工作，以限定支撐組件46的空氣室48。PC板128可將所述多個(gè)面向頂部連接器126電聯(lián)接至可從支撐組件46的底部接近的面向底部連接器132。面向頂部連接器126可提供用于經(jīng)由PC板128將加熱器塊52電聯(lián)接至面向底部連接器132的連接點(diǎn)。面向底部連接器132繼而可提供用于將控制器50聯(lián)接至加熱器塊52的連接點(diǎn)。因此，控制器50可經(jīng)由面向頂部連接器126、PC板128和面向底部連接器132聯(lián)接至加熱器塊52的加熱元件54和溫度傳感器56，其中每個(gè)連接器126都對(duì)應(yīng)于一個(gè)加熱器塊52。
[0043]可在頂板101和下部外殼102之間設(shè)置墊圈134，以在兩者之間提供氣密密封。如圖5中最清晰示出的，下部外殼102的底表面103可包括:對(duì)準(zhǔn)孔135，該對(duì)準(zhǔn)孔135被構(gòu)造成將加熱器100定位在提升板308 (圖10)上；和一個(gè)或多個(gè)空氣供應(yīng)開口 136，以允許加壓空氣74進(jìn)入支撐組件46的空氣室48中。在本發(fā)明的實(shí)施例中，空氣供應(yīng)開口 136也可起對(duì)準(zhǔn)孔135的作用。下部外殼102也可包括第二多個(gè)埋頭通孔137，第二多個(gè)埋頭通孔137與頂板101的通孔112對(duì)準(zhǔn)，以利用固位螺栓115固定加熱器塊52。存在作為電連接的連接點(diǎn)的面向底部連接器132和作為氣動(dòng)連接的連接點(diǎn)的一個(gè)或多個(gè)空氣供應(yīng)開口 136允許將整個(gè)加熱器100作為一個(gè)單元安裝到提升板308上，并且作為一個(gè)單元從提升板308移除。
[0044]圖7-9包括加熱器塊52的分解頂部透視圖(圖7)、橫截面透視圖(圖8)和底部透視圖(圖9)。如代表性實(shí)施例中所示的，加熱器塊52包括沖擊板60、順應(yīng)性構(gòu)件66、本體138和加熱元件組件140。加熱器塊52的本體138可由導(dǎo)熱材料，諸如鋁構(gòu)成。如圖8中最清晰示出的，加熱器塊52的本體138可包括多個(gè)空氣室142，所述多個(gè)空氣室142每個(gè)都被構(gòu)造成將熱空氣聯(lián)接至在多行開口中的一行開口中的多個(gè)開口 143，所述多行開口共同限定沖擊板60。加熱器塊52的空氣室142可以為間隔開的不重疊的平行布置，從而空氣室142不重疊。因此，可向每一行開口 143都供應(yīng)來自所述多個(gè)空氣室142中的一個(gè)空氣室的熱空氣。
[0045]加熱器塊52的本體138也可包括多個(gè)相交鉆孔，所述多個(gè)相交鉆孔限定多個(gè)通道144，所述多個(gè)通道144將本體138的底表面117上的空氣進(jìn)口 148流體聯(lián)接至所述多個(gè)空氣室142。在所示實(shí)施例中，通道144經(jīng)由交叉通道145聯(lián)接至空氣室142，交叉通道145在大致垂直于空氣室142和通道144的方向上延伸。所以在到達(dá)開口 143之前，進(jìn)入通道144的空氣不逸出，通道144的外端可由塞子150密封。因此，通過將來自加熱器塊52的本體138的熱聯(lián)接至進(jìn)入空氣進(jìn)口 148的空氣，通道144可設(shè)置如圖3中所示的熱交換器55的至少一部分。隨著空氣穿過空氣室142、開口 143和/或交叉通道145，可以進(jìn)一步進(jìn)行將來自加熱器塊52的本體138的熱聯(lián)接至進(jìn)入空氣進(jìn)口 148的空氣。
