一種終點檢測窗口的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種安裝在干法刻蝕設備的反應腔壁，用于設備的終點檢測系統(tǒng)接收光波信號，來檢測反應腔中化學物質(zhì)變化過程的終點檢測窗口的透光片安裝結(jié)構，通過取消現(xiàn)有的使用螺釘安裝透光片的方式，在窗口主體凸出的上下邊框內(nèi)側(cè)分別開設一條卡槽，并增加透光片的寬度與卡槽配合，將透光片從窗口一側(cè)插入卡槽，即可便捷地將透光片與窗口主體安裝固定，且便于取出，實現(xiàn)對透光片的一次安裝成功，從而提高了機臺保養(yǎng)的效率和一次成功率，并可有效避免原有的安裝結(jié)構會因安裝不當造成透光片發(fā)生碎裂的現(xiàn)象，節(jié)約了維護保養(yǎng)的費用。
【專利說明】—種終點檢測窗口

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體加工用干法刻蝕設備的終點檢測窗口，更具體地，涉及一種半導體加工用干法刻蝕設備終點檢測窗口的透光片安裝結(jié)構。

【背景技術】
[0002]干法刻蝕被用于半導體制造工藝中先進電路的小特征尺寸的精細刻蝕，是指以反應氣體為主要媒體，在射頻(RF)電場的作用下形成等離子體，對半導體材料進行刻蝕，得到所需要的器件外形結(jié)構。
[0003]在干法刻蝕過程中，晶圓上的涂層化合物被解離，形成電漿?；衔锝怆x的過程中會發(fā)出特定的光波，不同的化合物會產(chǎn)生不同波長的光波。刻蝕設備的終點檢測系統(tǒng)會通過安裝在設備上的終點檢測窗口接收光波信號，來檢測反應腔中化學物質(zhì)變化的過程。因此，刻蝕過程中的每個工序都可受到嚴密的監(jiān)測和分析，從而能以極高的精度確定該工序的終點。刻蝕過程中的生成物會在終點檢測窗口及其部件上面沉積，如果沉積過多，會影響檢測系統(tǒng)接收光波信號。所以，需要對終點檢測窗口定期進行拆裝和清洗。
[0004]東京電子有限公司(Tokyo Electron Limited，TEL)生產(chǎn)的型號為JIN和VI⑶S的二種12英寸干法刻蝕機臺，主要運用于氧化物刻蝕，達到刻開窗口和線槽的作用，目前在半導體制造中都有廣泛的運用。該機臺掛載的反應腔，都要使用到終點檢測窗口。圖1是TEL干法刻蝕機臺的一種終點檢測窗口的結(jié)構示意圖，該終點檢測窗口安裝在機臺反應腔的外側(cè)壁。如圖所示，該終點檢測窗口主體I的外形為矩形，中部設有多孔狀的透光孔4，用于接收光波信號；窗口主體I的上下邊部中間設有與腔體的安裝孔8、16，二個安裝孔8、16的二側(cè)是向外凸出的邊框6、10和19、15，在上下邊框6、10和19、15上按斜對角方向各設有一個螺釘安裝孔9、17，可用平頭螺釘將藍寶石透光片壓住，并適當擰緊，使透光片與窗口主體I之間安裝固定。藍寶石透光片有很強的抗電漿刻蝕功能，起到保護作用，可避免電漿刻蝕到反應腔檢測窗口后面的透明側(cè)壁。圖2是圖1中終點檢測窗口的右視結(jié)構示意圖，如圖所示，窗口主體的上下邊部具有向外凸出的邊框6、10和19、15，上下邊框的凸出面上按斜對角方向各設有一個螺釘安裝孔(圖略)，可用平頭螺釘將藍寶石透光片壓住，并適當擰緊，使透光片與窗口主體I之間安裝固定。上下邊框之間的窗口主體內(nèi)凹的部位開有多孔狀的透光孔(圖略)。圖3是圖1中終點檢測窗口安裝的透光片的結(jié)構示意圖，如圖所示，藍寶石透光片2的外形為矩形，可安裝在窗口上下邊框6、10和19、15之間的窗口主體I中部位置，并遮擋住透光孔4。透光片2的上下邊部對應部位具有避讓窗口安裝孔8、16的圓弧缺口 21、23，及避讓透光片固定螺釘安裝孔9、17的圓弧缺口 22、24。
