專利名稱：齒輪及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適用于微型機(jī)械的從亞微米到厘米大小的齒輪，特別是，涉及把齒輪周面上的突出狀的齒，或者磁性齒，或者靜電齒中的任何一種齒形成的旋轉(zhuǎn)軸與基板平行的蝸桿、垂直的蝸桿、傾斜的蝸桿，或者將其形成的旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的正齒輪，傾斜的正齒輪，或者形成的旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的傘齒輪，水平傘齒輪或傾斜傘齒輪及其制造方法。
背景技術(shù)：
作為齒輪的一個(gè)例子，

圖18表示用于普通機(jī)械的蝸桿和蝸輪的組合。圖17所示的旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面設(shè)置的、周面上具有突起的正齒輪是一種利用用于現(xiàn)有的半導(dǎo)體制造工藝等的薄膜形成、微細(xì)加工技術(shù)容易制成的形狀。但是，對(duì)于除這種正齒輪以外的、例如具有像蝸桿這種螺旋狀的齒的齒輪等復(fù)雜形狀的齒輪則不能制造。
此外，代替突起狀的齒輪，特開平9-56146號(hào)公報(bào)中提出了一種在周面上形成磁性齒的齒輪。這種齒輪的磁性齒與齒輪基體分開，利用半導(dǎo)體加工工藝制成柔性基板。然后，將在基體上形成磁性齒的柔性基板卷繞，制成磁性齒輪。但是，在這種方法中，可以制成毫米大小的齒輪，難以制成微米及亞微米級(jí)的齒輪。
對(duì)于裝入到微型機(jī)械中的驅(qū)動(dòng)用致動(dòng)器(馬達(dá))，要求其超小型化。超小型的致動(dòng)器所產(chǎn)生的動(dòng)力也小，為了利用小的動(dòng)力使微型機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)，在動(dòng)力傳遞路徑上需要減速比大的動(dòng)力傳遞用齒輪裝置。對(duì)于這種齒輪裝置，前面所述的齒輪，即，周面上有突起的齒輪，在周面上形成磁性齒的齒輪，以及周面上設(shè)置靜電齒的齒輪是有效地。
本發(fā)明的目的是把前述齒輪形成在硅基板，玻璃基板，陶瓷基板，塑料基板，金屬基板等各種基板上。
在基板的表面或背面，以及可形成于基板的內(nèi)部的周面上具有突起、通過齒輪之間的嚙合旋轉(zhuǎn)的齒輪，或者利用磁力旋轉(zhuǎn)的磁性齒輪，或者利用靜電力旋轉(zhuǎn)的靜電式齒輪等，是本發(fā)明的對(duì)象。在圖15所示的正齒輪的情況下，除旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的正齒輪之外的、例如圖1及圖2所示螺旋形蝸桿，圖7所示的旋轉(zhuǎn)軸平行于基板面的正齒輪，以及傾斜的正齒輪，圖9所示的傘齒輪，傾斜的傘齒輪等復(fù)雜形狀的齒輪在微型機(jī)械的實(shí)用化中是不可或缺的。
本發(fā)明是鑒于上述問題提出的，其目的是提供旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的蝸桿，傾斜的蝸桿、水平的蝸桿、水平的正齒輪、傾斜的正齒輪，垂直的傘齒輪，水平的傘齒輪、傾斜的傘齒輪，以及它們的制造方法，其中所述各齒輪，采用半導(dǎo)體制造工藝中使用的薄膜成形技術(shù)及微細(xì)加工技術(shù)設(shè)置有如下各種齒其中之一，所述齒為，可作為微型機(jī)械等的動(dòng)力傳遞用的超小型化的周面上具有突起的齒輪的齒，周面上具有磁性齒的齒輪的齒，以及周面上具有靜電齒的齒輪的齒。
發(fā)明的公開本發(fā)明的齒輪的制造方法是將圓形截面上下分割制造旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面平行的蝸桿，或者傾斜的蝸桿的方法，其特征為，它由以下工序構(gòu)成，形成制造半圓形的蝸桿形狀的下半個(gè)型框的工序，向前述型框內(nèi)堆積構(gòu)成齒輪部和上半部齒輪的金屬或其它材料的工序，蝕刻前述所堆積的材料，形成上半部蝸桿形狀的工序。
