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一種簡易高精飛秒激光加工器的制作方法

文檔序號:11672918閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種簡易高精飛秒激光加工器,包括底座和設(shè)置在底座上的飛秒激光裝置、水平光路裝置、豎直光路裝置和激光加工設(shè)備;

所述底座包括固定板、轉(zhuǎn)動板和升降機構(gòu),所述固定板設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動板的下方,所述固定板的一端通過鉸鏈連接所述轉(zhuǎn)動板,所述升降機構(gòu)設(shè)置在固定板的另一端,升降機構(gòu)與轉(zhuǎn)動板的非鉸接端連接,并帶動轉(zhuǎn)動板的非鉸接端上下移動;

所述飛秒激光裝置包括泵浦光源、諧振腔、振蕩器和激光放大器,所述激光放大器設(shè)置在泵浦光源的光路上,所述諧振腔和振蕩器依次設(shè)置在所述泵浦光源和所述激光放大器之間的光路上,并將激光射向水平光路裝置的進光口;

所述水平光路裝置包括第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第四反射鏡、第五反射鏡,第一反射鏡設(shè)置在水平光路裝置的進光口,第二反射鏡設(shè)置在第一反射鏡激光反射的光路上,第三反射鏡設(shè)置在第二反射鏡激光反射的光路上,第四反射鏡設(shè)置在第三反射鏡激光反射的光路上,第五反射鏡設(shè)置在第四反射鏡激光反射的光路上,第二反射鏡和第三反射鏡之間的光路上設(shè)置有1/2波片,第三反射鏡和第四反射鏡之間的光路上依次設(shè)有格蘭偏振片、分光鏡和電動快門,激光經(jīng)所述格蘭偏振片分為尋常光和非尋常光,尋常光朝向所述分光鏡,非尋常光的光路上設(shè)有激光終止器,激光經(jīng)所述分光鏡分為透射光束和反射光束,透射光束朝向所述電動快門,反射光束的光路上設(shè)有探頭,第四反射鏡和第五反射鏡之間設(shè)有1/4波片,所述第五反射鏡將激光反射至豎直光路裝置的進光口;

所述豎直光路裝置包括第六反射鏡和擴束鏡,所述第六反射鏡設(shè)置在豎直光路裝置的進光口,所述擴束鏡設(shè)置在所述第六反射鏡反射的激光光路上,所述第六反射鏡將激光反射至激光加工設(shè)備的進光口;

所述激光加工設(shè)備的進光口設(shè)有二向色鏡,激光經(jīng)所述二向色鏡分為近紅外光和可視光,近紅外光的光路上設(shè)有激光頭,可視光的光路上設(shè)有第七反射鏡,第七反射鏡激光反射的光路上設(shè)有微型攝像頭。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的簡易高精飛秒激光加工器,其特征在于,所述飛秒激光裝置上設(shè)有水冷裝置,所述水冷裝置包括輸送泵和液體循環(huán)管路,所述液體循環(huán)管路與泵浦光源連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的簡易高精飛秒激光加工器,其特征在于,所述激光加工設(shè)備的側(cè)面設(shè)有LED照明燈,LED照明燈的光路上設(shè)有第八反射鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的簡易高精飛秒激光加工器,其特征在于,所述激光加工設(shè)備的近紅外光的光路上設(shè)有可調(diào)物鏡。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的簡易高精飛秒激光加工器,其特征在于,所述升降機構(gòu)為螺桿升降機。

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