專利名稱：平面顯示面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用放電的發(fā)光以顯示文字、圖形、影像等的平面型顯示面板，特別是關(guān)于進行放電的電極部分的構(gòu)造。
以前，稱為等離子顯示器的平面顯示面板，在例如日本專利申請公開號碼特開平2-90192號公報(
公開日1990/3/29)及日本實用新型申請公開號碼實開平3-94751號公報(
公開日1991/9/26)所示，在2個基板各自彼此并列配置多個線狀電極，如各線狀電極彼此構(gòu)成矩陣般配置兩基板，是在兩電極的交點氣體放電。又，作為和本發(fā)明相關(guān)的先有技術(shù)例如有日本專利申請公開號碼特開平6-251716號公報(
公開日1994/9/9)、特開平4-245141號公報(
公開日1992/9/1)、特開平4-149926號公報(
公開日1992/5/22)。
在該現(xiàn)有的平面顯示面板中，對各線狀電極的電壓施加是從被拉到基板的邊緣的線狀電極的端部進行。在該平面顯示面板中，為了使通過氣體放電發(fā)生的來自熒光物的發(fā)光透射，設(shè)于前面基板的電極使用ITO等透明電極材料構(gòu)成?？墒?，透明電極材料的導(dǎo)電率低，又因為高解析度化和大畫面化，線狀電極不得不變得細長，其電阻變得很大。這發(fā)生了自兩端施加的電壓脈波隨著接近電極中央而鈍化的問題。為了緩和該問題，藉著在透明電極的寬度的一部分重疊形成金屬電極，以提高導(dǎo)電率?？墒牵词估眠@種改良，在現(xiàn)有的平面顯示面板的更進一步的大型化上也是有限制的。
又，現(xiàn)有的平面顯示面板，藉著選擇相向配置成矩陣的電極進行顯示控制，有無法獨立控制各顯示單元顯示的問題。又，在現(xiàn)有平面顯示面板中，具有透光性的2片絕緣基板在彼此之間設(shè)置放電空間，并相向配置。為了在各電極劃分該放電空間而設(shè)置間隔壁。有該構(gòu)造的顯示面板的厚度變厚的問題。
因而，希望開發(fā)和上述現(xiàn)有的平面顯示面板不同的新構(gòu)造的平面顯示面板。本專利申請人在根據(jù)專利合作條約的國際專利申請(申請?zhí)朠CT/JP/98/01444)提議的新構(gòu)造的平面顯示面板，具有排列多個成為顯示單元的放電空間的凹部的背面基板、和與該背面基板相向并在和該凹部相向的區(qū)域(有效區(qū)域)各自設(shè)置一對單元電極的透明的前面基板。在該平面顯示面板，令貫穿背面基板設(shè)置接腳(Pin)電極，藉此可在配置于前面基板面內(nèi)的電極的任意位置施加電壓信號。即，若利用該構(gòu)造，可在和顯示單元對應(yīng)設(shè)置的單元電極對的電極間個別施加電壓驅(qū)動，可對各顯示單元獨立地控制顯示。又，藉著在背面基板設(shè)置凹部而形成放電空間，另外，由于廢除了如現(xiàn)有技術(shù)那樣的另外設(shè)置用以劃分放電空間的間隔壁的構(gòu)造，從而可使顯示面板的平面厚度變薄。
該新構(gòu)造的平面顯示面板提議了基本構(gòu)造，但是例如關(guān)于細部，仍有為了變成更佳構(gòu)造而進行研究的余地。
例如，在現(xiàn)有的平面顯示面板，如上述所示，為了降低電阻而在透明電極上將金屬電極積層。該現(xiàn)有構(gòu)造，因增大設(shè)置了電極的面的凹凸，在實現(xiàn)低驅(qū)動電壓的薄介電質(zhì)變成平坦化不充分，有介電質(zhì)層易發(fā)生破壞的問題。為了避免之，形成厚的介電質(zhì)層，但是那樣做時產(chǎn)生了驅(qū)動電壓變高的缺點。
又，介電質(zhì)為了得到穩(wěn)定的放電而需要平坦地構(gòu)成表面，但是平坦性佳的材料和透明電極反應(yīng)，易發(fā)生斷線。因而，以前下工夫插入了平坦性雖差但是反應(yīng)性低的材料。這些現(xiàn)有的平面顯示面板的問題點使得對于該新構(gòu)造的平面顯示面板也需要研究。
