專利名稱：檢測(cè)工作機(jī)械加工空間區(qū)域內(nèi)的集塵能力降低的檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢測(cè)工作機(jī)械加工空間區(qū)域內(nèi)集塵能力降低的檢測(cè)裝置，特別涉及適合搭載有電流鏡驅(qū)動(dòng)裝置的激光加工機(jī)。
背景技術(shù)：
下面參照?qǐng)D5來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，有關(guān)傳統(tǒng)技術(shù)的裝載有電流鏡驅(qū)動(dòng)裝置的激光加工機(jī)存在的問(wèn)題。
圖5(a)表示以被加工物體為例利用激光加工機(jī)對(duì)印刷電路板50進(jìn)行加工時(shí)，利用集塵機(jī)本體52的吸引導(dǎo)向部件53將因加工而產(chǎn)生的煙塵及飛濺物51排出工作區(qū)域外時(shí)的狀態(tài)。圖5(b)表示由于集塵機(jī)本體52的過(guò)濾器的孔被阻塞后使電路板上面的加工空間區(qū)域內(nèi)集塵能力降低后的狀態(tài)。此時(shí)，由于不能夠充分地將煙塵及飛濺物51從加工空間區(qū)域內(nèi)吸出來(lái)，使得來(lái)自f-θ透鏡54的激光55被煙塵及飛濺物51遮住，這樣將會(huì)使被加工物體50的加工部直徑出現(xiàn)異常。圖5(c)則表示被加工物體50的加工孔的狀態(tài)。50a表示正常的加工孔徑，50b表示加工孔徑減小時(shí)的情形，50c表示加工孔未被打穿時(shí)的情形。當(dāng)加工孔徑變小時(shí)或未被打穿時(shí)，這便是加工空間區(qū)域內(nèi)集塵能力降低所造成的結(jié)果，當(dāng)集塵機(jī)的集塵能力一降低便會(huì)影響到加工品的質(zhì)量。
但是，雖然激光加工機(jī)的種類很多(例如，光軸固定式、多光軸移動(dòng)式等)，但在裝有電流鏡驅(qū)動(dòng)裝置的激光加工機(jī)時(shí)，當(dāng)加工空間區(qū)域內(nèi)集塵能力一旦降低，由于像上述那樣沒(méi)能完全除掉煙塵及飛濺物質(zhì)51，當(dāng)煙塵及飛濺物質(zhì)51一旦碰到f-θ透鏡54便會(huì)污染透鏡表面。另外，依據(jù)不同的場(chǎng)合煙塵及飛濺物51還會(huì)吸收激光55，正如圖5(e)所示的那樣，由于f-θ透鏡54附著有飛濺物，便會(huì)使透鏡發(fā)生熱損壞。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于傳統(tǒng)技術(shù)中存在的問(wèn)題，本發(fā)明的第一目的是，當(dāng)加工空間區(qū)域內(nèi)的集塵能力降低時(shí)，至少使激光加工機(jī)的激光振蕩器自動(dòng)暫時(shí)停止工作，從而使被加工物體不出現(xiàn)殘次品。第二目的是，既不會(huì)對(duì)激光加工機(jī)的有效空間進(jìn)行限制，又可以以低費(fèi)用實(shí)現(xiàn)目的1。第三目的是，在極短時(shí)間內(nèi)便可完成集塵機(jī)的維修保養(yǎng)的同時(shí)解決上述傳統(tǒng)技術(shù)存在的問(wèn)題。
本發(fā)明一種檢測(cè)工作機(jī)械加工空間內(nèi)集塵能力降低的檢測(cè)裝置，其特征在于將為了能夠吸收塵埃物質(zhì)而構(gòu)成集塵機(jī)的吸引導(dǎo)向部件的吸入口配設(shè)在鄰近被加工物體與加工驅(qū)動(dòng)裝置的透鏡之間的加工空間區(qū)域處，并在集塵機(jī)本體或者吸引導(dǎo)向部件上安裝檢測(cè)加工空間區(qū)域內(nèi)集塵能力降低的檢測(cè)單元，比較·判別電路在對(duì)來(lái)自該檢測(cè)單元的異常信號(hào)作出判別時(shí)，計(jì)算機(jī)便使向上述加工驅(qū)動(dòng)裝置發(fā)射激光束的激光振蕩器自動(dòng)地停止。


圖1-圖3表示本發(fā)明的一實(shí)施例的各說(shuō)明圖。
圖1、表示發(fā)明的一種實(shí)施狀態(tài)的簡(jiǎn)略說(shuō)明圖。
