一種限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，包括：支撐機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、滑臺機構(gòu)、激光切割頭；所述支撐機構(gòu)用來支撐所述激光切割裝置，所述激光切割裝置其它所有部件均直接或間接安裝在所述支撐機構(gòu)上；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)直接安裝在所述支撐機構(gòu)上，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括動力旋轉(zhuǎn)裝置、旋轉(zhuǎn)端部，所述旋轉(zhuǎn)端部可在所述動力旋轉(zhuǎn)裝置的帶動下進行旋轉(zhuǎn)；所述滑臺機構(gòu)固定在所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的所述旋轉(zhuǎn)端部上；所述激光切割頭傾斜的安裝在所述滑臺機構(gòu)上；通過所述滑臺機構(gòu)，可以調(diào)整所述激光切割頭所發(fā)射激光的焦點相對所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)中心軸線的位置；采用本發(fā)明的激光切割裝置能夠避免在旋轉(zhuǎn)切割時矩形開口的開口拐角處會圓角或者拐角處無法切除的現(xiàn)象。
【專利說明】一種限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于激光切割領(lǐng)域，涉及一種限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置及其切割掩模板的方法。
[0002]

【背景技術(shù)】
[0003]有機發(fā)光顯示器(Organic Light-Emitting D1de,簡稱0LED)是下一代的顯示技術(shù)，與目前使用的液晶顯示器(Liquid Crystal Display，簡稱IXD)顯示技術(shù)相比,具有可視角大，色彩艷麗，功耗低等優(yōu)點，會逐漸替代目前主流的液晶顯示技術(shù)。
[0004]在OLED顯示器的制作過程中，其中有機層的沉積會使用到掩模板，圖1所示為采用掩模板蒸鍍有機材料的示意圖。掩模板10由于比較薄，在蒸鍍前會通過相關(guān)工藝固定在掩模外框11上，圖2所示為掩模板固定在掩模外框11上的平面示意圖。蒸鍍時，掩模板10借助掩模外框11固定在支撐臺12上，蒸鍍源13中的有機材料通過蒸發(fā)擴散至掩模板10下方，掩模板10上在一定的位置設(shè)置有開口 100，有機材料通過開口 100沉積在沉積基板14上對應(yīng)的位置處，形成有機沉積層。
[0005]在技術(shù)要求上，有機沉積層的沉積質(zhì)量對后期產(chǎn)品質(zhì)量有非常大的影響，故在蒸鍍沉積過程中對沉積基板14上沉積區(qū)域的邊緣精度及均勻性要求非常高。為了能夠?qū)崿F(xiàn)有機材料很好的蒸鍍到沉積基板14上，必須減少掩模板開口邊緣對有機沉積層的影響，即減少如圖3所示的蒸鍍效應(yīng)(由于掩模板開口邊緣對有機材料130沉積的遮擋影響，導(dǎo)致有機沉積層131邊緣厚度不均勻)，掩模板的開口截面往往設(shè)計成圖4所示的“凹形”結(jié)構(gòu)，該“凹形”結(jié)構(gòu)一般是通過化學(xué)蝕刻工藝制得，然而基于蝕刻工藝的掩模板制作技術(shù)會對環(huán)境帶來污染。
[0006]基于此，業(yè)界探索采用環(huán)境友好的激光切割工藝制作掩模板，以期在不損害環(huán)境的前提下制作能夠滿足OLED有機層沉積用的掩模板，中國專利201320497009.9公開了一種用于OLED蒸鍍用掩模板切割的激光切割裝置，其具體結(jié)構(gòu)如圖5所示，激光切割頭3傾斜間接的可以通過固定部件2安裝在旋轉(zhuǎn)部件I的旋轉(zhuǎn)端部上，亦可以直接安裝在旋轉(zhuǎn)部件I的旋轉(zhuǎn)端部上，但在實際采用該激光切割裝置進行掩模板的切割時會有以下缺陷:受限于裝配本身的原因，激光切割頭3發(fā)射的激光在掩模板上的切割點很難落在旋轉(zhuǎn)部件I的旋轉(zhuǎn)中心軸線上，從而導(dǎo)致激光切割裝置在旋轉(zhuǎn)切割時(即切割完一條邊，進行下一條邊的切割時)，掩模板上本應(yīng)為矩形開口的開口拐角處會圓角或者拐角處無法切除的現(xiàn)象。
[0007]因此，業(yè)界需要一種激光切割裝置，以期能夠更好的滿足掩模板高質(zhì)量開口的切割。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]有鑒于此，本發(fā)明提供了一種限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，旨在克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，以更好的滿足具有高精密開口的掩模板的切割應(yīng)用。