本發(fā)明的目的在于解決這些現(xiàn)有的平面顯示面板的問題點，對于新構(gòu)造的平面顯示面板，提議在構(gòu)造上可藉著抑制介電質(zhì)膜壓而降低驅(qū)動電壓或藉著抑制單元電極的劣化而實現(xiàn)穩(wěn)定的放電。
本發(fā)明的平面顯示面板是具有排列多個成為顯示單元的放電空間的凹部的背面基板、和與該背面基板相向并在和該凹部相向的有效區(qū)域各自設(shè)置了一對單元電極的透明的前面基板，自貫穿該背面基板后立設(shè)于該前面基板的面內(nèi)的接腳電極向該單元電極供給電壓的平面顯示面板，其特征在于具有金屬電極，在該前面基板上設(shè)于該對向有效區(qū)域的附近，和該接腳電極連接；該各單元電極使用透明電極層平坦地構(gòu)成，延設(shè)到該有效區(qū)域的附近為止，該單元電極和該金屬電極連接。
本發(fā)明的最佳形態(tài)是該一對單元電極的至少一方是就該各顯示單元分離的個別電極，該金屬電極設(shè)于該各個別電極，各自立設(shè)所述接腳電極。
本發(fā)明的平面顯示面板是形成有被覆該透明電極層的介電質(zhì)層的平面顯示面板，其特征在于該介電質(zhì)層在立設(shè)該金屬電極的該接腳電極的部分具有開口；形成該開口的該介電質(zhì)層的邊緣部分位于該金屬電極上。


圖1是表示對于新構(gòu)造平面顯示面板本專利申請人當初所提議的單元電極部分的構(gòu)造的模式圖。
圖2是表示本發(fā)明的實施例的單元電極部分的構(gòu)造的模式圖。
圖3是表示平面顯示面板在完成狀態(tài)下在圖2中的A-A的剖面構(gòu)造的模式圖。
圖4是以時系列表示在前面板制程的主要階段的剖面圖。
圖5是在形成了ITO膜的圖案的階段的前面板的部分的模式平面圖。
圖6是在形成了第1Ag電極層的階段的前面板的部分的模式平面圖。
圖7是在形成了介電質(zhì)層的階段的前面板的部分的模式平面圖。
發(fā)明的實施例以下參照圖面說明本發(fā)明的實施例。
圖1是表示對于新構(gòu)造平面顯示面板本專利申請人當初所提議的單元電極部分的構(gòu)造的模式圖。該構(gòu)造是模仿現(xiàn)有的平面顯示面板的電極構(gòu)造的，在構(gòu)造上在用透明電極成的單元電極上形成金屬電極。該圖表示一對單元電極的構(gòu)造，單元電極由在透明玻璃基板的前面基板上連接于接腳電極的透明電極的個別電極2，和連接于共用信號線4的透明電極的共用電板6的一對構(gòu)成。這些個別電極2和共用電極6配置于和設(shè)于背面基板的構(gòu)成單元的凹部相向的位置，形成彼此平行配置的矩形。此外，個別電極2、共用電極6用ITO等透明電極材料構(gòu)成其厚度例如約1000埃。
共用信號線4用金屬材料例如銀(Ag)構(gòu)成。而，共用信號線4和共用電極6用自共用信號線4延伸的細長的金屬電極線8連接。金屬電極線8沿著共用電極6的單側(cè)的長邊自其一側(cè)的短邊側(cè)延伸到另一側(cè)的短邊為止。
又，個別電極2用金屬電極線12和設(shè)于接腳電極立設(shè)位置的金屬電極片10。金屬電極線12和金屬電極線8一樣，沿著個別電極2的單側(cè)的長邊自其一側(cè)的短邊側(cè)延伸到另一側(cè)的短邊為止。又，共用信號線4、金屬電極線8、金屬電極片10、金屬電極線12在同一層，構(gòu)成例如約5～10μm。
像這樣，當初的提案是在透明電極的幾乎整體的長邊將金屬電極線8、12積層的。這種構(gòu)造是模仿在現(xiàn)有的平面顯示面板采用的上述構(gòu)造的。即，該構(gòu)造藉著在導(dǎo)電率比金屬低的透明電極上設(shè)置輔助的金屬電極，以抑制透明電極所引起的電壓降，從而將電極內(nèi)設(shè)為一樣的電壓。
