專利名稱:一字激光光源的蝕刻裝置制造方法
【專利摘要】一種一字激光光源的蝕刻裝置，包括：一機臺、一驅(qū)動機構(gòu)、一字激光模塊及一固定承座。該驅(qū)動機構(gòu)架設(shè)于該基臺上，由該致動元件、驅(qū)動桿及被驅(qū)動桿組成。該一字激光模塊射于該驅(qū)動機構(gòu)上。該固定承座由二導桿組成，架設(shè)于該機臺的驅(qū)動機構(gòu)上。在蝕刻時，以該驅(qū)動機構(gòu)的致動元件驅(qū)動該驅(qū)動桿，使該被驅(qū)動桿帶動該一字激光模塊于該固定承座上移動，在移動時該一字激光模塊所產(chǎn)生的一字激光光源與一字激光光源移動方向垂直，并透射穿過光罩上的透光區(qū)域，使該一字激光光源的能量讓透明導電膠片上的導電層熔毀蝕刻，形成特定線路。
【專利說明】一字激光光源的蝕刻裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種蝕刻裝置，尤其涉及一種以激光蝕刻透明導電膜的干式蝕刻
目.0

【背景技術(shù)】
[0002]伴隨著移動信息裝置例如移動電話、導航系統(tǒng)等消費性電子產(chǎn)品的高能性和多樣性的發(fā)展，在顯示裝置的前方已廣泛地安裝有具透光性的觸控面板(touch panel)。
[0003]一般來說，觸控面板的觸控裝置包括一保護蓋板、一絕緣遮光層、一感測電極層及一信號傳送層。其中，保護蓋板具有供使用者操作的一感應(yīng)區(qū)與圍繞該感應(yīng)區(qū)的一周邊區(qū)，絕緣遮光層形成于保護蓋板的周邊區(qū)，感測電極層形成于保護蓋板的感應(yīng)區(qū)與部分周邊區(qū)，信號傳送層形成于絕緣遮光層上且與感測電極層電性連結(jié)，讓感測電極層上產(chǎn)生的電信號可經(jīng)由信號傳送層傳遞至外部檢測電路，并藉由外部檢測電路判斷觸控位置。
[0004]其中，所謂的感測電極層及一信號傳送層，可以是以一光學透明膠片該表面可以有硬化層，進一步在于該表面形成一透明導電層，該透明導電層可以是有機或無機導電材料等，經(jīng)涂布或蒸鍍而成，而構(gòu)成的透明導電層可再于該導電層上以銀膠經(jīng)印刷形成一銀膠導電層，之后再以蝕刻方式如濕式或干式，以干式蝕刻如激光方式進行蝕刻，其中透明導電層經(jīng)蝕刻后形成線路即所謂的感測電極層，銀膠導電層經(jīng)蝕刻后形成線路即所謂的信號傳送層。
[0005]前述的激光蝕刻方式是利用一特定脈沖能量低于100瓦的激光光源進行蝕刻，以一單一激光光束結(jié)合于一可經(jīng)電腦路徑設(shè)定的X-Y平臺，經(jīng)電腦程序的特定路徑安排，以驅(qū)動機構(gòu)輔助該激光光源對透明導電層上的導電層延伸更大線路區(qū)域的蝕刻，蝕刻寬度可以精確至50um以下。不過以單一激光光束進行透明導電層的一整面的線路蝕刻，耗時不利量產(chǎn)效益，且單一激光光束蝕刻單一透明導電層的線路易產(chǎn)生蝕刻不良缺憾風險提高。
[0006]現(xiàn)在另一種高能量的激光技術(shù)，提供一面狀(一字)光束，可做為切割或進一步與光罩結(jié)合作為塑料焊接之用，據(jù)此有別于單一激光光束的一字型激光面光束技術(shù)進一步結(jié)合光罩技術(shù)可以加以改良利用，作為透明導電層的干式蝕刻量產(chǎn)技術(shù)設(shè)計。
實用新型內(nèi)容
[0007]本實用新型的主要目的，在于解決傳統(tǒng)缺失，本實用新型提供一種一字激光光源的蝕刻裝置，可做為透明導電膠片上的導電層的激光蝕刻加工技術(shù)之用，可以提升透明導電月父片的特定線路蝕刻后的良率。
[0008]為達上述目的，本實用新型提供一種一字激光光源的蝕刻裝置，以對光罩及透明導電膠片的導電材料層呈相對移動進行蝕刻處理，其包括:
[0009]一機臺；
[0010]一驅(qū)動機構(gòu)，架設(shè)于該機臺上，由一致動元件、一驅(qū)動桿及一被驅(qū)動桿組成，該驅(qū)動桿與該致動元件連接；另，該被驅(qū)動桿上具有至少一滑孔及一與該驅(qū)動桿嚙合的驅(qū)動孔；
[0011]一字激光模塊，設(shè)于架設(shè)在該機臺上的該被驅(qū)動桿上，該一字激光模塊以產(chǎn)生一字激光光源輸出；
