結(jié)合圖13詳細(xì)地介紹從電阻值的測量到數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)輸出的上面提及的這一過程。在測量和多路基片220中，從恒電流電源221到多個測量銷128的電流供給，在這些銷間的電壓測量，及在計算部份223中根據(jù)一修正電阻222的值與該測量值之比較的數(shù)字計算被連續(xù)進(jìn)行，以便獲得該附加電極的電阻值。所獲得的值通過一A/D轉(zhuǎn)換器224轉(zhuǎn)換成數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。
在待拋光表面92a上被測量附加電極處所需拋光量及其附近處的需拋光量被形成和得到。接下來，為了以此需要的量進(jìn)行拋光作業(yè)，每個負(fù)載部分145所需的驅(qū)動量被確定并作為計算機(jī)210內(nèi)的驅(qū)動量數(shù)據(jù)。該驅(qū)動量數(shù)據(jù)通過輸入端211從計算機(jī)210輸入一致動器驅(qū)動基片。
在致動器驅(qū)動基片230中，那些數(shù)據(jù)被轉(zhuǎn)換成控制信號。驅(qū)動電流從已接受該控制信號的一驅(qū)動電流輸出機(jī)構(gòu)232輸出到每個修正致動器106。根據(jù)該輸出，每個修正致動器106通過驅(qū)動側(cè)面的縱向夾具94的載荷接受部份145精細(xì)地調(diào)整對待拋光的工件92的給定變形量，由此而精細(xì)地調(diào)整相對拋光面2a的、待拋光件92沿縱長方向的每個位置上的拋光量的載荷平衡。
如上所述，修正致動器106被以閉環(huán)方式控制，由此而使待拋光件在監(jiān)控拋光量的同時可被拋光，從而可適應(yīng)拋光量不均勻性允許范圍極窄的情況，順便提一下，也可以從實(shí)際元件的阻值，例如從MR值而不用該附加電極獲得該拋光量。
下面介紹給合本發(fā)明該實(shí)施例的實(shí)施設(shè)備及拋光方法的運(yùn)作。首先，在圖1和2所示的拋光頭20的一個位置是在拋光座2之外。側(cè)面的縱向夾具94夾持著其上安置著薄膜磁頭用的多個元件的待拋光件92，且夾具94被用固定銷107及定位銷107a固定于基座101。與此同時，配置于側(cè)面的縱向夾具94側(cè)表面94a上的附加電極和電極已被用導(dǎo)線連接，而且測量銷128已與上述的電極接觸。
每個桿件113的銷113a的頂端部份均已插入夾具94的載荷接受孔146。之后，背板68相對拋光頭20的傾斜角在初始階段被置于零(在用調(diào)整環(huán)的情況下，是處于相對調(diào)整環(huán)26底面垂直的位置中，也就是處于垂直于拋光座2的垂直狀態(tài))。
根據(jù)待加工件結(jié)構(gòu)，例如，在制作在待拋光件上的元件或類似物為了獲得預(yù)定喉部高度而需極大拋光量的情況下，有許多時候在進(jìn)行上述安裝作業(yè)前，要先用別的設(shè)備進(jìn)行粗拋光。在本實(shí)施例中的這種情況下，在待拋光件92被夾持在側(cè)面的縱向夾具94內(nèi)的條件下不進(jìn)行那種粗拋光，粗拋光是在待拋光件92被固定于另外的未示出的夾具的情況下進(jìn)行的。當(dāng)然，也可以用此側(cè)面的縱向夾具94來進(jìn)行粗拋光。在完成粗拋光后，將待拋光件92從該另外的夾具上卸下，然后再將其固定于側(cè)面的縱向夾具94中。
在側(cè)面的縱向夾具94安裝及背板68傾斜角設(shè)定后，其上安裝有拋光頭20的拋光頭安裝架12就以直線方式沿導(dǎo)軌8運(yùn)動并被定位在可被轉(zhuǎn)動驅(qū)動的拋光座2上方。之后，為了將待拋光件92與在拋光座2頂面上的拋光面2a進(jìn)行接觸，將拋光頭安裝架12降低。在使用調(diào)整環(huán)26時，將拋光頭安裝架12降低到使在其下表面內(nèi)嵌入的多個圓柱體38的部份下表面與拋光座2的頂面的拋光面2a進(jìn)行接觸，并使這部份與拋光面2a在一穩(wěn)定壓力下保持接觸。
之后，驅(qū)動平衡致動器70A和70B，從而使施加于背板68左右側(cè)的各平行壓力被調(diào)整，使待拋光件92保持在大體上平行地壓靠著拋光面2a的狀態(tài)下。在本實(shí)施例中，主壓力是從平衡致動器70A及70B處得到的。但在此階段，該壓力到達(dá)這樣的一個程度，使背板68被支承得使左右平衡致動器70A和70B處于使待加工件92的兩端部均與拋光面2a接觸的狀態(tài)。順便說一下，此種調(diào)整可以通過目測或通過接觸傳感器或類似物來進(jìn)行。也可以在先粗略測量待拋光件92的彎曲程度，然后通過平衡致動器70A和70B調(diào)整壓力平衡來依據(jù)測量結(jié)果修整彎曲。
在此條件下，對待拋光件92進(jìn)行拋光。根據(jù)附加電極的電阻值測量的拋光值測量以所希望的時限進(jìn)行，以便在此拋光階段的一個希望的間隔中在每一個附加電極構(gòu)成位置處獲得需要的拋光量。每個修正致動器106，亦即是載荷接受部份145的驅(qū)動量被根據(jù)所得到的需要的拋光量來控制，以便可能得到所期望的喉部高度或類似數(shù)值。順便提一下，在待拋光件的彎曲很明顯、簡直就是一個弧狀及需要拋光量的分布很明顯的情況下，最好先用平衡致動器70A和70B進(jìn)行變形量的平衡的調(diào)整，然后再進(jìn)行修正致動器的驅(qū)動量調(diào)整。
