專(zhuān)利名稱：表面被膜構(gòu)件及其制造方法以及切削工具和機(jī)床的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及直接或間接覆蓋在由硬質(zhì)材料構(gòu)成的基材上而形成的表 面被膜構(gòu)件及其制造方法以及切削工具和切削裝置。
背景技術(shù)：
近年，對(duì)環(huán)境問(wèn)題的意識(shí)越來(lái)越高，在涉及切削的領(lǐng)域中，對(duì)該問(wèn)題 的意識(shí)也隨之提高，并嚴(yán)重指出了針對(duì)潤(rùn)滑油的環(huán)境不適合性的問(wèn)題。為 此，從減輕對(duì)環(huán)境的不良影響并且同時(shí)削減成本的觀點(diǎn)來(lái)看，越發(fā)需要完 全不使用潤(rùn)滑油的干式切削技術(shù)。
干式切削加工的優(yōu)點(diǎn)可以舉出不產(chǎn)生因切削油劑和添加物導(dǎo)致的環(huán) 境問(wèn)題，容易循環(huán)，削減花費(fèi)在使用和處理潤(rùn)滑油上的成本。但是，另一 方面，在不使用潤(rùn)滑油的情況下，由于切削工具和被切削件的潤(rùn)滑、冷卻 等由潤(rùn)滑油得到的效果消失，所以要求嚴(yán)格的切削條件。
為了能夠?qū)?yīng)干式切削加工，開(kāi)發(fā)了通過(guò)物理蒸鍍技術(shù)在基材上形成
高硬度被膜的技術(shù)，并能像TiN系被膜或TiAlN系那樣適用于工具等。但 是，TiN系被膜在約500°C、 TiAlN系被膜在約80(TC下開(kāi)始被氧化，所以 具有無(wú)法在高溫下的切削條件下用于工具的問(wèn)題。
之后開(kāi)發(fā)了專(zhuān)利文獻(xiàn)K日本特開(kāi)平10-25565號(hào)公報(bào))中公開(kāi)的TiAlN 系被膜。專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的TiAlN系被膜由于在約IOO(TC至120(TC下 開(kāi)始被氧化，所以也能對(duì)應(yīng)高溫下的切削條件。
但是，專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的TiAlN系被膜雖然能對(duì)應(yīng)在高溫下的切削 條件，但容易發(fā)生剝離。另外，在暴露于更高溫的條件下使用時(shí)，耐氧化 性不充分。

發(fā)明內(nèi)容
4本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題而作出，目的在于提供具有高硬度和 優(yōu)異的耐氧化性的表面被覆構(gòu)件及其制造方法以及切削工具和切削裝置。 本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的，提供一種表面被膜構(gòu)件，其特征在于，含有
Li且至少以與Al的復(fù)合氧化物為主要成分的耐氧化被膜層直接或隔著高
硬度被膜層覆蓋在由硬質(zhì)材料構(gòu)成的基材表面。
具有含有Li且至少以與Al的復(fù)合氧化物為主要成分的耐氧化被膜層 的表面被膜構(gòu)件除具有高硬度和優(yōu)異的耐氧化性之外，摩擦系數(shù)小，不易 發(fā)熱，所以具有抑制溫度上升的效果，并兼具優(yōu)異的耐磨損性。另外，在 本發(fā)明的表面被膜構(gòu)件中，基材優(yōu)選超硬合金或高速鋼(也包括高速工具 鋼)等硬質(zhì)材料。
另外，本發(fā)明的表面被膜構(gòu)件由于兼具高硬度和優(yōu)異的耐氧化性，所 以優(yōu)選用作工具或模具的表面處理用的被膜材料，工業(yè)上的利用價(jià)值高。 進(jìn)而，本發(fā)明除具有高硬度和耐氧化性之外，還具有比高密接性更優(yōu)異的 耐磨損性，所以優(yōu)選用作不使用切削油的干式切削加工(不使用切削液的 切削加工)用的切削工具的被膜材料。