可是，在該構(gòu)造，上述的現(xiàn)有的平面顯示面板的問題同樣存在。即，金屬電極線8、12的膜厚是比較厚的，因在透明電極上發(fā)生段差，在其上形成的介電質(zhì)層在金屬電極線8的部分易變薄。因而，為了確保介電質(zhì)層的充分的絕緣性，需要將其膜厚整體上變厚，隨著發(fā)生驅(qū)動電壓變大的問題。此外，將金屬電極線8、12配于各電極的2個長邊的中相互距離變大的一方是，考慮到在單元的有效區(qū)域的中心部分不配置不透明的金屬電極線，而且使絕緣性易變低的金屬電極線部分彼此遠離，期待抑制在其附近的電場強度，但只是稍微緩和上述問題，也未根本解決。
本發(fā)明是解決在試作階段所認識到的這種問題的，以下說明之。新構(gòu)造的平面顯示面板的特征之一，如上所述，藉著貫穿背面基板設(shè)置接腳電極，可在前面基板的任意位置供給電壓信號。據(jù)此，自接腳電極供給各個別電極電壓信號。
例如，在對各個別電極的其他電壓信號的供給方法上，有在前面基板上設(shè)置自面板端部各自往各個別電極的金屬配線的構(gòu)造。在該構(gòu)造，必須在單元間的有限的間隙布置按照單元數(shù)的多條配線，各配線的寬度變窄，雖然是金屬配線，無法忽略電壓降，又因配線并列配置于窄的區(qū)域，有可能發(fā)生往各個別電極的脈波信號間的串音的問題。
而，在本構(gòu)造的利用接腳電極的電壓信號供給方法未發(fā)生那種問題，特別是即使位于平面顯示面板的內(nèi)部區(qū)域的單元，也可接受可忽略電壓降的影響的脈沖信號。
圖2是表示本發(fā)明的實施例的單元電極部分的構(gòu)造的模式圖。在該單元電極部分的圖表示個別電極20、共用電極22、共用信號線24、金屬電板片26。本構(gòu)造和圖1的構(gòu)造的差異是未自金屬電極片26及共用信號線24往個別電極20、共用電極22延伸金屬電極線。即，在和單元凹部相向的有效區(qū)域配置只用透明電極層構(gòu)成的個別電極20及共用電極22，即些個別電極20及共用電極22各自向配置于該有效區(qū)域附近的金屬電極片26及共用信號線24延伸，形成它們之間的電氣連接。在制造工序上是先形成透明電極層然后。形成金屬電極層。因而，具體而言，用包含形成金屬電極片26的區(qū)域的圖案形成個別電極20，又用延伸到形成共用信號線24的區(qū)域為止的圖案形成共用電極22，在其上面重疊地分別形成金屬電極片26、共用信號線24。
個別電極20、共用電極22的形狀，若和現(xiàn)有的電極相比，在長邊方向短約1cm，而在短邊方向長約數(shù)mm。因而，自金屬電極片26到共用電極22的另一端為止的電壓降、還有自共用信號線24到共用電極22的另一端為止的電壓降遠小于在現(xiàn)有的平面顯示面板的，因而可忽略。又，供給個別電極20的電壓脈沖，連金屬電極片26都如上所述，藉著使用接腳電極，幾乎不受電壓降的影響。而，共用信號線24是配置于單元間的有限的間隙的，但是因可在構(gòu)成列或行的各單元共用地設(shè)置，可確保比較大的寬度，而且因用金屬材料構(gòu)成，在該部分的電壓降的影響也小。
即，新構(gòu)造的平面顯示以，因為構(gòu)造上供給個別電極20、共用電極22的電壓信號的劣化少，不必為了抑制電壓降而將金屬電極線延伸到個別電板20、共用電極22各自的內(nèi)部。本專利申請人得到該知識后，如圖2所示，廢除單元的有效區(qū)域內(nèi)的金屬電極線，只用透明電極層以平坦形狀構(gòu)成和發(fā)生放電的單元相向的有效區(qū)域的個別電極20、共有電極22。
像這樣藉著平坦地構(gòu)成個別電極20、共用電極22，可確保介電質(zhì)層的膜厚的一致性，不會發(fā)生電場破壞，可降低介電質(zhì)層的膜厚。隨著可降低驅(qū)動電壓。