圖2、是整體硬件結(jié)構(gòu)圖。
圖3、表示從各驅(qū)動(dòng)源到重新啟動(dòng)過(guò)程的流程圖。
圖4、表示安裝檢測(cè)裝置場(chǎng)所不同的實(shí)施例的簡(jiǎn)要說(shuō)明圖。
圖5、解釋現(xiàn)有技術(shù)中存在著問(wèn)題點(diǎn)用的簡(jiǎn)要說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式
圖1簡(jiǎn)略地表示了本發(fā)明的實(shí)施方式的一個(gè)例子。為說(shuō)明實(shí)施方式的環(huán)境，圖中X是在加工空間區(qū)域內(nèi)檢測(cè)工作機(jī)械集塵能力的檢測(cè)裝置。1表示以該集塵能力降低檢測(cè)裝置X的一部分作為工作機(jī)械一例的激光加工機(jī)。在該激光加工機(jī)1上，為在放置在工作臺(tái)2上的被加工物體3上形成孔而工作臺(tái)2或被加工物體3的上方通過(guò)較大的機(jī)框4搭載電流鏡(驅(qū)動(dòng))裝置5。在該機(jī)框4的內(nèi)部空間里，面向驅(qū)動(dòng)裝置5的反射鏡設(shè)置有發(fā)射激光束的激光振蕩器5A(此外，圖1中給出了激光振蕩器5A的框圖)。作為被加工物體的一實(shí)施例，這里以電子應(yīng)用機(jī)械器具的印刷電路板進(jìn)行說(shuō)明。
電流鏡驅(qū)動(dòng)裝置(以下，在這里稱為加工驅(qū)動(dòng)裝置。)5的一例，例如在特開(kāi)2000-98271號(hào)公報(bào)中具有記載。加工驅(qū)動(dòng)裝置5主要包括分別使來(lái)自激光振蕩器5A反射激光束的多個(gè)反射射鏡進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的電流計(jì)，將激光束聚集在被加工物表面上的f-θ透鏡7、放大器、電磁計(jì)控制電路及檢測(cè)計(jì)驅(qū)動(dòng)電路等。
上述工作臺(tái)2隨著激光加工機(jī)1的多個(gè)驅(qū)動(dòng)源(驅(qū)動(dòng)馬達(dá))1a的驅(qū)動(dòng)力分別沿著正交的水平方向進(jìn)行移動(dòng)。從被對(duì)固定設(shè)置在工作臺(tái)2上的被加工物體3在左右(沿X軸方向)。前后(Y軸方向)移動(dòng)的同時(shí)，利用上述加工驅(qū)動(dòng)裝置5的激光束6進(jìn)行加工(打孔)。在該加工過(guò)程中，將從被加工物體3上產(chǎn)生煙塵和飛濺物8、即塵埃物質(zhì)。粉塵和飛濺物8相對(duì)上述f-θ透鏡7而言就是一種類似垃圾的物質(zhì)，如果不將它們從被加工物體3與f-θ透鏡7的上下空間(該空間在這里稱為加工空間區(qū)域)9中去除掉的話，便會(huì)遮住激光束6，這樣將使被加工的孔徑出現(xiàn)異?；蚴箍孜幢淮蛲浮?br> 10是臨近上述加工空間區(qū)域9、固定配設(shè)在機(jī)框4上的、吸入煙塵和飛濺物的吸引導(dǎo)向部件。吸引導(dǎo)向部件10由橫向設(shè)置在機(jī)框4下部的定長(zhǎng)的通風(fēng)道11和一端被安裝在該通風(fēng)道11后端的具有可撓性的軟管12組成。
13是設(shè)置在激光加工機(jī)1的附近并通過(guò)吸引導(dǎo)向部件10吸入煙塵和飛濺物8的集塵機(jī)機(jī)體。當(dāng)然，在工廠內(nèi)設(shè)置多臺(tái)激光加工機(jī)1的場(chǎng)合，由于也往往合理地將集塵機(jī)本體13配設(shè)在工廠內(nèi)的作業(yè)臺(tái)上，但是將集塵機(jī)本體13設(shè)置在激光加工機(jī)1附近的技術(shù)并不是本發(fā)明的必要條件。
另外，在集塵機(jī)本體13上連接著上述可撓性軟管12的后端部。可撓性軟管12及上述通風(fēng)道11在本實(shí)施例中構(gòu)成了集塵機(jī)的一部分。該集塵機(jī)本體13設(shè)有直接式或者間接式的驅(qū)動(dòng)源13a。
