專利名稱：液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。
背景技術(shù)：
液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)以壓力將液體導(dǎo)入油腔，在滑臺(tái)與導(dǎo)軌間形成油膜，憑借油膜使滑臺(tái)和導(dǎo)軌接觸面間處于液體摩擦狀態(tài)。與機(jī)械導(dǎo)軌平臺(tái)相比，其在驅(qū)動(dòng)功率、使用壽命、承載力、抗振性、靈活性等方面都具備優(yōu)勢(shì)。相關(guān)的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用開(kāi)環(huán)、半閉環(huán)循環(huán)控制方式，通過(guò)旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲桿驅(qū)動(dòng)滑臺(tái)在導(dǎo)軌上動(dòng)作。然而這種構(gòu)造存在缺陷，電機(jī)振動(dòng)和絲杠傳動(dòng)誤差都會(huì)對(duì)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度造成影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供一種液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，以解決上述的問(wèn)題。在本發(fā)明的實(shí)施例中，提供了一種液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括主體，其包括滑臺(tái)、導(dǎo)軌和底座；所述導(dǎo)軌安裝在所述底座上，其槽中嵌入所述滑臺(tái)；驅(qū)動(dòng)裝置，其包括動(dòng)子、定子和三路分油塊；所述定子安裝在所述底座上；所述動(dòng)子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑臺(tái)的下表面；所述三路分油塊安裝在所述滑臺(tái)的上表面；位置檢測(cè)裝置，其包括光柵尺和讀數(shù)頭；所述光柵尺安裝在所述滑臺(tái)的側(cè)表面，其刻度面與所述讀數(shù)頭貼合；所述讀數(shù)頭固定在所述導(dǎo)軌上。本發(fā)明因?yàn)椴捎弥本€電機(jī)以磁力場(chǎng)方式驅(qū)動(dòng)，消除了滾珠絲桿帶來(lái)的回程誤差問(wèn)題；同時(shí)采用高精度光柵尺進(jìn)行誤差補(bǔ)償，所以提高了平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。


此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中圖I示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。圖I示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括主體，其包括滑臺(tái)I、導(dǎo)軌2和底座3 ;所述導(dǎo)軌2安裝在所述底座3上，其槽中嵌入所述滑臺(tái)I ;驅(qū)動(dòng)裝置，其包括動(dòng)子4、定子5和三路分油塊6 ;所述定子5安裝在所述底座3上；所述動(dòng)子4其一端嵌入所述定子5的槽中，其另一端固定在所述滑臺(tái)I的下表面；所述三路分油塊6安裝在所述滑臺(tái)I的上表面；位置檢測(cè)裝置，其包括光柵尺7和讀數(shù)頭8 ;所述光柵尺7安裝在所述滑臺(tái)I的側(cè)表面，其刻度面與所述讀數(shù)頭8貼合；所述讀數(shù)頭8固定在所述導(dǎo)軌2上。本發(fā)明因?yàn)椴捎弥本€電機(jī)以磁力場(chǎng)方式驅(qū)動(dòng)，所以避免了滾珠絲桿傳動(dòng)的回程誤差問(wèn)題；同時(shí)采用高精度光柵尺進(jìn)行誤差補(bǔ)償，所以提高了平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。優(yōu)選地，主體還包括導(dǎo)軌支撐件9 ;兩條導(dǎo)軌2通過(guò)兩條導(dǎo)軌支撐件9對(duì)稱地安裝在底座3上；滑臺(tái)I通過(guò)兩個(gè)滑動(dòng)端分別嵌入兩條導(dǎo)軌2中。優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)裝置還包括動(dòng)子安裝座10，動(dòng)子4通過(guò)動(dòng)子安裝座10安裝在滑臺(tái)I的下表面。優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)裝置還包括定子安裝座11，定子5通過(guò)定子安裝座11安裝在底座3上。優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)裝置還包括拖鏈12，其側(cè)面與定子5貼合，底面固定在底座3上。優(yōu)選地，位置檢測(cè)裝置還包括讀數(shù)頭安裝座13，讀數(shù)頭8通過(guò)讀數(shù)頭安裝座13安 裝在導(dǎo)軌2上。優(yōu)選地，光柵尺7為分辨率Inm的陶瓷光柵尺。該液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)以直線電機(jī)替代伺服電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，通過(guò)磁力場(chǎng)使動(dòng)子和定子相互作用，從而驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)；配置分辨率Inm的陶瓷光柵尺作為位置檢測(cè)裝置。