噴淋頭的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種噴淋頭。所述噴淋頭包括第一氣體腔室和多個(gè)第二氣體腔室，所述第一氣體腔室位于所述第二氣體腔室上方，所述噴淋頭由堆疊的結(jié)構(gòu)化板通過(guò)連接固定件連接形成；所述堆疊的結(jié)構(gòu)化板包括自上而下堆疊設(shè)置的第一結(jié)構(gòu)化板和第二結(jié)構(gòu)化板；所述第一結(jié)構(gòu)化板和第二結(jié)構(gòu)化板之間形成所述多個(gè)第二氣體腔室，所述第一結(jié)構(gòu)化板中具有多個(gè)第一氣體通道，所述第二結(jié)構(gòu)化板中具有多個(gè)間隔設(shè)置第二氣體通道和第三氣體通道，所述第一氣體通道和第二氣體通道相連通并共同連通所述第一氣體腔室與反應(yīng)區(qū)域，所述第三氣體通道連通所述第二氣體腔室與反應(yīng)區(qū)域。因此，避免了焊接形成的氣體腔室及氣體通道對(duì)反應(yīng)氣體的影響。
【專利說(shuō)明】P員淋頭
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是一種噴淋頭。
【背景技術(shù)】
[0002]自GaN(氮化鎵)基第三代半導(dǎo)體材料的興起，藍(lán)光LED (發(fā)光二極管)研制成功，LED的發(fā)光強(qiáng)度和白光發(fā)光效率不斷提高。LED被認(rèn)為是下一代進(jìn)入通用照明領(lǐng)域的新型固態(tài)光源，因此得到廣泛關(guān)注。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)的白光LED的制造工藝通常在一個(gè)具有溫度控制的環(huán)境下的反應(yīng)腔內(nèi)進(jìn)行。通常，將III族源氣體(例如MO氣體)和V族源氣體(例如氨氣)分別通入化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔內(nèi)，III族源氣體和V族源氣體在反應(yīng)腔內(nèi)反應(yīng)以在襯底上形成II1-V族材料薄膜。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)的噴淋頭，例如申請(qǐng)?zhí)枮?00880019034.8的中國(guó)專利，及申請(qǐng)?zhí)枮?012023945A1的美國(guó)專利，皆是包括多層板結(jié)構(gòu)，由不同層的板堆疊成氣體腔室，而噴淋頭的進(jìn)氣管通過(guò)與多層板焊接在一起的氣體管構(gòu)成。
[0005]目前，現(xiàn)有技術(shù)的噴淋頭由于采用焊接形成，故容易出現(xiàn)縫隙，脫焊等情況，從而會(huì)造成氣體的泄露，并且焊料的存在也會(huì)吸收MO氣體，從而導(dǎo)致對(duì)于MO氣體的供給無(wú)法準(zhǔn)確控制。而由于MO氣體的量比氨氣的量要少的多，當(dāng)MO氣體的供給不能夠準(zhǔn)確控制時(shí)，勢(shì)必會(huì)對(duì)生產(chǎn)加工過(guò)程造成不良的影響，特別是在形成LED結(jié)構(gòu)的量子阱層階段，需要MO氣體的流量精確可控制，而現(xiàn)有技術(shù)由于上述缺陷會(huì)使得這一要求難以達(dá)到。
[0006]因此，目前的噴淋頭并不合理，需要對(duì)其進(jìn)行改善。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]本實(shí)用新型的目的在于提供一種噴淋頭，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的噴淋頭由于焊機(jī)所致的漏氣和吸附氣體從而使得反應(yīng)氣體的流量可控性差問(wèn)題。
