帶有保護(hù)板構(gòu)件的波紋罩的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及一種例如在加工中心、車床或銑床等工作機(jī)械、或者劃片機(jī)等半導(dǎo)體制造裝置等的機(jī)械用具或裝置中安裝的帶有保護(hù)板構(gòu)件的波紋罩。
【背景技術(shù)】
[0002]在利用加工中心或者磨床等工作機(jī)械焊接金屬或者研磨金屬的情況下，飛濺、研磨肩或者冷卻液飛散的情況很多，另外，在劃片機(jī)中，被切斷的半導(dǎo)體晶片的破片飛散，在這些飛散物附著于在這些機(jī)械或裝置上安裝的波紋罩上的情況下，存在有在該波紋罩上開孔的情況。另外，在上述研磨肩或破片侵入到上述波紋罩上所形成的波峰部與波峰部之間的狀態(tài)下，伴隨著上述工作機(jī)械等的驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行的波紋罩的伸縮動(dòng)作長時(shí)間反復(fù)進(jìn)行，從而該波紋罩被切斷而開孔，由此上述研磨肩等附著于在該波紋罩的內(nèi)側(cè)配置的滾珠絲杠及其它的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)上，從而對(duì)正確的定位造成障礙。而本申請(qǐng)人為了解決這樣的因研磨肩等而造成在波紋罩主體上開孔等的問題，提出了在伸縮的波紋罩主體上具有金屬制或者樹脂制的保護(hù)板構(gòu)件(狹板或板條，以下稱為板條或者保護(hù)板構(gòu)件)的帶有保護(hù)板構(gòu)件的波紋罩的方案(參照專利文獻(xiàn)1、2)。該專利文獻(xiàn)1、2中公開的各個(gè)波紋罩具有:波紋罩主體，其構(gòu)成為，波峰部和波谷部交替形成，且沿著與該波峰部以及波谷部的長度方向平行的方向自由伸縮;波紋罩支撐板或者保形板，其在該波紋罩主體的內(nèi)側(cè)且上端與形成于該波紋罩主體上的各波峰部的背面相抵接等而加以固定;板條，其在構(gòu)成上述波紋罩主體的各波峰部附近，且在中間夾著波紋罩主體的狀態(tài)下各個(gè)基端被固定在上述波紋罩支撐板或者保形板上。
[0003]因此，根據(jù)上述專利文獻(xiàn)1、2公開的帶有保護(hù)板構(gòu)件的波紋罩，通過配置多個(gè)上述板條，即使是在研磨肩或半導(dǎo)體晶片的破片等飛散的情況下，也能夠利用上述板條來保護(hù)上述波紋罩主體，避免被開孔的危險(xiǎn)性。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:JP特開2008-12639號(hào)公報(bào)；
[0007]專利文獻(xiàn)2: JP特開2014-30886號(hào)公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的問題
[0009]但是，在上述波紋罩上固定的各板條，由于長時(shí)間反復(fù)進(jìn)行伸縮動(dòng)作，一部分變形或者破損，或者，在波紋罩的運(yùn)送中或安裝于機(jī)械用具等之際失誤落下，或者不經(jīng)意的與工件或其它的機(jī)械用具相沖突，因此原因而變形等的情況之外，例如在利用工作機(jī)械的驅(qū)動(dòng)而反復(fù)進(jìn)行伸縮動(dòng)作的中途，在板條與板條之間夾入切削粉或加工片，或者它們進(jìn)行堆積，從而發(fā)生破損或者變形的情況也不少。另外，上述加工片或加工時(shí)使用的冷卻液與一部分的板條或者特定的板條的一部分集中沖突等，由于該圧力等而使得板條發(fā)生變形的情況也存在。
[0010]但是，上述專利文獻(xiàn)1以及專利文獻(xiàn)2所公開的波紋罩上固定的各個(gè)板條，如上所述，是在中間夾著波紋罩主體的狀態(tài)下各個(gè)基端被固定到上述波紋罩支撐板或者保形板上，一旦被固定的板條之后就不能從波紋罩主體卸下。
[0011]因此，在由于上述的任何的情況，使得固定有多個(gè)的板條的一部分發(fā)生破損或者變形的情況下，即使是在其它的板條沒有任何問題而能夠繼續(xù)使用的情況下，通常也必須將波紋罩整體更換。
[0012]而本發(fā)明是為解決上述的以往的波紋罩所具有的問題而提出的，其目的在于提供一種新的帶有保護(hù)板構(gòu)件的波紋罩，即使是在固定有多個(gè)的板條(保護(hù)板構(gòu)件)的一部分發(fā)生破損或變形的情況下，也不用將波紋罩整體更換，能夠僅更換上述破損等的板條。
[0013]解決問題的手段