[0046]空氣室142中每一個(gè)空氣室都可在一端處流體聯(lián)接至腔體147。腔體147可將空氣供應(yīng)至空氣室142，幫助平衡空氣室142之間的壓力，或者腔體147可用作空氣回收系統(tǒng)67的空氣進(jìn)氣管道69的一部分。在可替換實(shí)施例中，腔體147可橫跨加熱器塊52的本體138水平地延伸，使得開口 143經(jīng)由腔體147聯(lián)接至所述多個(gè)通道144，在該情況下可省略空氣室142和交叉通道145。在另一實(shí)施例中，空氣室142可間隔開，使得空氣室142的直徑重疊，因此使腔體147實(shí)際上在沖擊板60下方延伸，從而限定單個(gè)空氣室。沖擊板60可為加熱器塊52的本體138的集成部分(如圖所示)，或者在其中腔體147在沖擊板60下方延伸的實(shí)施例中，沖擊板60可作為單獨(dú)(即，非集成)件而附接至加熱器塊的本體138。
[0047]在包括空氣回收系統(tǒng)67的實(shí)施例中，空氣室142和通道144、145可被構(gòu)造成僅所述多個(gè)空氣室142的子集(例如，每隔一個(gè)空氣室)聯(lián)接至空氣進(jìn)口 148。作為代替，未聯(lián)接至空氣進(jìn)口 148的其余空氣室142可聯(lián)接至空氣泵71的進(jìn)氣端口 73。因此，空氣室142可在正壓力下的熱空氣和負(fù)壓力下的排出空氣之間交替。因此可通過被聯(lián)接至正壓力下的空氣室142的開口 143將熱空氣供應(yīng)至在沖擊板60上方的區(qū)域，并且通過被聯(lián)接至負(fù)壓力下的空氣室142的開口 143將熱空氣清除。在加熱器100操作期間，可調(diào)節(jié)被提供給空氣室142的負(fù)壓力，以控制在襯底14和沖擊板60之間的與相應(yīng)的加熱區(qū)域38、40對(duì)應(yīng)的區(qū)域中的壓力。例如，通過清除足夠多的空氣，以保持被順應(yīng)性構(gòu)件66限制于加熱區(qū)域的空氣的壓力大約與處理設(shè)施中的周圍環(huán)境壓力相同，可減少被引入到設(shè)施中的熱空氣的量。然后將已清除的空氣再次循環(huán)到空氣室48中，由此減少必須被引入到加熱器100中的未加熱加壓空氣74的量。這種未加熱空氣74的減少繼而可減少加熱元件組件140必須提供給加熱器塊52的熱量。
[0048]加熱元件組件140可包括加熱元件54、熱切斷裝置154以及印刷電路板156，印刷電路板156被構(gòu)造成經(jīng)由突片158將加熱元件54和熱切斷裝置154電聯(lián)接至面向頂部連接器126?？蓮募訜崞鲏K52的本體138的底部接近螺紋盲孔116，并且螺紋盲孔116可位于加熱器塊52的底表面117的中心附近。盲孔116可被構(gòu)造成接收固位螺栓115，使得可通過固位螺栓115將加熱器塊52固定抵靠支撐組件46。
[0049]加熱器塊52的本體138還可包括:被構(gòu)造成接收加熱元件54的鉆孔162 ；以及被構(gòu)造成接收加熱元件組件140的熱切斷裝置154的腔體(未示出)。一旦被插入到加熱器塊52的本體138中，加熱元件組件140就可由蓋板166保持在適當(dāng)位置，蓋板166由多個(gè)螺釘168附接至加熱器塊52的本體138。加熱元件54可通過與鉆孔162的內(nèi)表面接觸而熱聯(lián)接至加熱器塊52的本體138。因此，激活加熱元件54可將加熱器塊52的本體138的溫度升高至高于周圍環(huán)境溫度。
[0050]進(jìn)入空氣進(jìn)口 148的空氣的溫度和通道144的表面的溫度之間的結(jié)果差異可引起熱從加熱器塊52的本體138傳遞至穿過通道144的空氣。這種熱傳遞可將進(jìn)入所述多個(gè)空氣室142的空氣的溫度升高至大約與加熱器塊52的本體138相同的溫度。因此，可通過調(diào)節(jié)加熱器塊52的本體138的溫度，以受控方式加熱從支撐組件46的空氣室48進(jìn)入空氣進(jìn)口 148的空氣。加熱器塊52的本體138也可提供如下的熱質(zhì)量，該熱質(zhì)量緩沖由加熱元件54循環(huán)激活和失活導(dǎo)致的溫度變化以及由進(jìn)入空氣進(jìn)口 148的空氣的流量或溫度的變化導(dǎo)致的溫度變化。