[0009]根據(jù)本專利【背景技術(shù)】中對現(xiàn)有技術(shù)所述，目前OLED蒸鍍用掩模板制作所使用的方法有兩種:其一，通過蝕刻工制作橫截面為“凹形”結(jié)構(gòu)的開口，然而基于蝕刻工藝的掩模板制作技術(shù)會對環(huán)境帶來污染；其二，通過傾斜設(shè)置的激光頭在掩模板上形成“錐臺”結(jié)構(gòu)的開口，但由于激光切割頭的設(shè)計結(jié)構(gòu)局限性，激光切割頭發(fā)射的激光在掩模板上的切割點很難落在旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)中心軸線上，從而導(dǎo)致激光切割裝置在旋轉(zhuǎn)切割時(即切割完一條邊，進行下一條邊的切割時)，掩模板上本應(yīng)為矩形開口的開口拐角處會圓角或者拐角處無法切除的現(xiàn)象。
[0010]本發(fā)明所提供的一種限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，其包括:支撐機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、滑臺機構(gòu)、激光切割頭；所述支撐機構(gòu)用來支撐所述激光切割裝置，所述激光切割裝置其它所有部件均直接或間接安裝在所述支撐機構(gòu)上；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)直接安裝在所述支撐機構(gòu)上，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括動力旋轉(zhuǎn)裝置、旋轉(zhuǎn)端部，所述旋轉(zhuǎn)端部可在所述動力旋轉(zhuǎn)裝置的帶動下進行旋轉(zhuǎn)；所述滑臺機構(gòu)固定在所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的所述旋轉(zhuǎn)端部下方；所述激光切割頭傾斜的安裝在所述滑臺機構(gòu)上；其特征在于:通過所述滑臺機構(gòu)，可以調(diào)整所述激光切割頭所發(fā)射激光的焦點相對所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)中心軸線的位置。
[0011]采用本發(fā)明所提供的激光切割裝置進行加工時，由于激光切割頭設(shè)置為傾斜狀態(tài)，其與所加工的板材(板材加工后形成掩模板)成一定的傾斜角度，故其在板材上切割出的開口的側(cè)壁與板面呈一定的角度。
[0012]本發(fā)明所提供的激光切割裝置具有調(diào)節(jié)所述激光切割頭位置的滑臺機構(gòu)，其具有較高調(diào)節(jié)精度，通過所述滑臺機構(gòu)，可以將所述激光切割頭所發(fā)射激光的焦點調(diào)節(jié)到所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)中心軸線上，從而使得所述激光切割裝置具有較好的掩模板開口拐角切割功能。
[0013]另外，由于本發(fā)明激光裝置具有旋轉(zhuǎn)功能，為了避免旋轉(zhuǎn)部件的誤操作，導(dǎo)致切割時激光切割頭無限制的旋轉(zhuǎn)，造成各類事故，如擾斷激光切割頭的光纖等，本發(fā)明在所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的側(cè)面設(shè)置有限位機構(gòu)，當激光切割頭旋轉(zhuǎn)至預(yù)定位置時，停止進一步旋轉(zhuǎn)動作。
[0014]另外，本發(fā)明公開的激光切割裝置的還具有如下附加技術(shù)特征:
可選地，所述激光切割裝置還包括固定部件，所述固定部件固定在所述滑臺機構(gòu)下端，所述激光切割頭通過所述固定部件安裝在所述滑臺機構(gòu)上。
[0015]作為本發(fā)明的優(yōu)選，所述滑臺機構(gòu)為二維滑臺，所述二維滑臺具有較高的調(diào)整精度(微米級別)。
[0016]進一步，所述動力旋轉(zhuǎn)裝置是旋轉(zhuǎn)電機或旋轉(zhuǎn)氣缸。不同情況下，可以選擇旋轉(zhuǎn)電機或旋轉(zhuǎn)氣缸，旋轉(zhuǎn)氣缸的成本低廉，可以降低整體的造價，而旋轉(zhuǎn)電機則更加靈活，可以在PLC的操作下，進行任意角度的旋轉(zhuǎn)。
[0017]結(jié)合通過本發(fā)明的激光切割裝置應(yīng)用端的需求，所述激光切割頭所發(fā)射的激光與切割面(即掩模板的板面)的角度大于等于15°且小于等于75°。作為優(yōu)選，所述角度為15。 、30。 、45。 、60。 、75。。
[0018]進一步，本發(fā)明中所述限位裝置包括:隨所述動力旋轉(zhuǎn)裝置一起運動的運動部件以及相對所述支撐部件靜止的靜態(tài)部件。
[0019]進一步，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的所述旋轉(zhuǎn)端部在所述動力旋轉(zhuǎn)裝置的帶動下能夠旋轉(zhuǎn)一周，但旋轉(zhuǎn)的最大角度小于370°。