[0008]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種噴淋頭，用于向反應(yīng)區(qū)域提供反應(yīng)氣體，包括第一氣體腔室和多個(gè)第二氣體腔室，所述第一氣體腔室位于所述第二氣體腔室上方，其中，所述噴淋頭由堆疊的結(jié)構(gòu)化板通過(guò)連接固定件連接形成；所述堆疊的結(jié)構(gòu)化板包括自上而下堆疊設(shè)置的第一結(jié)構(gòu)化板和第二結(jié)構(gòu)化板；所述第一結(jié)構(gòu)化板和第二結(jié)構(gòu)化板之間形成所述多個(gè)第二氣體腔室，所述第一結(jié)構(gòu)化板設(shè)置有多個(gè)第一氣體通道，所述第二結(jié)構(gòu)化板設(shè)置有多個(gè)間隔設(shè)置的第二氣體通道和第三氣體通道，所述第一氣體通道和第二氣體通道相連通并共同連通所述第一氣體腔室與反應(yīng)區(qū)域，所述第三氣體通道連通所述第二氣體腔室與反應(yīng)區(qū)域。
[0009]本實(shí)用新型提供的噴淋頭中，所述噴淋頭由堆疊的結(jié)構(gòu)化板通過(guò)連接固定件連接形成，所述第一結(jié)構(gòu)化板設(shè)置有多個(gè)第一氣體通道，所述第二結(jié)構(gòu)化板設(shè)置有多個(gè)間隔設(shè)置的第二氣體通道和第三氣體通道，所述第一氣體通道和第二氣體通道相連通并共同連通所述第一氣體腔室與反應(yīng)區(qū)域，所述第三氣體通道連通所述第二氣體腔室與反應(yīng)區(qū)域。相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型通過(guò)連接固定件將結(jié)構(gòu)化板結(jié)合成噴淋頭，而不是采用焊接的方式形成，減少或避免了焊接形成的焊料對(duì)反應(yīng)氣體的吸收和釋放，從而使得反應(yīng)氣體的可控性得以提聞，進(jìn)而有利于提聞工藝水平。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的噴淋頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的噴淋頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3為圖2中沿A-A’線剖視的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖4為圖2中沿A-A’線剖視的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖5為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的噴淋頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖6為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的噴淋頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖7為本實(shí)用新型第四實(shí)施例的噴淋頭的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的噴淋頭進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0018]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0019]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0020]本實(shí)用新型的核心思想在于，提供一種噴淋頭，考慮到現(xiàn)有技術(shù)中的噴淋頭采用焊接形成，很容易吸附和釋放反應(yīng)氣體，使得對(duì)反應(yīng)氣體的無(wú)法達(dá)到較佳的控制，于是發(fā)明人將噴淋頭設(shè)計(jì)成包括多個(gè)堆疊的結(jié)構(gòu)化板通過(guò)連接固定件連接形成的結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)化板可以形成有凹槽以及通孔，通孔中可以設(shè)置有氣體管，然后將結(jié)構(gòu)化板壓合，使得凹槽所在的空間限定氣體腔室，(設(shè)置有氣體管的)通孔則作為氣體通道，連通了氣體腔室與反應(yīng)區(qū)域，因此避免了焊接產(chǎn)生的不良影響。