本發(fā)明的另外一種齒輪的制造方法是制造旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的蝸桿或傾斜的蝸桿的方法，形成螺旋形狀的一節(jié)或一節(jié)以下，例如形成一半，將螺旋結(jié)構(gòu)堆壘起來形成。這時(shí)，為了制成突起的形狀，可以用和齒輪主體不同的材料形成周面部分。在制成所需的螺旋結(jié)構(gòu)后，用濕式蝕刻法將用與齒輪和基板不同的材料形成的槽部分除去，完成制造工作。為了形成傾斜的蝸桿，在形成螺旋形狀的一節(jié)或不到一節(jié)，例如一半時(shí)，可以通過相對(duì)于基板面保持任意的角度形成。
本發(fā)明的另外一種齒輪制造方法是制造旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面平行的正齒輪或傾斜的正齒輪的方法，采用和水平蝸桿相同的制造工序，先形成下半部，再形成上半部。
本發(fā)明的另外一種齒輪制造方法是制造旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的傘齒輪的方法，可以用成膜和加工一個(gè)工序制成，但對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的齒輪或傾斜的傘齒輪分割成上下半部制成。對(duì)于分割成上下兩部分還不能形成的形狀的齒輪，通過更細(xì)地分割形成。
附圖的簡(jiǎn)單說明圖1圓柱形蝸桿的俯視圖。
圖2是圓柱形蝸桿的側(cè)視圖。
圖3是用于說明根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的微型機(jī)械用的旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的蝸桿的制造方法的平面圖。
圖4是用于說明根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的微型機(jī)械用的旋轉(zhuǎn)軸與基板面水平的蝸桿的制造方法的剖視圖。
圖5是用于說明根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的微型機(jī)械用的旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的蝸桿的制造方法的剖視圖。
圖6是用于說明根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的微型機(jī)械用的旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的蝸桿的另一個(gè)制造方法的剖視圖。
圖7是用于說明根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的微型機(jī)械用的旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的正齒輪的制造方法的平面圖。
圖8是用于說明根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的微型機(jī)械用的旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的正齒輪的制造方法的剖視圖。
圖9是說明根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的微型機(jī)械用的旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的傘齒輪的側(cè)視圖。
圖10是用于說明根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例的微型機(jī)械用的旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的傘齒輪的制造方法的剖視圖。
圖11是說明根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例的微型機(jī)械用的旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面傾斜的齒輪的透視圖。