因而，當(dāng)分別驅(qū)動(dòng)工作機(jī)械1的驅(qū)動(dòng)源1a、激光振蕩器5A、加工驅(qū)動(dòng)裝置5的驅(qū)動(dòng)源5a及集塵機(jī)機(jī)體13的驅(qū)動(dòng)源13a使被加工物體3產(chǎn)生塵埃物質(zhì)8時(shí)，該塵埃物質(zhì)8便由集塵機(jī)本體13通過(guò)通風(fēng)道11及軟管12從上述加工空間區(qū)域9向外排出。
15是檢測(cè)通風(fēng)道11里面的物理量(如氣體壓強(qiáng)、氣體流量、氣體的流速的檢測(cè)單元)的檢測(cè)單元，所述檢測(cè)單元15安裝在吸引導(dǎo)向部件10的適宜場(chǎng)所，在本實(shí)施例中被安裝在通風(fēng)道11上，像這樣，作為檢測(cè)措施的一例可以采用空氣流量傳感器。
因此，本實(shí)施例的檢測(cè)單元15可以對(duì)通過(guò)通風(fēng)道11內(nèi)的氣體流量進(jìn)行檢測(cè)。而且，被存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)單元里的與由檢測(cè)單元15長(zhǎng)期檢測(cè)出的正常信號(hào)a或者異常信號(hào)相對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)信號(hào)，相對(duì)檢測(cè)信號(hào)(正常信號(hào)a、異常信號(hào)為b)具有任意的閾值，當(dāng)檢測(cè)單元15的檢測(cè)量超過(guò)存儲(chǔ)單元的閾值時(shí)便將異常信號(hào)b送給后述的主控制部。
關(guān)于閾值一般被稱為閾值邏輯電路，事先確定規(guī)定的水平，將該規(guī)定水平上的信號(hào)表示為H電平，并將該具有規(guī)定電平的值稱為閾值。
下面，參閱圖2說(shuō)明本發(fā)明的主要部分。圖2表示與被安裝在集塵機(jī)本體13或者/以及吸引導(dǎo)向部件10上的與檢測(cè)單元15的檢測(cè)信號(hào)(正常信號(hào)為a，異常信號(hào)為b)電關(guān)連的計(jì)算機(jī)20的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。該計(jì)算機(jī)20與激光加工機(jī)1一起構(gòu)成了檢測(cè)集塵能力降低檢測(cè)裝置x的一部分。
21是根據(jù)運(yùn)算電路22對(duì)各種信號(hào)進(jìn)行處理的中央處理裝置(這里叫做主控制部或CPU)。23是存儲(chǔ)控制程序24及數(shù)據(jù)文件25的存儲(chǔ)裝置。上述控制程序24至少可以使激光振蕩器5A暫時(shí)停止工作。在本實(shí)施例中具有不僅使激光振蕩器5A，同時(shí)可使加工驅(qū)動(dòng)裝置5的驅(qū)動(dòng)源5a和集塵機(jī)本體13的驅(qū)動(dòng)源13a暫時(shí)停止工作用的暫時(shí)停止機(jī)能(裝置)24a以及根據(jù)輸入裝置27提供的輸入信號(hào)同時(shí)解除該暫時(shí)停止機(jī)能的機(jī)能(裝置)24b。
26是控制由檢測(cè)單元15檢測(cè)出的檢測(cè)信號(hào)(正常時(shí)的檢測(cè)值為a、異常時(shí)為b)和輸入裝置27的輸入信號(hào)的輸入控制部。另外，28是對(duì)自主控制部21輸出的異常判別信號(hào)C進(jìn)行控制的輸出控制部。29是構(gòu)成一部分控制裝置的比較·判別電路。
30是接收來(lái)自輸出控制部28的信號(hào)并將前面所輸出的加工空間區(qū)域內(nèi)集塵能力降低的信號(hào)顯示給用戶的顯示裝置(如CRT顯示器)。31是與輸出控制部28電路相聯(lián)結(jié)的報(bào)警裝置(例如蜂鳴器)。