[0012]一固定承座，架設(shè)于機臺上且設(shè)于該滑孔中；
[0013]其中，該驅(qū)動機構(gòu)的致動元件驅(qū)動時，以驅(qū)動該驅(qū)動桿轉(zhuǎn)動，使該被驅(qū)動桿帶動該一字激光模塊于該固定承座上移動，同時該一字激光模塊所產(chǎn)生的一字激光光源與一字激光光源移動方向垂直，在移動時該一字激光光源透射穿過該光罩，使該一字激光光源的能量讓透明導電膠片上的導電層熔毀蝕刻，形成特定線路。
[0014]其中，該機臺上具有一承載座，該承載座上具有一多個支撐桿所組成的固定架。
[0015]其中，該致動元件為馬達、汽缸，或者馬達連接減速機。
[0016]其中，該驅(qū)動桿為渦桿，架設(shè)于該固定架上。
[0017]其中，該驅(qū)動孔內(nèi)具有一與該驅(qū)動桿嚙合的齒面。
[0018]其中，該固定承座由二導桿組成，該二導桿以穿射于該被驅(qū)動桿的二滑孔中，并架設(shè)在該固定架上。
[0019]其中，該一字激光光源提供脈沖式面型光束。
[0020]其中，該一字激光光源經(jīng)電子驅(qū)動方式形成面型光束。
[0021]其中，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一光學裝置如光柵形成面型光束。
[0022]其中，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一光學裝置經(jīng)電子驅(qū)動方式形成面型光束。
[0023]其中，該一字激光光源以多個激光光源并列，并在光束前端設(shè)置一透鏡調(diào)整形成一字形面光源。
[0024]其中，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一結(jié)合驅(qū)動裝置的透鏡組。
[0025]其中，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一集塵裝置。
[0026]其中，該光罩上具有一透光區(qū)域及一不透光區(qū)域。
[0027]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細描述，但不作為對本實用新型的限定。

【附圖說明】

[0028]圖1，本實用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的外觀示意圖；
[0029]圖2，本實用新型的被驅(qū)動桿與一字激光光模塊組接示意圖；
[0030]圖3，本實用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的上視動作示意圖；
[0031]圖4，本實用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的側(cè)視動作示意圖；
[0032]圖5，本實用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的另一側(cè)視動作示意圖。
[0033]其中，附圖標記
[0034]機臺I
[0035]承載座11
[0036]固定架12
[0037]驅(qū)動機構(gòu)2
[0038]致動元件21
[0039]第一驅(qū)動桿22
[0040]被驅(qū)動桿23
[0041]滑孔231
[0042]驅(qū)動孔232
[0043]齒面2321
[0044]一字激光模塊3
[0045]一字激光光源31
[0046]固定承座4
[0047]導桿41
[0048]透明導電膠片5
[0049]透明膠片51
[0050]導電層52
[0051]光罩6
[0052]透光區(qū)域61
[0053]不透光區(qū)域62。

【具體實施方式】
[0054]茲有關(guān)本實用新型的技術(shù)內(nèi)容及詳細說明，現(xiàn)配合【附圖說明】

如下:
[0055]請參閱圖1及圖2，本實用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的外觀及被驅(qū)動桿與一字激光光模塊組接示意圖。如圖所示:本實用新型的一字激光光源的蝕刻裝置，包括:一機臺1、一驅(qū)動機構(gòu)2、一字激光模塊3及一固定承座4。