圖12是用于說明根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例的微型機(jī)械用的旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面傾斜的齒輪的制造方法的剖視圖。
圖1 3表示根據(jù)本發(fā)明的另外一種實(shí)施形式的微型機(jī)械用的磁性齒輪及靜電式齒輪的制成品，是旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的蝸輪的平面圖。
圖14是表示根據(jù)本發(fā)明的另外一種實(shí)施形式的微型機(jī)械用磁性齒輪及靜電齒輪的制成品，是旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的蝸輪的側(cè)視圖。
圖15是表示根據(jù)本發(fā)明的另外一種實(shí)施形式的微型機(jī)械用磁性齒輪及靜電齒輪的制成品，是旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的正齒輪的側(cè)視圖。
圖16是表示根據(jù)本發(fā)明的另外一種實(shí)施形式的微型機(jī)械用的磁性齒輪和靜電齒輪的制成品，是旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的傘齒輪的側(cè)視圖。
圖17是旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的正齒輪的透視圖。
圖18是蝸桿和蝸輪的組合的透視圖。
實(shí)施發(fā)明的優(yōu)選方式為了對(duì)本發(fā)明更加詳細(xì)的描述，下面根據(jù)附圖對(duì)其進(jìn)行說明。
下面一面參照附圖一面說明本發(fā)明的實(shí)施例。
采用磁性齒和靜電齒的蝸桿，是除圓柱形齒輪之外，將鼓形蝸輪與正齒輪形的齒輪組合的齒輪機(jī)構(gòu)，或者是將桶形蝸輪與碟形蝸輪組合的齒輪機(jī)構(gòu)。
利用半導(dǎo)體加工工藝等用的薄膜形成技術(shù)及微細(xì)加工技術(shù)，和蝸桿、蝸輪、正齒輪及傘齒輪等的齒輪主體一起制成突起狀的齒，磁性齒及靜電齒。所謂薄膜形成技術(shù)是真空蒸發(fā)、濺射、鍍敷等方法，所謂微細(xì)加工，有光刻法，蝕刻法等。進(jìn)而，可以把這些技術(shù)進(jìn)行適當(dāng)?shù)慕M合。
(第一實(shí)施例)下面說明旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的蝸桿的制造方法。圖3是以平面圖的方式表示的蝸桿的制造步驟的說明圖。
上述蝸桿通過依次實(shí)施以下工序制成為了蝸桿1的旋轉(zhuǎn)，在基板3上形成凹部(構(gòu)成軸承部9、與蝸輪的間隙部分4的區(qū)域14)的工序(圖3的(1))，形成用于制造蝸桿的下半部的區(qū)域用的模具12的工序(圖3的(2))，將蝸桿1的材料5堆積到用圖3(2)的工序所形成的下半部的區(qū)域以及直到蝸桿1的上半部的高度的工序(圖3的(3))，以及，形成蝸桿1的上半部的工序(圖3的(4))。
下面對(duì)上述各工序進(jìn)行詳細(xì)說明。圖4的(1)～(13)是表示蝸桿的制造步驟的剖視圖。
對(duì)于為了使齒輪旋轉(zhuǎn)，構(gòu)成與基板1的間隙部分3的區(qū)域14的形成，首先，在基板3上涂布感光劑20(圖4的(1))。但是，也可以不直接在基板上、而是在基板上進(jìn)一步堆積其它材料，在所述其它材料上形成齒輪。
在感光劑20上利用EB直接曝光，反射曝光方式或投射曝光方式等描繪圖形(圖4(2))。這時(shí)，為了如圖所示，使感光劑20形成半圓形的形狀21，調(diào)節(jié)電子束或掩模上的遮光膜，控制曝光量。即，在EB直接曝光過程中，使電子束的強(qiáng)度連續(xù)變化，照射抗蝕劑，通過顯影，把抗蝕劑的截面加工成任意的傾斜面或曲面形狀。此外，也可以采用控制電子束的強(qiáng)度，改變電子束的照射次數(shù)的方法。
其次，在反射曝光方式或投影曝光方式中，利用遮光膜的厚度，形成在遮光膜上的微小的孔的配置，或者將它們組合起來的方法調(diào)節(jié)所用的掩模的反射光量，連續(xù)地控制曝光量，形成所需的形狀。下面將這種方法稱之為曝光量控制方法。除此之外，也可以用離子束及激光等直接蝕刻材料來形成。
