1.一種利用微束激光對材料進行精細加工和處理的裝置，其特征在于，該裝置包括：激光匯聚及顯微觀察系統(tǒng)、激光光源、普通光光源、氣泵、氣浮減震平臺、樣品臺機械數(shù)控移動系統(tǒng)、CCD攝像頭、激光匯聚模塊機械移動系統(tǒng)、運動控制器、計算機，具體結(jié)構(gòu)如下：
激光光源和普通光光源分別通過接口以同軸光的形式，通過光纜接入激光匯聚及顯微觀察系統(tǒng)，并且激光光源和普通光光源手動選擇切換光源；激光匯聚及顯微觀察系統(tǒng)與CCD攝像頭的輸入端連接，CCD攝像頭的輸出端與運動控制器的輸入端通過USB線與計算機連接，進行顯微觀察定位和數(shù)控編程；激光匯聚及顯微觀察系統(tǒng)設(shè)置于激光匯聚模塊機械移動系統(tǒng)上，運動控制器的輸出端與樣品臺機械數(shù)控移動系統(tǒng)連接，樣品臺機械數(shù)控移動系統(tǒng)設(shè)置于氣浮減震平臺上，氣浮減震平臺的進氣端與氣泵連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用微束激光對材料進行精細加工和處理的裝置，其特征在于，該裝置的激光匯聚及顯微觀察系統(tǒng)設(shè)置共軸光路系統(tǒng)，共軸光路系統(tǒng)包括一個激光光纜接口、一個普通光光纜接口、一個激光CCD攝像頭、一組激光匯聚鏡頭、普通顯微鏡目鏡、物鏡和一組不同倍率的超長焦距物鏡，對激光進行匯聚，以便滿足加工和處理精度的要求。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用微束激光對材料進行精細加工和處理的裝置，其特征在于，激光匯聚模塊機械移動系統(tǒng)帶動激光匯聚及顯微觀察系統(tǒng)在x、y、z三維空間內(nèi)任意移動，用于顯微鏡的聚焦和光斑的移動；樣品臺機械數(shù)控移動系統(tǒng)帶動樣品臺在x、y、z三維空間內(nèi)任意移動，樣品臺機械數(shù)控移動系統(tǒng)實現(xiàn)面內(nèi)樣品的旋轉(zhuǎn)和傾轉(zhuǎn)，且實現(xiàn)數(shù)控和實時狀態(tài)監(jiān)測；激光匯聚及顯微觀察系統(tǒng)配備放大倍率可調(diào)的顯微成像系統(tǒng)及同軸光源，用于對激光光斑定位和樣品的觀察、加工和處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用微束激光對材料進行精細加工和處理的裝置，其特征在于，通過計算機實現(xiàn)對機械位移進行數(shù)控和實時監(jiān)控，通過計算機的顯微鏡成像窗口將顯微圖像在計算機上成像，方便進行實施觀察、測量和精確定位；通過計算機的位移窗口輸入需要加工的圖形，對電動樣品臺進行數(shù)控。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用微束激光對材料進行精細加工和處理的裝置，其特征在于，激光匯聚及顯微觀察系統(tǒng)、激光匯聚模塊機械移動系統(tǒng)和樣品臺機械數(shù)控移動系統(tǒng)安置于氣浮減震平臺之上，以提高加工和處理的精度和穩(wěn)定性。