此外，如圖2所示，自個別電極20的有效區(qū)域內(nèi)部住金屬電極片26的橋部的寬度及自共用電極22往共用信號線24的橋部的寬度設(shè)計為比圖1所示的金屬電極線12、金屬電極線8的寬度寬。這是為了降低該部分的電阻的。因而，在對放電特性等其他特性無不良影響的范圍內(nèi)可將該寬度設(shè)計成盡量接近個別電極20、共用電極22的短邊的寬度。
圖3是表示平面顯示面板在完成狀態(tài)下在圖2中的A-A的剖面構(gòu)造的模式圖。在前面基板使用透明的玻璃基板40，在該玻璃基板40的背面(即面向放電空間的一側(cè)，在圖上為上側(cè)之面)以透明電極層形成個別電極20。然后，用金屬電極材料形成金屬電極片26、共用信號線24。金屬電極片26在個別電極20上積層。然后將介電質(zhì)層42積層。因在金屬電極片26立設(shè)接腳電極44，介電質(zhì)層42設(shè)置成在金屬電極片26的中央部分具有開口。在金屬電極片26立設(shè)接腳電極44時，在其立設(shè)部分涂抹例如糊狀的Ag層46，在該Ag層46埋入接腳電極44的端部后，將該Ag層46燒結(jié)。在照這樣將接腳電極44固接后，利用真空蒸鍍在前面基板的前面構(gòu)造的表面整體形成MgO膜(圖上未示)。在該完成后的前面板重疊了在接腳電極44的位置鉆了孔50的背面基板的玻璃基板48，令低融點的玻璃(玻璃料52)流入接腳電極44和孔50之間的間隙后密封。
該前面板的構(gòu)造的本發(fā)明的特征是在形成介電質(zhì)層42之前形成金屬電極片26，介電質(zhì)層42的開口的邊緣蓋在該金屬電極片26上。即，介電質(zhì)層42的邊緣不直接接觸構(gòu)成個別電極20的透明電極膜，而且該透明電極膜完全被介電質(zhì)層42蓋住。藉此防止個別電極20斷線。
若介電質(zhì)層42的邊緣位于金屬電極片26的外側(cè)邊構(gòu)成介電質(zhì)層42的圖案，第1種狀態(tài)是成為介電質(zhì)層42的邊緣接觸介別電極20，又第2種狀態(tài)成為個別電極20的一部分未被介電質(zhì)層42蓋住。第1種狀態(tài)在如下的點有問題。介電質(zhì)層42和現(xiàn)有的平面顯示以用成分不同的多層構(gòu)成。例如介電質(zhì)層42采用三層構(gòu)造。該構(gòu)造如上述所示，和透明電極接觸的最下層用分步敷層比較但是和透明電極的反應(yīng)性低的介電質(zhì)材料形成，最上層用和透明電極的反應(yīng)性大但是平坦性高的介電質(zhì)材料形成。這種構(gòu)造是為了在防止透明電極因和最上層的介電質(zhì)層反應(yīng)而斷線下構(gòu)成平坦的介電質(zhì)層42的工夫。而，若這種多層構(gòu)造的介電質(zhì)層42的邊緣配置于透明電極上，最上層的反應(yīng)性強的介電質(zhì)層接觸透明電極，有透明電極可能發(fā)生斷線的問題。
又，該第2狀態(tài)在如下的點有問題。即，玻璃料52因具有和透明電極的反應(yīng)性，這接觸透明電極的露出部分，有透明電極可能發(fā)生斷線的問題。令介電質(zhì)層42的邊緣和金屬電極片26重疊的本發(fā)明的構(gòu)造防止這些問題發(fā)生，可防止個別電極20的斷線。
又，上述的問題在圖1所示的當初的構(gòu)造上難以發(fā)生。這是由于個別電極2未直接接觸金屬電極片10。即因為，介電質(zhì)層的邊緣不蓋住金屬電極片10，而令金屬電極片10整體露出，也若該邊緣位于金屬電極片10和個別電極2之間，就不會發(fā)生上述第1狀態(tài)、第2狀態(tài)。
其次說明圖3所示構(gòu)造的制造方法。圖4是以時系列表示在前面板的制造工序的主要階段的剖面圖。圖5～圖7是在制造工序的主要階段的前面板部分的模式平面圖。
在成為前面基板的玻璃板40的背面?zhèn)壤脼R射依次形成二氧化硅(SiO2)膜(膜厚t＝約1000埃)和透明電極膜的ITO膜(t＝1000埃)。在ITO膜上形成感光保護膜后，將其曝光，蝕刻除去后形成圖案。以該感光保護膜的圖案為掩模后，將ITO膜濕蝕刻，形成個別電極20、共用電極22。圖5是在形成了ITO膜的圖案的階段的前面板的部分的模式平面圖。圖4(a)是在圖5的A-A的模式剖面圖。