另外，上述發(fā)明的特征在于，由含有Li和其他金屬的氧化物形成的 復(fù)合氧化物構(gòu)成的耐氧化被膜層覆蓋在形成于由所述硬質(zhì)材料構(gòu)成的基 材上的高硬度被膜層的表面上。
并且，較優(yōu)選所述復(fù)合氧化物可以是含有Li與Al、 Li與Al與Mg 或Si的金屬氧化物形成的復(fù)合氧化物。
進(jìn)而，上述表面被膜構(gòu)件的特征在于，所述高硬度被膜層為含有以下 元素的氮化物，所述元素包含A1、 Si，還包含從由Zr、 Hf、 Pd、 Ir及稀土 元素構(gòu)成的組中選擇的至少一種。
另外，所述高硬度被膜層的特征在于，含有A1、 Si且含有Cr、 Ti的 至少一種元素的氮化物。
另外，上述表面被膜構(gòu)件的特征在于，所述耐氧化被膜層的膜厚設(shè)為 A，所述高硬度被膜層的膜厚設(shè)為B的情況下，A《B。
耐氧化被膜層所含的Li對(duì)高硬度被膜層所含的氮化物的親和性大， 滿足與氮化物的結(jié)晶結(jié)構(gòu)的整合性。因此，耐氧化被膜層和高硬度被膜層的密接性提高，不易剝離。
另外，上述表面被膜構(gòu)件的特征在于，在所述基材和所述高硬度被膜
層之間具有中間層，所述中間層含有從由A1、 Ti、 Cr構(gòu)成的組中選擇的 至少一種元素的氮化物、碳化物和碳氮化物中的至少一種。
通過(guò)設(shè)置上述中間層，由于基材和高硬度被膜層的密接性提高，高硬 度被膜層不易剝離，所以耐氧化被膜層的耐磨損性提高。
另外，本發(fā)明的表面被膜構(gòu)件的制造方法的特征在于，通過(guò)配置在能 夠密封的容器內(nèi)的支架，將由硬質(zhì)材料構(gòu)成的基材直接支承在所述容器 內(nèi)，或?qū)⒃谒龌谋砻娓采w有高硬度被膜層的高硬度被膜層被覆材料支 承在所述容器內(nèi)，
將以Li和至少Al為主要成分形成的復(fù)合氧化物形成用靶配置在該容 器內(nèi)，向所述容器中供給氧，
以所述耐氧化被膜層形成用靶作為陽(yáng)極，以所述支架作為陰極，通過(guò)
在該耐氧化被膜層形成用靶和該支架之間產(chǎn)生放電，在所述基材上或在高 硬度被膜層被覆材料的表面形成耐氧化被膜層，得到所述表面被膜構(gòu)件。
通過(guò)該制造方法，能夠形成除具有高硬度和優(yōu)異的耐氧化性之外還具 有優(yōu)異的耐磨損性的表面被膜構(gòu)件。
另外，本發(fā)明的切削工具的特征在于使用表面被膜構(gòu)件，所述表面被 膜構(gòu)件是在工具基材、或在形成于所述工具基板上的高硬度被膜層的表面 覆蓋耐氧化被膜層而得到的，所述耐氧化被膜層含有L.i且至少以與Al的 復(fù)合氧化物為主要成分，其中，所述基材是下述任一種工具基材，即，在 鋼中添加由鉻、鎢、鉬、釩構(gòu)成的金屬成分并對(duì)其實(shí)施淬火等熱處理得到 的高速鋼(也包括高速工具鋼)；或者將硬質(zhì)的金屬碳化物粉末進(jìn)行燒結(jié) 制作的超硬合金。
由此，能夠得到具有高硬度和優(yōu)異的耐氧化性以及耐磨損性的切削工具。
另外，所述切削工具可以適用于特征在于用干切削加工(不使用切削 液的切削加工)加工工件的機(jī)床，特別適合用于下述切齒用機(jī)床，該切齒 用機(jī)床的特征在于，構(gòu)成為包括滾刀、插齒刀或拉刀的切齒工具，通過(guò)該構(gòu)成的切齒工具加工目標(biāo)工件。
該切削裝置由于用于要求切削工具具有高硬度和優(yōu)異的耐氧化性以 及耐磨損性的切削加工，特別是干切削加工(不使用切削液的切削加工) 用的切削加工，所以在保護(hù)環(huán)境和成本方面優(yōu)異。
此外，如以上所述的各結(jié)構(gòu)只要不脫離本發(fā)明的主旨，可以相互組合。
如以上所述，本發(fā)明的表面被膜構(gòu)件由于具有高硬度和優(yōu)異的耐氧化 性，所以適合用作工具和模具。并且，由于與含有氮化物的高硬度被膜層 的密接性高，不易剝離，耐磨損性也優(yōu)異，所以也適合用于不使用切削油 的干式切削加工用的切削工具或切削裝置。
另外，本發(fā)明中，可以制造除具有高硬度和優(yōu)異的耐氧化性之外，還 具有優(yōu)異的耐磨損性的表面被膜構(gòu)件。