為供比較·判別電路29作出判別，而上述數(shù)據(jù)文件25具有閾值邏輯電路用標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)25a。該基準(zhǔn)數(shù)據(jù)25a可以依據(jù)檢測(cè)單元15的傳感器性能·機(jī)能、傳感器的不同數(shù)據(jù)進(jìn)行任意地設(shè)定。例如，在檢測(cè)單元15由能夠?qū)ξ裏焿m和飛濺物8而檢測(cè)氣體流量的第1檢測(cè)單元、能夠?qū)︼L(fēng)速進(jìn)行檢測(cè)的第2檢測(cè)單元以及能夠?qū)ω?fù)壓進(jìn)行檢測(cè)的第2檢測(cè)單元相組合的場(chǎng)合，當(dāng)然基準(zhǔn)數(shù)據(jù)25a應(yīng)設(shè)定成與上述的所有檢測(cè)單元的檢測(cè)信號(hào)相對(duì)應(yīng)。
因此，在本實(shí)施例中由檢測(cè)單元15所檢測(cè)出的負(fù)壓，流量以及風(fēng)速中的任意一個(gè)物理量或?qū)⑺鼈內(nèi)我饨M合過(guò)的數(shù)據(jù)分別與作為檢測(cè)對(duì)象的上述負(fù)壓、流量及風(fēng)速等物理量相對(duì)應(yīng)。
比較·判別電路29判別被存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元25內(nèi)的規(guī)定的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)25a與從檢測(cè)單元15送來(lái)的檢測(cè)信號(hào)(檢測(cè)值為a、b)是否一致。有關(guān)這點(diǎn)雖在本發(fā)明中不屬于特別的條件，但也可具有使檢測(cè)單元的檢測(cè)信號(hào)直接流進(jìn)判別電路的結(jié)構(gòu)。
圖3表示各驅(qū)動(dòng)源，從啟動(dòng)到再次啟動(dòng)到整個(gè)過(guò)程的流程圖。
在本實(shí)施例中，首先啟動(dòng)激光振蕩器5A、激光加工機(jī)1、加工驅(qū)動(dòng)裝置5及集塵機(jī)本體13的各個(gè)驅(qū)動(dòng)源1a、5a和13a(S1)。各個(gè)驅(qū)動(dòng)源1a、5a、13a一旦被啟動(dòng)，工作臺(tái)沿前后、左右方向移動(dòng)，來(lái)自加工驅(qū)動(dòng)裝置5的激光束6被照射在被加工物體3的加工部上，同時(shí)集塵機(jī)本體13通過(guò)吸引導(dǎo)向部件將由被加工物體3產(chǎn)生的塵埃物質(zhì)8吸引。此時(shí)，如果集塵機(jī)相對(duì)加工空間區(qū)域9的吸塵能力正常，檢測(cè)單元15便將正常的信號(hào)連續(xù)地傳給計(jì)算機(jī)20。這樣，塵埃物質(zhì)8在到達(dá)加工驅(qū)動(dòng)裝置5的f-θ透鏡7之前便被吸進(jìn)到導(dǎo)向部件13的通風(fēng)道11里。
若假定集塵機(jī)相對(duì)加工空間區(qū)域9內(nèi)的吸引能力出現(xiàn)異常。這時(shí)，檢測(cè)單元15對(duì)集塵機(jī)的異常信號(hào)b進(jìn)行檢測(cè)。該異常信號(hào)b由比較·判別電路29所判別的S2的判別結(jié)果如果是[黑yes]的話，便由主控制部21將異常判別信號(hào)C送給輸出控制部28。此時(shí)，主控制部21根據(jù)存儲(chǔ)裝置23的暫時(shí)停止機(jī)能(裝置)24a，在本實(shí)施例的狀態(tài)下發(fā)出使激光振蕩器5A及各驅(qū)動(dòng)源1a、5a、13a暫時(shí)停止的信號(hào)。于是，進(jìn)行使激光振蕩器5A及各個(gè)驅(qū)動(dòng)源同步暫停工作的S3。此外，在與發(fā)明的特定條件有關(guān)的條件下，此時(shí)，也可像上述那樣至少由主控制部21發(fā)出使激光振蕩器5A臨時(shí)停止工作的信號(hào)。
這里所謂的“臨時(shí)停止”是指在控制程序24的運(yùn)行中依據(jù)比較·判別電路29的判別結(jié)果自動(dòng)地對(duì)各個(gè)驅(qū)動(dòng)源下達(dá)中止驅(qū)動(dòng)指令(實(shí)際是中止程序執(zhí)行)，一旦當(dāng)下達(dá)解除臨時(shí)中止指令(即，重新運(yùn)行程序)，便從停止的狀態(tài)恢復(fù)到原有的程序執(zhí)行處。不過(guò)在本實(shí)施例中上述臨時(shí)停止的意思則不包含通過(guò)輸入裝置27強(qiáng)制中止程序流的場(chǎng)合。此時(shí)，顯示裝置30將同時(shí)顯示出錯(cuò)誤信息S4，或由報(bào)警裝置的報(bào)警器31發(fā)出鳴響S5。