該液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)無(wú)需滾珠絲桿傳動(dòng)，所以消除了滾珠絲桿引起的回程誤差問(wèn)題；通過(guò)配置高精度的位置檢測(cè)裝置進(jìn)行誤差補(bǔ)償，所以提高了平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。從以上描述可以看出，本液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有以下有益效果I、配置高精度的位置檢測(cè)裝置，實(shí)現(xiàn)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)過(guò)程的誤差補(bǔ)償，提高重復(fù)定位的精度；2、采用直線電機(jī)的驅(qū)動(dòng)方式，進(jìn)行全閉環(huán)的循環(huán)控制，降低系統(tǒng)能耗，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命；3、組成平臺(tái)的零件都是獨(dú)立、可拆卸的，能根據(jù)實(shí)際情況需要進(jìn)行靈活的變更設(shè)計(jì)，降低制造成本。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，包括 主體，其包括滑臺(tái)(I)、導(dǎo)軌(2)和底座(3);所述導(dǎo)軌(2)安裝在所述底座(3)上，其槽中嵌入所述滑臺(tái)(I); 驅(qū)動(dòng)裝置，其包括動(dòng)子(4)、定子(5)和三路分油塊(6);所述定子(5)安裝在所述底座(3)上；所述動(dòng)子(4)其一端嵌入所述定子(5)的槽中，其另一端固定在所述滑臺(tái)(I)的下表面；所述三路分油塊(6)安裝在所述滑臺(tái)(I)的上表面； 位置檢測(cè)裝置，其包括光柵尺(7 )和讀數(shù)頭(8 );所述光柵尺(7 )安裝在所述滑臺(tái)(I)的側(cè)表面，其刻度面與所述讀數(shù)頭(8)貼合；所述讀數(shù)頭(8)固定在所述導(dǎo)軌(2)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述主體還包括導(dǎo)軌支撐件(9);兩條所述導(dǎo)軌(2)通過(guò)兩條所述導(dǎo)軌支撐件(9)對(duì)稱地安裝在所述底座(3)上；所述滑臺(tái)(I)通過(guò)兩個(gè)滑動(dòng)端分別嵌入兩條所述導(dǎo)軌(2)中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體靜壓平臺(tái)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括動(dòng)子安裝座(10)，所述動(dòng)子(4)通過(guò)所述動(dòng)子安裝座(10)安裝在所述滑臺(tái)(I)的下表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體靜壓平臺(tái)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括定子安裝座(11)，所述定子(5 )通過(guò)所述定子安裝座(11)安裝在所述底座(3 )上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液體靜壓平臺(tái)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括拖鏈(12)，其側(cè)面與所述定子(5)貼合，底面固定在所述底座(3)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液體靜壓平臺(tái)，其特征在于，所述位置檢測(cè)裝置還包括讀數(shù)頭安裝座(13 )，所述讀數(shù)頭(8 )通過(guò)所述讀數(shù)頭安裝座(13)安裝在所述導(dǎo)軌(2 )上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液體靜壓平臺(tái)，其特征在于，所述光柵尺(7)為分辨率Inm的陶瓷光柵尺。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括主體，其包括滑臺(tái)、導(dǎo)軌和底座；所述導(dǎo)軌安裝在所述底座上，其槽中嵌入所述滑臺(tái)；驅(qū)動(dòng)裝置，其包括動(dòng)子、定子和三路分油塊；所述定子安裝在所述底座上；所述動(dòng)子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑臺(tái)的下表面；所述三路分油塊安裝在所述滑臺(tái)的上表面；位置檢測(cè)裝置，其包括光柵尺和讀數(shù)頭；所述光柵尺安裝在所述滑臺(tái)的側(cè)表面，其刻度面與所述讀數(shù)頭貼合；所述讀數(shù)頭固定在所述導(dǎo)軌上。該液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)由于采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，避免了滾珠絲桿傳動(dòng)的回程誤差問(wèn)題；配備用于運(yùn)動(dòng)誤差補(bǔ)償?shù)奈恢脵z測(cè)裝置，所以提高了平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。
文檔編號(hào)B23Q1/38GK102950474SQ201210473489
公開(kāi)日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月20日
發(fā)明者趙春花 申請(qǐng)人:昆山允可精密工業(yè)技術(shù)有限公司