[0051]視情況，可通過在金屬片或加熱器塊52的本體138中鉆削或者激光加工網(wǎng)狀圖案孔而構(gòu)造沖擊板60，以形成開口 143。開口 143的典型尺寸為直徑0.5mm，間距5mm。在其中腔體147在非集成沖擊板60下方延伸的加熱器塊52的實(shí)施例中，沖擊板60可位于本體138中的腔體147的敞開側(cè)上，以限定空氣室58。在該實(shí)施例中，空氣室58而非多個(gè)空氣室142可將熱空氣分配至沖擊板60。因此，可由開口 143將流入到空氣室58中的熱空氣朝向襯底14引導(dǎo)。
[0052]可通過沖擊板60的開口 143的構(gòu)造調(diào)節(jié)熱空氣在襯底14上沖擊的圖案。如圖7和8中所示，開口 143可橫跨沖擊板60均勻分布，使得熱空氣在襯底14上均勻地沖擊。然而，在可替換實(shí)施例中，開口 143可不均勻地分布，使得與其它部分相比，在襯底14的一些部分上沖擊更多熱空氣。也可調(diào)節(jié)開口尺寸和/或密度，以補(bǔ)償諸如可能由于距空氣進(jìn)口148更遠(yuǎn)的空氣室142的區(qū)域中的較低空氣壓力引起的空氣室142中的不均勻空氣壓力。
[0053]現(xiàn)在參考圖10和11，以前視圖示出提升組件300，同時(shí)提升組件300將加熱器100支撐在升高位置(圖10)，并且以分解透視圖示出提升組件300 (圖11)。提升組件300可包括位于外殼306中的氣缸302和提升構(gòu)件304以及被構(gòu)造成接收加熱器100的提升板308。提升構(gòu)件304可包括載架309，載架309具有:水平地向外突出的凸起310 ;以及多個(gè)螺紋孔312，所述多個(gè)螺紋孔312被構(gòu)造成接收將提升板308固定至提升構(gòu)件304的螺栓314。凸起310可包括:孔口 316，孔口 316被構(gòu)造成接收氣缸302的活塞桿318 ;和固位螺釘320，固位螺釘320將活塞桿318固定在孔口 316內(nèi)。固位螺釘320可允許，通過將提升板308定位在期望高度并且然后擰緊固位螺釘320以固定活塞桿318在凸起310內(nèi)的位置，來調(diào)節(jié)提升構(gòu)件304的高度。因此，固位螺釘320可提供調(diào)節(jié)提升板308高度的裝置，使得當(dāng)提升組件300處于升高位置時(shí)，將加熱器100關(guān)于襯底14精確定位。提升構(gòu)件304也可包括被聯(lián)接至載架309的第一和第二滑動(dòng)器322、324。第一和第二滑動(dòng)器322、324可接合側(cè)向定位提升構(gòu)件304的第一和第二引導(dǎo)桿326、328，同時(shí)允許提升構(gòu)件304被氣缸302豎直地移動(dòng)?？梢砸钥刂破靼?30的形式提供控制器50，該控制器板330由立柱332聯(lián)接至提升板308的底部?？刂破靼?30可包括連接器334，連接器334被構(gòu)造成通過提升板308中的狹槽336接合支撐組件42的面向底部連接器132。因此，控制器板連接器334可將控制器50電聯(lián)接至PC板128，該P(yáng)C板128繼而將控制器50電聯(lián)接至加熱器塊52。
[0054]如圖11中最清晰示出的，提升板308可被構(gòu)造成將加壓空氣74聯(lián)接至下部外殼102中的空氣供應(yīng)開口 136中的一個(gè)或多個(gè)空氣供應(yīng)開口。為此，提升板308可包括通道338，通道338將氣動(dòng)連接器340聯(lián)接至一個(gè)或多個(gè)空氣出口，所述一個(gè)或多個(gè)空氣出口在代表性實(shí)施例中示出為單個(gè)空氣出口 342，該單個(gè)空氣出口 342與下部外殼102中的空氣供應(yīng)開口 136對(duì)準(zhǔn)。通道338可由多個(gè)相交交叉鉆孔334限定?？蓪⑷?46插入到交叉鉆孔344的暴露端中，以防止加壓空氣74從通道338逸出。隨著加壓空氣74穿過通道338，加壓空氣74可從提升板308吸收熱。因此，流經(jīng)通道338的加壓空氣74可移除從下部外殼102傳遞至提