將圖4(2)的工序中形成的感光劑20作為掩模，可以沿垂直方向蝕刻基板面，并且使感光劑和被蝕刻材料，在這里為基本材料與感光劑材料的蝕刻速度相同地進(jìn)行蝕刻22(圖4(3)。下面將這種方法稱之為復(fù)制蝕刻法。
堆積與齒輪不同的材料13(圖4(4))。
將圖4(4)工序中堆積的材料13，除去槽以外的區(qū)域(圖4(5))。
接著，形成齒輪的下半部的模具。首先，將感光劑20涂布成等于齒輪的半徑的厚度(圖4(6))。
利用和圖4(2)的工序相同的方法用曝光量控制法、將齒輪的下半部的模具23的形狀進(jìn)行曝光，顯影，固化(圖4(7))。
用和圖4(3)的工序相同的方法，復(fù)制蝕刻，復(fù)制形成齒輪的下半部模具的24(圖4(8))。
然后形成齒輪。
將齒輪材料5堆積到基板3上(圖4(9))。這時(shí)的材料5的膜的厚度，在齒輪形成區(qū)域內(nèi)，最厚的部分的膜厚等于齒輪的直徑。
涂布感光劑20(圖4(10))。調(diào)節(jié)其厚度，使之等于齒輪的半徑。
利用傾斜曝光法在涂布的感光劑20上制成齒輪的上半部25(圖4(11))。
利用復(fù)制蝕刻法，蝕刻基底材料，復(fù)制構(gòu)成形成于上部的齒輪的上半部25的形狀(圖4(12))。
最后，除去位于基板3與齒輪1之間的材料13，形成間隙4，齒輪可以旋轉(zhuǎn)(圖4(13))。
此外，除圓柱形蝸桿之外，可以形成鼓形蝸桿，桶形蝸桿等各種形狀。
(第二實(shí)施例)下面說明旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的蝸輪的制造方法。圖5表示前述蝸輪的制造步驟的剖視圖。
圖5的(1)～(4)是制造螺旋基座的工序。
為使齒輪旋轉(zhuǎn)，形成相對(duì)應(yīng)于軸承部30以及基板3和齒輪1的間隙部分31(圖5(1))。
在基板3上堆積厚度相等于螺旋的第一節(jié)的高度的齒輪材料5和感光劑20(圖5(2))。
用曝光量控制法將感光劑20曝光，形成螺旋形狀的一圈(圖5(3))。
將感光劑20的形狀復(fù)制，形成齒輪的基座51(圖5(4))。
接著形成齒輪1的槽1a部分。該槽1a將與構(gòu)成齒輪的材料5不同的材料13堆積到基板前面，在其上堆積抗蝕劑。然后，在光刻工藝中，利用畫出的輪狀圖形的通常的掩模曝光，顯影，蝕刻，在槽1a的部分上形成殘留的材料13。蝕刻后，除去抗蝕劑(圖5(5))。
進(jìn)而，制造構(gòu)成齒輪的突起部的部分與齒輪的中心部。即，堆積材料5，以和圖5(2)～(4)的工序相同的方法形成(圖5(6))。
接著，反復(fù)進(jìn)行圖5(5)的工序和圖5(6)的工序，一直到所需的齒數(shù)51，52，53，...5n，形成疊層(圖5(7))。該疊層由齒輪材料5及與齒輪不同的材料13構(gòu)成。進(jìn)而，將作為上側(cè)的間隙部分的材料31堆積在上部軸承之間，在其上形成軸承部。
最后除去上下連續(xù)的材料31(圖5(8))。借此，作為齒輪，制成可以旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。在表示制成蝸輪的圖5(8)中，旋轉(zhuǎn)軸8與軸承部9是平行的，但為了減少摩擦，可以改變形狀，或者使雙方為曲面狀，或者使其中之一變尖。此外，在旋轉(zhuǎn)軸8與軸承部9之間可以利用曝光量控制法及復(fù)制蝕刻法形成滾珠軸承。
下面說明與上述方法不同的另外一種制造方法。圖6是旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的蝸桿的另外一種制造方法的說明圖。
為使齒輪旋轉(zhuǎn)，形成對(duì)應(yīng)于軸承部以及基板3與齒輪之間的間隙部分31。然后，用齒輪材料5形成具有一個(gè)方向傾斜的面的齒部(圖6(1))。接著，用與齒輪材料5不同的材料13形成齒輪的槽部分，相當(dāng)于磁性齒或靜電齒的部分的環(huán)的一半(圖6(2))。接著，為了形成環(huán)的另一半，形成與開始形成的一半具有相反的傾斜面的齒部及槽部(磁性齒，靜電齒)(圖6(3)，(4))。進(jìn)而，交替地進(jìn)行這些步驟，形成所需齒數(shù)的齒輪。
