專利名稱：一種電極結構及其制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于平板顯示領域，尤其涉及一種可用于等離子顯示屏的電極結構及其制作方法。
背景技術：
近年來，隨著消費者對顯示器件功能需求的不斷提高和科學的進步，出現(xiàn)了PDP (Plasma Display Panel,等離子顯不屏)、LCD (Liquid Crystal Display,液晶顯不屏)等新型平板顯示器件，它們以其清晰度高、重量輕、耗電少、無輻射、環(huán)保性能好等優(yōu)點越來越多的進入人們的社會生活領域，特別是在超大屏幕的平板顯示器件中，PDP技術有絕對的優(yōu)勢。PDP由第一基板(一般為玻璃基板)和第二基板(一般為玻璃基板)組成，在第一基板上設置有透明電極和總線電極以及前介質(zhì)和覆蓋在前介質(zhì)表面的保護層，所述總線電極為金屬電極，且設置在透明電極表面上；在第二基板上設置有地址電極和后介質(zhì)以及障壁。PDP利用了氣體放電原理，由障壁和前介質(zhì)、后介質(zhì)組成微小的絕緣放電間，放電間填滿用于等離子放電的放電氣體，通過等離子放電激發(fā)涂覆在放電間上的熒光粉層發(fā)光。但是，現(xiàn)有技術中，等離子顯示屏的總線電極會有導電不良的現(xiàn)象出現(xiàn)，甚至會出現(xiàn)總線電極不能導電、失去作用的現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述技術問題，本發(fā)明提供了一種電極結構及其制作方法以及一種具有上述電極結構的等離子顯示屏，具體方案如下一種電極結構，包括總線電極，所述總線電極設置在一基板表面上；透明電極，所述透明電極設置在所述基板和總線電極表面上，且所述透明電極包覆住總線電極。優(yōu)選的，所述總線電極為鎘銅鎘電極。優(yōu)選的，所述總線電極為鑰鋁鑰電極。優(yōu)選的，所述透明電極為氧化銦錫電極。優(yōu)選的，所述透明電極為氧化銦鋅電極。優(yōu)選的，所述透明電極為石墨烯電極。一種上述電極結構的制作方法，包括提供一基板；在所述基板表面淀積金屬電極層，通過光刻工藝在所述金屬電極層上形成總線電極；在所述總線電極和基板表面上淀積透明電極層，通過光刻工藝在所述透明電極層上形成透明電極，所述透明電極包覆住總線電極。
一種等離子顯示屏，包括第一基板，所述第一基板包括一電極結構，且所述電極結構為上述電極結構；前介質(zhì)層，所述前介質(zhì)層設置在所述第一基板表面上；第二基板，所述第二基板包括地址電極，且所述第二基板具有地址電極的一面和第一基板具有前介質(zhì)層的一面相對設置；后介質(zhì)層，所述后介質(zhì)層設置在所述第二基板與第一基板相對的表面上；障壁，所述障壁設置在所述后介質(zhì)層表面上。由上述方案可以看出，本發(fā)明所提供的電極結構中，透明電極將總線電極包覆住，而且透明電極均為非金屬電極，其化學性質(zhì)較穩(wěn)定，不易發(fā)生氧化，并且由于總線電極為金屬電極，即化學性質(zhì)不穩(wěn)定的總線電極被透明電極包覆住，與外界隔絕，也就避免了金屬電極氧化現(xiàn)象的發(fā)生，即總線電極就不會因為氧化而出現(xiàn)電阻變大的現(xiàn)象，避免了總線電極導電不良甚至失去導電功能的現(xiàn)象出現(xiàn)。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I是現(xiàn)有的等離子顯示屏中的一種電極結構；圖2是本發(fā)明所提供的一種電極結構。