[0020]進一步，所述激光切割裝置還包括移動機構(gòu)，所述激光切割裝置通過所述支撐部件安裝在所述移動機構(gòu)上。
[0021]本發(fā)明還公開了所述限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置切割掩模板的方法，其包括: 開口直邊切割步驟:采用所述激光切割裝置對掩模板的開口直邊進行切割，切割時，所述激光切割裝置的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)不旋轉(zhuǎn)，所述激光切割裝置整體沿正在切割的所述開口直邊所在直線方向進行移動；
開口拐角切割步驟:采用所述激光切割裝置對所述掩模板的開口拐角進行切割，切割時，所述激光切割裝置的支撐機構(gòu)相對正在切割的所述掩模板保持靜止；所述激光切割裝置的所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)一定角度。
[0022]另外，為了保證掩模板開口拐角處的切割質(zhì)量，在所述開口直邊切割步驟與所述開口拐角切割步驟之前，還包括:激光切割焦點位置調(diào)節(jié)步驟，所述激光切割焦點位置調(diào)節(jié)步驟是通過所述滑臺機構(gòu)調(diào)整所述激光切割頭發(fā)射激光的焦點相對所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)中心軸線的位置，使得所述激光切割頭發(fā)射激光的焦點落在所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)中心軸線上。
[0023]進一步，在所述開口直邊切割步驟中，所述激光切割裝置的激光切割頭所發(fā)射的激光束垂直于正在切割的所述開口直邊。
[0024]作為本發(fā)明的一優(yōu)選方案，在所述開口拐角切割步驟中，所述激光切割裝置的所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)的角度為90°。
[0025]進一步，在采用該激光切割裝置切割掩模板的方法中，所述開口直邊切割步驟與所述開口拐角切割步驟交替進行，直到完成所述掩模板上一個開口的切割。
[0026]對應(yīng)于本發(fā)明激光切割設(shè)備本身的特性，所述激光切割頭所發(fā)射的激光與所述掩模板板面之間的夾角大于等于15°且小于等于75°。作為優(yōu)選，所述激光切割頭所發(fā)射的激光與所述掩模板板面之間的夾角為15°、30°、45°、60°、75。。
[0027]本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)及優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。
[0028]

【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
圖1所示為采用掩模板蒸鍍有機材料的示意圖；
圖2所示為掩模板的平面示意圖；
圖3所示為采用傳統(tǒng)掩模板蒸鍍時掩模板開口處的局部蒸鍍沉積示意圖；
圖4為采用蝕刻工藝制作的掩模板開口示意圖(現(xiàn)有技術(shù))；
圖5為一種切割裝置結(jié)構(gòu)示意圖(現(xiàn)有技術(shù))；
圖6本發(fā)明中一種限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置示意圖；
圖7所示為掩模板開口切割局部示意圖；
圖8所示為掩模板開口直邊切割示意圖；
圖9所示為掩模板開口拐角切割示意圖； 圖10所示為掩模板10開口切割完畢后的仰視圖；
圖11所示為采用本發(fā)明激光切割裝置切割的掩模板蒸鍍OLED有機材料的示意圖圖中，10為掩模板，100為掩模板開口，11為掩模板固定的掩模外框，12為支撐臺，13為蒸鍍源，14為沉積基板，130為有機材料，131為有機沉積層；1是旋轉(zhuǎn)部件，2是固定部件，3是激光切割頭，61為本發(fā)明中激光切割裝置的支撐機構(gòu)，62為本發(fā)明中激光切割裝置的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，63為本發(fā)明中激光切割裝置的滑臺機構(gòu)，64為本發(fā)明中激光切割裝置的激光切割頭，65為本發(fā)明中激光切割裝置的限位機構(gòu)，其中651為構(gòu)成限位機構(gòu)65的運動部件，652為構(gòu)成限位機構(gòu)65的靜態(tài)部件，66為本發(fā)明激光切割裝置中固定激光切割頭64的固定機構(gòu)，67為本發(fā)明中激光切割裝置的光纖固定機構(gòu)，0-0'為本發(fā)明中旋轉(zhuǎn)裝置62的旋轉(zhuǎn)中心軸線，Θ為激光與掩模板板面10之間的夾角，L為掩模板10開口 100的一直邊所在直線，1001為切割時靠近激光切割頭64 —側(cè)的開口形貌，1002為切割時背離激光切割頭64 一側(cè)的開口形貌。