[0005]刻蝕過程中的生成物會沉積在前述的終點檢測窗口和藍寶石透光片上面，如果沉積過多會影響檢測系統(tǒng)接收光波信號，所以，需要對該終點檢測窗口定期進行拆裝和清洗。藍寶石透光片為玻璃材質(zhì)，其厚度只有0.5_左右，且易碎。透光片在安裝時靠平頭螺釘與窗口安裝固定，螺釘擰緊時如用力不當，極易使藍寶石透光片碎裂；且在與窗口進行組裝時，透光片極易滑動，更增加了安裝的困難。終點檢測窗口存在的上述缺陷，會影響機臺保養(yǎng)的效率和一次成功率，還會因藍寶石透光片易發(fā)生碎裂而帶來不必要的經(jīng)濟損失。
實用新型內(nèi)容
[0006]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術存在的上述缺陷，提供一種半導體加工用干法刻蝕設備終點檢測窗口的透光片新型安裝結(jié)構，通過取消使用螺釘安裝透光片的方式，在窗口的上下邊框內(nèi)側(cè)分別開設一條卡槽，并增加透光片的寬度與卡槽配合，將透光片從窗口一側(cè)插入卡槽，即可便捷地將透光片與窗口安裝固定，且便于取出，實現(xiàn)對透光片的一次安裝成功，從而提高了機臺保養(yǎng)的效率和一次成功率，并可有效避免因安裝不當造成透光片發(fā)生碎裂，節(jié)約了維護保養(yǎng)的費用。
[0007]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術方案如下:
[0008]一種終點檢測窗口，安裝在干法刻蝕設備的反應腔壁，用于設備的終點檢測系統(tǒng)接收光波信號，來檢測反應腔中化學物質(zhì)變化的過程，所述終點檢測窗口包括窗口主體，所述窗口主體中部設有多孔狀透光孔，所述透光孔外側(cè)的所述窗口主體的上、下邊部中間設有所述窗口與腔體的安裝孔，二個所述安裝孔的左、右二側(cè)位于所述透光孔外側(cè)的所述窗口主體上、下邊部具有向外凸出的邊框，所述邊框設有透光片安裝結(jié)構，所述透光片的上、下邊部對應部位具有避讓所述安裝孔的缺口，其特征在于，所述透光片安裝結(jié)構包括卡槽，所述卡槽設于上、下所述邊框相對的內(nèi)側(cè)端面，并形成沿所述邊框水平方向的直線形卡槽，所述卡槽在所述邊框的外側(cè)具有至少一個開口，所述卡槽具有與所述透光片厚度相配合的槽寬；所述透光片具有與上、下所述卡槽的間距相配合的寬度，并可沿水平方向插入所述卡槽之間，與所述窗口主體安裝連接。本實用新型通過取消現(xiàn)有的使用螺釘安裝透光片的方式，在窗口主體凸出的上下邊框內(nèi)側(cè)分別開設一條卡槽，并增加透光片的寬度與卡槽配合，將透光片從窗口一側(cè)插入卡槽，即可便捷地將透光片與窗口主體安裝固定，且便于取出，實現(xiàn)對透光片的一次安裝成功，從而提高了機臺保養(yǎng)的效率和一次成功率，并可有效避免原有的安裝結(jié)構會因安裝不當造成透光片發(fā)生碎裂的現(xiàn)象，節(jié)省了 2個安裝螺釘，節(jié)約了維護保養(yǎng)的費用。
[0009]進一步地，所述卡槽為沿所述邊框水平方向的貫通直線形卡槽，可以從窗口主體的任意一個側(cè)面將透光片插入卡槽，實現(xiàn)與窗口主體的安裝。
[0010]進一步地，所述卡槽在所述邊框的右外側(cè)具有開口，并終止于所述透光孔左側(cè)邊緣以外、所述邊框左外側(cè)以內(nèi)之間的位置。由于透光片的作用是遮蓋住透光孔，所以，只要卡槽的長度大于透光孔左右兩側(cè)邊緣的距離，并將透光片的長度加工成與之對應，即可達到工藝目的和要求。
[0011 ] 進一步地，所述卡槽在所述邊框的左外側(cè)具有開口，并終止于所述透光孔右側(cè)邊緣以外、所述邊框右外側(cè)以內(nèi)之間的位置。這是從機臺布局角度考慮，使透光片可以從任意一側(cè)插入窗口主體安裝。
[0012]進一步地，所述卡槽的兩側(cè)內(nèi)壁各具有沿水平方向的凸起卡條，所述卡條的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。采用卡條形式可以更好地固定透光片，并減少其插入卡槽時與卡槽內(nèi)壁的摩擦面積。