順便提一下，在使用調(diào)整環(huán)的情況下，由于在拋光期間，如果調(diào)整環(huán)26的同一位置總與拋光座2接觸的話，會出現(xiàn)局部磨損。其上安裝有拋光頭20及調(diào)整環(huán)26的回轉(zhuǎn)支承部份16被拋光頭擺動馬達(dá)32在預(yù)定角度范圍內(nèi)往復(fù)擺轉(zhuǎn)地支承，而且拋光頭安裝架12在一預(yù)定范圍內(nèi)進(jìn)行往復(fù)直線運(yùn)動。因此在進(jìn)行拋光期間，拋光頭20及調(diào)整環(huán)26進(jìn)行往復(fù)直線運(yùn)動和往復(fù)轉(zhuǎn)動的組合運(yùn)動。
根據(jù)上述方法，作為待拋光件的陶瓷條的彎曲可以更細(xì)致地被修正和拋光，從而使喉部高度或類似值可以在陶瓷條總長范圍內(nèi)均在允許范圍內(nèi)。
順便提一下，在本實(shí)施例中使用具有用REC柱塞作為平衡致動器70A和70B的拋光頭。但是，平衡致動器不局限于用這一種或這方面的致動器，也可以使用各種低摩擦缸，例如可以使用電磁缸。在本實(shí)施例中，兩個致動器也被用來補(bǔ)償修正致動器106驅(qū)動行程的不足。但是為了更有效地補(bǔ)償修正驅(qū)動器的驅(qū)動行程，可以增加平衡致動器的數(shù)量。而且在每個修正致動器106自身的驅(qū)動行程足夠大的情況下，也可以免除平衡致動器和采用只有單獨(dú)的拉或壓擠致動器。
此外，在本實(shí)施例中用REC柱塞作為修正致動器。但是，本發(fā)明不只局限于此實(shí)施例，也可以采用氣動或電磁缸或類似物。在本實(shí)施例中軸111在銷113a附近處支承桿件113。但本發(fā)明不只局限于這實(shí)施例。也可以采用各種方案。例如，從修正致動器106和銷113a的驅(qū)動行程和驅(qū)動載荷方面來看，可以采用軸位于修正致動器106附近的方案。修正致動器106相對板104和105的安裝位置和桿件113的長度也不局限在此實(shí)施例中展示過的那些。最好將這些因素根據(jù)致動器106的大小及相鄰銷113a的間距來選擇。
本實(shí)施的閉環(huán)控制只是借助每個修正式微形致動器來實(shí)施的。但是，在某些可能的情況中，例如得到所需的拋光量超過微形致動器的驅(qū)動范圍。在得到的所需拋光量大于預(yù)定值的情況下，首先進(jìn)行僅靠在一端的平衡致動器70A和70B來修正待拋光件的彎曲和首先進(jìn)入減少需要的拋光量的子程序的運(yùn)作。在這之后可以采用以閉環(huán)運(yùn)行微形致動器的結(jié)構(gòu)。
在本實(shí)施例中，將待加工件92固定于側(cè)面的縱向夾具94或轉(zhuǎn)換夾具及將轉(zhuǎn)換夾具固定于側(cè)面的縱向夾具94均是用熱塑性粘結(jié)劑進(jìn)行的，但本發(fā)明不局限于此。也可以采用熱固性或其它任何種類的粘接劑、用樹脂制作的粘性材料、靜電粘結(jié)、真空吸附或類似方法來進(jìn)行固定。
在所述的實(shí)施例中，只介紹了拋光作業(yè)。對本領(lǐng)域那些技術(shù)人員來說，不言而喻的是本發(fā)明不僅可應(yīng)用于拋光作業(yè)，而且也可應(yīng)用磨削式其它合適的作業(yè)。因此，本發(fā)明不局限于上述實(shí)施例的特定方式，對本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變型或變化。
(第二實(shí)施例)下面參照附圖介紹本發(fā)明第二實(shí)施例的磁頭拋光設(shè)備。順便提一下，由于第一、二實(shí)施例之間的不同之處僅在于彎曲修正機(jī)構(gòu)100及200的結(jié)構(gòu)，除修正機(jī)構(gòu)100和200外的其它部份，對檢測待拋光件92的需要拋光量或類似值測量用的控制框圖，對該設(shè)備總體結(jié)構(gòu)部份的重復(fù)介紹均被省略。下面詳細(xì)地介紹本發(fā)明第二實(shí)施例的修正機(jī)構(gòu)200。
圖16是本發(fā)明第二實(shí)施例的拋光頭側(cè)視圖。圖17,18和19分別為此實(shí)施例修正機(jī)構(gòu)200的俯視圖、正視圖和側(cè)視圖。根據(jù)該實(shí)施例，修正機(jī)構(gòu)200具有一基座150，夾持器151，一為架狀件的致動器夾持器151，一作為修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)的修正致動器153，一固定銷154，定位銷154a，一引導(dǎo)托架155，軸156及銷157。將基座150用螺絲那樣的緊固件以大體平行于背板68的方式被固定。修正機(jī)構(gòu)200本身也用此種方式固定于背板68。
夾持器151固定于基座150的上部。夾持器151夾持著大體上平行于背板68的多個致動器夾持器152。每個致動器夾持器152均是架狀的，它們夾持著修正致動器153，以便可以沿與平衡致動器70A和70B相同的驅(qū)動方向驅(qū)動、制作致動器夾持器152用的材料使之可根據(jù)修正致動器152的擴(kuò)張或收縮被彎曲和驅(qū)動得沿此修正致動器的驅(qū)動方向擴(kuò)張或收縮。致動器夾持器152被固定于大體上直接位于修正致動器153上方的夾持器151，而且將沿修正制動器153的驅(qū)動方向延伸的軸156的一端大體上直接夾持于此修正制動器的下方。