其次，利用主要成分包含Ag的糊劑將第1Ag電極層網(wǎng)板印刷。該糊劑含有溶劑，利用加熱令該溶劑蒸發(fā)后再燒結(jié)，形成構(gòu)成金屬電極片26、共用信號線24的金屬電極。圖4(b)是在該階段的模式剖面圖。在燒結(jié)后，金屬電極的厚度例如是5～10μm。又，圖6是在形成了第1Ag電極層的階段的前面板的部分的模式平面圖。
在此，將覆蓋ITO電極的介電質(zhì)材料網(wǎng)板印刷，燒結(jié)后形成介電質(zhì)層42。又，介電質(zhì)材料的軟化點約為560℃。圖4(c)是在該階段的模式剖面圖。該介電質(zhì)層42如上所述，用3層構(gòu)造構(gòu)成，但是為了簡單起見，以一體的層表示。圖7是在形成了介電質(zhì)層42的階段的前面板的部分的模式平面圖。如上所述，介電質(zhì)層42的設(shè)于金屬電極片26部分的開口的邊緣位于金屬電極片26的內(nèi)側(cè)，藉此，自個別電極20往金屬電極片26的橋部未接觸介電質(zhì)層42的邊緣，又不覆蓋介電質(zhì)層42而露出，也未接觸后工序的玻璃。此外，介電質(zhì)層42的厚度是3層共約30μm。又，為了令在單元發(fā)生的光自玻璃基板40向外部透射，介電質(zhì)層42用透明的材料形成。
在本構(gòu)造，為了使得介電質(zhì)層42的邊緣不接觸ITO膜，先形成了第1Ag層。該第1Ag層因已利用烘烤而金屬化，無法在金屬電極片26直接粘接接腳電極44。因而，在立設(shè)接腳電極44時，在其立設(shè)部分用網(wǎng)板印刷糊狀的Ag層46。圖4(d)是在設(shè)置了該糊狀的Ag層46的階段的模式剖面圖。該第2Ag層的糊劑在燒結(jié)后涂抹厚度約5～10μm。
在烘烤第2Ag層之前立設(shè)接腳電極44。該接腳立設(shè)的工序是，準備了在和接腳電極立設(shè)位置一致的位置鉆了孔的陶磁基板后，在該基板的孔排列接腳電極。接腳電極44的頭具有朝側(cè)方的突起，接腳電極用該突起和基板卡止。在上面排列了該接腳電極的頭的陶磁基板將前面板的背面朝下重疊后，將接腳電極44的頭部粘在上述工序所形成的第2Ag層。然后，將前面板和陶磁基板一起上下翻轉(zhuǎn)后，在接腳電極殘留在前面板的狀態(tài)下向上方拔出陶磁基板。然后，藉著將第2Ag層燒結(jié)，接腳電極就固接在前面板。圖4(e)是在該階段的模式剖面圖。此外，在燒結(jié)前拔出陶磁基板是由于玻璃基板40和陶磁基板的線膨脹系數(shù)不同。
最后真空蒸鍍MgO膜，作為保護膜。若介電質(zhì)層42的鉛玻璃曝露于放電下濺射，由于隨之自介電質(zhì)層42放出的物質(zhì)，有設(shè)于背面基板的單元內(nèi)的熒光物發(fā)生劣化的問題。MgO膜的放電耐性高，在放電下保護介電質(zhì)層42，可防止這種問題。又，MgO的二次電子放出系數(shù)高，還具有有助于降低開始放電電壓的優(yōu)點。
照這樣所形成的前面板，和使用背面基板另外形成的后面板組合后，用玻璃料密封接腳電極貫穿的孔和兩面板周圍的間隙等。而且，自設(shè)于后同板的排氣用玻璃管進行內(nèi)部的排氣，例如注入Ne-Xe(5％)等氣體后，也密封排氣用玻璃管。藉此，平面顯示面板基本上就完成。
根據(jù)本發(fā)明的平面顯示面板，金屬電極設(shè)于和構(gòu)成單元的凹部相向的有效區(qū)域的附近，基本上在有效區(qū)域內(nèi)部未配置。該金屬電極和設(shè)于凹部相向區(qū)域(有效區(qū)域)的透明電極層的電氣連接利用該透明電極層延伸到金屬電極的位置而達成。藉此，面向放電空間的單元電極利用透明電極層平坦地構(gòu)成，在其上積層的介電質(zhì)層的膜厚的一致性也升高。即，因難以發(fā)生破壞，可使介電質(zhì)層的膜厚變薄，隨著可得到可降低驅(qū)動電壓的效果。