[0014]本發(fā)明是為解決上述問題而提出的，第一的發(fā)明(技術(shù)方案1記載的發(fā)明)的特征是，具有:波紋罩主體，其交替形成有波峰部和波谷部，并且沿著與該波峰部以及波谷部的長度方向垂直的方向自由伸縮;波紋罩支撐板，其在上述波紋罩主體的內(nèi)側(cè)，以從上述各波峰部向著下方垂下的方式被固定；固定板，其在上述波紋罩主體的外側(cè)，在該波紋罩主體的伸縮方向上具有寬度，該固定板被固定到上述波紋罩支撐板上，且該固定板與上述波紋罩支撐板之間夾著該波紋罩主體;保護(hù)板構(gòu)件，其具有以自由裝卸的方式安裝在上述固定板上的安裝板部和通過彎折部而連續(xù)于該安裝板部且將上述波紋罩主體的上部覆蓋的保護(hù)板部;在上述固定板上，沿著該固定板的長度方向形成或者配置有多個(gè)一方的卡合部或者一方的卡合構(gòu)件，并且在上述安裝板部或者該安裝板部的附近，形成有多個(gè)與上述一方的卡合部或者一方的卡合構(gòu)件分別卡合的另一方的卡合部，通過這些一方的卡合部或者一方的卡合構(gòu)件與另一方的卡合部相互卡合，以及，通過將該一方的卡合部或者一方的卡合構(gòu)件與另一方的卡合部的卡合狀態(tài)解除，從而上述保護(hù)板構(gòu)件相對(duì)于上述固定板能夠進(jìn)行裝卸。
[0015]在該第一發(fā)明的帶有保護(hù)板構(gòu)件的波紋罩中，由于通過在固定板上分別形成或者配置的一方的卡合部或者一方的卡合構(gòu)件與在安裝板部形成的另一方的卡合部相互卡合，以及，通過將該一方的卡合部或者一方的卡合構(gòu)件與另一方的卡合部的卡合狀態(tài)解除，從而上述保護(hù)板構(gòu)件相對(duì)于上述固定板能夠進(jìn)行裝卸，因此即使是在固定有多個(gè)的保護(hù)板構(gòu)件(板條)的一部分發(fā)生破損或變形的情況下，也不用將波紋罩整體更換，能夠僅更換上述破損等的保護(hù)板構(gòu)件(板條)。
[0016]另外，構(gòu)成該第一發(fā)明的波紋罩主體，只要至少波峰部和波谷部交替形成且沿著與該波峰部以及波谷部的長度方向垂直的方向自由伸縮的結(jié)構(gòu)即可，不必一定形成有在與上述波峰部或波谷部的長度方向垂直的方向上分別具有長度的足部的結(jié)構(gòu)也是可以的。另夕卜，構(gòu)成該發(fā)明的上述波紋罩支撐板、固定板、保護(hù)板構(gòu)件的材料，可以是金屬，也可以是樹月旨，但是上述波紋罩支撐板或固定板的壁厚，為了使得波紋罩主體在縮小到最小之際的長度盡可能的短，優(yōu)選具有一定的剛性并且盡可能的薄。另外，在上述波紋罩主體上固定的固定板，沿著該波紋罩主體的寬度方向(波峰部或波谷部的長度方向)固定有多個(gè)(參照技術(shù)方案2)，不僅如此，在該波紋罩主體上固定一個(gè)的結(jié)構(gòu)(參照技術(shù)方案4)也是可以的，而且，該固定板只要至少固定在上述波紋罩主體上即可，也可以具有從固定的部位以離開波紋罩主體的方式延長的部位。
[0017]另外，在該第一發(fā)明中，需要在上述固定板上，沿著該固定板部的長度方向形成或者配置多個(gè)上述一方的卡合部或者一方的卡合構(gòu)件，在上述安裝板部或者該安裝板部的附近，形成多個(gè)與上述一方的卡合部或者一方的卡合構(gòu)件分別卡合的另一方的卡合部，但是這些一方的卡合部或者卡合構(gòu)件與另一方的卡合部，只要是它們相互卡合的形狀或結(jié)構(gòu)即可，并不特別限定它們的形狀或位置關(guān)系。而且，該發(fā)明的帶有保護(hù)板構(gòu)件的波紋罩在安裝于機(jī)械用具或裝置之際，通過配置于該機(jī)械用具的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)，不僅沿著水平方向伸縮，還可以沿著上下方向伸縮。
[0018]另外，第二發(fā)明(技術(shù)方案2記載的發(fā)明)的特征是，在上述第一發(fā)明中，所述固定板沿著所述波紋罩主體的寬度方向固定有多個(gè)，分別形成在該固定板上的所述一方的各卡合部具有第一卡合部和從該第一卡合部的配置位置向著該固定板的寬度方向形成的第二卡合部，并且，在所述安裝板部形成的所述另一方的各卡合部具有:第三卡合部，其在對(duì)該安裝板部從波谷部側(cè)向著波峰部側(cè)作用外力之際與上述第一卡合部相卡合;第四卡合部，其在對(duì)上述該安裝板部從波峰部側(cè)向著波谷部側(cè)作用外力之際與上述第二卡合部相卡合；通過使上述第一卡合部與第三卡合部相互卡合，并且使上述第二卡合部與第四卡合部相互卡合，以及，通過使上述第一卡合部與第三卡合部的卡合狀態(tài)解除，并且使上述第二卡合部與第四卡合部的卡合狀態(tài)解除，從而上述保護(hù)板構(gòu)件相對(duì)于上述固定板能夠進(jìn)行裝卸。