特別是，根據(jù)本發(fā)明，由于通過(guò)物理蒸鍍法而兼具備高硬度和優(yōu)異的 耐氧化性，所以適合用作工具和模具的表面處理用的被膜材料，工業(yè)上的 利用價(jià)值高。并且，本發(fā)明除具有高硬度和耐氧化性之外，還因高密接性 而具有優(yōu)異的耐磨損性，所以不僅僅適合用于制造工具和模具，還適合用 作不使用切削油的干切削加工(不使用切削液的切削加工)用的切削工具 的被膜材料。特別適合用于包括滾刀、插齒刀或拉刀的切齒工具。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的概略剖視圖。
圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的概略剖視圖。 圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的概略剖視圖。
圖4是表示在基材或高硬度被膜層被覆材料上形成耐氧化被膜層的成 膜裝置的概略圖。
圖5是表示改變高硬度被膜層(氮化物)和耐氧化被膜層(氧化物) 耙組成的比較例和實(shí)施例1 6的成膜試驗(yàn)結(jié)果的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖舉例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。但是，記載在該實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)部件的尺寸、材質(zhì)、形狀、其相對(duì)配置等只要沒(méi)有特別記 載，均不表示將本發(fā)明的范圍限定于此，不過(guò)是簡(jiǎn)單的說(shuō)明例而已。 (實(shí)施方式1)
圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的概略剖視圖。實(shí)施方式1的表面被 膜構(gòu)件具有基材1以及由含有Li和其他金屬的氧化物形成的復(fù)合氧化物 構(gòu)成的耐氧化被膜層2。此處，基材1使用超硬合金或高速鋼(也包括高 速工具鋼)等硬質(zhì)材料。
(實(shí)施方式2)
圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的概略剖視圖。實(shí)施方式2的表面被 膜構(gòu)件在形成于基材1上的高硬度被膜層3的表面覆蓋耐氧化被膜層2。
此時(shí)，耐氧化被膜層2的膜厚優(yōu)選至少小于高硬度被膜層3的膜厚， 但也能根據(jù)諸條件設(shè)定成耐氧化被膜層2和高硬度被膜層3的膜厚相等。 (實(shí)施方式3)
圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的概略剖視圖。實(shí)施方式3的表面被 膜構(gòu)件在基材1上形成中間層4，所述中間層4含有選自由Al、 Ti、 Cr 構(gòu)成的組中的至少一種元素的氮化物、碳化物以及碳氮化物中的至少一 種。然后，在中間層的表面上形成高硬度被膜層3，接著形成耐氧化被膜 層2。
在上述實(shí)施方式2及實(shí)施方式3中，為了提高密接性并且可以形成耐 磨損性優(yōu)異的表面被膜構(gòu)件，優(yōu)選由高頻濺射或離子鍍等物理蒸鍍法形成 高硬度被膜層3和中間層4。
圖4是在基材或高硬度被膜層被覆材料上形成耐氧化被膜層的成膜裝 置的概略圖。
成膜裝置10中，設(shè)置有與大氣氣密的外殼12，在其頂部配設(shè)靶13， 在外殼12的室內(nèi)20配設(shè)桌子狀的支架17。支架17通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸19與馬達(dá) 18連結(jié)，支架17能夠在其周向旋轉(zhuǎn)。并且，在靶13和支架17之間連接 直流電源ll，靶13與電源11的+側(cè)連接，支架17與電源11的一側(cè)連接。