[0021]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提供的噴淋頭作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0022]請(qǐng)參考圖2-圖5，本實(shí)用新型提供一種噴淋頭，用于向反應(yīng)區(qū)域提供反應(yīng)氣體，所述噴淋頭包括第一氣體腔室40和多個(gè)第二氣體腔室50，所述第一氣體腔室40位于所述第二氣體腔室50上方，所述噴淋頭由堆疊的結(jié)構(gòu)化板通過(guò)連接固定件連接形成；所述堆疊的結(jié)構(gòu)化板包括自上而下堆疊設(shè)置的第一結(jié)構(gòu)化板10和第二結(jié)構(gòu)化板20 ;所述第一結(jié)構(gòu)化板10和第二結(jié)構(gòu)化板20之間形成所述多個(gè)第二氣體腔室50，所述第一結(jié)構(gòu)化板10中具有多個(gè)第一氣體通道101，所述第二結(jié)構(gòu)化板20中具有多個(gè)間隔設(shè)置的第二氣體通道201和第三氣體通道202，所述第一氣體通道101和第二氣體通道201相連通并共同連通所述第一氣體腔室40與反應(yīng)區(qū)域，所述第三氣體通道202連通所述第二氣體腔室50與反應(yīng)區(qū)域。
[0023]下面將對(duì)每個(gè)實(shí)施例加以具體說(shuō)明。請(qǐng)參考圖2，其為本實(shí)用新型的第一實(shí)施例，在本實(shí)施例中，提供第一結(jié)構(gòu)化板10，在所述第一結(jié)構(gòu)化板10中形成多個(gè)凹槽，所述凹槽的開口朝向一致，較佳的，每個(gè)凹槽具有相同的結(jié)構(gòu)參數(shù)，例如深度、寬度是相同的，所述凹槽為條形，例如是多個(gè)由中心向外間隔排布的環(huán)形條，或者是沿第一結(jié)構(gòu)化板10的徑向間隔排布的長(zhǎng)條形等形狀。在相鄰凹槽的槽壁中形成一排通孔，該通過(guò)貫穿所述第一結(jié)構(gòu)化板10，從而使得所述通孔成為第一氣體通道101，在另一可選實(shí)施例中，還可以是在通孔中插入氣體管，作為第一氣體通道101。較佳的，所述第一氣體通道101呈排狀排列，每排第一氣體通道101中，相鄰的第一氣體通道101之間的間距為l-20mm,例如為5mm、7mm、10mm、15mm等，為了達(dá)到較好的氣體分布效果，可以采取靠近中央部分的第一氣體通道101之間的間距大于靠近邊緣部分的第一氣體通道101之間的間距。所述通孔和凹槽可以采用鉆孔工藝或刻蝕工藝形成。
[0024]提供第二結(jié)構(gòu)化板20，在所述第二結(jié)構(gòu)化板20中形成多個(gè)通孔，同樣的，可以采用鉆孔工藝或刻蝕工藝形成。在本實(shí)施例中，所述第二結(jié)構(gòu)化板20包括相互間隔的頂板和底板，所述頂板和底板可以為一體成型，或者所述頂板和底板具有一筒狀的側(cè)壁，所述側(cè)壁兩端分別連接所述頂板和底板的邊緣以固定，在頂板和底板之間可以限定有冷卻腔，從而對(duì)氣體進(jìn)行冷卻。所述通孔貫穿所述頂板和底板。之后采用氣體管插入所述通孔中，并通過(guò)密封工藝使得氣體管與頂板和底板密實(shí)的結(jié)合在一起。一般情況下，所述結(jié)構(gòu)化板是采用不銹鋼制成，因而較佳的是采用焊接在一起的方法，具體為:提供氣體管，所述氣體管的長(zhǎng)度大于等于所述第二結(jié)構(gòu)化板20上下表面的距離，將氣體管插入所述通孔中，然后在氣體管與通孔之間填入焊料進(jìn)行焊接，接著，進(jìn)行平坦化工藝，去除所述氣體管暴露出所述第二結(jié)構(gòu)化板20的部分以及上下表面的焊料及相應(yīng)的焊接產(chǎn)物，使得第二結(jié)構(gòu)化板20平坦，提高與第一結(jié)構(gòu)化板10結(jié)合時(shí)的密封性，并減少反應(yīng)時(shí)反應(yīng)氣體在第二結(jié)構(gòu)化板20的下表面形成附著物。其中，在通孔中植入氣體管后，在所述第二結(jié)構(gòu)化板20中形成了多個(gè)第二氣體通道201及第三氣體通道202，所述第二氣體通道201對(duì)應(yīng)于所述第一氣體通道101，所述第三氣體通道202對(duì)應(yīng)于所述凹槽。所述第二氣體通道201及第三氣體通道202呈排狀排列，并且每?jī)膳诺诙怏w通道201中設(shè)置有一排所述第三氣體通道202，每排中相鄰所述第二氣體通道201之間的間距為l_20mm，所述第二氣體通道201與第三氣體通道202之間的間距為I—20mm。