[0056]該機臺1，其上具有一承載座11，該承載座11上具有一多個支撐桿所組成的固定架12。
[0057]該驅(qū)動機構(gòu)2，是架設(shè)于該固定架12上，由一致動元件21、一驅(qū)動桿22及一被驅(qū)動桿23組成。該致動元件21為馬達、汽缸，或者馬達連接減速機。該第一驅(qū)動桿22為渦桿，是與該致動元件21連接，并受該馬達驅(qū)動或者減速機驅(qū)動而旋轉(zhuǎn)。該被驅(qū)動桿23是以穿設(shè)于該一字激光模塊3中，該被驅(qū)動桿23上具有至少一外露于一字激光模塊3外部的滑孔231及一驅(qū)動孔232，該驅(qū)動孔232內(nèi)具有一與該驅(qū)動桿22嚙合的齒面2321，在該驅(qū)動桿22驅(qū)動下該被驅(qū)動桿23即帶動一字激光模塊3移動。
[0058]該一字激光模塊3，是設(shè)于該被驅(qū)動桿23上，該一字激光模塊3以產(chǎn)生一字激光光源輸出，該一字激光光源提供脈沖式(puls)面型光束，該一字激光光源可經(jīng)電子驅(qū)動方式形成面型光束，或在激光光束射出前端安裝一光學裝置如光柵形成面型光束，或在激光光束射出前端安裝一光學裝置經(jīng)電子驅(qū)動方式形成面型光束，或者以多個激光光源并列，并在光束前端設(shè)置一透鏡調(diào)整形成一字形面光源，或在激光光源于光束射出前端裝置一結(jié)合驅(qū)動裝置的透鏡組，驅(qū)動透鏡組以光源產(chǎn)生的一字形面光源可沿垂直方向做動，或在激光光源射出前端裝置一集塵裝置，該集塵裝置可以用來吸取激光蝕刻過程產(chǎn)生的粉塵。
[0059]該固定承座4，是由二導桿41組成，該二導桿41是以穿射于該被驅(qū)動桿23的二滑孔231中，并架設(shè)在該固定架12上，在該驅(qū)動桿22驅(qū)動該被驅(qū)動桿23時，該被驅(qū)動桿23既滑行于該固定承座4的二導桿41上。
[0060]請參閱圖3?圖5，本實用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的上視、側(cè)視及另一側(cè)視動作示意圖。如圖所示:在本實用新型的一字激光光源的蝕刻裝置進行蝕刻時，先于該透明膠片51上涂布一層導電材料形成一導電層52，以該透明膠片51及該導電層52形成一透明導電膠片5，將該透明導電膠片5放置于該機臺I的承載座11上，于該透明導電膠片5上方放置一與該透明導電膠片相同大小的光罩6，該光罩6上具有一透光區(qū)域61及一不透光區(qū)域62，該透光區(qū)61可以供一字激光光源通過至該透明導電膠片5上，將該透明導電膠片5上的導電材料層52熔毀蝕刻，以形成特定線路。
[0061]本實用新型的激光蝕刻做動，可以由以下兩種作業(yè)方式進行，第一種是以一字激光光源可藉由光束前利用結(jié)合驅(qū)動裝置的透鏡組于產(chǎn)生一字形面光源的垂直方向進行小區(qū)域激光光束做動，該一字激光模塊3所產(chǎn)生的一字激光光源31提供一垂直面光源(如圖5另一側(cè)視方向所見的面型光束或垂直面光源)，且該一字激光光源31與一字激光光源31所移動方向垂直，以對局部固定區(qū)域的光罩6及透明導電膠片5進行蝕刻。欲進行更大區(qū)域范圍的蝕刻，再結(jié)合以控制電路(圖中未示)驅(qū)動該驅(qū)動機構(gòu)2的致動元件21時，以驅(qū)動該驅(qū)動桿22轉(zhuǎn)動，在該驅(qū)動桿22轉(zhuǎn)動時帶動該被驅(qū)動桿移動，而帶動該一字激光模塊3于該固定承座4的二導桿41上移動，至下一個蝕刻作業(yè)區(qū)域，再進行一局部區(qū)域的蝕刻作業(yè)，最后完成所有區(qū)域透明導電膠片6上的導電層52熔毀蝕刻，形成特定線路?；蚴堑诙N直接以控制電路(圖中未示)驅(qū)動該驅(qū)動機構(gòu)2的致動元件21時，以驅(qū)動該驅(qū)動桿22轉(zhuǎn)動，在該驅(qū)動桿22轉(zhuǎn)動時帶動該被驅(qū)動桿移動，而帶動該一字激光模塊3于該固定承座4的二導桿41上移動，該一字激光模塊3所產(chǎn)生的一字激光光源31提供一垂直面光源(如圖5另一側(cè)視方向所見的面型光束或垂直面光源)，且該一字激光光源31與一字激光光源31所移動方向垂直，并透射穿過該光罩6的透光區(qū)域61，使該一字激光光源31的能量讓透明導電膠片5上的導電層52熔毀蝕刻，形成特定線路。