[0013]進一步地，所述卡槽內(nèi)壁的其中一側(cè)具有沿水平方向的凸起卡條，所述卡條的凸起端點與所述卡槽另一側(cè)內(nèi)壁的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
[0014]進一步地，所述卡條的橫截面形狀為弧形，以減小與透光片間的摩擦，并避免劃傷透光片。
[0015]進一步地，所述卡槽的兩側(cè)內(nèi)壁各具有凸點，所述凸點在所述安裝孔兩側(cè)的所述邊框的卡槽內(nèi)壁至少各設置一對，所述卡槽兩側(cè)內(nèi)壁凸點的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。采用凸點形式除具備與卡條同樣的功能外，還可進一步減小與透光片間的摩擦，更利于插入。
[0016]進一步地，所述卡槽內(nèi)壁的其中一側(cè)具有凸點，所述凸點在所述安裝孔兩側(cè)的所述邊框的卡槽內(nèi)壁至少各設置一個，所述凸點的凸起端點與所述卡槽另一側(cè)內(nèi)壁的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
[0017]進一步地，所述透光片具有大于所述透光孔邊緣距離并與所述卡槽長度相適應的長度，既可以遮擋住透光孔，又不至于突出在窗口主體之外；所述透光片的寬度大于上、下所述邊框相對內(nèi)側(cè)端面之間的距離，并與上、下所述卡槽的深度相配合，保證了透光片能夠同時插入二個卡槽，穩(wěn)定安裝。
[0018]從上述技術方案可以看出，本實用新型通過取消原有的使用螺釘安裝透光片的方式,在終點檢測窗口主體凸出的上下邊框相對內(nèi)側(cè)端面分別開設一條卡槽,并增加透光片的寬度與卡槽配合，將透光片從窗口主體的一側(cè)插入卡槽，即可便捷地將透光片與窗口主體安裝固定，且便于取出，實現(xiàn)對透光片的一次安裝成功，從而提高了機臺保養(yǎng)的效率和一次成功率，并可有效避免因安裝不當造成透光片發(fā)生碎裂的現(xiàn)象，節(jié)約了維護保養(yǎng)的費用。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是TEL干法刻蝕機臺的一種終點檢測窗口的結(jié)構示意圖；
[0020]圖2是圖1中終點檢測窗口的右視結(jié)構示意圖；
[0021]圖3是圖1中終點檢測窗口安裝的透光片的結(jié)構示意圖；
[0022]圖4是本實用新型一種終點檢測窗口的一種結(jié)構示意圖；
[0023]圖5是圖4中終點檢測窗口的右視卡槽結(jié)構示意圖；
[0024]圖6是圖4中終點檢測窗口的左視結(jié)構示意圖；
[0025]圖7是本實用新型一種終點檢測窗口透光片的結(jié)構示意圖；
[0026]圖8是本實用新型一種終點檢測窗口卡槽的另一種右視結(jié)構示意圖。

【具體實施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步的詳細說明。
[0028]實施例一
[0029]在本實施例中，請參閱圖4，圖4是本實用新型一種終點檢測窗口的一種結(jié)構示意圖。本實用新型的終點檢測窗口安裝在干法刻蝕設備的反應腔壁，用于設備的終點檢測系統(tǒng)接收光波信號，來檢測反應腔中化學物質(zhì)變化的過程。如圖所示，終點檢測窗口包括矩形窗口主體1，窗口主體I中部設有多孔狀透光孔4。在透光孔4外側(cè)的窗口主體I的上、下邊部中間，設有窗口主體I與腔體的安裝孔8、16。二個安裝孔8、16的左、右二側(cè)位于透光孔4外側(cè)的窗口主體I的上、下邊部具有向外凸出的邊框6、10和15、19。邊框6和邊框10之間因需要避讓安裝孔8而斷開；同樣，邊框15和邊框19之間也因需要避讓安裝孔16而斷開。