固定銷154用于固定夾持引導(dǎo)托架155及待拋光件92的夾具94，定位銷154a用于確定其固定位置，這兩種銷被固定于基座150的下部。上述的軸156穿過每個配置于引導(dǎo)托架155上的引導(dǎo)孔155a。這樣相應(yīng)于修正致動器153的軸156的垂直驅(qū)動通過引導(dǎo)孔155a來防止其移動出驅(qū)動方向。每個銷157沿離開基座150的方向延伸，且被配置于軸156的另一端。在本實(shí)施例中，銷157的頂端被作成球狀。該銷端由修正致動器153驅(qū)動著沿大體上平行此致動器驅(qū)動方向(大體上垂直于拋光面2a)被驅(qū)動。
如圖19的點(diǎn)劃線所示，夾具94將待拋光件92夾持到位，以便通過利用定位銷154a用基座150和夾具94夾緊托架155，并且用固定銷154將夾具94固定和夾持。順便說一下，在本實(shí)施例中，由于加工了引導(dǎo)孔155a或類似物而不可能得到對電阻測量端128的足夠接觸點(diǎn)，由多個電阻測量端128或類似物組成的探測組件109和110不直接配置于導(dǎo)軌導(dǎo)架155。正因?yàn)槿绱耍c第一實(shí)施不同，探測組件109和110是可被卸下的與引導(dǎo)托架分離的組件。引導(dǎo)托架155利用固定銷154固定在夾具94的面向引導(dǎo)托架155的面的相反的面上。
除了它的事先形成的用導(dǎo)線接合法將電極與附加電極電連接的表面是與面向引導(dǎo)托架155的面相反的面之外，也可以如在第1實(shí)施例所示范的那樣來使用夾具94。亦即是說，當(dāng)夾具94被固定于基座150時，在銷157頂端的球狀部被插入載荷接受孔146。根據(jù)修正驅(qū)動器153的驅(qū)動，銷157的該頂端部擠壓載荷接受孔146周壁而將載荷接受部份145上下驅(qū)動。該載荷接受部份145的運(yùn)動使夾持部份132局部變形，同時也使得拋光件92局部變形。
順便說一下，由于相鄰銷157的頂端部分間的間隔相對在本實(shí)施例使用的修正致動器153來說是大的(在此種情況下是與沿垂直于膨脹/收縮驅(qū)動方向的方向的截面積相比)，故可以簡單地將修正致動器153彼此平行地排放。但是，在與致動器153尺寸相比需要減小此銷頂端部之間的間距的情況下，為了給每個修正致動器153提供夾持空間，也可以彼此交錯的方式來安排各個修正致動器153。
在本實(shí)施例中，各個致動器夾持器152是架狀的(架)。修正致動器153和軸156被同軸安置，并固定在夾持器151的中心線處。但是，本發(fā)明并不局限于這一種安置方案。如果修正致動器的剛度可以被補(bǔ)償，例如，致動器夾持器的形狀可以采用各種形狀，例如U形。此外，如果在修正致動器自身的剛度是高的情況下，可以采用撤除致動器夾持器的結(jié)構(gòu)，而且在前述實(shí)施例中，從將轉(zhuǎn)矩施加于各個銷或類似物的頂端這一觀點(diǎn)來看，該銷可以替換。
在本實(shí)施例中，也用壓電致動器作為修正致動器153。但是，修正致動器不局限于此一種形式。就探測組件109,110的安置方案來說，根據(jù)具有可提供電阻測量端128的接觸點(diǎn)數(shù)目，也可以采用與第一實(shí)施例中相同的方案。此外，在與第一實(shí)施例的模式有關(guān)的已介紹的各種結(jié)構(gòu)的變型，如平衡致動器的結(jié)構(gòu)變形也可以用同樣的方式使用于本實(shí)施例。
(第三實(shí)施例)在第二實(shí)施例中，每個銷157的頂端部分根據(jù)修正致動器153的變形以直線方式上下運(yùn)動。為此，在第二實(shí)施例中修正致動器153的驅(qū)動量與第一實(shí)施例的相比是小的，此外，還用壓電元件用作各個致動器，從而可將一大的變形力以高精度施加于夾持器152。這是有一定優(yōu)點(diǎn)的。但是，由于使用只有相對小變形量的壓電元件，故會擔(dān)心所給出的變形量可能不夠用。因此，根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例采用氣動氣缸作為修正致動器。
下面參照附圖介紹本發(fā)明第三實(shí)施例的磁頭拋光設(shè)備。順便提一下，由于第一、三實(shí)施例之間的差別只是彎曲修正機(jī)構(gòu)100和300的結(jié)構(gòu)，因此對修正機(jī)構(gòu)300以外的部份、對此設(shè)備總體結(jié)構(gòu)中的用于檢測待拋光件所需拋光量的控制框圖及類似部份的重復(fù)介紹被省略、下面詳細(xì)介紹本發(fā)明第三實(shí)施例的修正機(jī)構(gòu)300。
圖20是本實(shí)施例拋光頭的側(cè)視圖。圖21、22及23分別是俯視圖、正視圖及沿圖22中線23-23剖切的剖視圖。本實(shí)施例的修正機(jī)構(gòu)300具有一基座301，缸筒302、303，活塞304,305，一引導(dǎo)托架306，一固定銷307，定位銷307a及軸308。
基座301被用螺釘或類似物大體上與背板68平行地固定于唯一的上部，并由此而將修正機(jī)構(gòu)300固定于背板68。具有一頂面321a，一底面321b及一垂直面321c的一凹槽部份321被制作在與在基座301下部滑動的背板68相反的面(以后稱之為頂面)上。作為壓力介質(zhì)導(dǎo)入口的壓縮空氣導(dǎo)入口323,324設(shè)置于該背板側(cè)的該表面(以后稱之為后側(cè)面)上。經(jīng)過導(dǎo)入口的壓縮空氣從頂面321a和底面321b從通道325,326導(dǎo)入凹槽部份321，通道325,326是在基座301內(nèi)部形成的介質(zhì)流動通道。