[0030]

【具體實施方式】
[0031]下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的限制。
[0032]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“側(cè)邊”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0033]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“聯(lián)接”、“連通”、“相連”、“連接”、“配合”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連；“配合”可以是面與面的配合，也可以是點與面或線與面的配合，也包括孔軸的配合，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0034]本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思如下:如技術(shù)背景所述，通過蝕刻工制作橫截面為“凹形”結(jié)構(gòu)的開口，然而基于蝕刻工藝的掩模板制作技術(shù)會對環(huán)境帶來污染；通過傾斜設(shè)置的激光頭在掩模板上形成“錐臺”結(jié)構(gòu)的開口，由于激光切割頭的設(shè)計結(jié)構(gòu)局限性，激光切割頭發(fā)射的激光在掩模板上的切割點很難落在旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)中心軸線上，從而導(dǎo)致激光切割裝置在旋轉(zhuǎn)切割時(即切割完一條邊，進行下一條邊的切割時)，掩模板上本應(yīng)為矩形開口的開口拐角處會圓角或者拐角處無法切除的現(xiàn)象。鑒于此，本發(fā)明提供一種限位式旋轉(zhuǎn)激光切割裝置(本發(fā)明中其它位置可簡稱為“激光切割裝置”)，其能克服以上問題，能夠較好的滿足OLED掩模板的開口切割應(yīng)用。
[0035]本發(fā)明所提供的一種限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，其一種實施例的示意圖如圖6所示，其包括:支撐機構(gòu)61、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62、滑臺機構(gòu)63、激光切割頭64 ;支撐機構(gòu)61用來支撐激光切割裝置，激光切割裝置其它所有部件均直接或間接安裝在所述支撐機構(gòu)61上；旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62直接安裝在所述支撐機構(gòu)61上，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62包括動力旋轉(zhuǎn)裝置、旋轉(zhuǎn)端部(圖中未示出)，旋轉(zhuǎn)端部可在動力旋轉(zhuǎn)裝置的帶動下進行旋轉(zhuǎn)；滑臺機構(gòu)63固定在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的所述旋轉(zhuǎn)端部下方；激光切割頭64傾斜的安裝在滑臺機構(gòu)63上。
[0036]參考圖6示意圖，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的旋轉(zhuǎn)中心軸線為O-CV，通過調(diào)整滑臺機構(gòu)63，可以調(diào)整所述激光切割頭64所發(fā)射激光的焦點640相對所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)中心軸線0-0'的位置。
[0037]采用本發(fā)明所提供的激光切割裝置進行加工時，由于激光切割頭設(shè)置為傾斜狀態(tài)，其與所加工的板材(板材加工后形成掩模板)成一定的傾斜角度，故其在板材上切割出的開口的側(cè)壁與板面呈一定的角度，如圖7所示開口的側(cè)壁與掩模板10的板面之間形成夾角Θ。
[0038]本實施例中的滑臺機構(gòu)63為二維滑臺，其具有較高調(diào)節(jié)精度(微米級別)，通過調(diào)整滑臺機構(gòu)63，可以使得激光切割頭64所發(fā)射激光的焦點640落在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的旋轉(zhuǎn)中心軸線0-0'上，從而使得所述激光切割裝置具有較好的掩模板開口拐角切割功能。