具體實施例方式為使本發(fā)明實施例的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。正如背景技術部分所述，在現(xiàn)有生產(chǎn)等離子顯示屏的技術下，時常會有等離子顯示屏的總線電極導電不良的現(xiàn)象出現(xiàn)，甚至會出現(xiàn)總線電極不能導電、失去作用的現(xiàn)象。發(fā)明人研究發(fā)現(xiàn)，在等離子顯示屏的生產(chǎn)過程中，如圖I所示，由于總線電極I為金屬電極，且設置在透明電極2上，即在后續(xù)制作工藝中，總線電極與外界接觸，由于其化學性質(zhì)不穩(wěn)定，因此容易被氧化，進而生產(chǎn)得到的等離子顯示屏的總線電極的電阻變大，總線電極導電不良、甚至失去導電功能。基于上述研究的基礎，本發(fā)明公開了一種電極結構，該電極結構包括總線電極，所述總線電極設置在一基板表面上；透明電極，所述透明電極設置在所述基板和總線電極表面上，且所述透明電極包覆住總線電極。由上述方案可以看出，本發(fā)明所提供的電極結構中，透明電極將總線電極包覆住，而且透明電極均為非金屬電極，其化學性質(zhì)較穩(wěn)定，不易發(fā)生氧化，并且由于總線電極為金屬電極，即化學性質(zhì)不穩(wěn)定的總線電極被透明電極包覆住，與外界隔絕，也就避免了金屬電極氧化現(xiàn)象的發(fā)生，即總線電極就不會因為氧化而出現(xiàn)電阻變大的現(xiàn)象，避免了總線電極導電不良甚至失去導電功能的現(xiàn)象出現(xiàn)。以上是本申請的核心思想，下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施例的限制。本發(fā)明實施例公開了一種電極結構，如圖2所示，包括總線電極11，所述總線電極11設置在一基板10表面上，所述基板10為玻璃基板或是其他材料的基板，所述總線電極11為鎘銅鎘電極或鑰鋁鑰電極或其他的金屬電極，所述總線電極11的厚度和形狀依據(jù)具體情況設置，在此不做具體限定；透明電極12，所述透明電極12設置在所述基板10和總線電極11表面上，所述透明電極12包覆住總線電極11，且所述透明電極12為氧化銦錫電極或氧化銦鋅電極或石墨烯電極，所述透明電極12的厚度和形狀依據(jù)具體情況設置，在此不做具體限定。由于透明電極12為氧化銦錫電極或氧化銦鋅電極或石墨烯電極，所以其不易與空氣或其他物質(zhì)發(fā)生反應，且透明電極電極12與玻璃粉的結合力較好，不會在高溫下與之產(chǎn)生化學反應產(chǎn)生如氣泡變色之類的問題，但是總線電極11就不一樣，由于總線電極11為金屬電極，且金屬電極因為其活性較高，尤其是鎘銅鎘電極極易與空氣、有機材料、酸等發(fā)生反應，造成電極氧化、電阻增大等缺陷。本發(fā)明實施例中，化學性質(zhì)不穩(wěn)定的總線電極11被透明電極12包覆住，與外界隔絕，即包覆的效果隔絕了高活性的金屬電極與其他物質(zhì)之間的接觸，所以可以避免總線電極11因為接觸反應產(chǎn)生的各項缺陷，也就避免了金屬電極氧化現(xiàn)象的發(fā)生，即總線電極11就不會因為氧化而出現(xiàn)電阻變大的現(xiàn)象，避免了總線電極11導電不良甚至失去導電功能的現(xiàn)象出現(xiàn)，也就提高了制作質(zhì)量，降低了生產(chǎn)成本。本發(fā)明另一實施例公開了一種上述電極結構的制作方法，包括步驟SI、提供一基板，所述基板為玻璃基板。步驟S2、在所述基板表面淀積金屬電極層，通過光刻工藝在所述金屬電極層上形成總線電極。具體過程包括在基板一側的主面上通過真空濺射工藝形成金屬電極層，然后在金屬電極層表面涂覆光致刻蝕劑，形成光致刻蝕劑層，將帶有一定圖形的光掩模重疊在上面，經(jīng)過精確對位，進行紫外線照射，在光致刻蝕劑層上形成總線電極圖案，經(jīng)顯影后，除去總線電極圖案處的光致刻蝕劑，形成總線電極圖形，再以具有總線電極圖形的光致刻蝕劑層為掩模，通過刻蝕工藝將總線電極圖形下方的金屬電極層材料去掉，形成總線電極，之后再去除光致刻蝕劑層。所述總線電極圖案為光致刻蝕劑層表面上的二維圖案，圖案區(qū)域并不向下延伸，不具有立體形狀；所述總線電極圖形為具有立體形狀的三維圖形，該圖形的厚度為光致刻蝕劑層的厚度。步驟S3、在所述總線電極和基板表面上淀積透明電極層，通過光刻工藝在所述透明電極層上形成透明電極，所述透明電極包覆住總線電極。具體過程包括采用真空濺射工藝在所述總線電極和基板表面上淀積透明電極層，所述透明電極層為氧化銦鋅層或氧化銦錫層或石墨烯電極，然后，通過光刻工藝在所述透明電極層上形成透明電極，所述透明電極包覆住總線電極。