換言之，在本實(shí)施例中的修正驅(qū)動件是由被壓縮氣體驅(qū)動的活塞及容納該活塞的缸筒組成的，而且此修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)是由一對修正驅(qū)動件組成的。
在引導(dǎo)托架306內(nèi)沿平衡致動器70A和70B的驅(qū)動方向(以后稱之為垂直方向)設(shè)置一引導(dǎo)槽。其上制作引導(dǎo)槽的表面一側(cè)面向基座301的頂面一側(cè)，從而使軸308被夾持得可沿該垂直方向在此引導(dǎo)槽中滑動。軸308有容納在凹槽部321中的凸部308a及在沿垂直方向的下部有從不同于垂直方向的方向突出的一銷308b。凹槽部份321還接納在其上下表面處沿垂直方向與凸部308a接觸的活塞304和305。而且缸筒302和303分別容納活塞304,305，使它們可沿垂直方向滑動。
例如，在壓縮氣體被導(dǎo)入壓縮空氣導(dǎo)入口323的情況下，經(jīng)氣體流動通道325到達(dá)頂面321a的壓縮氣體將缸筒302內(nèi)的活塞304沿垂直方向向下驅(qū)動?；钊?05也處于與軸308的凸部308a接觸之中。但是，在這種情況下，由于使凸部308a向下運(yùn)動的活塞304的力更大，故軸308和銷308b被向下驅(qū)動。而在軸308及銷308b被向上驅(qū)動時，將壓縮氣體導(dǎo)入壓縮氣體導(dǎo)入口324中就足夠了。通過調(diào)整導(dǎo)入入口323和324的氣體的壓力平衡可以調(diào)整軸308和銷308b的驅(qū)動量。
如圖23中點(diǎn)劃線所示，利用定位銷307a將夾持待拋光件92的夾具94定位以便用基座301和夾具94夾緊引導(dǎo)托架306，并用固定銷307將夾具94夾持和固定。順便說一下，在本實(shí)施例中，由于加工引導(dǎo)槽或其類似物而不能獲得電阻測量端128的足夠接觸點(diǎn)，由多個電阻測量端128或類以物組成的探測組件109和110不直接配置在引導(dǎo)托架306上。為此而與第一實(shí)施例不同，探測組件109和110是可以卸下的與引導(dǎo)托架306分開的組件。引導(dǎo)托架306被用固定銷307固定在夾具94的面向?qū)蛲屑?06的面的相反面上。
除了它的事先形成的用導(dǎo)線接合法將電極與附加電極電極電接連的表面是與面向引導(dǎo)托架306的面相反的面外，可以如在第一實(shí)施例中示范的那樣使用夾具94。亦即是說，在夾具94被固定于基座301上時，銷308b的頂端球形部份插入載荷接受孔146中。根據(jù)活塞304、305的驅(qū)動，銷308b的頂端擠壓載荷接受孔146的周壁部份而將載荷接受部份145上、下驅(qū)動。載荷接部部份145的這種運(yùn)動使夾持部份132局部變形，而且同時使待拋光件92有一局部變形。
順便提一下，由于相鄰銷308b的頂端部間的間隔與在本實(shí)施例中使用的活塞304和305的大小(在此情況下，是沿垂直于驅(qū)動方向的方向的截面積)或與壓縮氣體導(dǎo)體入口323和324的大小(更確切地說，是在連接用于將壓縮空氣導(dǎo)入各個入口中的管道的連接器的外直徑)相比是大的，故可以直接將這些構(gòu)件彼此平行地簡單安置。但是，在與這些活塞或?qū)肟诘拇笮∠啾刃枰獪p小銷頂端部間的間隔時，可以將各個相鄰的活塞，也就是用于接納活塞的相鄰凹槽部分以互相交錯的方式安置，可以相互交錯的方式安置各相鄰入口或組合這些構(gòu)件。
這些構(gòu)件被組合的實(shí)例展示在圖24和25中。圖21是從后面觀察的基座301的視圖。圖25是相應(yīng)于圖23的入口不以相互交錯方式安置的實(shí)施例的視圖。如圖24所示，與入口323和324以平行方式排列的情況相比，可以大大地增加入口的數(shù)量。此外，如圖25所示，不僅入口323和324的排列方式被更替，而且相鄰凹槽部份321的深度也不同，以便不是以平行的而是以交錯方式安置缸筒和活塞。對這種安排方案來說，可不取決于活塞和入口的大小，來減小相鄰銷308b間的間隔。
本實(shí)施例中的入口和活塞的安置方案只是一種樣例，此方案可被更換得更加復(fù)雜，以便能夠進(jìn)一步減小相鄰銷之間的間距。在本實(shí)施例中，也用壓縮氣體作驅(qū)動源。但是也可以采用液壓流體那樣的液體。在本實(shí)施例中，修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)是由一對由活塞、缸筒或類似物構(gòu)成的修正驅(qū)動件構(gòu)成的。但是也可以具有一個由活塞、缸筒或類似物構(gòu)成的修正驅(qū)動件，其另一修正驅(qū)動件是由如彈簧或橡膠那樣的彈性材料作成。此外，與在第一實(shí)施模式有關(guān)的介紹過的每一結(jié)構(gòu)的改進(jìn)型或類似物，例如平衡致動器結(jié)構(gòu)那樣的變型也可以相同的方式使用于本實(shí)施例。
(第四實(shí)施例)下面參照附圖介紹本發(fā)明第四實(shí)施例的磁頭拋光設(shè)備。順便提一下，由于第三、四實(shí)施例間的差別僅在于彎曲修正機(jī)構(gòu)300和400的結(jié)構(gòu)，故除了修正機(jī)構(gòu)400外，對在本設(shè)備總體結(jié)構(gòu)中的其它部份及用于檢測待拋光件92的需要拋光量的控制框圖的重復(fù)介紹會被略去。現(xiàn)在詳細(xì)介紹第四實(shí)施例的修正機(jī)構(gòu)400的結(jié)構(gòu)。