圖4中示意地表示耙13為1個(gè)的情況，但可以根據(jù)需要設(shè)置2個(gè)以 上耙13。此時(shí)，從距離支架17大致相等的距離設(shè)置2個(gè)以上靶13。在外殼12的室內(nèi)20經(jīng)由控制閥22連接有用于將室內(nèi)20抽成真空的 真空泵14。另外，在室內(nèi)20經(jīng)由控制閥23連接有用于供給室內(nèi)20惰性 氣體的氬的氣體源15。進(jìn)而，在室內(nèi)20經(jīng)由控制閥24連接有用于向室內(nèi) 20供給氧的氧氣源16。
在上述各實(shí)施方式中，通過(guò)形成在基材或高硬度被膜層被覆材料21 的層調(diào)整靶13的種類(lèi)和數(shù)量進(jìn)行成膜。
成膜裝置10中，在支架17上直接載置基材或載置在所述基材表面覆 蓋有高硬度被膜層的高硬度被膜層被覆材料21，初始時(shí)打開(kāi)控制閥22和 23，向室內(nèi)20內(nèi)供給氬氣，同時(shí)對(duì)室內(nèi)20進(jìn)行真空抽吸。
結(jié)束真空抽吸，當(dāng)室內(nèi)20形成氬氛后，通過(guò)馬達(dá)18使支架17旋轉(zhuǎn)。 然后，關(guān)閉控制閥22和23，在靶13和支架17之間施加直流電壓，產(chǎn)生 等離子體，使室內(nèi)20的溫度上升。室內(nèi)20的溫度達(dá)到一定溫度時(shí)，打開(kāi) 控制閥24，從氧氣源16向室內(nèi)20供給氧，產(chǎn)生放電。
由此，在所述基材表面或在所述基材上覆蓋高硬度被膜層得到的高硬 度被膜層被覆材料的表面上形成耐氧化被膜層，能得到具有高硬度和優(yōu)異 的耐氧化性及耐磨損性的表面被膜構(gòu)件。
本實(shí)施方式的表面被膜構(gòu)件是以超硬合金(WC)作為基板，在基板 上形成耐氧化被膜層(氧化物)的單層結(jié)構(gòu)，或是在形成于基板上的高硬 度被膜層(氮化物)的表面形成氧化物被膜得到的多層膜結(jié)構(gòu)。
耐氧化被膜層(氧化物)用于改善硬質(zhì)的高硬度被膜層(氮化物)的 表面的摩擦系數(shù)和氧化開(kāi)始溫度等特性而形成。在單層結(jié)構(gòu)的情況下，形 成約3pm的耐氧化被膜層，在多層膜結(jié)構(gòu)的情況下，形成約3.5pm的高 硬度被膜層后，在其上形成約lpm的耐氧化被膜層。
圖5是表示改變高硬度被膜層(氮化物)及耐氧化被膜層(氧化物) 耙組成的比較例及實(shí)施例1 6的成膜試驗(yàn)結(jié)果的圖。
此處，氮化物的成膜如下進(jìn)行，即，使用在直徑為4英寸的AIN靶上 設(shè)置氮化物原料粉末的圓盤(pán)狀成型體(直徑為50mm，厚度約為3mm)， 使用高頻濺射法來(lái)進(jìn)行。氮化物成膜的成型體的投料組成使用能夠得到高 硬度和氧化開(kāi)始溫度的Al。.7Zr。.2Si(uN。在此，氧化物被膜的成膜是在直徑為4英寸的八1203耙上設(shè)置氧化物
原料粉末的圓盤(pán)狀成型體(直徑為50mm，厚度為約3mm)，使用高頻濺 射法來(lái)進(jìn)行的。用于成膜的基板是尺寸約為12xl2x5mm的超硬合金 (WC)。
以規(guī)定的組成混合A1N、 ZrN、 Si3N4原料粉末在內(nèi)徑為50mm的模具 中成型，制作用于濺射的氮化物成型體。相同地，以規(guī)定的組成混合 LiA102、 MgO、 A1203、 Cr203、 Si02等原料粉末，在內(nèi)徑為50mm的模具 中成型，制作氧化物成型體。對(duì)于LiA102粉末，將LiC03和八1203原料 粉末在125(TC下煅燒2小時(shí)進(jìn)行合成。
另夕卜，實(shí)施例中，Li和Al的混合比為L(zhǎng)ixAlyOz時(shí)，設(shè)定為y/x=0.9 40。 y/x為0.9以下時(shí)，有可能形成Li20的單獨(dú)層，故而不優(yōu)選。
例如，如實(shí)施例7所示，用濺射法制作膜組成為L(zhǎng)i2.5MgQ.8Al37 059.7的 氧化層，可以得到實(shí)施例7的(氮化物/氧化物) (Alo.7Zro.2Sio.,N/Lio.nMg,Al2.804)的靶組成體。