[0019]在該第二發(fā)明的帶有保護(hù)板構(gòu)件的波紋罩中，由于采用在對(duì)該安裝板部從波谷部側(cè)向著波峰部側(cè)作用外力之際使上述第一卡合部與第三卡合部相互卡合，并且在對(duì)上述該安裝板部從波峰部側(cè)向著波谷部側(cè)作用外力之際使上述第二卡合部與第四卡合部相互卡合的結(jié)構(gòu)，因此即使是在波紋罩主體的伸縮動(dòng)作反復(fù)進(jìn)行的情況下，也不存在保護(hù)板構(gòu)件不經(jīng)意的從該波紋罩主體脫落的危險(xiǎn)性。
[0020]另外，上述第一卡合部與第三卡合的卡合狀態(tài)和第二卡合部與第四卡合部的卡合狀態(tài)，如上所述，為對(duì)安裝板部從波谷部側(cè)向著波峰部側(cè)作用外力之際進(jìn)行卡合，或者對(duì)該安裝板部從波峰部側(cè)向著波谷部側(cè)作用外力之際進(jìn)行卡合的結(jié)構(gòu)，在此基礎(chǔ)上，也可以是分別在波紋罩主體的寬度方向(波峰部或波谷部的長度方向)上也相互卡合的結(jié)構(gòu)。通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，保護(hù)板構(gòu)件在波紋罩主體的寬度方向上也確實(shí)的被定位，能夠確保更加穩(wěn)定的安裝狀態(tài)。
[0021]另外，第三發(fā)明(技術(shù)方案3記載的發(fā)明)的特征是，在上述第二發(fā)明中，在所述固定板或者所述安裝板部的任意一個(gè)上，形成有一邊總是保持著所述第一卡合部與第三卡合部的卡合狀態(tài)和所述第二卡合部與第四卡合構(gòu)件的卡合狀態(tài)一邊向著該固定板與安裝板部相互離開的方向施力的彈性片。
[0022]在該第三發(fā)明的帶有保護(hù)板構(gòu)件的波紋罩中，在上述固定板上，向著總是保持所述第一卡合部與第三卡合部的卡合狀態(tài)和所述第二卡合部與第四卡合構(gòu)件的卡合狀態(tài)的方向?qū)λ霭惭b板部施力的彈性片，由于形成在上述固定板或者安裝板部的任意一個(gè)上，因此不僅有效避免在上述固定板上安裝的各個(gè)保護(hù)板構(gòu)件不經(jīng)意的脫落的危險(xiǎn)性，在波紋罩主體反復(fù)進(jìn)行伸縮動(dòng)作之際，或者，在波紋罩主體瞬間極高速的伸長或收縮之際，能夠避免該保護(hù)板構(gòu)件與該固定板之間產(chǎn)生松動(dòng)，避免由于該松動(dòng)而產(chǎn)生噪音或異音，進(jìn)而由于上述第一卡合部與第三卡合部或者第二卡合部與第四卡合部的滑動(dòng)接觸而使得各個(gè)卡合部產(chǎn)生磨損的危險(xiǎn)性也能夠避免。
[0023]另外，構(gòu)成上述第三發(fā)明的彈性片，向著總是保持第一卡合部與第三卡合部的卡合狀態(tài)和所述第二卡合部與第四卡合部的卡合狀態(tài)的方向?qū)λ霭惭b板部施力的彈性片，只要在上述固定板或者安裝板部的任意一個(gè)上形成即可，另外，并不特別限定該彈性片的數(shù)量。
[0024]另外，第四發(fā)明(技術(shù)方案4記載的發(fā)明)的特征是，在所述第一發(fā)明中，所述固定板作為一個(gè)板體而構(gòu)成，且在所述波紋罩主體的寬度方向上具有長度，所述一方的卡合部或者一方的卡合構(gòu)件是具有上端比該固定板的表面突出的軸部和在該軸部的上端形成的圓盤部的卡合部或者卡合構(gòu)件，在所述安裝板部上，形成有與構(gòu)成上述的各卡合部或者卡合構(gòu)件的軸部相卡合的卡合孔來作為所述另一方的卡合部，并且，這些卡合孔具有插通上述圓盤部的圓盤部插通用孔和與該圓盤部插通用孔相連通且插通上述軸部的軸插通用長孔，該軸插通用長孔從該圓盤部插通用孔向著所述波紋罩主體的寬度方向形成。
[0025]在該第四發(fā)明的帶有保護(hù)板構(gòu)件的波紋罩中，由于構(gòu)成第一發(fā)明的一方的卡合部或者一方的卡合構(gòu)件是具有上端比該固定板的表面突出的軸部和在該軸部的上端形成的圓盤部的卡合部或者卡合構(gòu)件，在所述安裝板部上，形成有與構(gòu)成上述的各卡合部或者卡合構(gòu)件的軸部相卡合的卡合孔來作為所述另一方的卡合部，并且，這些卡合孔具有插通上述圓盤部的圓盤部插通用孔和與該圓盤部插通用孔相連通且插通上述軸