圖26是本實(shí)施例拋光頭的側(cè)視圖。圖27,28及29分別是本實(shí)施例的修正機(jī)構(gòu)400的俯視圖、正視圖及沿圖28中線29-29剖切的剖視圖。本實(shí)施例中的修正機(jī)構(gòu)400具有一基座401，缸筒402、403，活塞404、405，一引導(dǎo)托架406，一定位(固定)銷407，定位銷407a及桿件408。
基座401用螺釘大體上與背板68平行地固定在唯一的上部上，由此而將修正機(jī)構(gòu)400本身固定于背板68。具有頂面421a、底面421b及垂直面421c的凹槽部份421制作在基座401下部的背向背板68的面(以下稱作頂面)上。壓縮氣體導(dǎo)入口423，424是壓力介質(zhì)導(dǎo)入口，它們被設(shè)置在背板側(cè)的表面(下面稱作后側(cè)面)上。穿過導(dǎo)入口的壓縮氣體經(jīng)過是制作在基座401內(nèi)的介質(zhì)流動通道的氣體通道425和426導(dǎo)入頂面421a及底面421b。
沿平衡致動器70A和70B的驅(qū)動方向(以后稱為沿垂直方向)在引導(dǎo)托架406上制作一引導(dǎo)槽。其制作引導(dǎo)槽的表面?zhèn)让嫦蚧?01的頂面?zhèn)?，從而使桿件408被夾持得可沿垂直方向在此引導(dǎo)槽中滑動。桿件408由在其一端部以樞軸方式由被基座401支承的軸420支承、在其另一端處樞接銷408b的一直線部份，及其一端處固定于該直線部份、在另一端處設(shè)置有容納在凹槽部份421中的凸部408a的從動部份組成，從動部分中除了凸部408a，其余的部份被置于該引導(dǎo)槽中。凹槽部份421還接納沿凸部408a的垂直方向與凸部408a上、下接觸的活塞404,405，及用于接納可在垂直方向滑動的活塞404和405的缸筒402,403。
例如，在以壓縮氣體導(dǎo)入壓縮空氣導(dǎo)入口423的情況下，經(jīng)空氣流動通道425進(jìn)入頂面421a的壓縮空氣沿垂直方向向上驅(qū)動缸筒402內(nèi)的活塞404?；钊?05也處于與杠件408的凸部408a接觸之中，但是，在此情況下，由于用于向下驅(qū)動凸部408a的活塞404的力較強(qiáng)，凸部408a被基本上向下地驅(qū)動。凸部408a向下運(yùn)動使桿件408環(huán)繞軸420轉(zhuǎn)動，由此而使銷408b大體上沿垂直方向運(yùn)動。在桿件408及銷408b要被大體上向上運(yùn)動時，只需將壓縮空氣導(dǎo)入加壓氣體導(dǎo)入口424就足夠了。通過調(diào)整導(dǎo)入入口423和424中的氣體的壓力平衡，就可以調(diào)整桿件408及銷408b的驅(qū)動量。
順便提一下，由于夾具94固定于基座401，探測組件109和110的固定，夾具94和待拋光件92由于銷408b頂端部插入夾具94的載荷接受孔146而變形以及類似情況均與第三實(shí)施例中的一樣，故省去了對它們的詳細(xì)介紹。
順便提一下，由于與在本實(shí)施例中用的活塞404,405的大小(在此情況下是指在垂直于驅(qū)動方向的方向上的截面積)，或與壓縮空氣導(dǎo)入口423、424的大小相比，相鄰銷408b的頂端部分間的間隔是大的，故可直接彼此平行地安置這些構(gòu)件。但是，在與這些活塞或入口的大小相比要減小這些銷頂端部分間的間隔的情況下，可以安置各相鄰的活塞、即以相互交錯的方式安排接納活塞的相鄰凹槽部份，可以以相互交錯的方式安置各相鄰入口或組合這些構(gòu)件。
這些構(gòu)件被組合的實(shí)例展示于圖30和31中。圖30是從后側(cè)看的基板401的視圖。圖31是與圖29相應(yīng)的一個圖，在圖29中入口沒有以交錯方式安置。從圖30中可明顯看出，與入口平行地安置的情況相比可明顯地增多入口的數(shù)目。此外，如圖31所示，不僅入口的安置方案被更換，而且相鄰凹槽部份421的深度也是不同的，不是互相平行而是相互交錯地安置缸筒和活塞。用這樣的方案位置可以與活塞和入口大小無關(guān)地減小相鄰銷408b間的間隔。
本實(shí)施例中入口和活塞的這種安置方案只是一個實(shí)例，而且此安排方案可以被更換得更加復(fù)雜，以便可以進(jìn)一步減少相鄰銷之間的距離。在本實(shí)施例中，也用壓縮氣體作驅(qū)動源。但是也可用液壓流體那樣的液體。此外，在與第一實(shí)施例模式有關(guān)的已介紹的每一個結(jié)構(gòu)的改進(jìn)或類似情況，如平衡致動器結(jié)構(gòu)的改進(jìn)，均可以相同的方式應(yīng)用于本實(shí)施例。
用本發(fā)明的加工設(shè)備和加工方法可以將復(fù)雜的變形或類似狀況傳遞給如陶瓷條那樣的待加工件，并可在待加工件的加工業(yè)中消除待加工件的加工量的不均勻性。
權(quán)利要求