使用顯微維氏硬度計(jì)在10g、 10sec的負(fù)荷條件下測(cè)定成膜后的表面被 膜構(gòu)件的硬度。
另外，表面被膜構(gòu)件的氧化開(kāi)始溫度如下確定，§卩，將尺寸約為 12x5x0.05mm的Pt板上形成的氮化物被膜在熱重-差熱分析儀(TG-DTA) 中加熱，分析伴隨氧化的重量增加和開(kāi)始產(chǎn)生放熱的溫度而決定。TG-DTA 分析時(shí)的最高加熱溫度為1400°C，升溫速度為1.0°C/min。被膜的結(jié)晶結(jié)構(gòu) 通過(guò)X射線衍射來(lái)進(jìn)行測(cè)定。
此處，使用AlZrSiN系的氮化物作為代表例的下層的氮化物層進(jìn)行試 驗(yàn)。由圖5所示的表面被膜構(gòu)件的硬度和氧化開(kāi)始溫度的測(cè)定結(jié)果可知， 由含有Li和其他金屬的氧化物形成的復(fù)合氧化物構(gòu)成的耐氧化被膜層(實(shí) 施例1 6)比不含有Li的耐氧化被膜層(比較例l)難剝離。
另外，可知添加有Si的實(shí)施例6可以在基本維持實(shí)施例1的摩擦系數(shù) 的值的情況下提高與氮化物的密接性。
對(duì)于以上效果，在對(duì)其他氮化物例如由Al、 Cr、 Si構(gòu)成的氮化物或 由A1、 Ti、 Si構(gòu)成的氮化物的膜上進(jìn)行本發(fā)明的氧化物涂敷的情況下，
10也能夠同樣地以低摩擦系數(shù)得到長(zhǎng)壽命的涂層。
另外，氧化開(kāi)始溫度在比較例1中為1200°C，而例如在實(shí)施例1中為
1310°C，在實(shí)施例2中為1350°C，為較高溫。因此，即使切削溫度上升， 也不易氧化，切削工具等的壽命變長(zhǎng)。進(jìn)而，對(duì)于摩擦系數(shù)而言，在比較 例1中為0.3，而例如在實(shí)施例1中為0.2，在實(shí)施例2中為0.23，較小， 所以摩擦導(dǎo)致的熱量減少。因此，即使加快切削速度(轉(zhuǎn)速)，也能延長(zhǎng) 切削工具等的壽命。
另外，實(shí)施例7中，氧化開(kāi)始溫度為1340°C，為較高溫。因此，切削 溫度即使上升，也不易氧化，切削工具等的壽命變長(zhǎng)。進(jìn)而，對(duì)于摩擦系 數(shù)而言，在比較例1中為0.3，比實(shí)施例1的摩擦系數(shù)0.2更低，成為0.165， 非常低。該值是比較例1 (0.3)的2/3以下，大致為1/2，通過(guò)與氮化硼相 當(dāng)?shù)牡湍Σ料禂?shù)，能夠提供長(zhǎng)壽命的工具涂層。
因此，可知通過(guò)形成由上述含有Li和其他金屬的氧化物形成的復(fù)合 氧化物構(gòu)成的耐氧化被膜層，使氧化開(kāi)始溫度上升，即使在高溫下也不易 被氧化，并且為低摩擦系數(shù)，不易剝離。此處，即使使用Cr、 Ti、 Hf、 Pd、 Ir及稀土元素等代替作為氮化物層的代表例使用的AlZrSiN系化合物中的 Zr，晶格常數(shù)不發(fā)生較大變化，所以結(jié)果相同。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
根據(jù)本發(fā)明，可以提供除具有高硬度和優(yōu)異的耐氧化性之外還具有優(yōu) 異的耐磨損性的表面被膜構(gòu)件和其制造方法。表面被膜構(gòu)件發(fā)揮其特性， 也能夠用作切削工具或切削裝置。
ii
權(quán)利要求
1、一種表面被膜構(gòu)件，其特征在于，含有Li且至少以與Al的復(fù)合氧化物為主要成分的耐氧化被膜層直接或隔著高硬度被膜層覆蓋在由硬質(zhì)材料構(gòu)成的基材表面。
