專(zhuān)利名稱(chēng)：一種帶有集成的電測(cè)試點(diǎn)的真空吸盤(pán)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域是電測(cè)試系統(tǒng)。
一種可行的測(cè)試方法包括使用測(cè)試探頭在底板兩側(cè)的測(cè)試點(diǎn)之間建立電壓或使電流流過(guò)。由于測(cè)試時(shí)底板存在柔性，該方法不適用于柔性底板。另一種測(cè)試方法涉及將底板放置在通電測(cè)試表面上，使用測(cè)試探頭向底板上的測(cè)試點(diǎn)施加電壓或電流，測(cè)量測(cè)試點(diǎn)和測(cè)試表面之間的電壓和/或電流的相應(yīng)變化。當(dāng)這種方法用于柔性底板時(shí)，會(huì)遇到由于底板彈性離開(kāi)測(cè)試表面使測(cè)試點(diǎn)和測(cè)試表面之間的導(dǎo)電路徑斷開(kāi)或難以建立的問(wèn)題。從帶有導(dǎo)電材料的底板一側(cè)通過(guò)探頭與另一側(cè)短接的探測(cè)方法不是很可靠，由于帶有導(dǎo)電層的底板沒(méi)有足夠的配合。
因此，一直存在建立新的方法和裝置對(duì)設(shè)有互相連接件和電路的柔性基體進(jìn)行測(cè)試的需求。
對(duì)本發(fā)明的各種目的、特點(diǎn)、方面和優(yōu)點(diǎn)從下面本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)介紹并通過(guò)參考附圖
可有更清楚的了解，附圖中相同的數(shù)字代表相同的部件。
當(dāng)帶有測(cè)試點(diǎn)910的底板900準(zhǔn)備好進(jìn)行測(cè)試，其被放置在吸盤(pán)的定位結(jié)構(gòu)上，如定位銷(xiāo)220，帶有測(cè)試點(diǎn)的一面面朝下。向真空端口110施加真空造成底板900吸在吸盤(pán)10平面的導(dǎo)電表面層210上。從而底板900與真空吸盤(pán)10上形成的一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電電路電接觸，如導(dǎo)電層210。真空吸盤(pán)10的平面固體支承允許從底板900的側(cè)面進(jìn)行的探測(cè)(測(cè)試)不與吸盤(pán)10接觸地進(jìn)行底板900電特性測(cè)試。如果通過(guò)導(dǎo)電圖案層210不能完成全部測(cè)試，底板900的相對(duì)側(cè)的測(cè)試可通過(guò)將底板翻身后來(lái)進(jìn)行。
基體100最好是通過(guò)導(dǎo)電膠(最好是環(huán)氧樹(shù)脂)進(jìn)行導(dǎo)電或電連接到導(dǎo)電層210。基體100最好包括凹進(jìn)部分130，其尺寸加工成可容納陶瓷組件200；以及一個(gè)或多個(gè)真空/流體管線120，以便當(dāng)真空端口110施加真空時(shí)，允許排出的空氣從凹進(jìn)部分130通過(guò)真空管線120穿過(guò)基體100排出真空端口110?？梢圆捎玫牧硪粋€(gè)實(shí)施例利用不導(dǎo)電的基體和/或不包括真空端口、真空管線或凹進(jìn)部分的基體。這種基體，當(dāng)導(dǎo)電層210可以直接或通過(guò)陶瓷組件200建立導(dǎo)電路徑而不是通過(guò)基體100來(lái)建立時(shí)，可以沒(méi)有導(dǎo)電性。類(lèi)似地，如果導(dǎo)電層210附近的空氣可以通過(guò)施加真空到陶瓷組件200的一個(gè)或多個(gè)端口穿過(guò)導(dǎo)電層排出時(shí)，則基體不需要包括任何空氣流動(dòng)路徑，比如凹進(jìn)部分130和真空端口110間形成的路徑。
陶瓷組件200最好是用微晶多孔氧化鋁陶瓷制造，其一個(gè)表面(通過(guò)濺射或其他方式)涂復(fù)了導(dǎo)電材料，比如鉻、銅、金等，來(lái)形成導(dǎo)電層210。盡管組件200可以包括任何空氣可滲透材料，但微晶多孔氧化鋁是優(yōu)選的，因?yàn)槠渌哂械奶厥馕锢砗碗娦阅?。一個(gè)特別優(yōu)越的特性是可耐受用濺射方法來(lái)涂復(fù)組件200導(dǎo)電層時(shí)產(chǎn)生高溫的能力。
涂復(fù)的導(dǎo)電層210最好是足夠薄，不會(huì)妨礙空氣流入陶瓷組件200(即，不會(huì)阻礙空氣排出路徑)。如果需要，導(dǎo)電層表面可以使用激光刻畫(huà)、化學(xué)蝕刻、選擇性濺射或其他技術(shù)來(lái)形成電路圖案，這種電路圖案有助于進(jìn)行底板900的測(cè)試。不那么優(yōu)選的實(shí)施例可以使用較厚的導(dǎo)電層210，這種導(dǎo)電層包括一個(gè)或多個(gè)空氣可流過(guò)的通孔。但是，可以想到使用帶有空氣可通過(guò)的通孔的較厚導(dǎo)電層將導(dǎo)致導(dǎo)電層130和底板900之間的真空粘附力不夠。
在優(yōu)選實(shí)施例中，最后的表面形狀很可能設(shè)有測(cè)試點(diǎn)和通向與測(cè)試系統(tǒng)的界面的導(dǎo)電跡線。連接吸盤(pán)和測(cè)試系統(tǒng)的任何探頭可以自動(dòng)進(jìn)行底板900的自動(dòng)測(cè)試。