[0062]當然，本實用新型還可有其它多種實施例，在不背離本實用新型精神及其實質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當可根據(jù)本實用新型作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本實用新型所附的權(quán)利要求的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種一字激光光源的蝕刻裝置，以對光罩及透明導電膠片的導電材料層呈相對移動進行蝕刻處理，其特征在于，包括: 一機臺； 一驅(qū)動機構(gòu)，架設(shè)于該機臺上，由一致動元件、一驅(qū)動桿及一被驅(qū)動桿組成，該驅(qū)動桿與該致動元件連接；另，該被驅(qū)動桿上具有至少一滑孔及一與該驅(qū)動桿嚙合的驅(qū)動孔； 一字激光模塊，設(shè)于架設(shè)在該機臺上的該被驅(qū)動桿上，該一字激光模塊以產(chǎn)生一字激光光源輸出； 一固定承座，架設(shè)于機臺上且設(shè)于該滑孔中； 其中，該驅(qū)動機構(gòu)的致動元件驅(qū)動時，以驅(qū)動該驅(qū)動桿轉(zhuǎn)動，使該被驅(qū)動桿帶動該一字激光模塊于該固定承座上移動，同時該一字激光模塊所產(chǎn)生的一字激光光源與一字激光光源移動方向垂直，在移動時該一字激光光源透射穿過該光罩，使該一字激光光源的能量讓透明導電膠片上的導電層熔毀蝕刻，形成特定線路。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該機臺上具有一承載座，該承載座上具有一多個支撐桿所組成的固定架。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該致動元件為馬達、汽缸，或者馬達連接減速機。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該驅(qū)動桿為渦桿，架設(shè)于該固定架上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該驅(qū)動孔內(nèi)具有一與該驅(qū)動桿嚙合的齒面。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該固定承座由二導桿組成，該二導桿以穿射于該被驅(qū)動桿的二滑孔中，并架設(shè)在該固定架上。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該一字激光光源提供脈沖式面型光束。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該一字激光光源經(jīng)電子驅(qū)動方式形成面型光束。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一光學裝置如光柵形成面型光束。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一光學裝置經(jīng)電子驅(qū)動方式形成面型光束。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該一字激光光源以多個激光光源并列，并在光束前端設(shè)置一透鏡調(diào)整形成一字形面光源。12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一結(jié)合驅(qū)動裝置的透鏡組。13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一集塵裝置。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一字激光光源的蝕刻裝置，其特征在于，該光罩上具有一透光區(qū)域及一不透光區(qū)域。
【文檔編號】B23K26-08GK204277217SQ201420468385
【發(fā)明者】丁定國, 張裕洋 [申請人]位元奈米科技股份有限公司