[0025]所述第一結(jié)構(gòu)化板10設(shè)置有凹槽開口的一側(cè)與所述第二結(jié)構(gòu)化板的上表面(或下表面)貼靠并壓合后，所述凹槽所在空間限定了第二氣體腔室50，因此，所述第二氣體腔室50相應(yīng)的具有所述凹槽的結(jié)構(gòu)特征，例如是條形的，具體可參考圖3及圖4 (圖3及圖4僅示出了凹槽的形狀)，如圖3所示，所述第二氣體腔室50為環(huán)形條，沿所述第一結(jié)構(gòu)化板10的半徑方向自中心向外間隔排布，或者，如圖4所示，所述第二氣體腔室50為長(zhǎng)條形，沿所述第一結(jié)構(gòu)化板10的徑向呈多象限對(duì)稱排布，圖4具體為四象限(亦可劃分為八象限)的對(duì)稱排布，在其他實(shí)施例中，可以為其他數(shù)量的象限，例如三象限、六象限等。所述第一氣體通道101與第二氣體通道201相對(duì)應(yīng)，例如是所述第一氣體通道101與第二氣體通道201的氣體管管壁對(duì)準(zhǔn)，以便將第一結(jié)構(gòu)化板10與第二結(jié)構(gòu)化板20壓合后，所述第二氣體通道201與第一氣體通道101共同連通所述第一反應(yīng)腔室40與反應(yīng)區(qū)域。所述第一氣體通道101和第二氣體通道201之間可以設(shè)置有金屬密封件，環(huán)繞在所述第一氣體通道101和第二氣體通道201的連接處一周，提高密封性。所述第三氣體通道202對(duì)應(yīng)于所述凹槽，所述凹槽所在空間限定了第二氣體腔室50，因此所述第三氣體通道202連通了所述第二氣體腔室50與反應(yīng)區(qū)域。
[0026]所述堆疊的結(jié)構(gòu)化板還包括蓋板30，所述蓋板30包括蓋板主體301與蓋板壁302，所述蓋板壁302為環(huán)繞所述蓋板主體301 —周的圓筒狀結(jié)構(gòu)，所述蓋板壁302包括上端跟下端，所述上端連接于所述蓋板主體301的邊緣，所述下端連接于所述第一結(jié)構(gòu)化板10，從而構(gòu)成所述第一氣體腔室40。
[0027]所述蓋板30、第一結(jié)構(gòu)化板10和第二結(jié)構(gòu)化板20優(yōu)選為采用連接固定件固定，所述連接固定件可以為沿所述蓋板、第一結(jié)構(gòu)化板和第二結(jié)構(gòu)化板邊緣一周均勻分布的螺絲或者銷釘。
[0028]相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)施例通過(guò)連接固定件將結(jié)構(gòu)化板結(jié)合成噴淋頭，而不是采用焊接的方式形成，減少或避免了焊接形成的焊料對(duì)反應(yīng)氣體的吸收和釋放，從而使得反應(yīng)氣體的可控性得以提高，進(jìn)而有利于提高工藝水平。
[0029]請(qǐng)參考圖5，其為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的噴淋頭的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)施例中，與上一實(shí)施例相同或者相似的部件采用相同的標(biāo)號(hào)，并省略各個(gè)部件共通特征的說(shuō)明。
[0030]本實(shí)施例與上一實(shí)施例的區(qū)別在于，所述第一結(jié)構(gòu)化板10為一平板，設(shè)置有多個(gè)第一氣體通道101，所述第二結(jié)構(gòu)化板20的頂板中遠(yuǎn)離底板的一面設(shè)置有多個(gè)凹槽，所述凹槽具有與第一實(shí)施例中的凹槽相同的尺寸和排列特征，因此，所形成的多個(gè)第二氣體腔室50也具有與第一實(shí)施例中相同的特征，可作參考。所述第二氣體通道201設(shè)置于所述凹槽的槽壁中，所述第三氣體通道202連通所述凹槽及反應(yīng)區(qū)域。