[0039]在本實施例中，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的側(cè)面設(shè)置有限位機構(gòu)65，限位機構(gòu)65由隨動力旋轉(zhuǎn)裝置一起運動的運動部件651以及相對所述支撐部件61靜止的靜態(tài)部件652構(gòu)成，運動部件651可以直接與旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62綁定，靜態(tài)部件652可以直接固定在支撐架上。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62在旋轉(zhuǎn)動作過程中，其旋轉(zhuǎn)角度受到限位機構(gòu)65的限定，即旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62沿某一方向旋轉(zhuǎn)時，限位機構(gòu)65的運動部件651隨旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62 —起運動，當限位機構(gòu)65的運動部件651接觸到靜態(tài)部件652并觸發(fā)設(shè)置在限位機構(gòu)65上的開關(guān)，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)立即停止在同一方向上的進一步旋轉(zhuǎn)。
[0040]由于設(shè)置有限位裝置65，激光切割頭64在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的帶動下不會出現(xiàn)無限制的旋轉(zhuǎn)，連接在激光切割頭64上的激光導(dǎo)入光纖不會出現(xiàn)繞斷的狀況。換句話而言，在本實施例中增加限位裝置65，可以有效的避免旋轉(zhuǎn)部件的誤操作而導(dǎo)致的各類事故。
[0041]作為本發(fā)明的一實施例，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62在限位機構(gòu)65的限制下能夠旋轉(zhuǎn)一周，但其旋轉(zhuǎn)的最大角度小于370°。
[0042]作為本發(fā)明的另一實施例，本發(fā)明的激光切割裝置還包括固定部件66，固定部件66固定在所述滑臺機構(gòu)下端，激光切割頭64通過所述固定部件66傾斜的安裝在滑臺機構(gòu)63上。
[0043]在本發(fā)明的一具體實施例中，構(gòu)成旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的動力旋轉(zhuǎn)裝置是旋轉(zhuǎn)電機，旋轉(zhuǎn)電機靈活，可以在PLC的操作下，進行任意角度的旋轉(zhuǎn)。在另一具體實施例中，構(gòu)成旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的動力旋轉(zhuǎn)裝置是旋轉(zhuǎn)氣缸，旋轉(zhuǎn)氣缸的成本低廉，可以降低整體的造價。
[0044]結(jié)合通過本發(fā)明的激光切割裝置應(yīng)用端的需求，即通過激光切割裝置切割出能夠很好滿足OLED顯示屏有機材料蒸鍍應(yīng)用，掩模板的開口側(cè)壁與板面需要呈一定的角度，如圖7所示，開口的側(cè)壁與掩模板10的板面之間形成夾角Θ。在本發(fā)明的一些實施例中，激光切割頭64所發(fā)射的激光與切割面(即掩模板10的板面)之間的夾角Θ范圍為:15°彡Θ彡75° ;作為更為具體的一些實施例:夾角Θ為15°、30°、45°、60°、75°。
[0045]在本發(fā)明的另一些實施例中，激光切割裝置還包括移動機構(gòu)(圖中未示出)，激光切割裝置通過支撐機構(gòu)61件安裝在移動機構(gòu)上，移動部件包括X軸、Y軸、Z軸等可以控制激光切割裝置在三維空間運動的機構(gòu)(圖中未示出)。
[0046]為了進一步防止光纖在裝置運轉(zhuǎn)過程中被損傷，激光切割裝置的支撐架上設(shè)置有固定光纖的固定套67。
[0047]根據(jù)本發(fā)明以上提供的激光切割裝置，為了更好的體現(xiàn)本發(fā)明的優(yōu)勢，以下展示一種激光切割裝置切割掩模板的方法，本發(fā)明所稱的切割掩模板是指用激光在板材上本無開口的特定位置處形成一定形貌的開口。
[0048]結(jié)合激光切割過程，采用該激光切割裝置切割掩模板的方法包括開口直邊切割步驟和開口拐角切割步驟兩個步驟:
其中，開口直邊切割步驟:用激光切割裝置上傾斜設(shè)置的激光切割頭64切割掩模板10的開口直邊，切割時，激光切割裝置的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62不旋轉(zhuǎn)，所述激光切割裝置整體沿正在切割的開口直邊所在直線方向進行移動。詳細如圖8所示，激光切割頭沿開口 100的開口直邊所在直線L的方向上對掩模板10進行切割，在此過程中，激光切割裝置的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62不轉(zhuǎn)動，即激光切割頭64不饒旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的旋轉(zhuǎn)中心軸線0-0'轉(zhuǎn)動。