因此，用戶在對(duì)導(dǎo)向部件10和集塵機(jī)本體13進(jìn)行檢修·清掃等S6時(shí)，便可通過(guò)輸入裝置26等將顯示裝置30的錯(cuò)誤信息清除掉或中止警報(bào)器(報(bào)警器)31的鳴叫。
(實(shí)施例)
當(dāng)集塵機(jī)恢復(fù)正常，機(jī)械以及裝置的暫時(shí)停止便會(huì)自動(dòng)地變成解除的狀態(tài)(可恢復(fù)的狀態(tài))。因此，用戶在對(duì)集塵機(jī)進(jìn)行檢修、清潔之后便利用輸入裝置27使運(yùn)行再開(kāi)鍵變成ON狀態(tài)S7。該ON信號(hào)一被送到主控制部21，主控制部21便依據(jù)存儲(chǔ)裝置23的停止解除機(jī)能(裝置)24b將激光振蕩器5A及各個(gè)驅(qū)動(dòng)器的停止解除。該解除信號(hào)一旦輸入到顯示裝置30里，激光振蕩器5A及各驅(qū)動(dòng)器源被重新再啟動(dòng)的同時(shí)顯示裝置30上的錯(cuò)誤信息也一同自動(dòng)消失。
作為一種檢測(cè)單元可以采用氣體壓力傳感器和空氣流量傳感器等。這些檢測(cè)單元均可以檢測(cè)導(dǎo)向部件10的氣體壓力和氣體流量等。
檢測(cè)單元15可以安裝在集塵機(jī)本體13上。主要可用于檢測(cè)加工空間區(qū)域內(nèi)的集塵能力的降低。
圖4表示安裝檢測(cè)單元場(chǎng)所不同的實(shí)施例。在本實(shí)施例中，將吸入氣體的分支狀大氣吸引管40一體設(shè)置在吸引導(dǎo)向部件10A上，并將檢測(cè)單元15A設(shè)置在該氣體吸引管40上。也就是說(shuō)，在本實(shí)施例中將傳感器不是安裝在通風(fēng)道的吸引口處，而是安裝在普通的氣體吸引口處。
采用如上結(jié)構(gòu)的話，由于傳感器處在一種清潔的環(huán)境里，飛濺物不會(huì)附著在傳感器上，所以可以長(zhǎng)期永久地使傳感器具有判別功能。
綜上所述，利用本發(fā)明可以得到如下幾種效果。
(1)當(dāng)加工空間區(qū)域內(nèi)的集塵能力降低時(shí)，至少可使激光加工機(jī)的激光振蕩器自動(dòng)地暫時(shí)停止，因此將不會(huì)使被加工物體產(chǎn)生不合格品。
(2)由于有了帶有比較·判別檢測(cè)單元和預(yù)先存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)的存儲(chǔ)裝置的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)電路的計(jì)算機(jī)，并將上述檢測(cè)單元安裝在集塵機(jī)上，所以既不會(huì)使被加工物體出現(xiàn)殘不合格品，又不會(huì)對(duì)激光加工機(jī)的有限空間進(jìn)行限制，從而降低了費(fèi)用減少了成本，這便是本發(fā)明的目的。
(3)特別是在激光加工機(jī)搭載了電流鏡驅(qū)動(dòng)裝置的激光加工機(jī)的場(chǎng)合，可以防止f-θ透鏡損壞。
權(quán)利要求
1.一種檢測(cè)工作機(jī)械加工空間區(qū)域內(nèi)的集塵能力降低的檢測(cè)裝置，其特征在于將為了能夠吸收塵埃物質(zhì)而構(gòu)成集塵機(jī)的吸引導(dǎo)向部件的吸入口配設(shè)在鄰近被加工物體與加工驅(qū)動(dòng)裝置的透鏡之間的加工空間區(qū)域處，并在集塵機(jī)本體或者吸引導(dǎo)向部件上安裝檢測(cè)加工空間區(qū)域內(nèi)集塵能力降低的檢測(cè)單元，當(dāng)比較·判別電路判別出來(lái)自該檢測(cè)單元的異常信號(hào)時(shí)，計(jì)算機(jī)便使向上述加工驅(qū)動(dòng)裝置發(fā)射激光束的激光振蕩器自動(dòng)地停止。