1.一種用于加工沿一個方向延伸的待加工件的加工設(shè)備，它具有一可被轉(zhuǎn)動驅(qū)動的有一加工面的加工座；一安置得可相對該加工面移動的加工頭安裝架；及一由該加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于，所述加工頭包括一用于夾持待加工件的夾具，一相對該加工面與該夾具一起可上下運(yùn)動的上下運(yùn)動部份，及一由該上下運(yùn)動部份支承的修正機(jī)構(gòu)；該修正機(jī)構(gòu)具有多個修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)及每個具有一銷的多個從動部份；該夾具包括一固定于該上下運(yùn)動部份的本體部份，一沿一個方向延伸的、固定于所述本體部份、用于夾持待加工件的夾持部份，及多個沿與該方向平行安置于該夾持部份上的載荷接受部份；及該載荷接受部份接納所述銷并由每個從動部份的運(yùn)動驅(qū)動，由此而使所述夾持部份中的相應(yīng)于載荷接受部份的部份與待加工件一起被局部地變形。
2.一種用于加工沿一個方向延伸的待加工件的加工設(shè)備，它具有一可被轉(zhuǎn)動驅(qū)動的、帶有一加工面的加工座；一被安置得可相對該加工面移動的加工頭安裝架，一由該加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于，該加工頭具有用于夾持待加工件的一夾具，一相對該加工面可與該夾具一起上下運(yùn)動的上下運(yùn)動部份，及一由所述上下運(yùn)動部份支承的修正機(jī)構(gòu)；所述修正機(jī)構(gòu)包括一固定于該上下運(yùn)動部份的基座，多個在其端部配置有銷的桿件，一固定在基座上用于以可轉(zhuǎn)動方式支承該桿件的軸，及多個與所述桿件另一端連接、用于使桿件相對該軸樞軸轉(zhuǎn)動從而使所述銷樞軸轉(zhuǎn)動的修正驅(qū)動設(shè)備；所述夾具包括一固定于該上下運(yùn)動部份的本體部份，一沿一方向延伸、固定于該本體部份、用于夾持待加工件的夾持部份，以及多個沿所述方向平行地安置于夾持部份上的載荷接受部份；以及所述載荷接受部份接納所述銷并且被所述銷的樞軸運(yùn)動所驅(qū)動，由此而使所述夾持部份內(nèi)的相應(yīng)于載荷接受部份的部份與待加工件一起變形。
3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，所述銷的頂端大體上呈球狀。
4.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，相鄰的桿件每個均具有彼此不同的長度，而且多個修正驅(qū)動設(shè)備與所述軸間的距離也相應(yīng)于桿件長度而彼此不同。
5.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，所述軸在所述銷附處近支承著所述桿件。
6.如權(quán)利要求2-5之一所述設(shè)備，其特征在于，該修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)是REC柱塞。
7.一種用于加工沿一方向延伸的待加工件的加工設(shè)備，它具有一可被轉(zhuǎn)動驅(qū)動的帶一加工面的加工座，一安置得可相對該加工面移動的加工頭安裝架，一由該加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于所述加工頭包括一用于夾持該待加工件的夾具，一可相對該加工面，與該夾具一起上下運(yùn)動的上下運(yùn)動部份，以及由該上下運(yùn)動部份支承的一修正機(jī)構(gòu)；所述修正機(jī)構(gòu)具有一固定于該上下運(yùn)動部份的基座，多個在端部處固定在所述基座的修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)，一與所述修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)以同軸方式連接的軸，及從所述軸突伸出的銷；所述夾具包括一固定于所述上下運(yùn)動部份上的本體部份，一沿一個方向延伸的、固定于所述本體部份的、用于夾持該待加工件的夾持部份，以及多個沿該方向平行地安置于此夾持部份上的載荷接受部份；以及所述載荷接受部份接納所述銷，并由每個銷的運(yùn)動驅(qū)動，由此而使該夾持部份內(nèi)相應(yīng)于載荷接受部份的部份與待加工件一起被變形。
8.一種用于加工沿一個方向延伸的待加工件的加工設(shè)備，它具有可被轉(zhuǎn)動驅(qū)動的、帶一加工面的加工座，一安裝得可相對該加工面移動的加工頭安裝架，及由該加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于，所述加工頭具有用于夾持該待加工件的夾具，一相對所述加工面可與該夾具一起上下運(yùn)動的上下運(yùn)動部份，及由該上下運(yùn)動部份支承的一修正機(jī)構(gòu)；所述修正機(jī)構(gòu)具有一被固定于該上下運(yùn)動部份上的基座，多個固定于所述基座上的大體呈架狀的件，多個安置在所述大體上呈架狀的件中心線上的修正驅(qū)動設(shè)備，及多個沿與所述修正驅(qū)動設(shè)備的驅(qū)動方向平行延伸的軸，在軸一端處與所述大體呈架狀的件連接，在其另一端上配置銷；所述夾具包括一固定于所述上下運(yùn)動部份上的本體部份，一沿一個方向延伸，被固定于該本體部份上、用于夾持該待加工件的夾持部份，及多個在所述夾持部份上的與所述方向平行地安置的載荷接受部份，及所述載荷接受部份接納所述銷且被每個銷的樞軸運(yùn)動驅(qū)動，由此而使夾持部份上與載荷接受部份相應(yīng)的部份與所述待加工件一起被變形。
9.如權(quán)利要求7或8所述設(shè)備，其特征在于，所述銷的頂端大體上呈球狀。