[0049]其中，開口拐角切割步驟:采用所述激光切割裝置上傾斜設(shè)置的激光切割頭64切割掩模板10的開口拐角，切割時，激光切割裝置的支撐機構(gòu)61相對正在切割的所述掩模板10保持靜止，激光切割裝置的激光切割頭64在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋62的帶動下轉(zhuǎn)一定角度并對掩模板10的拐角處進行切割。詳細如圖9所示，在拐角切割時，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的旋轉(zhuǎn)中心軸線0-0'位置不變，且激光切割頭64在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋62的帶動下由a位置旋轉(zhuǎn)到b位置，從而完成掩模板10開口 100的拐角切割。
[0050]在開口直邊切割步驟中，激光切割裝置的激光切割頭64所發(fā)射的激光束垂直于正在切割的所述開口直邊，即如圖8所示，激光切割頭64所發(fā)射的激光垂直于開口 100的開口直邊所在直線L。
[0051]在開口拐角切割步驟中，激光切割裝置的所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)的角度為90°。即如圖9所示，激光切割頭64在在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋62的帶動下由a位置旋轉(zhuǎn)到b位置，旋轉(zhuǎn)電機在此過程中旋轉(zhuǎn)角度為90°
在采用該激光切割裝置切割掩模板的方法中，開口直邊切割步驟與開口拐角切割步驟交替進行，直到完成所述掩模板10上一個完整開口 100的切割，作為本發(fā)明一個較優(yōu)實施例方式，激光切割裝置在掩模板10上按一個方向完成開口 100的切割。
[0052]另外，為了保證掩模板開口拐角處的切割質(zhì)量，在開口直邊切割步驟與開口拐角切割步驟之前，還包括激光切割焦點位置調(diào)節(jié)步驟，即通過激光切割裝置的滑臺機構(gòu)63調(diào)整激光切割頭64發(fā)射激光的焦點640相對旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的旋轉(zhuǎn)中心軸線0-0'的位置，使得激光切割頭64發(fā)射激光的焦點640落在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的旋轉(zhuǎn)中心軸線0-0'上。
[0053]在掩模板開口的切割過程中，激光頭所發(fā)射激光的焦點基本上一直處于掩模板10上表面附近位置。在掩模板拐角切割時(如圖9所示)，由于激光的焦點640落在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62的旋轉(zhuǎn)中心軸線O-CV上，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)62旋轉(zhuǎn)帶動激光切割頭64對掩模板開口 100的拐角進行切割，形成的拐角在掩模板10上靠近激光切割頭64 —側(cè)為兩直邊相連的結(jié)構(gòu)，而形成的拐角在掩模板10上背離激光切割頭64 —側(cè)為弧線相連的結(jié)構(gòu)。如圖10所示，圖10展示的是掩模板10開口切割完畢后的仰視圖(即圖8、圖9中所示掩模板10由下往上觀察的示意圖)，形成在掩模板10上的開口 100靠近激光切割頭64—側(cè)1001在拐角處為角結(jié)構(gòu)，形成在掩模板10上的開口 100背離激光切割頭64 —側(cè)1002在拐角處為弧形結(jié)構(gòu)，開口 100背離激光切割頭64 —側(cè)1002的面積大于開口 100靠近激光切割頭64 —側(cè)1001的面積。
[0054]作為本發(fā)明的一最佳應(yīng)用實施例，形成在掩模板10上的開口 100靠近激光切割頭64 一側(cè)1001拐角處的角結(jié)構(gòu)為直角結(jié)構(gòu)，形成在掩模板10上的開口 100背離激光切割頭64的一側(cè)1002在拐角處的弧形結(jié)構(gòu)為倒圓角。
[0055]對應(yīng)于本發(fā)明中激光切割設(shè)備本身的特性，激光切割頭64所發(fā)射的激光與掩模板10板面的夾角大于等于15°且小于等于75°。在一些具體實施例中，激光切割頭64所發(fā)射的激光與掩模板10板面之間形成的夾角為15°、30°、45°、60°、75。。
[0056]采用本發(fā)明的激光切割裝置，可以連貫有效的切割出掩模板10上的開口 100，不存在掩模板上本應(yīng)為矩形開口的開口拐角處會圓角或者拐角處無法切除的現(xiàn)象。
[0057]圖11所示為采用本發(fā)明激光切割裝置切割的掩模板蒸鍍OLED有機材料的示意圖，其在蒸鍍過程中避免了蒸鍍效應(yīng)，有機材料130能夠均勻的蒸鍍沉積到基板14上的特定區(qū)域。