又，根據(jù)本發(fā)明的平面顯示面板，在各個別電極設(shè)金屬電極，在該金屬電極立設(shè)接腳電極。因自背面基板向接腳電極供給電壓，抑制到金屬電極為止的電阻的各單元的變動。而且抑制到該金屬電極為止的電阻值的絕對值。藉此，在享受和上述發(fā)明一樣的效果下，同時緩和了到個別電極的前端部分為止的電阻的影響，可得到可實現(xiàn)利用劣化少的電壓脈沖的驅(qū)動。
又，根據(jù)本發(fā)明的平面顯示面板，藉著將設(shè)于接腳電極的立設(shè)位置的介電質(zhì)層的開口的邊緣設(shè)置在金屬電極上，防止構(gòu)成單元電極的透明電極斷線，可得到實現(xiàn)抑制單元電極的劣化的穩(wěn)定放電的效果。
權(quán)利要求
1.一種平面顯示面板，具有排列多個成為顯示單元的放電空間的凹部的背面基板(48)、和與該背面基板(48)相向并在和該凹部相向的有效區(qū)域各自設(shè)置一對單元電極(20，22)的透明的前面基板(40)，且自貫穿該背面基板(48)后立設(shè)于該前面基板(40)的面內(nèi)的接腳電極(44)向該單元電極(20)供給電壓，其特征在于具有金屬電極(26)，在該前面基板(40)上設(shè)于該有效區(qū)域的附近，和該接腳電極(44)連接；該各單元電極(20)使用透明電極層平坦地構(gòu)成，延設(shè)到該有效區(qū)的附近為止，該單元電極(20)和該金屬電極(26)連接。
2.一種平面顯示面板，具有排列多個成為顯示單元的放電空間的凹部的背面基板(48)、和與該背面基板(48)相向并在和該凹部相向的有效區(qū)域各自設(shè)置一對單元電極(20，22)的透明的前面基板(40)，且自貫穿該背面基板(48)后立設(shè)于該前面基板(40)的面內(nèi)接腳電極向該單元電極(20)供給電壓，其特征在于具有金屬電極(24，26)，設(shè)于該前面基板(40)上的非放電區(qū)域；該各單元電極(20，22)使用透明電極層平坦地構(gòu)成，延設(shè)到該非放電區(qū)域為止，該單元電極(20，22)和該金屬電極(24，26)連接。
3.如權(quán)利要求1或2所述的平面顯示面板，其特征在于該一對單元電極(20，22)的至少一方是就該各顯示單元分離的個別電極(20)；該金屬電極(26)設(shè)于該各個別電極，各自立設(shè)該接腳電極(44)。
4.如權(quán)利要求3所述的平面顯示面板，其特征在于，在形成被覆該透明電極層的介電質(zhì)層(42)的平面顯示面板中，該介電質(zhì)層(42)在立設(shè)該金屬電極(26)的該接腳電極(44)的部分具有開口；形成該開口的該介電質(zhì)層(42)的邊緣部分位于該金屬電極(26)上；
5.如權(quán)利要求1或2所述的平面顯示面板，其特征在于，該金屬電極(26)在該透明電極(20)形成后形成。
全文摘要
本發(fā)明的平面顯示面板。將金屬電極片26及共用信號線24配置于構(gòu)成單元的凹部的相向區(qū)域(有效區(qū)域)外,有效領(lǐng)域內(nèi)的單元電極的個別電極20、共用電極22和金屬電極片26、共用信號線24的連接不是將金屬電極延伸到有效區(qū)域內(nèi)后在各單元電極積層,相反地藉著將各單元電極向金屬電極片26、共用信號線24延伸而連接。藉此,平坦地構(gòu)成單元電極,通過抑制介電質(zhì)膜厚而降低驅(qū)動電壓。
文檔編號H01J11/38GK1249527SQ9910840
公開日2000年4月5日 申請日期1999年6月8日 優(yōu)先權(quán)日1998年9月29日
發(fā)明者來往久敏, 逸見和久, 伊藤篤, 有本浩延 申請人:三菱電機株式會社