10.如權(quán)利要求7或8所述設(shè)備，其特征在于，相鄰桿件中的每個均有彼此不同的長度，所述修正驅(qū)動設(shè)備和銷間的距離也相應(yīng)于所述軸的長度而彼此不同。
11.如權(quán)利要求8所述設(shè)備，其特征在于，所述軸與修正驅(qū)動設(shè)備同軸地安置。
12.如權(quán)利要求7或8所述設(shè)備，其特征在于，該修正驅(qū)動設(shè)備是壓電元件致動器。
13.一種用于加工一沿一個方向延伸的待加工件的加工設(shè)備，它具有一可被轉(zhuǎn)動驅(qū)動的、帶一加工面的加工座，一安置得可相對該加工面移動的加工頭安裝架，一由該加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于所述加工頭包括一用于夾持該待加工件的夾具，一相對該加工面可與所述夾具一起上下運(yùn)動的上下運(yùn)動部份，及一由該上下運(yùn)動部份支承的修正機(jī)構(gòu)；所述修正機(jī)構(gòu)具有多個在其一端部配置銷并有不同于該銷的凸部的軸，一對沿一直線安裝在所述凸部兩側(cè)并將此凸部夾緊的修正驅(qū)動件，以及一帶凹槽部份、固定于所述上下運(yùn)動部份上的基座，該凹槽部份用以接納該對修正驅(qū)動件及凸部，所述該對修正驅(qū)動件沿一直線方向驅(qū)動所述凸部來平行于所述直線方向驅(qū)動所述軸和所述銷，所述夾具包括一固定于所述上下運(yùn)動部份的本體部份，一沿一個方向延伸的、固定于所述本體部份的、用于夾持該待加工件的夾持部份，多個在所述夾持部分上的與所述方向平行地安置的載荷接受部份，以及所述載荷接受部份接納所述銷并受每個銷的運(yùn)動的驅(qū)動，由此而使所述夾持部份內(nèi)與載荷接受部份相應(yīng)的部份與該加工件一起被變形。
14.如權(quán)利要求13所述設(shè)備，其特征在于，所述銷頂端大體上呈球狀。
15.如權(quán)利要求13所述設(shè)備，其特征在于，該相鄰?fù)共客股斓某叽绫舜瞬煌?，每個被置于所述凹槽部份內(nèi)的所述修正驅(qū)動件的安排方式及所述凹槽部份的大小由所述凸部的該尺寸確定。
16.如權(quán)利要求13或15所述設(shè)備，其特征在于，該對修正驅(qū)動件有一對被壓力介質(zhì)驅(qū)動的活塞，所述基座上有一對與所述活塞對中每一個的后部連通的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口。
17.如權(quán)利要求13或15所述設(shè)備，其特征在于，所述該對修正驅(qū)動件中的一個具有一由壓力介質(zhì)驅(qū)動的活塞，而另一個是由彈性件構(gòu)成的，所述基座有一個與所述活塞后部連通的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口。
18.如權(quán)利要求16所述設(shè)備，其特征在于，所述該對相鄰壓力介質(zhì)導(dǎo)入口彼此安置得離所述基座一預(yù)定面有彼此不同的距離。
19.如權(quán)利要求17所述設(shè)備，其特征在于，所述相鄰的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口被安置得離所述基座一預(yù)定面有彼此不同的距離。
20.如權(quán)利要求13或15所述設(shè)備，其特征在于，所述壓力介質(zhì)是壓縮空氣。
21.一種用于加一沿一個方向延伸的待加工件的加工設(shè)備，它具有一可被轉(zhuǎn)動驅(qū)動的、帶有一加工面的加工座，一被安置得可相對該加工面移動的加工頭安裝架，及一由所述加工頭安裝架支承的加工頭，其特征在于，所述加工頭有一用于夾持該待加工件的夾具，一與所述夾具一起相對該加工面可上、下運(yùn)動的上下運(yùn)動部份，以及由所述上下運(yùn)動部份支承的一修正機(jī)構(gòu)；所述修正機(jī)構(gòu)包括一軸；具有一直線部份，在其端部配置銷、并由所述軸在與所述銷不同的部位處以可轉(zhuǎn)動方式支承著的多個桿件，該桿件還有從動部份，從動部份在其端部與該直線部份相連，并具有凸部；一對沿直線安置在所述凸部兩側(cè)并將該凸部夾緊的修正驅(qū)動件；及一具有用于接納所述對修正驅(qū)動件及凸部的凹槽部份、而且被固定于所述上下運(yùn)動部份上的基座；所述對修正驅(qū)動件以直線方式驅(qū)動來驅(qū)動被夾緊的凸部，由此而使所述桿件及銷環(huán)繞所述軸樞軸轉(zhuǎn)動。所述夾具包括一固定于所述上下運(yùn)動部份上的本體部份，一沿一個方向延伸的、固定于所述本體部份上的、用于夾持該待加工件的夾持部份，及多個在所述夾持部份上沿與所述方向平行地安置的載荷接受部份；以及所述載荷接受部份接納所述銷并受各銷的樞軸運(yùn)動的驅(qū)動，由此而使所述夾持部份內(nèi)相應(yīng)于所述載荷接受部份的部份與所述待加工件一起變形。
22.如權(quán)利要求21所述設(shè)備，其特征在于，所述銷頂端是球狀的。
23.如權(quán)利要求21所述設(shè)備，其特征在于，相鄰?fù)共客钩龅某叽绫舜瞬煌?，每個安置于所述凹槽部份中的所述修正驅(qū)動件的安排方式及所述凹槽部份的大小也相應(yīng)于所述凸部尺寸而不同。
24.如權(quán)利要求21或23所述設(shè)備，其特征在于，所述對修正驅(qū)動件有一對由壓力介質(zhì)驅(qū)動的活塞，所述基座有一對與所述對活塞中每一個的后部連通的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口。