[0030]請接著參閱圖4。在窗口主體I的邊框6、10和15、19分別設有安裝透光片的卡槽
7、11和14、18 (圖中虛線表示)?？ú?、11和14、18設于上、下邊框相對的內(nèi)側(cè)端面，并形成沿邊框水平方向的直線形卡槽，即卡槽7和卡槽11平齊、卡槽14和卡槽18平齊?？ú?1和卡槽14在邊框10和邊框15的外側(cè)各有一個開口 12、13，用于透光片從此開口部位插入窗口主體安裝?？ú?和卡槽18在邊框6、19靠左側(cè)的部位具有終點5、20，即沒有貫通邊框6、19?？ú?和卡槽18具體的終點位置，只要滿足位于透光孔4左側(cè)邊緣以外、窗口主體I左側(cè)以內(nèi)之間的邊框6、19的適當位置即可。由于透光片的作用是遮蓋住透光孔4，所以，只要卡槽7、11和卡槽14、18的始、終點距離大于透光孔4左右兩側(cè)邊緣的距離，并將透光片的長度加工成與之對應，即可達到工藝目的和要求?？ú?1、14在邊框10、15的左側(cè)是貫通的；卡槽7、18在邊框6、19的右側(cè)也是貫通的。這樣，透光片可以自窗口主體I的右側(cè)卡槽開口 12、13插入，一直到卡槽的終點5、20位置為止，并遮蓋住全部的透光孔4。
[0031]請參閱圖5，圖5是圖4中終點檢測窗口的右視卡槽結(jié)構示意圖。如圖所示，在窗口主體的凸出邊框6、10和15、19相對的內(nèi)側(cè)端面，開有內(nèi)凹的卡槽7、11和14、18?？ú垡哂信c透光片厚度相配合的槽寬；透光片要具有與卡槽的間距相配合的寬度，并可沿水平方向插入卡槽之間，與窗口主體安裝連接。
[0032]請參閱圖6，圖6是圖4中終點檢測窗口的左視結(jié)構示意圖。如圖所示，由于卡槽7和卡槽18在邊框6、19靠左側(cè)的部位具有終點，即沒有貫通邊框6、19，因此，從窗口主體的左側(cè)方向看過去，是看不到卡槽的。
[0033]請參閱圖7，圖7是本實用新型一種終點檢測窗口透光片的結(jié)構示意圖。如圖所示，與本實用新型的終點檢測窗口的主體配合安裝的透光片3，與圖3的現(xiàn)有技術同樣具有避讓窗口安裝孔8、16的圓弧缺口 21、23，但不再需要開設避讓透光片固定螺釘安裝孔9、17的圓弧缺口 22、24。相應的改進是，透光片3的左右長度要大于透光孔邊緣距離并與卡槽的始、終點距離相適應，既可以遮擋住透光孔，又不至于突出在窗口主體之外；并且，透光片3的上下寬度要大于上邊框6、10和下邊框19、15相對內(nèi)側(cè)端面之間的距離，并與上、下卡槽的深度相配合，以保證透光片3能夠同時插入上、下卡槽，穩(wěn)定安裝。
[0034]實施例二
[0035]在本實施例中，請參閱圖8，圖8是本實用新型一種終點檢測窗口卡槽的另一種右視結(jié)構示意圖。本實施例與實施例一的不同之處，僅在于卡槽的內(nèi)部結(jié)構。如圖所示，在窗口主體的上邊框6、10和下邊框15、19的卡槽7、11和14、18的外側(cè)內(nèi)壁各加工一條向內(nèi)凸出的卡條25、26和27、28。采用卡條形式可以更好地固定透光片，并減少其插入卡槽時與卡槽內(nèi)壁的摩擦面積。卡條的截面形狀為弧形，以減小與透光片間的摩擦，并避免劃傷透光片?？l的凸起端點與卡槽另一側(cè)內(nèi)壁的水平間距可與透光片的厚度相配合。除此之外，本實施例與實施例一完全相同，不再贅述。
[0036]需要說明的是，根據(jù)需要和機臺的布局形式，用于安裝透光片的卡槽也可以將一端開口設于窗口主體的左側(cè)，甚至貫通窗口主體兩側(cè)，以便透光片從左右兩個方向都可以插入窗口主體安裝。實施例二中卡槽單側(cè)內(nèi)壁設置的卡條，也可以在雙側(cè)內(nèi)壁同時設置。另夕卜,卡條也可以變形為凸點形式。本行業(yè)普通技術人員都能正確理解,故不再通過其他實施例展開描述。