此外，除圓柱形齒輪之外，可以形成鼓形蝸桿，桶形蝸桿等各種形狀。
(第三實(shí)施例)
下面說明旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的正齒輪的制造方法。本實(shí)施例為具有四個(gè)突起的正齒輪。
上述正齒輪通過依次實(shí)施以下步驟制成，即，為了齒輪旋轉(zhuǎn)形成基板與齒輪間的間隙部分4的區(qū)域14及軸承部9的工序(圖7(1))，形成齒輪的下半部型框12的工序(圖7(2))，堆積構(gòu)成齒輪的材料5的工序(圖7(3))，形成齒輪的上半部的工序(圖7(4))。
下面對(duì)各個(gè)工序進(jìn)行詳細(xì)說明。圖8的(1)～(8)是表示正齒輪的制作步驟的剖視圖。
為了正齒輪可以旋轉(zhuǎn)，在基板3上形成槽40，埋入與齒輪1及基板3不同的材料41。在這樣形成的基板上涂布感光劑20(圖8(1))。
通過曝光量控制曝光，形成正齒輪的下半部42(圖8(2))。
借助復(fù)制蝕刻形成相當(dāng)于齒輪的下半部的型框43(圖8(3))。
將齒輪的材料5堆積到等于齒輪的直徑的厚度(圖8(4))。
涂布等于齒輪直徑的厚度的感光劑20(圖8(5))。
通過傾斜曝光形成齒輪的上半部的形狀1A(圖8(6))。
通過基底材料進(jìn)行復(fù)制蝕刻，形成齒輪1(圖8(7))。
除去基板3與齒輪1的間隙部分的材料41(圖8(8))。
在本實(shí)施例中，表示出齒輪突起為四個(gè)的例子，但也可以形成除四個(gè)以外的突起的正齒輪。
(第四實(shí)施例)下面對(duì)旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的傘齒輪的制作方法進(jìn)行說明。圖9是前述傘齒輪的側(cè)視圖。
為了齒輪可以旋轉(zhuǎn)，在基板3上制作槽，將與齒輪及基板不同的材料31埋入該槽內(nèi)。(圖10(1))。
在形成槽的基板上堆積齒輪材料5(圖10(2))。
涂布感光劑20(圖10(3))。
通過曝光量控制曝光，形成傘齒輪的形狀50(圖10(4))。
復(fù)制蝕刻，形成傘齒輪51(圖10(5))。
除去位于基板與齒輪之間的材料31，制成傘齒輪(圖10(6))。
(第五實(shí)施例)下面說明旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面傾斜的齒輪的制造方法。圖11是表示旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面傾斜的齒輪的輪廓的透視圖。本實(shí)施例適合于齒輪的旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面傾斜的蝸桿、正齒輪及傘齒輪。
在基板3或形成于基板上的基板之外的材料上涂布抗蝕劑20(圖12(1))。
蝕刻基板3，將抗蝕劑的形狀60復(fù)制蝕刻到基板3(基底材料上)(圖12(2))。
用與基板不同的材料在基板3的表面上形成膜61(圖12(3))。
在基板3上堆積齒輪材料5，在其上涂布抗蝕劑20(圖12(4)。
蝕刻基板3，把抗蝕劑的形狀蝕刻到基板3上(圖12(5))。
蝕刻用前述圖12(3)的工序形成的膜61，將其除去(圖12(6))。
本發(fā)明除根據(jù)上述實(shí)施例的齒輪之外，還包括以下實(shí)施形式。圖13～圖16表示有磁性齒輪及靜電齒輪的各種制成品，圖13是旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的蝸桿，圖14是垂直于基板面的蝸桿，圖15是與基板面平行的正齒輪，以及圖16是垂直于基板面的傘齒輪。在這些圖中，用白和黑的中間色表示磁性齒。配置N極或S極的任何一種。此外，也可以將N極和S極鄰接地配置。靜電齒輪的情況也一樣，可以配置在白與黑的中間色部分。
除上述齒輪之外的形狀的復(fù)雜齒輪，例如旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面傾斜的各種齒輪，旋轉(zhuǎn)軸水平的傘齒輪等，可以通過曝光量控制法及復(fù)制蝕刻法制成。