2、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的表面被膜構(gòu)件，其特征在于， 所述高硬度被膜層是含有以下元素的氮化物，所述元素包含A1、 Si，還包含從由Zr、 Hf、 Pd、 Ir及稀土元素構(gòu)成的組中選擇的至少一種。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的表面被膜構(gòu)件，其特征在于， 所述耐氧化被膜層的膜厚設(shè)為A，所述高硬度被膜層的膜厚設(shè)為B的情況下，A《B。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面被膜構(gòu)件，其特征在于， 在所述基材和所述高硬度被膜層之間具有中間層，所述中間層含有從由A1、 Ti、 Cr構(gòu)成的組中選擇的至少一種元素的氮化物、碳化物和碳氮 化物中的至少一種。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面被膜構(gòu)件，其特征在于， 所述高硬度被膜層為含有Al、 Si且含有Cr、 Ti中的至少一種元素的氮化物。
6、 一種表面被膜構(gòu)件的制造方法，其是權(quán)利要求1所述的表面被膜 構(gòu)件的制造方法，其特征在于，通過(guò)配置在能夠密封的容器內(nèi)的支架，將由硬質(zhì)材料構(gòu)成的基材直接 支承在所述容器內(nèi)，或?qū)⒃谒龌谋砻娓采w有高硬度被膜層的高硬度被 膜層被覆材料支承在所述容器內(nèi)，將以Li和至少Al為主要成分形成的復(fù)合氧化物形成用靶配置在該容 器內(nèi)，向所述容器中供給氧，以所述耐氧化被膜層形成用靶作為陽(yáng)極，以所述支架作為陰極，通過(guò) 在該耐氧化被膜層形成用靶和該支架之間產(chǎn)生放電，在所述基材上或在高 硬度被膜層被覆材料的表面形成耐氧化被膜層，得到所述表面被膜構(gòu)件。
7、 一種切削工具，其特征在于，其使用表面被膜構(gòu)件，所述表面被膜構(gòu)件是在工具基材、或在形成于 所述工具基板上的高硬度被膜層的表面覆蓋耐氧化被膜層而得到的，所述耐氧化被膜層含有Li且至少以與Al的復(fù)合氧化物為主要成分，其中，所述基材是下述任一種工具基材，即，在鋼中添加由鉻、鎢、鉬、釩構(gòu)成的金屬成分并對(duì)其實(shí)施淬火等熱處理得到的高速鋼，也包括高速工具鋼；或 者將硬質(zhì)的金屬碳化物粉末進(jìn)行燒結(jié)制作的超硬合金。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的切削工具，其特征在于， 所述耐氧化被膜層是含有Li并且含有Al、 Al與Mg或Al與Si的金屬氧化物而形成的復(fù)合氧化物。
9、 一種機(jī)床，其特征在于，權(quán)利要求7所述的切削工具通過(guò)干切削加工來(lái)加工工件，所述干切削 加工是不使用切削液的切削加工。
10、 一種切齒用機(jī)床，其特征在于，權(quán)利要求7所述的切削工具作為包括滾刀、插齒刀或拉刀的切齒工具 而構(gòu)成，利用該構(gòu)成的切齒工具加工目標(biāo)工件。
全文摘要
本發(fā)明提供具有高硬度和優(yōu)異的耐氧化性的表面被覆構(gòu)件及其制造方法以及切削工具和切削裝置。含有Li且至少以與Al的復(fù)合氧化物為主要成分的耐氧化被膜層直接或隔著高硬度被膜層覆蓋在由硬質(zhì)材料構(gòu)成的基材表面。另外，在表面被膜構(gòu)件的制造方法中，通過(guò)配置在能夠密封的容器內(nèi)的支架，將所述基材直接或?qū)⒃谒龌谋砻娓采w有高硬度被膜層得到的高硬度被膜層被覆材料支承在所述容器內(nèi)，將以Li和至少Al為主要成分形成的復(fù)合氧化物形成用靶配置在該容器內(nèi)，向所述容器中供給氧，以所述耐氧化被膜層形成用靶作為陽(yáng)極，以所述支架作為陰極，使該耐氧化被膜層形成用靶和該支架之間產(chǎn)生放電，在所述基材上或高硬度被膜層被覆材料的表面形成耐氧化被膜層。
文檔編號(hào)B23B27/14GK101557897SQ20088000103
公開(kāi)日2009年10月14日 申請(qǐng)日期2008年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月22日
發(fā)明者安井豐明, 安田千秋, 樹(shù)神幸夫, 永野一郎, 渡邊俊哉, 秋山勝德, 菊池泰路, 藤田昌克 申請(qǐng)人:三菱重工業(yè)株式會(huì)社