[0037]以上所述的僅為本實用新型的優(yōu)選實施例，所述實施例并非用以限制本實用新型的專利保護范圍，因此凡是運用本實用新型的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構變化，同理均應包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【權利要求】
1.一種終點檢測窗口，安裝在干法刻蝕設備的反應腔壁，用于設備的終點檢測系統(tǒng)接收光波信號，來檢測反應腔中化學物質(zhì)變化的過程，所述終點檢測窗口包括窗口主體和透光片，所述窗口主體中部設有多孔狀透光孔，所述透光孔外側(cè)的所述窗口主體的上、下邊部中間設有所述窗口與腔體的安裝孔，二個所述安裝孔的左、右二側(cè)位于所述透光孔外側(cè)的所述窗口主體上、下邊部具有向外凸出的邊框，所述邊框設有透光片安裝結(jié)構，所述透光片的上、下邊部對應部位具有避讓所述安裝孔的缺口，其特征在于，所述透光片安裝結(jié)構包括卡槽，所述卡槽設于上、下所述邊框相對的內(nèi)側(cè)端面，并形成沿所述邊框水平方向的直線形卡槽，所述卡槽在所述邊框的外側(cè)具有至少一個開口，所述卡槽具有與所述透光片厚度相配合的槽寬；所述透光片具有與上、下所述卡槽的間距相配合的寬度，并可沿水平方向插入所述卡槽之間，與所述窗口主體安裝連接。
2.如權利要求1所述的終點檢測窗口，其特征在于，所述卡槽為沿所述邊框水平方向的貫通直線形卡槽。
3.如權利要求1所述的終點檢測窗口，其特征在于，所述卡槽在所述邊框的右外側(cè)具有開口，并終止于所述透光孔左側(cè)邊緣以外、所述邊框左外側(cè)以內(nèi)之間的位置。
4.如權利要求1所述的終點檢測窗口，其特征在于，所述卡槽在所述邊框的左外側(cè)具有開口，并終止于所述透光孔右側(cè)邊緣以外、所述邊框右外側(cè)以內(nèi)之間的位置。
5.如權利要求1所述的終點檢測窗口，其特征在于，所述卡槽的兩側(cè)內(nèi)壁各具有沿水平方向的凸起卡條，所述卡條的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
6.如權利要求1所述的終點檢測窗口，其特征在于，所述卡槽內(nèi)壁的其中一側(cè)具有沿水平方向的凸起卡條，所述卡條的凸起端點與所述卡槽另一側(cè)內(nèi)壁的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
7.如權利要求6所述的終點檢測窗口，其特征在于，所述卡條的橫截面形狀為弧形。
8.如權利要求1所述的終點檢測窗口，其特征在于，所述卡槽的兩側(cè)內(nèi)壁各具有凸點，所述凸點在所述安裝孔兩側(cè)的所述邊框的卡槽內(nèi)壁至少各設置一對，所述卡槽兩側(cè)內(nèi)壁凸點的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
9.如權利要求1所述的終點檢測窗口，其特征在于，所述卡槽內(nèi)壁的其中一側(cè)具有凸點，所述凸點在所述安裝孔兩側(cè)的所述邊框的卡槽內(nèi)壁至少各設置一個，所述凸點的凸起端點與所述卡槽另一側(cè)內(nèi)壁的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
10.如權利要求1所述的終點檢測窗口，其特征在于，所述透光片具有大于所述透光孔邊緣距離并與所述卡槽長度相適應的長度，所述透光片的寬度大于上、下所述邊框相對內(nèi)側(cè)端面之間的距離，并與上、下所述卡槽的深度相配合。
【文檔編號】H01J37/244GK203859097SQ201420152944
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年3月31日 優(yōu)先權日:2014年3月31日
【發(fā)明者】鄧必文, 季高明 申請人:上海華力微電子有限公司