工業(yè)上的應(yīng)用性如上所述，根據(jù)本發(fā)明的齒輪及其制造方法，對(duì)于周面上具有突起狀的齒的齒輪，或者周面上具有磁性齒的齒輪或周面上有靜電齒的齒輪中，將采用其中任何一種齒的蝸輪，正齒輪，傘齒輪等齒輪，以及形狀更加復(fù)雜的其它齒輪，利用蒸鍍，濺射，鍍敷技術(shù)，CVD，氧化工藝加工等薄膜形成技術(shù)，以及光刻，蝕刻，F(xiàn)IB等微型加工技術(shù)，可以用相同的工藝一起形成齒及齒輪。特別是，作為微型機(jī)械用、可以制作亞微米，微米及毫米大小的超小型齒輪。此外，也可以及蝸桿變形作為微型孔穿孔用的鉆頭使用。
權(quán)利要求
1.齒輪制造方法，制造齒輪彼此間機(jī)械地嚙合傳遞力，為了旋轉(zhuǎn)在周面上設(shè)置突起的齒輪，通過磁力非接觸地傳遞力、為了旋轉(zhuǎn)在周面上設(shè)置磁性齒的齒輪，通過靜電力非接觸地傳遞力、為了旋轉(zhuǎn)在周面上設(shè)置靜電齒的齒輪，其特征為，采用半導(dǎo)體工藝用的薄膜形成技術(shù)及微型加工技術(shù)，形成前述齒輪的旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面平行的蝸桿，垂直于基板面的蝸桿，相對(duì)于基板面平行的正齒輪，以及垂直于基板面的傘齒輪，進(jìn)而，前述齒輪的旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面傾斜的蝸桿，正齒輪及傘齒輪。
2.如權(quán)利要求1所述的齒輪制造方法，其特征為，旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于基板面平行的蝸桿的制造方法由以下工序構(gòu)成為了蝸桿旋轉(zhuǎn)，在基板上形成間隙的工序，形成用于制造蝸桿的下半部區(qū)域用的模具的工序，將蝸桿材料堆積到所形成的下半部區(qū)域和蝸桿的上半部的高度的工序，形成蝸桿的上半部的工序。
3.如權(quán)利要求1所述的齒輪制造方法，其特征為，旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的蝸桿的制造方法由以下工序構(gòu)成為使齒輪旋轉(zhuǎn)，形成相當(dāng)于軸承部以及基板與齒輪的間隙的部分的工序，將齒輪材料與感光劑在基板上堆積到僅與螺旋的一節(jié)的高度相等的厚度的工序，將感光劑傾斜曝光，形成螺旋旋轉(zhuǎn)的一圈的工序，復(fù)制蝕刻感光劑的形狀，形成齒輪的基底的工序，形成齒輪的槽的部分的工序，制造成為齒輪的突起部的部分及齒輪的中心部的工序，反復(fù)疊層形成齒輪材料和與該齒輪不同的材料直到所需齒數(shù)為止的工序，將連接上下的材料除去的工序。
4.如權(quán)利要求1所述的齒輪制造方法，其特征為，旋轉(zhuǎn)軸與基板面平行的齒輪的制造方法由以下工序構(gòu)成為了齒輪旋轉(zhuǎn)，形成基板與齒輪的間隙部分的區(qū)域的工序，形成齒輪的下半部的型框的工序，堆積構(gòu)成齒輪的材料的工序，形成齒輪的上半部的工序。
5.如權(quán)利要求1所述的齒輪制造方法，其特征為，旋轉(zhuǎn)軸垂直于基板面的傘齒輪的制造方法由以下工序構(gòu)成為了使齒輪可以旋轉(zhuǎn)，在基板上制作槽，用與齒輪和基板不同的材料將該槽埋住的工序，在形成槽的基板上堆積齒輪材料的工序，涂布感光劑的工序，傾斜曝光，形成傘齒輪的工序，復(fù)制蝕刻，形成傘齒輪的工序，除去基板與齒輪之間的材料的工序。
6.一種齒輪，其特征為，它利用權(quán)利要求1～5中所述的任何一種方法制成。
全文摘要
為了蝸桿(1)旋轉(zhuǎn)，在基板(3)上形成間隙(形成與軸承部，蝸輪的間隙部分區(qū)域)(圖4(1)～圖4(3))。形成制造蝸桿的下半部區(qū)域的模具(12)(圖4(8))。將蝸桿材料(5)堆積到下半部區(qū)域與蝸桿的上半部的高度(圖4(9))。形成蝸桿的上半部(圖4(10)～圖4(12))。最后，為了齒輪可以旋轉(zhuǎn)，除去位于基板(3)與齒輪(1)的間隙內(nèi)的材料(13)(圖4(13))。
文檔編號(hào)B23P15/14GK1433379SQ00818842
公開日2003年7月30日 申請(qǐng)日期2000年12月4日 優(yōu)先權(quán)日1999年12月6日
發(fā)明者西孝 申請(qǐng)人:西孝