[0031]由此可知，本實(shí)施例主要是凹槽由設(shè)置在第一結(jié)構(gòu)化板10轉(zhuǎn)變?yōu)樵O(shè)置在第二結(jié)構(gòu)化板20中，則基于這一變動(dòng)，應(yīng)當(dāng)理解的是所述第一結(jié)構(gòu)化板10和第二結(jié)構(gòu)化板20中可以同時(shí)形成有凹槽，且這些凹槽是相對(duì)應(yīng)的，將第一結(jié)構(gòu)化板10與第二結(jié)構(gòu)化板20具有凹槽的一面壓合在一起從而形成了第二氣體腔室50。
[0032]請(qǐng)參考圖6及圖7，其為本實(shí)用新型第三實(shí)施例及第四實(shí)施例的噴淋頭的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)施例中，與上一實(shí)施例相同或者相似的部件采用相同的標(biāo)號(hào)，并省略各個(gè)部件共通特征的說(shuō)明。
[0033]在第三實(shí)施例中，所述蓋板30為一平板，所述第一結(jié)構(gòu)化板10朝向所述蓋板30的一側(cè)具有凹陷，所述蓋板30覆蓋在所述第一結(jié)構(gòu)化板10的凹陷上從而構(gòu)成所述第一氣
體腔室40。
[0034]基于第三實(shí)施例的變動(dòng)，所述噴淋頭還可以是如圖7所述的第四實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，所述第一結(jié)構(gòu)化板10上表面和下表面皆形成有凹陷，在上表面上形成有一個(gè)凹陷，所述蓋板30覆蓋在所述第一結(jié)構(gòu)化板10的凹陷上從而構(gòu)成第一氣體腔室40，所述下表面形成的凹陷為多個(gè)凹槽，從而所述第一結(jié)構(gòu)化板10與第二結(jié)構(gòu)化板20壓合后所述凹槽限定了第
二氣體腔室。[0035]本實(shí)用新型以四個(gè)較常見(jiàn)的實(shí)施例進(jìn)行了闡述，說(shuō)明了本實(shí)用新型的主要思想，以及各個(gè)結(jié)構(gòu)化板的較優(yōu)結(jié)構(gòu)和組合方式。本實(shí)用新型采用了堆疊的結(jié)構(gòu)化板通過(guò)連接固定件連接成噴淋頭，在各個(gè)結(jié)構(gòu)化板中設(shè)置出凹槽(或凹陷)，以及相應(yīng)的氣體通道，從而在結(jié)構(gòu)化板壓合固定后，形成了氣體腔室和連通氣體腔室與反應(yīng)區(qū)域的氣體通道。與現(xiàn)有技術(shù)相比，避免了采用焊接工藝將多個(gè)板及氣體管焊接在一起所導(dǎo)致的容易吸收和釋放反應(yīng)氣體的不良情況，提高了對(duì)反應(yīng)氣體的可控性，能夠維持較為準(zhǔn)確的氣體比例，從而沉積出的膜層的質(zhì)量得到提高。需要說(shuō)明的是，本實(shí)用新型還可以暗示了具有更多結(jié)構(gòu)化板的噴淋頭，以形成更多的腔室，相應(yīng)的，每個(gè)結(jié)構(gòu)化板也具有類似的變化，此皆在本實(shí)用新型的意圖之中。
[0036]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種噴淋頭，用于向反應(yīng)區(qū)域提供反應(yīng)氣體，包括第一氣體腔室和多個(gè)第二氣體腔室，所述第一氣體腔室位于所述第二氣體腔室上方，其特征在于，所述噴淋頭由堆疊的結(jié)構(gòu)化板通過(guò)連接固定件連接形成；所述堆疊的結(jié)構(gòu)化板包括自上而下堆疊設(shè)置的第一結(jié)構(gòu)化板和第二結(jié)構(gòu)化板；所述第一結(jié)構(gòu)化板和第二結(jié)構(gòu)化板之間形成所述多個(gè)第二氣體腔室，所述第一結(jié)構(gòu)化板中具有多個(gè)第一氣體通道，所述第二結(jié)構(gòu)化板中具有多個(gè)間隔設(shè)置的第二氣體通道和第三氣體通道，所述第一氣體通道和第二氣體通道相連通并共同連通所述第一氣體腔室與反應(yīng)區(qū)域，所述第三氣體通道連通所述第二氣體腔室與反應(yīng)區(qū)域。