本實施例所提供的電極結構的制作方法所制作的電極結構，由于透明電極將總線電極包覆住，而且透明電極均為非金屬電極，其化學性質(zhì)較穩(wěn)定，不易發(fā)生氧化，并且由于總線電極為金屬電極，即化學性質(zhì)不穩(wěn)定的總線電極被透明電極包覆住，與外界隔絕，也就避免了金屬電極氧化現(xiàn)象的發(fā)生，即總線電極就不會因為氧化而出現(xiàn)電阻變大的現(xiàn)象，避免了總線電極導電不良甚至失去導電功能的現(xiàn)象出現(xiàn)。本發(fā)明又一實施例公開了一種等離子顯示屏，，所述等離子顯示屏包括第一基板，所述第一基板包括一電極結構，且所述電極結構為上述實施例所述的電極結構，即所述第一基板包括設置在第一玻璃基板表面上的總線電極和包覆住總線電極透明電極。前介質(zhì)層，所述前介質(zhì)層的制作材料優(yōu)選為無鉛玻璃材料，且所述前介質(zhì)層設置在所述第一基板表面上，覆蓋透明電極，此外，所述前介質(zhì)層表面上還覆蓋有保護層，所述保護層的制作材料優(yōu)選為氧化鎂。第二基板，所述第二基板包括地址電極，即所述第二基板包括第二玻璃基板和設置在第二玻璃基板表面上的地址電極，且所述第二基板具有地址電極的一面和第一基板具有前介質(zhì)層的一面相對設置。后介質(zhì)層，所述后介質(zhì)層設置在所述第二基板與第一基板相對的表面上，且所述后介質(zhì)層的制作材料優(yōu)選為無鉛玻璃材料。障壁，所述障壁設置在所述后介質(zhì)層表面上，且所述障壁上涂覆有熒光粉層。可見，所述總線電極只是接觸第一玻璃基板和透明電極，因為金屬電極和玻璃以及金屬氧化物之間不易發(fā)生化學反應，所以避免了金屬電極氧化現(xiàn)象的發(fā)生，即總線電極就不會因為氧化而出現(xiàn)電阻變大的現(xiàn)象，避免了總線電極導電不良甚至失去導電功能的現(xiàn)象出現(xiàn)。需要說明的是，本實施例所述電極結構除了應用在等離子顯示屏之外，還可以應用到具有類似的金屬電極與透明電極相結合的裝置之中。本發(fā)明又一實施例公開了一種用于等離子顯示屏的制作方法，該方法包括以下步驟SI、提供第一基板和第二基板，且所述第一基板上設置上述實施例所述電極結構，即所述第一基板包括設置在第一玻璃基板表面上的總線電極和包覆住總線電極透明電極， 所述第二基板包括第二玻璃基板和設置縮水第二玻璃基板表面上的地址電極。具體的，在對兩玻璃基板進行清洗后，可在第一玻璃基板上沿著縱向以一定的間距設置總線電極和透明電極，總線電極的形成具體包括在第一玻璃基板一側的主面上通過真空濺射工藝形成金屬電極層，然后在金屬電極層表面涂覆光致刻蝕劑，形成光致刻蝕劑層，將帶有一定圖形的光掩模重疊在上面，經(jīng)過精確對位，進行紫外線照射，在光致刻蝕劑層上形成總線電極圖案，經(jīng)顯影后，除去總線電極圖案處的光致刻蝕劑，形成總線電極圖形，再以具有總線電極圖形的光致刻蝕劑層為掩模，通過刻蝕工藝將總線電極圖形下方的金屬電極層材料去掉，形成總線電極，之后再去除光致刻蝕劑層。所述總線電極圖案為光致刻蝕劑層表面上的二維圖案，圖案區(qū)域并不向下延伸，不具有立體形狀；所述總線電極圖形為具有立體形狀的三維圖形，該圖形的厚度為光致刻蝕劑層的厚度。采用如同制作總線電極的光刻方法在總線電極表面上形成透明電極 ，且使得所述透明電極包覆住總線電極。在第二玻璃基板表面上設置地址電極，具體包括采用如同制作總線電極的光刻方法在第二玻璃基板表面上形成地址電極。S2、在所述第一基板上涂覆前介質(zhì)層，所述前介質(zhì)層完全覆蓋透明電極和第一玻璃基板，具體包括在具有透明電極和總線電極的第一基板表面，涂覆包含前介質(zhì)層材料的涂料，然后，焙燒涂覆的包含前介質(zhì)層材料的涂料，形成前介質(zhì)層，所述前介質(zhì)層的制作材料優(yōu)選為無鉛玻璃材料。之后還包括在所述前介質(zhì)層表面用化學氣相淀積工藝形成保護層，所述保護層的制作材料優(yōu)選為氧化鎂。S3、在所述第二基板上涂覆后介質(zhì)層，所述后介質(zhì)層完全覆蓋所述地址電極。在具有地址電極的第二基板表面涂覆包含后介質(zhì)層材料的涂料，然后，焙燒涂覆的包含后介質(zhì)層材料的涂料，形成后介質(zhì)層，所述后介質(zhì)層的制作材料優(yōu)選為無鉛玻璃材料。