[0058]本發(fā)明中任何提及“ 一個實施例”、“實施例”、“示意性實施例”等意指結(jié)合該實施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例中。在本說明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實施例。而且，當結(jié)合任何實施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點時，所主張的是，結(jié)合其他的實施例實現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點均落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。
[0059]盡管參照本發(fā)明的多個示意性實施例對本發(fā)明的【具體實施方式】進行了詳細的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計出多種其他的改進和實施例，這些改進和實施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進，而不會脫離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，其包括:支撐機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、滑臺機構(gòu)、激光切割頭；所述支撐機構(gòu)用來支撐所述激光切割裝置，所述激光切割裝置其它所有部件均直接或間接安裝在所述支撐機構(gòu)上；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)直接安裝在所述支撐機構(gòu)上，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括動力旋轉(zhuǎn)裝置、旋轉(zhuǎn)端部，所述旋轉(zhuǎn)端部可在所述動力旋轉(zhuǎn)裝置的帶動下進行旋轉(zhuǎn)；所述滑臺機構(gòu)固定在所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的所述旋轉(zhuǎn)端部下方；所述激光切割頭傾斜的安裝在所述滑臺機構(gòu)上；其特征在于:通過所述滑臺機構(gòu)，可以調(diào)整所述激光切割頭所發(fā)射激光的焦點相對所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)中心軸線的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割裝置還包括限位機構(gòu)，所述限位裝置安裝在所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的側(cè)面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割裝置還包括固定部件，所述固定部件固定在所述滑臺機構(gòu)下端，所述激光切割頭通過所述固定部件安裝在所述滑臺機構(gòu)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，其特征在于，所述滑臺機構(gòu)為二維滑臺。
5.根據(jù)權(quán)利要求2、3或4所述的激光切割裝置，其特征在于，所述動力旋轉(zhuǎn)裝置是旋轉(zhuǎn)電機或旋轉(zhuǎn)氣缸。
6.根據(jù)權(quán)利要求2、3或4所述的限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割頭所發(fā)射的激光與切割面的角度大于等于15°且小于等于75°。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光切割裝置，其特征在于，所述角度為15°、30°、45°、60。 、75。。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，其特征在于，所述限位裝置包括:隨所述動力旋轉(zhuǎn)裝置一起運動的運動部件以及相對所述支撐部件靜止的靜態(tài)部件。
9.根據(jù)權(quán)利要求2、3或4所述的激光切割裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)端部在所述動力旋轉(zhuǎn)裝置的帶動下旋轉(zhuǎn)的最大角度小于370°。
10.根據(jù)權(quán)利要求2、3或4所述的限位旋轉(zhuǎn)式激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割裝置還包括移動機構(gòu)，所述支撐部件安裝在所述激動機構(gòu)上。
【文檔編號】B23K26/08GK104353934SQ201410501859
【公開日】2015年2月18日 申請日期:2014年9月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月27日
【發(fā)明者】魏志凌, 孫杰, 王武懷 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司