2.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，所述第一結(jié)構(gòu)化板朝向所述第二結(jié)構(gòu)化板的一側(cè)設(shè)置有多個(gè)凹槽，所述第一氣體通道位于所述凹槽的側(cè)壁中，所述第一結(jié)構(gòu)化板和第二結(jié)構(gòu)化板壓合后使得所述凹槽的側(cè)壁與所述第二結(jié)構(gòu)化板圍成所述第二氣體腔室。
3.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，所述第二結(jié)構(gòu)化板朝向所述第一結(jié)構(gòu)化板的一側(cè)設(shè)置有多個(gè)凹槽，所述第二氣體通道位于所述凹槽的側(cè)壁中，所述第一結(jié)構(gòu)化板和第二結(jié)構(gòu)化板壓合后使得所述凹槽的側(cè)壁與所述第一結(jié)構(gòu)化板圍成所述第二氣體腔室。
4.如權(quán)利要求2或3所述的噴淋頭，其特征在于，所述第二氣體腔室的形狀為條形。
5.如權(quán)利要求4所述的噴淋頭，其特征在于，所述第二氣體腔室為環(huán)形條，沿所述第一結(jié)構(gòu)化板的半徑方向自中心向外間隔排布。
6.如權(quán)利要求4所述的噴淋頭，其特征在于，所述第二氣體腔室為長(zhǎng)條形，沿所述第一結(jié)構(gòu)化板的徑向呈四象限或八象限的對(duì)稱排布。
7.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，所述第一氣體通道、第二氣體通道和第三氣體通道都呈排狀排列，并且每?jī)膳诺诙怏w通道中設(shè)置有一排所述第三氣體通道，所述第二氣體通道與第三氣體通道之間的間距為l_20mm。
8.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，所述堆疊的結(jié)構(gòu)化板還包括設(shè)置于所述第一結(jié)構(gòu)化板上方的蓋板，所述蓋板與第一結(jié)構(gòu)化板之間形成所述第一氣體腔室。
9.如權(quán)利要求8所述的噴淋頭，其特征在于，所述蓋板包括蓋板主體與蓋板壁，所述蓋板壁為環(huán)繞所述蓋板主體一周的圓筒狀結(jié)構(gòu)，所述蓋板壁包括上端跟下端，所述上端連接于所述蓋板主體的邊緣，所述下端連接于所述第一結(jié)構(gòu)化板，從而構(gòu)成所述第一氣體腔室。
10.如權(quán)利要求8所述的噴淋頭，其特征在于，所述蓋板為一平板，所述第一結(jié)構(gòu)化板朝向所述蓋板一側(cè)具有凹陷，所述蓋板覆蓋在所述第一結(jié)構(gòu)化板的凹陷上從而構(gòu)成所述第一氣體腔室。
11.如權(quán)利要求8所述的噴淋頭，其特征在于，所述連接固定件為沿所述蓋板、第一結(jié)構(gòu)化板和第二結(jié)構(gòu)化板邊緣一周均勻分布的螺絲或者銷釘。
12.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，所述第二結(jié)構(gòu)化板包括相互間隔的頂板和底板，所述頂板和底板中具有貫穿該頂板和底板的通孔，所述通孔中設(shè)置有氣體管以形成所述第二氣體通道和第三氣體通道。
13.如權(quán)利要求12所述的噴淋頭，其特征在于，所述第一氣體通道與第二氣體通道的氣體管的管壁對(duì)準(zhǔn)，所述第一氣體通道和第二氣體通道之間設(shè)置有金屬密封件，環(huán)繞在所述第一氣體通道和第二氣體通道的連接處一周。
14.如權(quán)利要求12所述的噴淋頭，其特征在于，所述頂板和底板為一體成型，或者所述頂板和底板具有一筒狀的側(cè)壁，所述側(cè)壁兩端分別連接所述頂板和底板的邊緣以固定。
【文檔編號(hào)】C23C16/455GK203653690SQ201320670767
【公開日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2013年10月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月28日
【發(fā)明者】譚華強(qiáng), 喬徽, 林翔, 蘇育家 申請(qǐng)人:光達(dá)光電設(shè)備科技（嘉興）有限公司