S4、在后介質(zhì)層表面上每隔鄰接的地址電極的間隙形成障壁，該障壁可以通過反復絲網(wǎng)印刷包含有障壁材料的涂料并進行焙燒形成，也可以采用噴砂的方法形成。形成障壁后，還包括在障壁的壁面和兩個壁面之間露出的后介質(zhì)層的表面上涂覆包含有紅色熒光粉、綠色熒光法和藍色熒光粉中任何一種材料的涂料并進行干燥和焙燒，分別形成熒光粉層。S5、將所述第一基板和所述第二基板對合、封排。對合過程具體包括在第二基板表面的后介質(zhì)層的周邊部分涂覆密封材料，接著將第一基板和第二基板設置成保護層與障壁相對的位置，且兩個基板縱向正交的重疊在一起，在該狀態(tài)將兩基板送入高熱爐，進行焙燒，密封材料熔融，將第一基板和第二基板粘合在一起。之后對兩基板進行抽真空，充入工作氣體，再進行封離作業(yè)。需要說明的是，上述等離子顯示器的制作過程，制作第一基板和制作第二基板的順序可以顛倒，即先制作第一基板再制作第二基板或是同時制作第一基板和第二基板，在此不做具體限定。另外，上述等離子顯示器的制作過程相較于現(xiàn)有的制作等離子顯示器的過程并未增加任何步驟和材料，所以本實施例所述的制作等離子顯示器的方法并未增加任何成本。
本說明書中各個部分采用遞進的方式描述，每個部分重點說明的都是與其他部分的不同之處，各個部分之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業(yè)技術人員能夠實現(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領 域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權利要求
1.一種電極結構,其特征在于,包括 總線電極，所述總線電極設置在一基板表面上； 透明電極，所述透明電極設置在所述基板和總線電極表面上，且所述透明電極包覆住總線電極。
2.根據(jù)權利要求I所述電極結構，其特征在于，所述總線電極為鎘銅鎘電極。
3.根據(jù)權利要求I所述電極結構，其特征在于，所述總線電極為鑰鋁鑰電極。
4.根據(jù)權利要求I所述電極結構，其特征在于，所述透明電極為氧化銦錫電極。
5.根據(jù)權利要求I所述電極結構，其特征在于，所述透明電極為氧化銦鋅電極。
6.根據(jù)權利要求I所述電極結構，其特征在于，所述透明電極為石墨烯電極。
7.—種權利要求1-6所述電極結構的制作方法,其特征在于,包括 提供一基板； 在所述基板表面淀積金屬電極層，通過光刻工藝在所述金屬電極層上形成總線電極；在所述總線電極和基板表面上淀積透明電極層，通過光刻工藝在所述透明電極層上形成透明電極，所述透明電極包覆住總線電極。
8.一種等離子顯示屏，其特征在于，包括第一基板，所述第一基板包括一電極結構，且所述電極結構為權利要求1-6所述電極結構； 前介質(zhì)層，所述前介質(zhì)層設置在所述第一基板表面上； 第二基板，所述第二基板包括地址電極，且所述第二基板具有地址電極的一面和第一基板具有前介質(zhì)層的一面相對設置； 后介質(zhì)層，所述后介質(zhì)層設置在所述第二基板與第一基板相對的表面上；障壁，所述障壁設置在所述后介質(zhì)層表面上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種電極結構，包括總線電極，所述總線電極設置在一基板表面上；透明電極，所述透明電極設置在所述基板和總線電極表面上，且所述透明電極包覆住總線電極。由于在本發(fā)明所公開的電極結構中，透明電極將總線電極包覆住，而且透明電極均為非金屬電極，其化學性質(zhì)較穩(wěn)定，不易發(fā)生氧化，并且由于總線電極為金屬電極，即化學性質(zhì)不穩(wěn)定的總線電極被透明電極包覆住，與外界隔絕，也就避免了金屬電極氧化現(xiàn)象的發(fā)生，即總線電極就不會因為氧化而出現(xiàn)電阻變大的現(xiàn)象，避免了總線電極導電不良甚至失去導電功能的現(xiàn)象出現(xiàn)。
文檔編號H01J9/02GK102623282SQ20121010683
公開日2012年8月1日 申請日期2012年4月12日 優(yōu)先權日2012年4月12日
發(fā)明者葉飛 申請人:安徽鑫昊等離子顯示器件有限公司