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)工作機(jī)械加工空間區(qū)域內(nèi)集塵能力降低的檢測(cè)裝置，其特征在于存儲(chǔ)裝置(23)的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(25a)與由上述檢測(cè)單元(15)檢測(cè)出的負(fù)壓，流量及風(fēng)速中的任意一個(gè)量或者將它們進(jìn)行組合后的物理量相對(duì)應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)工作機(jī)械加工空間區(qū)域內(nèi)集塵能力降低的檢測(cè)裝置，其特征在于加工驅(qū)動(dòng)裝置(5)是一種具有f-θ透鏡的電流鏡驅(qū)動(dòng)裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)工作機(jī)械加工空間區(qū)域內(nèi)的集塵能力降低的檢測(cè)裝置，其特征在于上述吸引導(dǎo)向部件(10)是由面向加工空間區(qū)域設(shè)置的上述通風(fēng)道(11)、和前端部被安裝在該通風(fēng)道(11)上而后端部與集塵機(jī)本體(13)相連接的可撓性軟管(12)所構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)工作機(jī)械加工空間內(nèi)集塵能力降低的檢測(cè)裝置，其特征在于在上述吸引導(dǎo)向部件(10)上一體設(shè)置吸入氣體的樹(shù)枝狀的大氣吸引管，在該大氣吸引管上設(shè)置有檢測(cè)單元。
6.一種檢測(cè)工作機(jī)械加工空間區(qū)域內(nèi)集塵能力降低的檢測(cè)裝置，其特征在于為了能夠吸收在加工中由工作臺(tái)(2)上的被加工物體(3)產(chǎn)生的塵埃物質(zhì)(8)而將吸引導(dǎo)向部件(10)的吸入口配設(shè)在面對(duì)上述被加工物體(3)與加工驅(qū)動(dòng)裝置(5)的透鏡(7)之間的加工空間區(qū)域(9)處，并且所述檢測(cè)裝置包括具有吸引用驅(qū)動(dòng)源(13a)的集塵機(jī)本體(13)、安裝在該集塵機(jī)本體(13)或上述吸引導(dǎo)向部件(10)上的檢測(cè)上述加工空間區(qū)域(9)內(nèi)集塵能力降低的檢測(cè)單元(15)、和與該檢測(cè)單元相聯(lián)結(jié)的具有輸入·輸出控制部(26、28)的計(jì)算機(jī)(20)，當(dāng)上述輸出控制部(28)根據(jù)由比較·判別電路(29)預(yù)先存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置(23)內(nèi)的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(25a)將上述檢測(cè)單元(15)檢測(cè)出的異常信號(hào)(b)判定為異常信號(hào)時(shí)，至少使激光振蕩器自動(dòng)地停止。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不會(huì)使被加工物體出現(xiàn)殘次品的裝置。為了能夠吸收塵埃物質(zhì)將構(gòu)成集塵機(jī)的吸引導(dǎo)向部件的吸入口配設(shè)在臨近被加工物體與加工驅(qū)動(dòng)裝置的透鏡的加工空間區(qū)域處，另外在集塵機(jī)本體或吸引導(dǎo)向部件上安裝檢測(cè)加工空間區(qū)域內(nèi)的集塵能力降低的檢測(cè)單元，在由比較·判別電路對(duì)來(lái)自該檢測(cè)單元的異常信號(hào)進(jìn)行了判別時(shí)，計(jì)算機(jī)便會(huì)自動(dòng)地將向著上述加工驅(qū)動(dòng)裝置發(fā)射激光束的激光振蕩器的工作停止。
文檔編號(hào)B23K26/16GK1490115SQ02160300
公開(kāi)日2004年4月21日 申請(qǐng)日期2002年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月15日
發(fā)明者前野伸, 堀口剛義, 義 申請(qǐng)人:竹內(nèi)株式會(huì)社