多層陶瓷真空吸盤(pán)可以用于測(cè)試點(diǎn)之間距離限制了導(dǎo)電體設(shè)置面積的場(chǎng)合。這種吸盤(pán)可以在單個(gè)導(dǎo)電圖案涂層上的適當(dāng)位置具有同樣的多層互相連接件。
因此，已經(jīng)公開(kāi)了一種包括空氣可滲透導(dǎo)電層的真空吸盤(pán)的特定實(shí)施例和應(yīng)用。對(duì)于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)很明顯，對(duì)本發(fā)明所作介紹之外可以實(shí)施的許多改進(jìn)并未脫離本發(fā)明的概念。因此，根據(jù)所附權(quán)利要求確定的發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)，本發(fā)明的主題不應(yīng)受到限制。此外，在解釋技術(shù)說(shuō)明和權(quán)利要求時(shí)，所用的術(shù)語(yǔ)應(yīng)當(dāng)以與內(nèi)容相符的盡可能廣義的方式來(lái)作出解釋。特別地，術(shù)語(yǔ)“包括”應(yīng)當(dāng)解釋為非排他地涉及元件、部件或步驟，表示所提到的元件、部件或步驟可以與其他未指出涉及的元件、部件或步驟一起出現(xiàn)、使用或組合。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)試底板的方法，包括提供待測(cè)試的底板，所述底板具有至少一個(gè)測(cè)試點(diǎn)；提供真空吸盤(pán)，其包括空氣可滲透的導(dǎo)電層；將所述底板定位在所述吸盤(pán)的所述導(dǎo)電層附近；至少將所述導(dǎo)電層和所述底板之間的一部分空氣抽出，使抽出的空氣從所述導(dǎo)電層和所述底板之間通過(guò)所述導(dǎo)電層排出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在所述至少一個(gè)測(cè)試點(diǎn)和所述吸盤(pán)之間建立電壓或使電流流動(dòng)，然后測(cè)量所建立的電壓或電流。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述真空吸盤(pán)包括導(dǎo)電基體和多孔陶瓷組件，所述多孔陶瓷組件包括空氣可滲透的導(dǎo)電層，所述陶瓷組件固定到所述導(dǎo)電基體，所述導(dǎo)電層電連接到所述導(dǎo)電基體。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述導(dǎo)電基體還包括至少一個(gè)真空端口，可施加真空到所述端口，使所述空氣可滲透導(dǎo)電層附近的空氣通過(guò)所述導(dǎo)電層和所述陶瓷組件排出所述真空端口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述導(dǎo)電基體和所述空氣可滲透的導(dǎo)電層通過(guò)導(dǎo)電膠電連接到一起。
6.一種真空吸盤(pán)，包括導(dǎo)電基體；連接到所述導(dǎo)電基體的多孔陶瓷組件；空氣可滲透的導(dǎo)電層，連接到所述陶瓷組件并電連接到所述導(dǎo)電基體。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的吸盤(pán)，其特征在于，所述導(dǎo)電基體包括凹進(jìn)部分，其尺寸可容納至少一部分所述陶瓷組件；真空端口，和真空管線，提供了所述真空端口和所述凹進(jìn)部分之間的流體流動(dòng)路徑。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的吸盤(pán)，其特征在于，當(dāng)施加真空到所述真空端口時(shí)，可使所述導(dǎo)電層附近的空氣通過(guò)所述導(dǎo)電層、所述陶瓷組件、和所述真空管線排出所述真空端口。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的吸盤(pán)，其特征在于，所述導(dǎo)電層包括多個(gè)接觸片。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的吸盤(pán)，其特征在于，所述吸盤(pán)還包括至少一個(gè)從所述導(dǎo)電層向外突出的定位銷(xiāo)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的吸盤(pán)，其特征在于，所述吸盤(pán)還包括加熱件，用于將電能轉(zhuǎn)換成傳遞到所述吸盤(pán)的熱能。
全文摘要
一種帶有嵌入表面內(nèi)導(dǎo)電回路的真空吸盤(pán)，其提供了進(jìn)行電測(cè)試的可靠導(dǎo)電路徑并對(duì)進(jìn)行測(cè)試的柔性底板的全部面積提供了可靠和均勻的機(jī)械支撐。在一種可能的形式中，吸盤(pán)包括空氣可滲透的微晶多孔氧化鋁組件，其具有涂有導(dǎo)電材料的表面，涂層相當(dāng)薄，不會(huì)妨礙空氣通過(guò)導(dǎo)電材料或陶瓷組件。導(dǎo)電材料還可以進(jìn)行蝕刻或形成導(dǎo)電圖案，以進(jìn)行底板測(cè)試。
文檔編號(hào)B23Q3/08GK1460045SQ01814275
公開(kāi)日2003年12月3日 申請(qǐng)日期2001年6月21日 優(yōu)先權(quán)日2000年6月23日
發(fā)明者B·莫爾達(dá)夫斯基, J·阿拉亞, D·明塞梅耶 申請(qǐng)人:霍尼韋爾國(guó)際公司