專利名稱：光學顯微鏡物鏡及包括該物鏡的光學顯微鏡和激光切割機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及光學儀器領域，尤其涉及一種光學顯微鏡物鏡及包括該物鏡的光學顯微鏡和激光切割機。
技術背景 在半導體、太陽能、LED等行業(yè)的實驗室中，需要使用激光切割機對芯片進行激光打標定位、激光剝離鈍化層等等。一般的激光切割機分為激光發(fā)生器、光學顯微鏡、樣品臺三部分。從光學顯微鏡物鏡底端到樣品臺這段距離如果不采取防護措施，則在操作該機臺時，激光作用到樣品后折射出來會形成一個激光折射區(qū)域(即物鏡底端到樣品臺區(qū)域)，這將對人體產生傷害。目前已采用的防護措施有I. 設備外部安裝一個金屬箱，金屬箱正前方有一扇門，可以打開此門進行設備調試，在激光作業(yè)時關閉金屬箱門，起到防護作用；該設計能起到很好的防護，但是金屬箱體積龐大，費用較貴，而且會影響操作空間，也不便于設備的維修和保養(yǎng)。金屬箱造成內部的光線灰暗，更加影響操作。2. 在樣品臺上放一個簡易防護裝置，通常為一金屬擋板，金屬板放置在樣品臺上，包圍所有物鏡，高度超出物鏡支架；該防護簡單易操作，成本低，但是沒有能夠完全防護所有發(fā)射的激光輻射，而且擋板比較簡陋，使用板紙包上錫紙而成，防護能力一般，容易破損。

實用新型內容為了解決上述問題，本實用新型提供了一種光學顯微鏡物鏡，包括原始物鏡，其中，還包括一個伸縮套筒，所述伸縮套筒套設于原始物鏡的底部。所述伸縮套筒是螺紋旋轉式伸縮套筒。所述伸縮套筒還可以是魚竿伸縮節(jié)式套筒。 所述伸縮套筒底端裝有一個緩沖環(huán)。所述伸縮套筒是金屬伸縮套筒。所述緩沖環(huán)是橡膠環(huán)。本實用新型還提供了一種光學顯微鏡，其中，包括上述任意一項所述的光學顯微鏡物鏡。本實用新型還提供了一種激光切割機，其中，包括上述的光學顯微鏡。本實用新型通過在原始的光學顯微鏡物鏡上套加一個與物鏡緊密套接的伸縮套筒，解決了現(xiàn)有防護措施成本高且維護、使用不便或者防護能力低容易破損的缺點，在不影響原始物鏡原先的光路設計的情況下，實現(xiàn)對激光的良好防護同時操作簡便、與原始物鏡整體性強、不易損壞。
圖I為本實用新型的實施例中的光學顯微鏡物鏡的應用示意圖。
具體實施方式
以下將結合附圖對本實用新型做具體闡釋。圖I示出了與本實施例相關的光學顯微鏡物鏡物鏡的實際應用情況。101為原始物鏡，102為伸縮套筒，103為樣品臺。所述伸縮套筒102是在不改變原始物鏡101結構的前提下，在原始物鏡101底部套加上去的。伸縮套筒102與原始物鏡101主體緊密結合并固定，伸縮套筒102底部裝有緩沖環(huán)1021，伸縮套筒的伸縮距離為原始物鏡101底端至樣品臺103之間的距 離，且可調節(jié)至這段距離中任意位置。伸縮套筒102可以設計成螺紋旋轉式或者魚竿伸縮節(jié)式等伸縮方式，作業(yè)時調整完焦距后，伸縮套筒102伸長到貼至樣品臺表面的位置，然后即可進行激光微加工作業(yè)。在作業(yè)時，光學顯微鏡調節(jié)至對焦平面，手動調節(jié)伸縮套筒102至樣品臺103表面，緩沖環(huán)1021和樣品臺103表面貼合后，進行激光微加工作業(yè)。使用完后手動調節(jié)伸縮套筒102縮回原位，操作完成。本實施例中的伸縮套筒采用螺紋旋轉的方式實現(xiàn)伸縮。本實施例中的伸縮套筒還可以采用魚竿伸縮節(jié)的方式實現(xiàn)伸縮。本實施例中的伸縮套筒采用金屬材質。本實施例中的緩沖環(huán)采用橡膠材質。本實用新型的另一實施例為一個包括上述光學顯微鏡物鏡的光學顯微鏡。對于光學顯微鏡中除上述物鏡以外的結構部分，本領域技術人員可以結合其公知常識知曉，在此不再累述。本實用新型的另一實施例還可為一個包括上述光學顯微鏡的激光切割機。對于激光切割機中除上述物鏡以外的結構部分，本領域技術人員可以結合其公知常識知曉，在此不再累述。本實用新型在原先的光學顯微鏡物鏡的原始結構上增加一個伸縮套筒，在設計上比較簡單，容易生產，而且不影響原先的光路設計。激光微加工作業(yè)完全是在密閉的環(huán)境中進行，伸縮套筒對激光起到很好的防護作用，同時操作簡便。光學顯微鏡物鏡及伸縮套筒完全一體化，整體性強，不易損壞而且也非常美觀。需要說明的是，本實施例中提供的光學顯微鏡物鏡僅用于解釋本實用新型而不用于限制本實用新型，本領域技術人員受本實用新型之啟發(fā)得到的類似技術應當視為落入本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.ー種光學顯微鏡物鏡，包括原始物鏡，其特征在于還包括ー個伸縮套筒，所述伸縮套筒套設于原始物鏡的底部。
2.如權利要求1所述的光學顯微鏡物鏡，其特征在于所述伸縮套筒是螺紋旋轉式伸縮套筒。
3.如權利要求1所述的光學顯微鏡物鏡，其特征在于所述伸縮套筒是魚竿伸縮節(jié)式套筒。
4.如權利要求1所述的光學顯微鏡物鏡，其特征在于所述伸縮套筒底端裝有一個緩沖環(huán)。
5.如權利要求1所述的光學顯微鏡物鏡，其特征在于所述伸縮套筒是金屬伸縮套筒。
6.如權利要求4所述的光學顯微鏡物鏡，其特征在于所述緩沖環(huán)是橡膠環(huán)。
7.ー種光學顯微鏡，其特征在于包括權利要求1至6任意一項所述的光學顯微鏡物鏡。
8.—種激光切割機,其特征在于包括權利要求7所述的光學顯微鏡。
專利摘要本實用新型提供一種光學顯微鏡物鏡及包括該物鏡的光學顯微鏡和激光切割機，上述的光學顯微鏡物鏡的底部套設有一個伸縮套筒，該伸縮套筒采用螺紋旋轉或者魚竿伸縮節(jié)的方式實現(xiàn)伸縮，并且上述的伸縮套筒底端還可以包括一個緩沖環(huán)。使用本實用新型提供的光學顯微鏡物鏡以后的激光微加工作業(yè)完全是在密閉的環(huán)境中進行，伸縮套筒對激光起到很好的防護作用，同時操作簡便。光學顯微鏡物鏡及伸縮套筒完全一體化，整體性強，不易損壞而且也非常美觀。
文檔編號B23K26/42GK202758133SQ20122036250
公開日2013年2月27日 申請日期2012年7月25日 優(yōu)先權日2012年7月25日
發(fā)明者唐涌耀, 孫蓓瑤 申請人:上海華力微電子有限公司