25.如權(quán)利要求21或23所述設(shè)備，其特征在于，所述對修正驅(qū)動件中的一個具有一由壓力介質(zhì)驅(qū)動的活塞，其另一個是由彈性件制成，所述基座有一個與所述活塞后部連通的壓力介質(zhì)導(dǎo)入口。
26.如權(quán)利要求24所述設(shè)備，其特征在于，所述對相鄰壓力介質(zhì)導(dǎo)入口中的每一個被安置得離所述基座一預(yù)定面有不同的距離。
27.如權(quán)利要求25所述設(shè)備，其特征在于，所述相鄰壓力介質(zhì)導(dǎo)入口中的每一個被安置得離所述基座一預(yù)定面有不同的距離。
28.如權(quán)利要求21或23所述設(shè)備，其特征在于，所述壓力介質(zhì)是壓縮空氣。
29.如權(quán)利要求24所述設(shè)備，其特征在于，所述活塞頂端部份大體上呈球狀。
30.如權(quán)利要求25所述設(shè)備，其特征在于，所述活塞頂端部份大體上呈球狀。
31.如權(quán)利要求2,7,8,13,21中任一所述設(shè)備，其特征在于，所述夾具有一與制作在該待加工件上的電氣元件連接的電極，所述修正機(jī)構(gòu)有一與所述電極進(jìn)行接觸的探測組件。
32.如權(quán)利要求31所述設(shè)備，其特征在于，所述加工頭有一平衡致動器，所述夾具在沿該本體部份縱長方向的中央部位及兩端部位處有通孔，所述夾具由所述修正機(jī)構(gòu)用穿過所述中央部位處的通孔的一固定銷支承，而且所述夾具被所述平衡致動器用位于兩端部位的定位銷壓向所述加工面。
33.如權(quán)利要求31所述設(shè)備，其特征在于，所述加工頭被所述加工頭安裝架支承的一調(diào)正環(huán)支承并處于與所述加工面接觸之中，加工頭安裝架支承的該加工頭面向所述加工面的角度由所述調(diào)正環(huán)確定。
34.如權(quán)利要求31所述設(shè)備，其特征在于，所述加工頭被安裝得相對用于安裝此加工頭的導(dǎo)軌可以轉(zhuǎn)動。
35.如權(quán)利要求34所述設(shè)備，其特征在于，還具有一加工頭擺動機(jī)構(gòu)，此機(jī)構(gòu)使所述加工頭在一預(yù)定角度范圍往復(fù)擺轉(zhuǎn)。
36.如權(quán)利要求31所述設(shè)備，其特征在于，所述待加工件是一桿狀陶瓷件，其上設(shè)置有多個磁頭。
37.一種用于將一沿一個方向延伸的待加工件夾持于一夾具，并通過夾具將該工件壓向在一被轉(zhuǎn)動驅(qū)動的加工座上形成的一加工面來加工該待加工工件的方法，此方法具有以下步驟在該待加工件被壓靠于所述加工面時測量該待加工件多個位置處的加工量；以及根據(jù)測得的加工量用多個修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)使在端部有銷的多個桿件與所述銷一起轉(zhuǎn)動，以便將一預(yù)定的變形量經(jīng)其頂端容納于所述夾具中的所述銷的轉(zhuǎn)動來傳遞給該待加工件和夾具。
38.一種通過將一沿一個方向延伸的待加工件夾持于一夾具，并通過所述夾具將該工件壓向在被轉(zhuǎn)動驅(qū)動的一加工座上形成的一加工面來加工該待加工件的方法，此方法具有下列步驟在該待加工件壓靠著所述加工面時，測量該待加工件上多個位置處的加工量；根據(jù)測得的該加工量驅(qū)動多個與多個修正驅(qū)動機(jī)構(gòu)以同軸方式安置且有銷的軸，以便通過沿著其頂端被安置于該夾具內(nèi)的所述銷的沿軸線的驅(qū)動，將一預(yù)定的變形量傳遞給該待加工件和夾具。
39.一種用于通過將一沿一個方向延伸的待加工件夾持于一夾具，并用該夾具將該工件壓靠于在被轉(zhuǎn)動驅(qū)動的一加工座上形成的一加工面來加工該待加工件的方法，此方法具有以下步驟在該待加工件壓靠在所述加工面上時，測量該工件上多個位置處的加工量；以及通過一對安置于多條直線上的修正驅(qū)動設(shè)備根據(jù)測得的加工量線性驅(qū)動多個有銷的軸，并通過其頂端被安置于所述夾具內(nèi)的所述銷的沿這些直線的驅(qū)動，將一預(yù)定的變形傳給該待加工件和夾具。
全文摘要
提供一種設(shè)備,它可以將復(fù)雜的彎曲變形傳遞給如陶瓷條那樣的沿一方向延伸的待加工件或類似物,并可用加工作業(yè)減小待加工件的加工量的不均勻程度,在加工設(shè)備中配置一種專門的修正機(jī)構(gòu)來使待加工件與夾持此工件的夾具一起變形。修正機(jī)構(gòu)有一基座,多個在其第一端處配置銷的桿件,一固定于該基座上、用于以可轉(zhuǎn)動方式支承該桿件的軸,及多個與所述桿件第二端連接而使桿件繞此軸樞軸轉(zhuǎn)動并由此而該銷樞軸轉(zhuǎn)動的修正驅(qū)動設(shè)備。該夾具包括在用于夾持待加工件的沿一個方向延伸的夾持部分上安置的多個載荷接受部分,由此而使相應(yīng)于該載荷接受部分的該夾持部分內(nèi)的部分因各銷的轉(zhuǎn)動而與待加工件一起被變形。
文檔編號B24B37/04GK1313169SQ0111685
公開日2001年9月19日 申請日期2001年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2000年2月22日
發(fā)明者進(jìn)藤宏史, 佐佐木正博, 小川昭雄, 阿部徹男, 神津雅樹, 山口正雄 申請人:Tdk株式會社