1.暗部判斷法激光切割方法，其特征在于，包括以下步驟：
斜裂報警后，CCD位置調(diào)整至切割道明暗分界線位置，觀察切割道明暗分界線；
選擇暗部方向為偏移方向；
出現(xiàn)的炸點偏離切割道正中的影響因素有很多，如光刻異常，步距異常，載臺運動異常，DBR異常；
經(jīng)過一定時間的觀察，發(fā)現(xiàn)大族機臺直接選取65um左右的調(diào)焦步距，進行焦點下移，再微調(diào)使得切割道明暗紋最清晰；QMC機臺直接選取快速步距上移焦點，便可準確、快速完成斜裂判斷；
斜裂報警后，將CCD下降63um，并進行微調(diào)最清晰處，暗部方向向下，選擇向下偏移。